JPS6195770A - セラミツク焼結体の加工法 - Google Patents
セラミツク焼結体の加工法Info
- Publication number
- JPS6195770A JPS6195770A JP21769784A JP21769784A JPS6195770A JP S6195770 A JPS6195770 A JP S6195770A JP 21769784 A JP21769784 A JP 21769784A JP 21769784 A JP21769784 A JP 21769784A JP S6195770 A JPS6195770 A JP S6195770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- ceramic sintered
- plasma jet
- sialon
- processing method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 7
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003564 SiAlON Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 210000003746 feather Anatomy 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Arc Welding In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は緻密質のセラミック焼結体を高能率で成形加工
する方法に関する。
する方法に関する。
電子材料、耐熱材料をはじめとして、セラミック材料が
広範囲に使用されている。セラミック材料は機械的強度
及び硬度が大きく、化学安定性等に優れているので、成
形加工が困難である。従ってセラミック材料の成形加工
は、ダイヤモンド砥石を主とした砥石研削によって行な
われているが、除去速度を大きくとれないため会研削に
時間が掛り、研削設備が高価であるため成形費用が非常
に高くなる。更に微細な穴あけ等研削では不可能な形状
も多い等セラミック焼結体の成形加工には多くの制約が
ある。
広範囲に使用されている。セラミック材料は機械的強度
及び硬度が大きく、化学安定性等に優れているので、成
形加工が困難である。従ってセラミック材料の成形加工
は、ダイヤモンド砥石を主とした砥石研削によって行な
われているが、除去速度を大きくとれないため会研削に
時間が掛り、研削設備が高価であるため成形費用が非常
に高くなる。更に微細な穴あけ等研削では不可能な形状
も多い等セラミック焼結体の成形加工には多くの制約が
ある。
特に最近エンジニアリングセラミックスとして脚光を浴
びているSi N % 5in1サイアロン(st6−
2A720□N8−2.2≦4)、htN、等は硬度が
大きい上に、機械的強度が大きいために、難削性の材料
であるため更に研削加工による成形は困難である。その
上難焼結性であるため、ホットプレスによって焼結され
ることも多く、こうしたことから焼結体の形状に制約が
あり、寸法精度の点から所望の形状精度をうるに必要な
体積除去が極めて大きいという問題がある。このために
製品価格に占める成形加工費用の割合が大きく、実用に
当って大きな障害となっている。
びているSi N % 5in1サイアロン(st6−
2A720□N8−2.2≦4)、htN、等は硬度が
大きい上に、機械的強度が大きいために、難削性の材料
であるため更に研削加工による成形は困難である。その
上難焼結性であるため、ホットプレスによって焼結され
ることも多く、こうしたことから焼結体の形状に制約が
あり、寸法精度の点から所望の形状精度をうるに必要な
体積除去が極めて大きいという問題がある。このために
製品価格に占める成形加工費用の割合が大きく、実用に
当って大きな障害となっている。
本発明は、このようなセラミック焼結体の有する成形加
工上の問題点を解決し、従来より短時間で安価に成形加
工する方法を提供することを目的とするものである。
工上の問題点を解決し、従来より短時間で安価に成形加
工する方法を提供することを目的とするものである。
本発明は、セラミック焼結体、特にSi N S 5=
Cjzサイアロン、AlNといった非酸化物系エンジニ
アリングセラミックスの一部分をプラズマシェットによ
り局部的に加熱蒸発除去することにより、極めて高能率
で成形加工ができることを見出したものである。
Cjzサイアロン、AlNといった非酸化物系エンジニ
アリングセラミックスの一部分をプラズマシェットによ
り局部的に加熱蒸発除去することにより、極めて高能率
で成形加工ができることを見出したものである。
特にSi N 、 Sin、サイアロン、AINを主成
分とし或は含有するセラミックス焼結体は、これらが比
較的低温で急激に分解し気化してしまうため、プラズマ
シェットによる局部加熱により容易に蒸発除去が可能で
ある。
分とし或は含有するセラミックス焼結体は、これらが比
較的低温で急激に分解し気化してしまうため、プラズマ
シェットによる局部加熱により容易に蒸発除去が可能で
ある。
しかしこれら非酸化物系セラミック焼結体に限らず、A
t O、ZrO、MgO等の酸化物焼結体にも適用でき
る。高温で溶融するために穴あけ加工、切断加工に有効
である。
t O、ZrO、MgO等の酸化物焼結体にも適用でき
る。高温で溶融するために穴あけ加工、切断加工に有効
である。
実施例1
ノズル径0.1謂、流量0.21/蜘、トーチ内圧力1
51V1071のアルゴンガストーチを用い、t 流5
Aの条件でプラズマシェットを吹付け、ホットプレス
焼結した外径60馴、内径30 mm 、長さ100w
1の313N4の円筒を、旋盤の回転軸に取付け、表面
除去加工を行なった。
51V1071のアルゴンガストーチを用い、t 流5
Aの条件でプラズマシェットを吹付け、ホットプレス
焼結した外径60馴、内径30 mm 、長さ100w
1の313N4の円筒を、旋盤の回転軸に取付け、表面
除去加工を行なった。
比較のためダイヤモンド砥石研削で同一寸法の外周研削
を実施した。
を実施した。
円筒全面を1羽除去するのに要した時間は、プラズマシ
ェットによる加工では約1o分であったがへダイヤモン
ド砥石による研削では、約120分必要であった。
ェットによる加工では約1o分であったがへダイヤモン
ド砥石による研削では、約120分必要であった。
実施例2
実施例1と同一寸法の、Sin、AIN、サイアロン、
Al2O3、ZrO2、MgO焼結体を実施例1と同様
にして加工した。加工に要した時間(分)は次の通りで
あった。
Al2O3、ZrO2、MgO焼結体を実施例1と同様
にして加工した。加工に要した時間(分)は次の通りで
あった。
SiOサイアロンAIN A4 0 ZrOMgO
プラズマシェット法 17 15 8 1
0 9 7研削加工法 100 110 5
0 60 50 30〔発明の効果〕 本発明法によれば、材料の除去加工時間を従来法に比し
極めて短縮しつるだけでなく、研削加工によっては不可
能な微細孔あけ、曲線切断等が可能となり、従来不可能
であった成形加工をも可能とする。また被加工物を回転
させる旋削や、平面研削の装置にプラズマシェット発生
装置を研削工具に代えて取付は加工を行なえば、曲面、
平面の加工を高能率で行なうことができる。
プラズマシェット法 17 15 8 1
0 9 7研削加工法 100 110 5
0 60 50 30〔発明の効果〕 本発明法によれば、材料の除去加工時間を従来法に比し
極めて短縮しつるだけでなく、研削加工によっては不可
能な微細孔あけ、曲線切断等が可能となり、従来不可能
であった成形加工をも可能とする。また被加工物を回転
させる旋削や、平面研削の装置にプラズマシェット発生
装置を研削工具に代えて取付は加工を行なえば、曲面、
平面の加工を高能率で行なうことができる。
本発明加工法は熱的な加工法であることから、熱応力に
よる亀裂を生ずることがあるが、プラズマシェットの条
件を最適化することにより、微小亀裂の発生を極く表面
のみに抑制することが可能である。
よる亀裂を生ずることがあるが、プラズマシェットの条
件を最適化することにより、微小亀裂の発生を極く表面
のみに抑制することが可能である。
このように本発明加工法によれば、従来困難であったセ
ラミック焼結体の複雑形状の加工が容易に出来ると共に
成形加工費を大幅に低減できる。
ラミック焼結体の複雑形状の加工が容易に出来ると共に
成形加工費を大幅に低減できる。
Claims (2)
- (1)セラミック焼結体の一部分をプラズマシェットに
より加熱蒸発除去し、所望の形状とすることを特徴とす
るセラミック焼結体の加工法。 - (2)セラミック焼結体が、Si_3N_4、SiC、
サイアロン、AlNから選ばれた1種以上を含有するも
のからなることを特徴とする特許請求の範囲(1)項記
載のセラミック焼結体の加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21769784A JPS6195770A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21769784A JPS6195770A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195770A true JPS6195770A (ja) | 1986-05-14 |
Family
ID=16708303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21769784A Pending JPS6195770A (ja) | 1984-10-17 | 1984-10-17 | セラミツク焼結体の加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195770A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04349134A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-12-03 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光ファイバ・プリフォームの横断面を修正する方法および装置 |
| WO1994027930A1 (en) * | 1993-06-01 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramic sintered body and method of processing surface of body |
-
1984
- 1984-10-17 JP JP21769784A patent/JPS6195770A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04349134A (ja) * | 1990-10-31 | 1992-12-03 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光ファイバ・プリフォームの横断面を修正する方法および装置 |
| WO1994027930A1 (en) * | 1993-06-01 | 1994-12-08 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Ceramic sintered body and method of processing surface of body |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2008537703A5 (ja) | ||
| CN113493351B (zh) | 一种陶瓷表面金属涂层的制备方法 | |
| EP0402677A3 (en) | Process for making cubic boron nitride from coated hexagonal boron nitride | |
| JPS6195770A (ja) | セラミツク焼結体の加工法 | |
| CN104030662A (zh) | Al2O3-TiC复相陶瓷的制备工艺 | |
| CN102310487B (zh) | 采用周向包封施加预应力控制陶瓷材料加工崩边的方法 | |
| JPS6195839A (ja) | セラミツク焼結体の加工法 | |
| JP2002043397A (ja) | サセプター | |
| CN101723681B (zh) | 一种制备大面积陶瓷板的方法 | |
| JP3550588B2 (ja) | ジルコニア質グリットおよびその製造方法 | |
| CA2005002A1 (en) | Improved method for electroconsolidation of a preformed particulate workpiece | |
| JPH0634936Y2 (ja) | ウォータージェット用ノズル | |
| RU2117569C1 (ru) | Способ изготовления абразивного и алмазного инструмента | |
| JPH1199476A (ja) | 金属−セラミックス複合材料の加工方法 | |
| Koepfer | Ultrasonic technology helps machine hard materials | |
| JPS5588966A (en) | Injection pump of hot chamber type die casting machine | |
| JP4243437B2 (ja) | 表面がポアレスな金属−セラミックス複合材料の製造方法 | |
| CN117644739A (zh) | 一种石材的立体和表面花纹一体化加工技术 | |
| JPS57194249A (en) | Production of coated superhard alloy tool | |
| Guo et al. | Ceramic machining primer | |
| Anvarovich | An analysis of electrolytic in-process dressing (ELID) grinding | |
| SE425161B (sv) | Verktyg till anvendning vid glasbearbetning | |
| Mizuta et al. | Preparation of High-Density and High-Strength Alumina by HIP.(Retroactive Coverage) | |
| SU1703395A1 (ru) | Способ шлифовани минералокерамических деталей | |
| Lorincz | Coolant system blasts chips, cutting theory |