JPS62101258U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62101258U JPS62101258U JP19277685U JP19277685U JPS62101258U JP S62101258 U JPS62101258 U JP S62101258U JP 19277685 U JP19277685 U JP 19277685U JP 19277685 U JP19277685 U JP 19277685U JP S62101258 U JPS62101258 U JP S62101258U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- solenoid valve
- laser device
- vacuum pump
- stopped
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
第１図はこの実施例のレーザ装置の配管系統図
、第２図はその電気制御回路の概略図、第３図は
従来例のレーザ装置の配管系統図、第４図はその
電気制御回路の概略図である。 １…レーザ放電管、２…混合ガスボンベ、３…
真空ポンプ、４…電磁弁、５…流量調整弁、６…
電磁三方弁、７…リリーフ弁、１０…駆動電源、
１１…制御電源、１２…タイマー付きリレー回路
、１３…リレー回路。
、第２図はその電気制御回路の概略図、第３図は
従来例のレーザ装置の配管系統図、第４図はその
電気制御回路の概略図である。 １…レーザ放電管、２…混合ガスボンベ、３…
真空ポンプ、４…電磁弁、５…流量調整弁、６…
電磁三方弁、７…リリーフ弁、１０…駆動電源、
１１…制御電源、１２…タイマー付きリレー回路
、１３…リレー回路。
Claims (1)
- ガス供給源から電磁弁を介してレーザ放電管に
ガス供給してレーザ発振せしめ、このガスを真空
ポンプにより大気中へ放出するガスレーザ装置に
おいて、前記電磁弁の電気制御回路に時間遅れタ
イマー素子を設け、このガスレーザ装置を停止さ
せる際に真空ポンプが停止した後一定時間遅れて
前記電磁弁を閉鎖するようにしたことを特徴とす
るガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19277685U JPS62101258U (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19277685U JPS62101258U (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101258U true JPS62101258U (ja) | 1987-06-27 |
Family
ID=31148178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19277685U Pending JPS62101258U (ja) | 1985-12-12 | 1985-12-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62101258U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251765A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |
-
1985
- 1985-12-12 JP JP19277685U patent/JPS62101258U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01251765A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-06 | Komatsu Ltd | エキシマレーザ装置 |