JPS6199104A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPS6199104A JPS6199104A JP59221564A JP22156484A JPS6199104A JP S6199104 A JPS6199104 A JP S6199104A JP 59221564 A JP59221564 A JP 59221564A JP 22156484 A JP22156484 A JP 22156484A JP S6199104 A JPS6199104 A JP S6199104A
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- pattern
- color filter
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- photoresist pattern
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明はカラーテレビその他のカラー表示装置Ｋ用い
られる力２−フィルタの製造方法に関するものである。
られる力２−フィルタの製造方法に関するものである。
〈従来の技術〉
従来のカラーフィルタの製造方法として、第２人図示の
ように基板１上に膜剤に感光剤と着色剤と金混ぜ九着色
膜剤２を塗布し、ついで＄２ｓ図示のようにマスク３を
用いてパターン露光し、現像する（第２Ｃ図）。その上
に２色−の着色組成物４を塗布しく第２Ｄ図）、パター
ン露光、現像する（１４２３図）。′さらに５色目の着
色組成物５を塗布しく第２Ｆ図）、パターン露光現像す
ることによって三色のカラーフィルタを得ている（第２
Ｇ図）。
ように基板１上に膜剤に感光剤と着色剤と金混ぜ九着色
膜剤２を塗布し、ついで＄２ｓ図示のようにマスク３を
用いてパターン露光し、現像する（第２Ｃ図）。その上
に２色−の着色組成物４を塗布しく第２Ｄ図）、パター
ン露光、現像する（１４２３図）。′さらに５色目の着
色組成物５を塗布しく第２Ｆ図）、パターン露光現像す
ることによって三色のカラーフィルタを得ている（第２
Ｇ図）。
〈発明が解決しようとする問題点〉
上述の従来技術においては、着色膜剤中に感光剤を加え
ているが、着色剤も入っているためどうしてもその感度
が悪くなるので増感剤を添加する必要があつ次。しかし
増感剤は黄色に着色しているので、望みの分光特性を持
つカラーフィルタを作るのが木遣であつｔ６まｔ着色剤
で光が吸収されてしまう友めに、着色剤の下の膜剤は硬
化しずらく、その次めパターニング精度が悪くなるとい
う欠点もあった。
ているが、着色剤も入っているためどうしてもその感度
が悪くなるので増感剤を添加する必要があつ次。しかし
増感剤は黄色に着色しているので、望みの分光特性を持
つカラーフィルタを作るのが木遣であつｔ６まｔ着色剤
で光が吸収されてしまう友めに、着色剤の下の膜剤は硬
化しずらく、その次めパターニング精度が悪くなるとい
う欠点もあった。
く問題点ｔ−解決する友めの手段〉
この発明は上記従来技術における欠点を解決するもので
、基板上にリフトオフ用のフォトレジストな塗布しパタ
ーニングし、その上に熱硬化型樹脂に着色剤を加え九着
色膜剤を塗布し硬化させた後、上記フォトレジストパタ
ーンをその上の上記着色膜剤とともに剥離してカラーフ
ィルタパターンを形成する点ＫＩ＃徴を有するものであ
る。
、基板上にリフトオフ用のフォトレジストな塗布しパタ
ーニングし、その上に熱硬化型樹脂に着色剤を加え九着
色膜剤を塗布し硬化させた後、上記フォトレジストパタ
ーンをその上の上記着色膜剤とともに剥離してカラーフ
ィルタパターンを形成する点ＫＩ＃徴を有するものであ
る。
〈実施例〉
基板６にリフトオフ用のフォトレジスト７ｆ：全面に塗
布する（第１Ａ図）。ついでパターン露光現像にエフフ
ォトレジストパターン８を形成する・（第１Ｂ図）。そ
の上に熱硬化型の樹脂に着色剤を混入し友着色膜剤９ｔ
−全面に３１１布する（第１Ｃ−）。熱硬化型の樹脂と
しては友とえばポリアミド、ポリイミド、アクリル系の
樹脂があり、着色剤としては、油溶性染料や酸性染料な
どの水溶性染料がある。これを加熱して着色膜剤９を硬
化さ！ せ九後、上記フォトレジストパターン８
を現像液で膨潤させ几後水洗をおこなって、その上着色
膜剤９とともに剥離し一色目のカラーフィルタパターン
１０ｔ一つくる（第１Ｄ図）。その上にリフトオフ用の
７オトレジスト１１を全面に塗布する（第１Ｅ図）。パ
ターン露光、現像にエフフォトレジストパターン１２ｔ
−形成する（４１２図）。
布する（第１Ａ図）。ついでパターン露光現像にエフフ
ォトレジストパターン８を形成する・（第１Ｂ図）。そ
の上に熱硬化型の樹脂に着色剤を混入し友着色膜剤９ｔ
−全面に３１１布する（第１Ｃ−）。熱硬化型の樹脂と
しては友とえばポリアミド、ポリイミド、アクリル系の
樹脂があり、着色剤としては、油溶性染料や酸性染料な
どの水溶性染料がある。これを加熱して着色膜剤９を硬
化さ！ せ九後、上記フォトレジストパターン８
を現像液で膨潤させ几後水洗をおこなって、その上着色
膜剤９とともに剥離し一色目のカラーフィルタパターン
１０ｔ一つくる（第１Ｄ図）。その上にリフトオフ用の
７オトレジスト１１を全面に塗布する（第１Ｅ図）。パ
ターン露光、現像にエフフォトレジストパターン１２ｔ
−形成する（４１２図）。
全面に２色目の着色膜剤１３ｔ−塗布し硬化させるＣ８
１０図）。上記フォトレジストパターン１２をその上の
着色膜剤１５とともに剥離し、２色目のカラーフィルタ
パターン１４をつくる（第１Ｈ図）。さらにその上にフ
ォトレジスト１５を塗布しく第１ Ｉ図）、パターン露
光、現像してフォトレジストパターン１６を形成しくｉ
ＩＪ図）、３色目の着色膜剤１７を途布し硬化させる（
第１に図）。上記フォトレジストパターン１６ｔ−その
上の着色膜剤１７とともに剥離して三色間のカラーフィ
ルタパターン１８を形成する（第１Ｌ図）。
１０図）。上記フォトレジストパターン１２をその上の
着色膜剤１５とともに剥離し、２色目のカラーフィルタ
パターン１４をつくる（第１Ｈ図）。さらにその上にフ
ォトレジスト１５を塗布しく第１ Ｉ図）、パターン露
光、現像してフォトレジストパターン１６を形成しくｉ
ＩＪ図）、３色目の着色膜剤１７を途布し硬化させる（
第１に図）。上記フォトレジストパターン１６ｔ−その
上の着色膜剤１７とともに剥離して三色間のカラーフィ
ルタパターン１８を形成する（第１Ｌ図）。
こうして三色のカラーフィルタパターンを完成させる。
〈発明の効果〉
本発明によれば、着色膜剤中に感光剤、増感剤が入って
いないので膜剤がそれに工って着色することなく、カラ
ーフィルタのパターニングがリフトオフ用フォトレジス
トによるので１９度良く形成でき、さらに２色目以降の
・１色膜剤ｆ：遣布する際に、前に形成し九カラーフィ
ルタパターン部分はフォトレジストにエフカバーされて
いるので混色を生ずるおそれがない。
いないので膜剤がそれに工って着色することなく、カラ
ーフィルタのパターニングがリフトオフ用フォトレジス
トによるので１９度良く形成でき、さらに２色目以降の
・１色膜剤ｆ：遣布する際に、前に形成し九カラーフィ
ルタパターン部分はフォトレジストにエフカバーされて
いるので混色を生ずるおそれがない。
第１人−第１Ｌ図は本発明の実施例を工程’！Ｘに示す
断面図、第２Ａ−第２Ｇ図は従来例を工程順に示す断面
図である。 ６・・・・・・基板 ８・・・・・・フォトレジストパターン９・・・・・・
着色膜剤 １０・・・・・・カラーフィルタパター ン −−２・
・・・・・フォトレジストパターンｊ３・・・・・・着
色膜剤 １４・・・・・・力２−フィルタパターン１６・・・・
・・フォトレジストパターン１７・・・・・・着色膜剤
断面図、第２Ａ−第２Ｇ図は従来例を工程順に示す断面
図である。 ６・・・・・・基板 ８・・・・・・フォトレジストパターン９・・・・・・
着色膜剤 １０・・・・・・カラーフィルタパター ン −−２・
・・・・・フォトレジストパターンｊ３・・・・・・着
色膜剤 １４・・・・・・力２−フィルタパターン１６・・・・
・・フォトレジストパターン１７・・・・・・着色膜剤
Claims (1)
- 基板上にリフトオフ用のフォトレジストパターンを形成
し、その上に熱硬化型樹脂に着色剤を加えてなる着色膜
剤を塗布し硬化させた後、上記フォトレジストパターン
をその上の上記着色膜剤とともに剥離してカラーフィル
タパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221564A JPS6199104A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59221564A JPS6199104A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199104A true JPS6199104A (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=16768704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59221564A Pending JPS6199104A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199104A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61180203A (ja) * | 1985-02-05 | 1986-08-12 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS63159807A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS574012A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 | Canon Inc | Production of color filter |
| JPS587608A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-17 | Hitachi Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP59221564A patent/JPS6199104A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS574012A (en) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 | Canon Inc | Production of color filter |
| JPS587608A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-17 | Hitachi Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61180203A (ja) * | 1985-02-05 | 1986-08-12 | Kyodo Printing Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
| JPS63159807A (ja) * | 1986-12-24 | 1988-07-02 | Seikosha Co Ltd | カラ−フイルタの製造方法 |
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