JPS6195592U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6195592U JPS6195592U JP18063884U JP18063884U JPS6195592U JP S6195592 U JPS6195592 U JP S6195592U JP 18063884 U JP18063884 U JP 18063884U JP 18063884 U JP18063884 U JP 18063884U JP S6195592 U JPS6195592 U JP S6195592U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- electrodes
- adsorption plate
- mounting surface
- electrode covering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 2
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
Description
図は本考案の好適な実施例を示し、第１図は断
面図、第２図は平面図、第３図は他の実施例を示
す断面図である。 ２…基台、４…絶縁部材、６ａ，６ｂ…電極、
８…電極被覆部材、８ａ…載置面、１０…通孔、
１２…電源、１４…用紙、１６…ポンプ、１８…
バキユーム室。
面図、第２図は平面図、第３図は他の実施例を示
す断面図である。 ２…基台、４…絶縁部材、６ａ，６ｂ…電極、
８…電極被覆部材、８ａ…載置面、１０…通孔、
１２…電源、１４…用紙、１６…ポンプ、１８…
バキユーム室。
Claims (1)
- 基台２と、該基台２上に固設された絶縁部材４
と、該絶縁部材４上に配設された静電界発生用の
電極６ａ，６ｂと、前記電極６ａ，６ｂを被覆し
、上面に載置面８ａが形成された電極被覆部材８
とから成る静電吸着板において、前記電極被覆部
材８の載置面８ａに外部に連通する複数の通孔１
０を開口せしめたことを特徴とする静電吸着板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18063884U JPS6195592U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18063884U JPS6195592U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195592U true JPS6195592U (ja) | 1986-06-19 |
Family
ID=30738191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18063884U Pending JPS6195592U (ja) | 1984-11-28 | 1984-11-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195592U (ja) |
-
1984
- 1984-11-28 JP JP18063884U patent/JPS6195592U/ja active Pending