JPS6196536A - 光情報記録媒体及びその製造装置 - Google Patents
光情報記録媒体及びその製造装置Info
- Publication number
- JPS6196536A JPS6196536A JP59217140A JP21714084A JPS6196536A JP S6196536 A JPS6196536 A JP S6196536A JP 59217140 A JP59217140 A JP 59217140A JP 21714084 A JP21714084 A JP 21714084A JP S6196536 A JPS6196536 A JP S6196536A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- evaporation source
- thin film
- recording medium
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910005900 GeTe Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 5
- 229910018321 SbTe Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 14
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 4
- 229910017629 Sb2Te3 Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 206010011878 Deafness Diseases 0.000 description 1
- 229910001215 Te alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
不発明は光ビーム上用いて情報が記りデきれえ円盤状光
情報記の媒体の改良に関す石。
情報記の媒体の改良に関す石。
（従来の技術）
元悄株配録媒体としては、Ｔｅ合金薄膜や色素：Ｄ；
＋、Ｉ鑵を用いた穿孔型２碌媒体と非晶質−結晶ｌＪ！
！、転移等を利用した濃淡型記録媒体が知られていえが
、いずれも情報を記碌するに要すと元エネルギー１１！
Ｉ聾体上のいかなゐ位Ｈにおいても一定でお乙。
＋、Ｉ鑵を用いた穿孔型２碌媒体と非晶質−結晶ｌＪ！
！、転移等を利用した濃淡型記録媒体が知られていえが
、いずれも情報を記碌するに要すと元エネルギー１１！
Ｉ聾体上のいかなゐ位Ｈにおいても一定でお乙。
（発明がプ祥決しようとする間＆１４点）元情報配回媒
体が円盤状であシ、この媒体全角速度一定で回転させ十
ｄ報を記録内生ずＺ場合、外周における勝速度は内周に
おけ２線速度よりも犬であるため、情報を記録すえに要
す２元エネルギーを内周から外周になＺに従って徐々に
大きくする必要があえ。
体が円盤状であシ、この媒体全角速度一定で回転させ十
ｄ報を記録内生ずＺ場合、外周における勝速度は内周に
おけ２線速度よりも犬であるため、情報を記録すえに要
す２元エネルギーを内周から外周になＺに従って徐々に
大きくする必要があえ。
不発明はこの様な欠点全改良する為になされたもので、
角速度一定で回転す１口語状記録媒体に情報金記介する
時、情報記録位昨に応じて光エネルギーを変化させなく
ても均一に記３できる記録媒体を提供すふことを目的と
するものであを。
角速度一定で回転す１口語状記録媒体に情報金記介する
時、情報記録位昨に応じて光エネルギーを変化させなく
ても均一に記３できる記録媒体を提供すふことを目的と
するものであを。
（問題点’ｔ Ｉ’ｊ’（決すとための手段）この為不
発明は、円部状記録媒体の記録薄膜として不出願人が概
に昭和５９年１０月１１日付で「元ｉｎ ＋ｘ記録媒体
」として提案したＧｅ ｌ−Ｘ５ｂｔＪｅｚ＋”ｘ （
０（ｘ （１，０）合金を主成分とす石薄膜を用い、上
記円盛状記：ノ媒体の内周から外周にがけて余々に上記
Ｘの値ｔＬ２１１加させる様にしたものであえ。
発明は、円部状記録媒体の記録薄膜として不出願人が概
に昭和５９年１０月１１日付で「元ｉｎ ＋ｘ記録媒体
」として提案したＧｅ ｌ−Ｘ５ｂｔＪｅｚ＋”ｘ （
０（ｘ （１，０）合金を主成分とす石薄膜を用い、上
記円盛状記：ノ媒体の内周から外周にがけて余々に上記
Ｘの値ｔＬ２１１加させる様にしたものであえ。
（′：Ａ厖列）
以下、本発明全実施例にしたがって詳細に説明す芝。弗
１図は不発明によと元情報記録媒体を製造すえ装置の一
例金示したもので′ｔりと。真空チャンバー１１の中に
回転する基板ホルダー１２が設けられており、円盤状基
板１３は該基板ホルダー１２の下方に改シ付けられ４ｏ
該円盤状基板１３の中心からのＧｅＴｅ蒸発量は電源１
６の出力全変化させて使用する゜１！に発源１５．う為
らのＳｂ、’Ｔｅ、蒸発−９は゛電源１７の出力全変化
させて制御す２゜ 以上の様な？１９成にンいて、蒸発源１４から蒸発した
ＧｅＴｅ粒子の基板１３への飛来量は基板１３の中心部
で大でアク外局部へと徐々に小さくな４ｏ内局部と外周
部におけ４ ＧｅＴｅ粒子飛来量の比は距離Ｈ１を変え
ることによ〕所望の１直にｔＪ！４整丁芝ことができ、
Ｈ工を大とすると外ＩＪｔ１部の内周部に対する飛来Ｇ
ｅＴｅ粒子比Ｒ１は１に近ずく。逆Ｋ Ｈ，’ｉ小とす
るとＲ１は１から遠ざかえ。同様に蒸発源１５から蒸発
したＳｂ、Ｔｅ、粒子の基板１３への飛来量はＬ及びＨ
，ｔ−変化させこと外周部で大きく内周部で小さくすえ
ことができる。°そしてＫ１、馬、Ｌ及びｔａ源１６お
よび１７の出力を適切な１直ｋ Ａぶと、円盤状基板１
３１Ｃは、膜厚は内周部と外ＩＭＵ部で等しいＧｅｚ−
ｘＳｂ、ｘＴｅ、＋、ｘ合金薄膜が得られ、その組成は
内周部から外周部にかけてＸが連続的に増加した合金薄
膜が得られ芝。
１図は不発明によと元情報記録媒体を製造すえ装置の一
例金示したもので′ｔりと。真空チャンバー１１の中に
回転する基板ホルダー１２が設けられており、円盤状基
板１３は該基板ホルダー１２の下方に改シ付けられ４ｏ
該円盤状基板１３の中心からのＧｅＴｅ蒸発量は電源１
６の出力全変化させて使用する゜１！に発源１５．う為
らのＳｂ、’Ｔｅ、蒸発−９は゛電源１７の出力全変化
させて制御す２゜ 以上の様な？１９成にンいて、蒸発源１４から蒸発した
ＧｅＴｅ粒子の基板１３への飛来量は基板１３の中心部
で大でアク外局部へと徐々に小さくな４ｏ内局部と外周
部におけ４ ＧｅＴｅ粒子飛来量の比は距離Ｈ１を変え
ることによ〕所望の１直にｔＪ！４整丁芝ことができ、
Ｈ工を大とすると外ＩＪｔ１部の内周部に対する飛来Ｇ
ｅＴｅ粒子比Ｒ１は１に近ずく。逆Ｋ Ｈ，’ｉ小とす
るとＲ１は１から遠ざかえ。同様に蒸発源１５から蒸発
したＳｂ、Ｔｅ、粒子の基板１３への飛来量はＬ及びＨ
，ｔ−変化させこと外周部で大きく内周部で小さくすえ
ことができる。°そしてＫ１、馬、Ｌ及びｔａ源１６お
よび１７の出力を適切な１直ｋ Ａぶと、円盤状基板１
３１Ｃは、膜厚は内周部と外ＩＭＵ部で等しいＧｅｚ−
ｘＳｂ、ｘＴｅ、＋、ｘ合金薄膜が得られ、その組成は
内周部から外周部にかけてＸが連続的に増加した合金薄
膜が得られ芝。
ここで、不出願人が昭和５９年１０月１鬼日付で「元情
報記録媒体」として提案した前記出願で用いられるＧｏ
、−ＸＳｂ、Ｔｅ１＋、、合金薄膜は、第２図に示され
るととくｘの１直が増加するにしたがって曲線２１の様
に転移点の温度が下降し、曲線２２の様に情報を記録す
るに必要な光エネルギーが減少する。
報記録媒体」として提案した前記出願で用いられるＧｏ
、−ＸＳｂ、Ｔｅ１＋、、合金薄膜は、第２図に示され
るととくｘの１直が増加するにしたがって曲線２１の様
に転移点の温度が下降し、曲線２２の様に情報を記録す
るに必要な光エネルギーが減少する。
従って上述の如き（イ造を有する円盤状元情報記録媒体
では内周部から外周部へと連続的に小さい光エネルギー
でｆｒ７報？記録すＺことができ芝。したがって上述の
様にして得られたｌｉｔ？報、記碌媒体？−足角速度で
回転させてｆ＋Ｖ報を記録する時、従来の様に１青報を
記録すえ位置に応じて元エネルギーを変化させなくても
、該媒体上のどの位置にも均一にＩＷ報金記録すること
が可能である。
では内周部から外周部へと連続的に小さい光エネルギー
でｆｒ７報？記録すＺことができ芝。したがって上述の
様にして得られたｌｉｔ？報、記碌媒体？−足角速度で
回転させてｆ＋Ｖ報を記録する時、従来の様に１青報を
記録すえ位置に応じて元エネルギーを変化させなくても
、該媒体上のどの位置にも均一にＩＷ報金記録すること
が可能である。
金円盤状記録媒体において１＃報全記録する領域の内径
をｒｌ、外径ｋｒ、とすると一般にｒ＠／ｒ１”２とな
るよう選択され、内外周におけ々媒体の回転時の脚速比
はｒ、／ｒ、に比例し、情報會記鈴丁４に必要なエネル
ギー比は５− ｒ、 ／ ｒよの範囲の値になえ。した
がって北２図によ）、記碌元エネルギーの比が１．４〜
２となえように、Ｘの値葡内周で小さく外周で犬きくな
４よう選択すればよい。例えば内周部でｘ＝０．１のと
き外周部でＸ＝ ０．５〜０．６とするのが適当であ４
０ ｘ Ｏｉｍは上記”／ｒ１＝２のとき内周部でｘ
＝ ０−０．２、外周部でｘ ＝ ０．４〜０．９で選
ぶことができ４゜なお蒸発源１４および蒸発源１５は抵
抗加熱式蒸発源、電子ビーム加熱式蒸発源のいずれも用
いることができる。又、記録薄膜作製法は不実焉例に示
した真空蒸発法に限定す々ことなくスパッタリング法に
よ４こともでき、この場合粒子の元生妹として′；ｉｇ
１図の蒸発源の位置にターゲラ）ｋ置き保え４だけで良
い。この場合、粒子元生弾はターンテーブルの下方に限
るものではなく、クリえは第１図の位置関係ｔ−嘔かさ
まにして、ターンテーブルの上方にしてもよく、又慣例
し状態にしてターンテーブルの横にしてもよいことはも
ち論でｈ ｈ 。
をｒｌ、外径ｋｒ、とすると一般にｒ＠／ｒ１”２とな
るよう選択され、内外周におけ々媒体の回転時の脚速比
はｒ、／ｒ、に比例し、情報會記鈴丁４に必要なエネル
ギー比は５− ｒ、 ／ ｒよの範囲の値になえ。した
がって北２図によ）、記碌元エネルギーの比が１．４〜
２となえように、Ｘの値葡内周で小さく外周で犬きくな
４よう選択すればよい。例えば内周部でｘ＝０．１のと
き外周部でＸ＝ ０．５〜０．６とするのが適当であ４
０ ｘ Ｏｉｍは上記”／ｒ１＝２のとき内周部でｘ
＝ ０−０．２、外周部でｘ ＝ ０．４〜０．９で選
ぶことができ４゜なお蒸発源１４および蒸発源１５は抵
抗加熱式蒸発源、電子ビーム加熱式蒸発源のいずれも用
いることができる。又、記録薄膜作製法は不実焉例に示
した真空蒸発法に限定す々ことなくスパッタリング法に
よ４こともでき、この場合粒子の元生妹として′；ｉｇ
１図の蒸発源の位置にターゲラ）ｋ置き保え４だけで良
い。この場合、粒子元生弾はターンテーブルの下方に限
るものではなく、クリえは第１図の位置関係ｔ−嘔かさ
まにして、ターンテーブルの上方にしてもよく、又慣例
し状態にしてターンテーブルの横にしてもよいことはも
ち論でｈ ｈ 。
（発明の効果）
以上述べたように、不発！４による円晶状元−録媒体に
おいては、内ｊ−から外周になるに従い連続的Ｋ１４己
Ｌ８感度が１鴫〈なっているので、清報ｔｉ己録するＨ
必賛なエネルギーは外周になるにしたがって小さくて良
いので、媒体上のどの位置にも均一に↑に報ｋｓ己録す
ることがムエ１ヒでめ４．０
おいては、内ｊ−から外周になるに従い連続的Ｋ１４己
Ｌ８感度が１鴫〈なっているので、清報ｔｉ己録するＨ
必賛なエネルギーは外周になるにしたがって小さくて良
いので、媒体上のどの位置にも均一に↑に報ｋｓ己録す
ることがムエ１ヒでめ４．０
第１ｆスは不発明の元端報記鎌媒体を製造する装置の一
１ｌｊｌでろり、第２図は不発明の元情報記録媒体記録
膜組成と記録光エネルギーの関係を示す図である。 １２・・・ターンテーブル １３・・ｅ元情報記録媒体 １４．１５・・・蒸発源
１ｌｊｌでろり、第２図は不発明の元情報記録媒体記録
膜組成と記録光エネルギーの関係を示す図である。 １２・・・ターンテーブル １３・・ｅ元情報記録媒体 １４．１５・・・蒸発源
Claims (2)
- （１）基体と該基体上に形成された薄膜を有し、該薄膜
へ光ビームを照射し情報を記録する円盤状光情報記録媒
体において、上記薄膜をＧｅ＿１＿−＿ｘＳｂ＿２＿ｘ
Ｔｅ＿１＿＋＿２＿ｘ（０＜ｘ＜１．０）なる組成の合
金膜を主成分とする薄膜とし、上記円盤状光情報記録媒
体の内周から外周に向けて、上記合金膜のｘの値を徐々
に増加させたことを特徴とする光情報記録媒体。 - （２）ディスクを回転させるターンテーブルと、該ター
ンテーブルの回転軸の延長線上で上記ターンテーブルの
ディスク装着面に対向する位置にＧｅＴｅ粒子の発生源
を設け、上記延長線から外れて上記ディスク装着面に対
向する位置にＳｂＴｅ粒子の発生源を設けた光情報記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217140A JPS6196536A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 光情報記録媒体及びその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217140A JPS6196536A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 光情報記録媒体及びその製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6196536A true JPS6196536A (ja) | 1986-05-15 |
| JPH0259527B2 JPH0259527B2 (ja) | 1990-12-12 |
Family
ID=16699478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59217140A Granted JPS6196536A (ja) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | 光情報記録媒体及びその製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6196536A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6432438A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-02 | Nippon Columbia | Optical information recording medium |
| JPH0352137A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Nec Corp | 相変化型光ディスク |
-
1984
- 1984-10-16 JP JP59217140A patent/JPS6196536A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6432438A (en) * | 1987-07-28 | 1989-02-02 | Nippon Columbia | Optical information recording medium |
| JPH0352137A (ja) * | 1989-07-19 | 1991-03-06 | Nec Corp | 相変化型光ディスク |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259527B2 (ja) | 1990-12-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6033535A (en) | Optical information recording disk and method for manufacturing the same | |
| JPH0473387B2 (ja) | ||
| JPH0259527B2 (ja) | ||
| JPS60219646A (ja) | 光情報記録媒体 | |
| JPH0259526B2 (ja) | ||
| JP2674837B2 (ja) | 相変化型光ディスク | |
| JPH11185308A (ja) | 光ディスク並びにその製造装置および製造方法 | |
| JPS62109969A (ja) | 多元蒸着膜の形成方法 | |
| JPH0752527B2 (ja) | 光学情報記録再生デイスクの製造方法 | |
| JP2521664B2 (ja) | 光磁気デイスク | |
| JPS6240333A (ja) | 記録媒体用銀合金 | |
| JPS6018825A (ja) | 光記録再生方法 | |
| JPS60226037A (ja) | 情報記録媒体 | |
| JPH0554434A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS62283432A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS62277643A (ja) | 光磁気デイスク | |
| JPS61272190A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH1153763A (ja) | 光ディスク | |
| JPS6130029B2 (ja) | ||
| JPS6358634A (ja) | 情報記録媒体及びその製造方法 | |
| JP2004234742A (ja) | 光学的情報記録媒体 | |
| JPS62298943A (ja) | 光デイスク | |
| JPH01245441A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH02167784A (ja) | 情報記録媒体 | |
| JPS6313784A (ja) | 追記形光学的情報記録部材 |