JPS647497B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS647497B2 JPS647497B2 JP61076501A JP7650186A JPS647497B2 JP S647497 B2 JPS647497 B2 JP S647497B2 JP 61076501 A JP61076501 A JP 61076501A JP 7650186 A JP7650186 A JP 7650186A JP S647497 B2 JPS647497 B2 JP S647497B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- bonding
- capillary
- wire
- support shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はワイヤボンデイング方法、特にボンデ
イングアームが支軸を中心に揺動するワイヤボン
デイング装置を用いるワイヤボンデイング方法に
関する。
イングアームが支軸を中心に揺動するワイヤボン
デイング装置を用いるワイヤボンデイング方法に
関する。
半導体装置等の製造工程の一つに回路素子の電
極と外部リードの内端とをワイヤで接続するワイ
ヤボンデイング工程がある。このワイヤボンデイ
ング作業を行なう装置の一つに金線を用いて熱圧
着方法によつてワイヤボンデイングするネイルヘ
ツドワイヤボンデイング方法が知られている。こ
れは、筒状のキヤピラリと呼ばれる工具内に金線
を通し、キヤピラリの下端から突出する金線の先
端を水素炎で熱して金ボールを形成し、その後、
キヤピラリを第１ボンデイング点に下降させ、キ
ヤピラリの下端で金ボールを押し潰して熱圧着に
より固定し、つぎに、キヤピラリを上昇、水平移
動、下降させて第２ボンデイング点に、同様にワ
イヤを押し付け固定する。その後、キヤピラリの
上方のワイヤ部分をクランパと呼ばれる保持具で
ワイヤを保持して上方に引つ張り、第２ボンデイ
ング点に固定されるワイヤの押潰しによつて強度
的に弱くなつたワイヤ箇所を破断させ、一張りの
ワイヤボンデイングを終了するものである。
極と外部リードの内端とをワイヤで接続するワイ
ヤボンデイング工程がある。このワイヤボンデイ
ング作業を行なう装置の一つに金線を用いて熱圧
着方法によつてワイヤボンデイングするネイルヘ
ツドワイヤボンデイング方法が知られている。こ
れは、筒状のキヤピラリと呼ばれる工具内に金線
を通し、キヤピラリの下端から突出する金線の先
端を水素炎で熱して金ボールを形成し、その後、
キヤピラリを第１ボンデイング点に下降させ、キ
ヤピラリの下端で金ボールを押し潰して熱圧着に
より固定し、つぎに、キヤピラリを上昇、水平移
動、下降させて第２ボンデイング点に、同様にワ
イヤを押し付け固定する。その後、キヤピラリの
上方のワイヤ部分をクランパと呼ばれる保持具で
ワイヤを保持して上方に引つ張り、第２ボンデイ
ング点に固定されるワイヤの押潰しによつて強度
的に弱くなつたワイヤ箇所を破断させ、一張りの
ワイヤボンデイングを終了するものである。
ところで、このネイルヘツドワイヤボンデイン
グ法に用いる装置（以下単にワイヤボンデイング
装置と称す）としては、第５図ａ，ｂで示すもの
が知られている。同図ａに示すように、一つは中
央部を支軸１で揺動する水平方向に延びるアーム
２の先端にキヤピラリ３を取り付けるとともに、
他端には上面に接触する駆動カム４を配す。ま
た、この駆動カム４に常にアーム２の他端が接触
するようにばね５が配設されている。そして、駆
動カム４によつてキヤピラリ３を上下に動かし、
下降時にワイヤボンデイングを行なう。また、ワ
イヤボンデイングの際、ワイヤを押し潰す力は前
記ばね５によつて与えられる。また、金ボールや
ワイヤが強く押し潰されると接合部の強度が低く
なつたり、破断したりするため、ばねの力は100
ｇ前後と小さい。このため、この機構ではワイヤ
ボンデイングの高速化を図ろうとすると、アーム
２の動きが駆動カム４の動きに追従しなくなる。
すなわち、高速化を図ろうとすると、ボンデイン
グ荷重が必要以上に大きくなつて、ワイヤの接続
が不充分となつた。
グ法に用いる装置（以下単にワイヤボンデイング
装置と称す）としては、第５図ａ，ｂで示すもの
が知られている。同図ａに示すように、一つは中
央部を支軸１で揺動する水平方向に延びるアーム
２の先端にキヤピラリ３を取り付けるとともに、
他端には上面に接触する駆動カム４を配す。ま
た、この駆動カム４に常にアーム２の他端が接触
するようにばね５が配設されている。そして、駆
動カム４によつてキヤピラリ３を上下に動かし、
下降時にワイヤボンデイングを行なう。また、ワ
イヤボンデイングの際、ワイヤを押し潰す力は前
記ばね５によつて与えられる。また、金ボールや
ワイヤが強く押し潰されると接合部の強度が低く
なつたり、破断したりするため、ばねの力は100
ｇ前後と小さい。このため、この機構ではワイヤ
ボンデイングの高速化を図ろうとすると、アーム
２の動きが駆動カム４の動きに追従しなくなる。
すなわち、高速化を図ろうとすると、ボンデイン
グ荷重が必要以上に大きくなつて、ワイヤの接続
が不充分となつた。
そこで、ワイヤボンデイングの高速化を図るた
めに、第５図ｂで示すように、アーム２の他端の
下面に接触する補助カム６を設け、アーム２の動
きを前記駆動カム４とこの補助カム６で行なう構
造が提案されている。この機構にあつては、キヤ
ピラリ３が下降してワイヤボンデイングする時点
には、前記補助カム６がアーム２から逃げて、ば
ね５によるボンデイング荷重が加わるようになつ
ている。しかし、この構造は、２枚のカムを必要
とすることから機構が複雑となる欠点がある。
めに、第５図ｂで示すように、アーム２の他端の
下面に接触する補助カム６を設け、アーム２の動
きを前記駆動カム４とこの補助カム６で行なう構
造が提案されている。この機構にあつては、キヤ
ピラリ３が下降してワイヤボンデイングする時点
には、前記補助カム６がアーム２から逃げて、ば
ね５によるボンデイング荷重が加わるようになつ
ている。しかし、この構造は、２枚のカムを必要
とすることから機構が複雑となる欠点がある。
すなわち、従来のアームを使用したボンデイン
グ方法では、アームを支軸を中心に揺動させるた
めの駆動力が直接的にボンデイング荷重を制約す
るような構成となつていた。第５図ａの構成で
は、アーム２を上下動させるための駆動力はばね
５によつて与えられ、ワイヤボンデイングの高速
化を図るためにはばね５の力を強くすることが要
求される。しかしながら、この方法では駆動力を
大きくすると、ボンデイング荷重が必要以上に大
きくなるという欠点がある。一方、第５図ｂの構
成では、アーム２を上下動させるための駆動力
は、ワイヤボンデイング時点直前まではアーム２
の他端を挾み込む２つのカム４および６の回転力
によつて与え、ワイヤボンデイング時点では補助
カム６をアーム２から離間させてばね５によつて
与えている。言い換えれば、第５図ｂの構成で
は、アーム２を上下動させるための駆動力をボン
デイング途中で可変させていることになる。
グ方法では、アームを支軸を中心に揺動させるた
めの駆動力が直接的にボンデイング荷重を制約す
るような構成となつていた。第５図ａの構成で
は、アーム２を上下動させるための駆動力はばね
５によつて与えられ、ワイヤボンデイングの高速
化を図るためにはばね５の力を強くすることが要
求される。しかしながら、この方法では駆動力を
大きくすると、ボンデイング荷重が必要以上に大
きくなるという欠点がある。一方、第５図ｂの構
成では、アーム２を上下動させるための駆動力
は、ワイヤボンデイング時点直前まではアーム２
の他端を挾み込む２つのカム４および６の回転力
によつて与え、ワイヤボンデイング時点では補助
カム６をアーム２から離間させてばね５によつて
与えている。言い換えれば、第５図ｂの構成で
は、アーム２を上下動させるための駆動力をボン
デイング途中で可変させていることになる。
このため、従来の方法では、ボンデイングの高
速化のためにアームに大きな駆動力を必要として
いたため、その駆動力とは独立して、ボンデイン
グ荷重を決定できることが要求されていた。
速化のためにアームに大きな駆動力を必要として
いたため、その駆動力とは独立して、ボンデイン
グ荷重を決定できることが要求されていた。
したがつて、本発明の目的は、高速ワイヤボン
デイングに適したワイヤボンデイング方法を提供
することにある。
デイングに適したワイヤボンデイング方法を提供
することにある。
このような目的を達成するために、本発明は回
転支軸を中心に揺動するアームを用い、該アーム
の一端部にキヤピラリを取り付け、その他端部を
上下動させるための駆動力を与えて前記回転支軸
を中心にして前記キヤピラリを上下方向に揺動さ
せることによつて、前記キヤピラリをボンデイン
グ物に接触せしめて前記キヤピラリ内のワイヤを
ボンデイング物と接触せしめてワイヤボンデイン
グする方法において、前記アームを主アームと補
助アームとに分け、前記主アームの一端側に前記
回転支軸を中心とした前記駆動力を与え、前記補
助アームに前記キヤピラリを取り付けて、これを
前記主アームの他端側に支軸を介して揺動自在に
取り付けるとともに、前記主アームと前記補助ア
ームとの間にボンデイング荷重を決定するための
押圧荷重機構を設けることによつて、前記キヤピ
ラリが前記駆動力によつて前記記ボンデイング物
に接触した際、前記駆動力によるボンデイング荷
重を直接加えることなく、前記押圧荷重機構によ
つて決定されるボンデイング荷重を加えることを
特徴とするものである。
転支軸を中心に揺動するアームを用い、該アーム
の一端部にキヤピラリを取り付け、その他端部を
上下動させるための駆動力を与えて前記回転支軸
を中心にして前記キヤピラリを上下方向に揺動さ
せることによつて、前記キヤピラリをボンデイン
グ物に接触せしめて前記キヤピラリ内のワイヤを
ボンデイング物と接触せしめてワイヤボンデイン
グする方法において、前記アームを主アームと補
助アームとに分け、前記主アームの一端側に前記
回転支軸を中心とした前記駆動力を与え、前記補
助アームに前記キヤピラリを取り付けて、これを
前記主アームの他端側に支軸を介して揺動自在に
取り付けるとともに、前記主アームと前記補助ア
ームとの間にボンデイング荷重を決定するための
押圧荷重機構を設けることによつて、前記キヤピ
ラリが前記駆動力によつて前記記ボンデイング物
に接触した際、前記駆動力によるボンデイング荷
重を直接加えることなく、前記押圧荷重機構によ
つて決定されるボンデイング荷重を加えることを
特徴とするものである。
以下、実施例により本発明を詳細に説明する。
第１図は本発明のワイヤボンデイング方法を達
成するためのワイヤボンデイング装置の一実施例
を示す。同図に示すように、細長のアーム７が水
平に配設されている。このアーム７は中央部を水
平方向に延びる支軸８で揺動自在に支持されてい
る。また、このアーム７の左端の上面には駆動カ
ム９が配設されている。また、この駆動カム９と
アーム７が常に接触するように（駆動カムにアー
ムが追従するように）、ばね定数の大きなばね１
０が配設されている。
成するためのワイヤボンデイング装置の一実施例
を示す。同図に示すように、細長のアーム７が水
平に配設されている。このアーム７は中央部を水
平方向に延びる支軸８で揺動自在に支持されてい
る。また、このアーム７の左端の上面には駆動カ
ム９が配設されている。また、この駆動カム９と
アーム７が常に接触するように（駆動カムにアー
ムが追従するように）、ばね定数の大きなばね１
０が配設されている。
また、第２図および第３図に示すように、アー
ム７の右端は中央部が細長く切れ欠かれ、二股と
なつている。そして、この二股の間には細長の補
助アーム１１の一部が入り、補助アーム１１の中
央部は二股部１２に支軸１３を介して揺動可能に
取り付けられている。また、この補助アーム１１
の右端には鉛直方向に延びるキヤピラリ１４が固
定されている。また、アーム７の二股部１２の付
け根近傍にはストツパピン１５が固定され、補助
アーム１１の左端がその上面で当接するようにな
つている。この補助アーム１１のストツパピン１
５の当接時、補助アーム１１は水平を保つように
なつている。また、この状態では支軸１３の両側
の補助アーム部分は互にバランスを保つている。
また、補助アーム１１のストツパピン１５の近傍
の上面にはばね取付突子１６が設けられている。
そして、このばね取付突子１６と、アーム７の上
面に取り付けられたばね取付片１７との間には引
張コイルばね１８が取り付けられている。この引
張コイルばね１８はキヤピラリ１４のボンデイン
グ時のボンデイング荷重を決定するものであつ
て、ボンデイング荷重が100ｇ程度となるように
極めて小さなバネ定数を有している。また、第３
図中で示す１９は金線（ワイヤ）である。
ム７の右端は中央部が細長く切れ欠かれ、二股と
なつている。そして、この二股の間には細長の補
助アーム１１の一部が入り、補助アーム１１の中
央部は二股部１２に支軸１３を介して揺動可能に
取り付けられている。また、この補助アーム１１
の右端には鉛直方向に延びるキヤピラリ１４が固
定されている。また、アーム７の二股部１２の付
け根近傍にはストツパピン１５が固定され、補助
アーム１１の左端がその上面で当接するようにな
つている。この補助アーム１１のストツパピン１
５の当接時、補助アーム１１は水平を保つように
なつている。また、この状態では支軸１３の両側
の補助アーム部分は互にバランスを保つている。
また、補助アーム１１のストツパピン１５の近傍
の上面にはばね取付突子１６が設けられている。
そして、このばね取付突子１６と、アーム７の上
面に取り付けられたばね取付片１７との間には引
張コイルばね１８が取り付けられている。この引
張コイルばね１８はキヤピラリ１４のボンデイン
グ時のボンデイング荷重を決定するものであつ
て、ボンデイング荷重が100ｇ程度となるように
極めて小さなバネ定数を有している。また、第３
図中で示す１９は金線（ワイヤ）である。
このようなワイヤボンデイング装置を用いた本
発明のボンデイング法にあつては、ボンデイング
時アーム７が一定高さまで下降すると、補助アー
ム１１の先端のキヤピラリ１４の下端がワイヤ１
９を介してボンデイング物に当接させる。この
際、アーム７が早い速度で下降しても、補助アー
ム１１はアーム７に支軸１３を介して揺動自在に
取り付けられ、かつボンデイング物との接触部
（キヤピラリ１４）はこの支軸１３から外れてい
るため、アーム７のイナーシヤ（貫性）は直接キ
ヤピラリ１４に加わらず、キヤピラリ１４には補
助アーム１１のイナーシヤしか加わらないように
できる。また、ばね１０の弾力は直接キヤピラリ
１４には加わらないことから、ばね定数の大きな
ばねを用いる。このため、駆動カム９の動きにア
ーム７を完成に追従できるようにする。したがつ
て、ワイヤボンデイングの高速化を図ることがで
きる。たとえば、第４図ａで示すように、従来の
方法では、キヤピラリの降下速度はボンデイング
物の高さｈのわずか上方までは高速で降下する
が、その後は極めて緩やかであり、この緩やかな
時間t1は17msである。これに対し、同図ｂで示
すように、本発明の方法ではt2は6msと1/3程度
に短縮できる。
発明のボンデイング法にあつては、ボンデイング
時アーム７が一定高さまで下降すると、補助アー
ム１１の先端のキヤピラリ１４の下端がワイヤ１
９を介してボンデイング物に当接させる。この
際、アーム７が早い速度で下降しても、補助アー
ム１１はアーム７に支軸１３を介して揺動自在に
取り付けられ、かつボンデイング物との接触部
（キヤピラリ１４）はこの支軸１３から外れてい
るため、アーム７のイナーシヤ（貫性）は直接キ
ヤピラリ１４に加わらず、キヤピラリ１４には補
助アーム１１のイナーシヤしか加わらないように
できる。また、ばね１０の弾力は直接キヤピラリ
１４には加わらないことから、ばね定数の大きな
ばねを用いる。このため、駆動カム９の動きにア
ーム７を完成に追従できるようにする。したがつ
て、ワイヤボンデイングの高速化を図ることがで
きる。たとえば、第４図ａで示すように、従来の
方法では、キヤピラリの降下速度はボンデイング
物の高さｈのわずか上方までは高速で降下する
が、その後は極めて緩やかであり、この緩やかな
時間t1は17msである。これに対し、同図ｂで示
すように、本発明の方法ではt2は6msと1/3程度
に短縮できる。
以上から明らかなように、本発明のワイヤボン
デイング方法では、支軸８を介して揺動自在に取
り付けられた主アーム７にはばね定数の大きなば
ね１０によつて大きな駆動力を与えて高速で動作
させる一方、キヤピラリ１４がその駆動力によつ
てボンデイング物に当接した際、第１のアーム７
と、この主アームに支軸１３を介して揺動自在に
取り付けられた補助アーム１１との間に設けられ
たバネ１８による押圧荷重機構によつて、上記ば
ね１０による駆動力とは独立的に上記押圧荷重機
構のバネ１０によつてボンデイング荷重を決定さ
せることを特徴としている。特に、本発明によれ
ば主アームと補助アームとの間に押圧荷重機構が
装着されるので、ボンデイング着地点の高さに対
して常に一定のボンデイング荷重にすることがで
きる。
デイング方法では、支軸８を介して揺動自在に取
り付けられた主アーム７にはばね定数の大きなば
ね１０によつて大きな駆動力を与えて高速で動作
させる一方、キヤピラリ１４がその駆動力によつ
てボンデイング物に当接した際、第１のアーム７
と、この主アームに支軸１３を介して揺動自在に
取り付けられた補助アーム１１との間に設けられ
たバネ１８による押圧荷重機構によつて、上記ば
ね１０による駆動力とは独立的に上記押圧荷重機
構のバネ１０によつてボンデイング荷重を決定さ
せることを特徴としている。特に、本発明によれ
ば主アームと補助アームとの間に押圧荷重機構が
装着されるので、ボンデイング着地点の高さに対
して常に一定のボンデイング荷重にすることがで
きる。
本発明によれば、特に、支軸を介して揺動自在
にボンデイングアームが設けられる揺動式のワイ
ヤボンデイング法において、ボンデイング時間の
短縮化が可能であるとともに、半導体ペレツトな
どのようなボンデイング物のボンデイング不良の
発生率を低減することができる。
にボンデイングアームが設けられる揺動式のワイ
ヤボンデイング法において、ボンデイング時間の
短縮化が可能であるとともに、半導体ペレツトな
どのようなボンデイング物のボンデイング不良の
発生率を低減することができる。
第１図は本発明のワイヤボンデイング方法に使
用する装置の一実施例による機構図の正面図、第
２図は同じく一部拡大平面図、第３図は同じく一
部拡大断面図、第４図ａ，ｂは従来のワイヤボン
デイング法と本発明のワイヤボンデイング法にお
けるワイヤボンデイング時のキヤピラリの降下状
態を示すグラフ、第５図ａ，ｂは従来のワイヤボ
ンデイング装置を示す概要機構図である。 １……支軸、２……アーム、３……キヤピラ
リ、４……駆動カム、５……ばね、６……補助カ
ム、７……アーム、８……支軸、９……駆動カ
ム、１０……ばね、１１……補助アーム、１２…
…二股部、１３……支軸、１４……キヤピラリ、
１５……ストツパピン、１６……ばね取付突子、
１７……ばね取付片、１８……引張コイルばね、
１９……金線（ワイヤ）。
用する装置の一実施例による機構図の正面図、第
２図は同じく一部拡大平面図、第３図は同じく一
部拡大断面図、第４図ａ，ｂは従来のワイヤボン
デイング法と本発明のワイヤボンデイング法にお
けるワイヤボンデイング時のキヤピラリの降下状
態を示すグラフ、第５図ａ，ｂは従来のワイヤボ
ンデイング装置を示す概要機構図である。 １……支軸、２……アーム、３……キヤピラ
リ、４……駆動カム、５……ばね、６……補助カ
ム、７……アーム、８……支軸、９……駆動カ
ム、１０……ばね、１１……補助アーム、１２…
…二股部、１３……支軸、１４……キヤピラリ、
１５……ストツパピン、１６……ばね取付突子、
１７……ばね取付片、１８……引張コイルばね、
１９……金線（ワイヤ）。
Claims (1)
- １ 支軸を中心に揺動するアームを用い、該アー
ムの一端部にキヤピラリを取り付け、その他端部
を上下動させるための駆動力を与えて前記支軸を
中心にして前記キヤピラリを上下方向に揺動させ
ることによつて、前記キヤピラリをボンデイング
物に接触せしめて前記キヤピラリ内のワイヤをボ
ンデイング物と接触せしめてワイヤボンデイング
する方法において、前記アームを主アームと補助
アームとに分け、前記主アームの一端側に前記支
軸を中心とした前記駆動力を与え、前記補助アー
ムに前記キヤピラリを取り付けて、これを前記主
アームの他端側に支軸を介して揺動自在に取り付
けるとともに、前記主アームと前記補助アームと
の間にボンデイング荷重を決定するための押圧荷
重機構を設けることによつて、前記キヤピラリが
前記駆動力によつて前記ボンデイング物に接触し
た際、前記駆動力によるボンデイング荷重を直接
加えることなく、前記押圧加重機構によつて決定
されるボンデイング荷重を加えることを特徴とす
るワイヤボンデイング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61076501A JPS61234044A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61076501A JPS61234044A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52125721A Division JPS6027182B2 (ja) | 1977-10-21 | 1977-10-21 | ワイヤボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61234044A JPS61234044A (ja) | 1986-10-18 |
| JPS647497B2 true JPS647497B2 (ja) | 1989-02-09 |
Family
ID=13606977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61076501A Granted JPS61234044A (ja) | 1986-04-04 | 1986-04-04 | ワイヤボンデイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61234044A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003163234A (ja) | 2001-11-27 | 2003-06-06 | Nec Electronics Corp | ワイヤボンディング装置およびワイヤボンディング方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5228635B2 (ja) * | 1973-11-21 | 1977-07-27 |
-
1986
- 1986-04-04 JP JP61076501A patent/JPS61234044A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61234044A (ja) | 1986-10-18 |
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