JPS6033507A - 色フィルタの製造方法 - Google Patents
色フィルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6033507A JPS6033507A JP58143229A JP14322983A JPS6033507A JP S6033507 A JPS6033507 A JP S6033507A JP 58143229 A JP58143229 A JP 58143229A JP 14322983 A JP14322983 A JP 14322983A JP S6033507 A JPS6033507 A JP S6033507A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- color filter
- paint
- forming
- resist pattern
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラー撮像デバイスやカラーディスプレーに
用いるモザイク状あるいはストライプ状の分光色フィル
タの製造方法に関するものである。
用いるモザイク状あるいはストライプ状の分光色フィル
タの製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来より、色フィルタの製造方法には大きくわけて２つ
の方法があった。
の方法があった。
２〆、−：゛
すなわち、あらかじめ染色ベースパターンを形成し、必
要とする分光特性に染色する工程をくり返し作る方法、
あるいは、染色ベースを全面に形成し、必要な部分を残
して他を脱色する方法があるＯ ところが、前者の方法では第１図四〜（Ｄｉに示すよう
な方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨
を施したガラス基板１上に、ポリビニルアルコール、グ
リユー、ゼラチン、カゼイン等に、重クロム酸アンモン
等で感光性を付与した感光液ヲ、ローラーコート、ティ
ソヒング、スピンナー等で均一に塗布し、乾燥した後マ
スク露光法で１色目のパターン部分だけ光硬化させて現
像して必要なパターン以外を除去して染色ベース膜２を
形成した後に、所定の分光特性を有する染料で、１色目
のパターンを染色する。次に染料で染色されることのな
い透明な防染膜３を全面に塗布する（第１図（Ａ））。
要とする分光特性に染色する工程をくり返し作る方法、
あるいは、染色ベースを全面に形成し、必要な部分を残
して他を脱色する方法があるＯ ところが、前者の方法では第１図四〜（Ｄｉに示すよう
な方法が一般的に用いられていた。すなわち、光学研磨
を施したガラス基板１上に、ポリビニルアルコール、グ
リユー、ゼラチン、カゼイン等に、重クロム酸アンモン
等で感光性を付与した感光液ヲ、ローラーコート、ティ
ソヒング、スピンナー等で均一に塗布し、乾燥した後マ
スク露光法で１色目のパターン部分だけ光硬化させて現
像して必要なパターン以外を除去して染色ベース膜２を
形成した後に、所定の分光特性を有する染料で、１色目
のパターンを染色する。次に染料で染色されることのな
い透明な防染膜３を全面に塗布する（第１図（Ａ））。
次に、同様にして第１図＠）に示すように前記と同じ感
光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露３・・−二 先決で露光現像して、２色目の染色ベース膜４を形成後
所定の分光特性を有する第２の染１１で染色する。さら
に、前記透明々防染膜５を全面に塗布する。
光液を均一に塗布し、乾燥した後マスク露３・・−二 先決で露光現像して、２色目の染色ベース膜４を形成後
所定の分光特性を有する第２の染１１で染色する。さら
に、前記透明々防染膜５を全面に塗布する。
次に同様にして、第１図（Ｃ）に示すように、前記と同
じ感光液を均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、３色目の染色ベース膜６を形成し、所定
の分光特性を有する第３の染料で染色する。
じ感光液を均一に塗布し、乾燥した後、マスク露光法で
露光現像して、３色目の染色ベース膜６を形成し、所定
の分光特性を有する第３の染料で染色する。
最後に、トップコート７を塗布して、第１図（ＤＪに示
すような色フィルタが製造される。
すような色フィルタが製造される。
従って、このような色フィルタの製造方法では、各層の
染色ベース膜を形成した後染色して色フイルタ部を形成
するため、色フィルタの分光特性を制御性良く製造する
ためには、染色ベース膜厚を非常に高精度に制御する必
要があった。
染色ベース膜を形成した後染色して色フイルタ部を形成
するため、色フィルタの分光特性を制御性良く製造する
ためには、染色ベース膜厚を非常に高精度に制御する必
要があった。
すなわち、染色ベース膜厚が設定値より薄すぎた場合に
は所定の濃度の染色が得られないし、厚すぎだ場合には
染色されやすいため、染色濃度制御すなわち分光特性の
制御がむつかしくなる等色特開昭ＧＯ−３３５０７（２
） フィルタ製造」二大きな欠点であった。
は所定の濃度の染色が得られないし、厚すぎだ場合には
染色されやすいため、染色濃度制御すなわち分光特性の
制御がむつかしくなる等色特開昭ＧＯ−３３５０７（２
） フィルタ製造」二大きな欠点であった。
また、後者においても、色フィルタを染色して形成する
点では前者と同じ欠点を持っていた。
点では前者と同じ欠点を持っていた。
発明の目的
本発明は、以上に述べてきた従来の色フイルタ製造工程
における分光特性制御の不安定さを解消する目的でなさ
れたものであり、所定の分光特性を持つ色フィルタを、
安定且つ容易に製造する技術を提供することを目的とす
るものである。
における分光特性制御の不安定さを解消する目的でなさ
れたものであり、所定の分光特性を持つ色フィルタを、
安定且つ容易に製造する技術を提供することを目的とす
るものである。
発明の構成
本発明は、所定の基板上へＩＴＯ等の透明導電膜を形成
する工程と、透明導電膜上にレジストパターンを形成す
る工程と、所定の分光特性を有する電着塗料を用い、透
明導電膜と他の電極の間に直流電流を通じてレジストパ
ターン開口部の透明導電膜上に塗料を凝固析出させる工
程と、レジストパターンを除去する工程と、さらにレジ
ストパターン形成工程以降をくり返えすことにより、モ
ザイク状あるいはストライプ状の色フィルタを形成する
方法より々る。
する工程と、透明導電膜上にレジストパターンを形成す
る工程と、所定の分光特性を有する電着塗料を用い、透
明導電膜と他の電極の間に直流電流を通じてレジストパ
ターン開口部の透明導電膜上に塗料を凝固析出させる工
程と、レジストパターンを除去する工程と、さらにレジ
ストパターン形成工程以降をくり返えすことにより、モ
ザイク状あるいはストライプ状の色フィルタを形成する
方法より々る。
５Ｉミージ
実施例の説明
本発明の実施例を第２図を用いて説明する。
まず、あらかじめ、光学研磨を施したガラス基板２１上
に、蒸着法あるいは塗布法で透明導電膜２またとえばＩ
ＴＯ膜を形成する（第２図Ａ）。
に、蒸着法あるいは塗布法で透明導電膜２またとえばＩ
ＴＯ膜を形成する（第２図Ａ）。
次に、全面にホトレジスト２３例えばポジ型であればＡ
Ｚ１３５０Ｊ （シプレー社）ネガ型であれば、ＫＭＲ
７４７（コダソク社）等を塗布し、所定のホトマスク２
４を用いて露光しく第２図Ｂ）、さらに現像して第１の
レジストパターン２５を形成する（第２図Ｃ）。第２図
Ｃはポジ型レジストを用いた場合を示しである。
Ｚ１３５０Ｊ （シプレー社）ネガ型であれば、ＫＭＲ
７４７（コダソク社）等を塗布し、所定のホトマスク２
４を用いて露光しく第２図Ｂ）、さらに現像して第１の
レジストパターン２５を形成する（第２図Ｃ）。第２図
Ｃはポジ型レジストを用いた場合を示しである。
次に、第３図に示すように、電着塗料２６を入れた電着
槽２７に基板２１を浸漬し、透明導電膜２２と陰極２８
の間に直流電界を印加し、前記レジストパターン開口部
の透明導電膜２２に電着塗料を析出凝固させる。このと
き用いる電着塗料９色すなわち透過の分光特性を所定の
もの例えば赤なら赤色にしておけば、ガラス基板表面に
赤色フィルタとなる着色パターン３０を形成できる（第
６ページ ２図Ｄ）。
槽２７に基板２１を浸漬し、透明導電膜２２と陰極２８
の間に直流電界を印加し、前記レジストパターン開口部
の透明導電膜２２に電着塗料を析出凝固させる。このと
き用いる電着塗料９色すなわち透過の分光特性を所定の
もの例えば赤なら赤色にしておけば、ガラス基板表面に
赤色フィルタとなる着色パターン３０を形成できる（第
６ページ ２図Ｄ）。
次に、レジストパターン２５を除去した後、再び第２の
レジストパターン３１を同じ方法で形成し、１回目と同
じ方法で第２の電着塗料例えば緑色を第２のレジストパ
ターン開口部の透明導電膜３２上に形成する（第２図Ｅ
）。
レジストパターン３１を同じ方法で形成し、１回目と同
じ方法で第２の電着塗料例えば緑色を第２のレジストパ
ターン開口部の透明導電膜３２上に形成する（第２図Ｅ
）。
以下同じ方法をくり返して、必要とする着色パターンを
形成して、目的とするモザイク状あるいはストライプ状
の色フィルタを製造できる。
形成して、目的とするモザイク状あるいはストライプ状
の色フィルタを製造できる。
なお、上述の電着塗料としては、マレイン化油。
ビニル変性マレイン化油、シクロペンタジェン変性マレ
イン化油、アルキッド樹脂、アクリル樹脂。
イン化油、アルキッド樹脂、アクリル樹脂。
フェノール樹脂、メラミン樹脂等々に所定の分光特性を
示す顔料や染料を混ぜて用いることができる。例えば、
青色顔料であればフタロシアニンブルー、緑色顔料であ
ればフタロシアニングリーン。
示す顔料や染料を混ぜて用いることができる。例えば、
青色顔料であればフタロシアニンブルー、緑色顔料であ
ればフタロシアニングリーン。
赤色染料であればオラゾールピンク５８２Ｇ（チバガイ
ギー商品名）でも良い。また、液体でなく微粉末の静電
トナーを用い、このトナーを直接ふりかけるようにして
もよい〇 ７、、７ 発明の効果 本発明の方法を用いると、分光特性は電着塗装の塗装厚
のみで制御できるので分光特性の制御が容易である。ま
た、電界は、基板内で均一に印加できるので大面積の色
フィルタを製造する場合にも基板内での分光特性のバラ
ツキも少くなる。さらにまた、塗布後硬化した塗膜は電
気絶縁性を持つので、２回目、３回目以降の塗装・１が
前工程の塗膜の上に乗ることがなく、電型なりは全く生
じ々い。以上述べてきた効果により、バラツキの々い高
性能な色フィルタを容易に製造することができる。
ギー商品名）でも良い。また、液体でなく微粉末の静電
トナーを用い、このトナーを直接ふりかけるようにして
もよい〇 ７、、７ 発明の効果 本発明の方法を用いると、分光特性は電着塗装の塗装厚
のみで制御できるので分光特性の制御が容易である。ま
た、電界は、基板内で均一に印加できるので大面積の色
フィルタを製造する場合にも基板内での分光特性のバラ
ツキも少くなる。さらにまた、塗布後硬化した塗膜は電
気絶縁性を持つので、２回目、３回目以降の塗装・１が
前工程の塗膜の上に乗ることがなく、電型なりは全く生
じ々い。以上述べてきた効果により、バラツキの々い高
性能な色フィルタを容易に製造することができる。
第１図（Ａ）〜ＦＣ＋は従来より用いられている色フィ
ルタの製造方法を説明するだめの工程断面図、同図中）
は出来上った色フィルタの上面図、第２図Ａ〜Ｅは本発
明の一実施例のカラーフィルターの製造方法を説明する
だめの工程断面図、第３図は本発明の方法に用いた場合
の電着塗装の概念図である。 ２１・・・・・・ガラス基板、２２．３２・・・・・・
透明導電膜、２３・・・・・・ホトレジス）、２５．３
１・・・・・・レジストパターン、２６・・・・・・電
着塗料、３０・・・・・・着色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図
ルタの製造方法を説明するだめの工程断面図、同図中）
は出来上った色フィルタの上面図、第２図Ａ〜Ｅは本発
明の一実施例のカラーフィルターの製造方法を説明する
だめの工程断面図、第３図は本発明の方法に用いた場合
の電着塗装の概念図である。 ２１・・・・・・ガラス基板、２２．３２・・・・・・
透明導電膜、２３・・・・・・ホトレジス）、２５．３
１・・・・・・レジストパターン、２６・・・・・・電
着塗料、３０・・・・・・着色パターン。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第
１ 図 第２図
Claims (1)
- 所定の基板上へ透明導電膜を形成する工程と、前記透明
導電膜上にレジストパターンを形成する工程と、所定の
分光特性を有する電着塗料を用い、前記導電膜と他の電
極の間に直流電流を通じて前記レジストパターン開口部
の前記透明導電膜上に前記塗料を凝固析出させる工程と
、前記レジストパターンを除去する工程を含むことを特
徴とする色フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143229A JPS6033507A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 色フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58143229A JPS6033507A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 色フィルタの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033507A true JPS6033507A (ja) | 1985-02-20 |
| JPH0526161B2 JPH0526161B2 (ja) | 1993-04-15 |
Family
ID=15333899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58143229A Granted JPS6033507A (ja) | 1983-08-04 | 1983-08-04 | 色フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033507A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60186802A (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 多色表示装置の製造法 |
| JPS61203403A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-09 | Asahi Glass Co Ltd | カラ−フイルタの形成方法 |
| JPS61270701A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Toppan Printing Co Ltd | 色フイルタ−の製造方法 |
| JPS61272720A (ja) * | 1985-05-28 | 1986-12-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS6226680U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-18 | ||
| JPS6450023A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Production of color filter |
| JPH01112815U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-07-28 | ||
| JPH02129602A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH0659117A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-03-04 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| WO1997019373A1 (fr) * | 1995-11-21 | 1997-05-29 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif pour la fabrication d'un filtre en couleurs |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5659768B2 (ja) | 2010-12-16 | 2015-01-28 | 凸版印刷株式会社 | 斜め電界液晶表示装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5817404A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 多色光学フイルタおよびその製造方法 |
| JPS5817405A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 多色光学フイルタおよびその製造方法 |
-
1983
- 1983-08-04 JP JP58143229A patent/JPS6033507A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5817404A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 多色光学フイルタおよびその製造方法 |
| JPS5817405A (ja) * | 1981-07-23 | 1983-02-01 | Fuji Photo Film Co Ltd | 多色光学フイルタおよびその製造方法 |
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| JPS61203403A (ja) * | 1985-03-07 | 1986-09-09 | Asahi Glass Co Ltd | カラ−フイルタの形成方法 |
| JPS61270701A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Toppan Printing Co Ltd | 色フイルタ−の製造方法 |
| JPS61272720A (ja) * | 1985-05-28 | 1986-12-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPS6226680U (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-18 | ||
| JPS6450023A (en) * | 1987-08-21 | 1989-02-27 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Production of color filter |
| JPH01112815U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-07-28 | ||
| JPH02129602A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| JPH0659117A (ja) * | 1992-08-12 | 1994-03-04 | Seiko Epson Corp | カラーフィルターの製造方法 |
| WO1997019373A1 (fr) * | 1995-11-21 | 1997-05-29 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif pour la fabrication d'un filtre en couleurs |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0526161B2 (ja) | 1993-04-15 |
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