JPS6199065U - - Google Patents
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- JPS6199065U JPS6199065U JP18475684U JP18475684U JPS6199065U JP S6199065 U JPS6199065 U JP S6199065U JP 18475684 U JP18475684 U JP 18475684U JP 18475684 U JP18475684 U JP 18475684U JP S6199065 U JPS6199065 U JP S6199065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressing member
- pressing
- semiconductor device
- lead
- ball screw
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例による半導体装置の
試験装置の構成図、第2図は従来の半導体装置の
試験装置の構成図、第3図は従来、及び上記実施
例の被試験半導体装置の斜視図である。 1…被試験半導体装置、3…リード、5…測定
用基板、21…押え蓋(押圧部材)、21a…押
圧片(突部)、23…ボールネジ、24…支持リ
ング(支持部材)、27,29…上、下ストツパ
、28…ソレノイド、32…モータ。
試験装置の構成図、第2図は従来の半導体装置の
試験装置の構成図、第3図は従来、及び上記実施
例の被試験半導体装置の斜視図である。 1…被試験半導体装置、3…リード、5…測定
用基板、21…押え蓋(押圧部材)、21a…押
圧片(突部)、23…ボールネジ、24…支持リ
ング(支持部材)、27,29…上、下ストツパ
、28…ソレノイド、32…モータ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 測定回路基板に被試験半導体装置のリード
を押圧して接触接続せしめた状態で上記被試験装
置の特性を試験する装置において、上記リードを
押圧するための押圧部材と、該押圧部材を上方に
開いた上昇位置と上記リードを押圧する下降位置
との間で揺動駆動する押圧部材駆動装置とを備え
たことを特徴とする半導体装置の試験装置。 (2) 上記押圧部材は、その前部下面に上記リー
ドを押圧するための突部を有する棒状体であり、
上記押圧部材駆動装置は、上記押圧部材の略中央
を揺動可能に支持する支持部材と、上下方向に設
けられ上記支持部材と螺合するボールネジと、該
ボールネジを回転駆動するモータと、上記押圧部
材が上昇、下降したときそれぞれ該押圧部材の後
端部に当接して該押圧部材を上方に開いた上昇位
置、水平押圧位置まで揺動させる上、下ストツパ
と、上記押圧部材が水平押圧位置に来たとき上記
突部がリードに押圧されるよう押圧部材の後端部
を上方に付勢するソレノイドとからなるものであ
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第1
項記載の半導体装置の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18475684U JPS6199065U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18475684U JPS6199065U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199065U true JPS6199065U (ja) | 1986-06-25 |
Family
ID=30742241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18475684U Pending JPS6199065U (ja) | 1984-12-05 | 1984-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199065U (ja) |
-
1984
- 1984-12-05 JP JP18475684U patent/JPS6199065U/ja active Pending
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