JPS62101385A - エツチング部品の製造方法 - Google Patents
エツチング部品の製造方法Info
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- JPS62101385A JPS62101385A JP23960585A JP23960585A JPS62101385A JP S62101385 A JPS62101385 A JP S62101385A JP 23960585 A JP23960585 A JP 23960585A JP 23960585 A JP23960585 A JP 23960585A JP S62101385 A JPS62101385 A JP S62101385A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K11/00—Resistance welding; Severing by resistance heating
- B23K11/22—Severing by resistance heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はエツチング部品の製造方法に関し、特に金属薄
板に所定パターンをエツチングした後、主部たる蝕刻品
と従たる薄板上の不要部品との間に形成された架橋部と
、１つの主部たる蝕刻品とそれに隣接する主部たる蝕刻
品との間に形成された架橋とを新規な方法で切断する、
エツチング部品の製造方法に関する。
板に所定パターンをエツチングした後、主部たる蝕刻品
と従たる薄板上の不要部品との間に形成された架橋部と
、１つの主部たる蝕刻品とそれに隣接する主部たる蝕刻
品との間に形成された架橋とを新規な方法で切断する、
エツチング部品の製造方法に関する。
従来、この分離切断方法はプレス打抜きを行なって分離
する方法もあるが、一般には第４図の如く細い棒４１の
先や指先を使って、蝕刻品を回転させてねじ切るか、又
は薄板全体に摂動を与え、繰シ返し曲げ疲労を架橋部に
与えて切断する。（第５図） 薄板の周辺又は薄板の一部に固定又は可変の周波数の加
振力をバイブレータ−等で強制的に与え薄板を振動させ
る。
する方法もあるが、一般には第４図の如く細い棒４１の
先や指先を使って、蝕刻品を回転させてねじ切るか、又
は薄板全体に摂動を与え、繰シ返し曲げ疲労を架橋部に
与えて切断する。（第５図） 薄板の周辺又は薄板の一部に固定又は可変の周波数の加
振力をバイブレータ−等で強制的に与え薄板を振動させ
る。
このさい薄板周辺部と蝕刻品とは大きさが異なるか、形
状が異なるので、固有振動数に差があり架橋部にて支え
られているとはいえ、弱い架橋だから別個に運動しよう
とする。
状が異なるので、固有振動数に差があり架橋部にて支え
られているとはいえ、弱い架橋だから別個に運動しよう
とする。
一般には蝕刻品のほうが寸法が小さめで固有振動数は高
い周波数を示す。（第５図）振動学的に固有振動数の上
か下かで、品物の加振力方向と変位の方向が逆転する。
い周波数を示す。（第５図）振動学的に固有振動数の上
か下かで、品物の加振力方向と変位の方向が逆転する。
奇数次の固有振動数を過ぎると力と変位は１８０Ｐ逆方
向になる。この固有振動数の差を利用し、薄板用周辺部
等と蝕刻品との変位方向を逆にして、架橋部に繰シ返し
疲労を与えると架橋部が切断する。振動の方向によって
は、架橋部にねじシ振動が加わって更に分離しやすくな
る。
向になる。この固有振動数の差を利用し、薄板用周辺部
等と蝕刻品との変位方向を逆にして、架橋部に繰シ返し
疲労を与えると架橋部が切断する。振動の方向によって
は、架橋部にねじシ振動が加わって更に分離しやすくな
る。
この他に０．５ｗｍ〜２Ｗｌｋと厚い品は両手で繰り返
し曲げを加える方法でも堅い材質のものなら疲労切断が
簡単に行なわれる。
し曲げを加える方法でも堅い材質のものなら疲労切断が
簡単に行なわれる。
例えば、−辺が３ ＣＭ＆〜８ ｔｘ位の品で、［１２
１１〜ｏ、ｓｍの厚さの銅合金やステンレス材のリード
フレーム部品の切シ離しには手作業による繰り返し曲げ
疲労による架橋部の分離切断や、強制振動と固有振動数
の差を利用した疲労切断分離方法が有効な方法として採
用される。
１１〜ｏ、ｓｍの厚さの銅合金やステンレス材のリード
フレーム部品の切シ離しには手作業による繰り返し曲げ
疲労による架橋部の分離切断や、強制振動と固有振動数
の差を利用した疲労切断分離方法が有効な方法として採
用される。
しかし、これらの振動や細い棒等によるつき曲げは柔弱
な部分を含む蝕刻品の場合、強制力によって変形（第６
図の６１）をおこし精度不良となってしまう。又、作業
の上からも手間のかかる方法である。時に、部品の一部
に内部応力を発生させ、エツチングの特長の一つと言わ
れる非内部応力歪品でなくなってしまう事にもなる。
な部分を含む蝕刻品の場合、強制力によって変形（第６
図の６１）をおこし精度不良となってしまう。又、作業
の上からも手間のかかる方法である。時に、部品の一部
に内部応力を発生させ、エツチングの特長の一つと言わ
れる非内部応力歪品でなくなってしまう事にもなる。
本発明は、この不良化防止と省力化に寄与することを目
的とする。
的とする。
即ち、本発明は、
「金属薄板に所定パターンをエツチングした後、主部た
る蝕刻品と従たる薄板上の不要部品との間に形成された
架橋部と、主部たる蝕刻品相互の間に形成された架橋部
とに直流又は交流又は制御された波形電流を流し、それ
によって架橋部を溶断分離することを特徴とするエツチ
ング部品の製造方法。」 により上述の目的を達成する
。
る蝕刻品と従たる薄板上の不要部品との間に形成された
架橋部と、主部たる蝕刻品相互の間に形成された架橋部
とに直流又は交流又は制御された波形電流を流し、それ
によって架橋部を溶断分離することを特徴とするエツチ
ング部品の製造方法。」 により上述の目的を達成する
。
更に、本発明は、
［架橋部の断面積がＱ、１ｔＩＩ以下となるようにエツ
チングし、架橋部の溶断作業中、エツチングされた金属
薄板を不活性ガス、水道水、純水、及び有機溶剤の群か
ら選択された酸化防止性媒体中に置くこと、を特徴とす
るエツチング部品の製造方法。」 により、上述の目的
をよシ良く達成する。
チングし、架橋部の溶断作業中、エツチングされた金属
薄板を不活性ガス、水道水、純水、及び有機溶剤の群か
ら選択された酸化防止性媒体中に置くこと、を特徴とす
るエツチング部品の製造方法。」 により、上述の目的
をよシ良く達成する。
添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
各種金属薄板にエツチングによシ所定パターンを形成す
る。エツチングにより、１個又は複数個のパターンに蝕
刻され、蝕刻品１０が従なる周辺不要部分１１又は隣接
する蝕刻品１０との間に架橋部１３が形成される。
る。エツチングにより、１個又は複数個のパターンに蝕
刻され、蝕刻品１０が従なる周辺不要部分１１又は隣接
する蝕刻品１０との間に架橋部１３が形成される。
一般に、薄板は、例えば２５μｍからａｓｉｅ位の厚さ
で、大きさが１０１四方から１ｍ四方の大きさの板とし
て取扱われる。材質は、ステンレス、銅合金、鉄等、エ
ツチング可能な材料なら何でもよい。
で、大きさが１０１四方から１ｍ四方の大きさの板とし
て取扱われる。材質は、ステンレス、銅合金、鉄等、エ
ツチング可能な材料なら何でもよい。
この薄板が写真蝕刻等によシ所定パターンが画かれ、エ
ツチングされ、この蝕刻品が脱落しないように、周辺不
要部又は隣接する蝕刻品との間に架橋をされているもの
とする。（第１図〜第３図） この金属薄板はアルカリや有機溶剤を使って金属表面の
レジストを剥離除却されている事が好ましい。これは薄
板から、蝕刻品を分離切断する時の電気通電の為、金属
導体表面を露出し通電装置図２の２０．２１との接続を
容易にする為である。
ツチングされ、この蝕刻品が脱落しないように、周辺不
要部又は隣接する蝕刻品との間に架橋をされているもの
とする。（第１図〜第３図） この金属薄板はアルカリや有機溶剤を使って金属表面の
レジストを剥離除却されている事が好ましい。これは薄
板から、蝕刻品を分離切断する時の電気通電の為、金属
導体表面を露出し通電装置図２の２０．２１との接続を
容易にする為である。
所要パターンをエツチングされた蝕刻品を周辺部等と架
橋接続する場所は第１図のように１箇所に限る必要はな
く、２以上の複数個でありても差し支えはない。一般に
一辺が５鵡以上の部品は２以上の架橋部を設定し、薄板
に保持され、エツチングの後工程である剥離や附属品の
附加作業に便利で、かつ省力化を必要とする場合に採用
される。
橋接続する場所は第１図のように１箇所に限る必要はな
く、２以上の複数個でありても差し支えはない。一般に
一辺が５鵡以上の部品は２以上の架橋部を設定し、薄板
に保持され、エツチングの後工程である剥離や附属品の
附加作業に便利で、かつ省力化を必要とする場合に採用
される。
複数の架橋部は一直線上又は対称的に配置されることは
必要でなく、自由な位置に設定してよい。この架橋部で
保持された薄板内の蝕部品は必要に応じ分離し、個別品
として取シ扱いやすくする工程がある。
必要でなく、自由な位置に設定してよい。この架橋部で
保持された薄板内の蝕部品は必要に応じ分離し、個別品
として取シ扱いやすくする工程がある。
第７図において２０と２１の電極を、例えば薄板周辺部
１１と蝕部品１０の上にのせる。下面７１は絶縁体であ
る。のせる位置は厳密に考えなくてよいが架橋部に近い
ことは好ましい事である。しかし、架橋部が複数個であ
って電極数を節約したい場合で、電流通路断面が充分で
ある時は電極面を広げたシして中央付近−個所に置くの
も一つの案であって実験の結果側等の障害も生じなかっ
た。電極間にかける電圧は５〜１０ｖの直流又は交流で
、交流周波数は５０Ｈｚ等商用周波数でよい。
１１と蝕部品１０の上にのせる。下面７１は絶縁体であ
る。のせる位置は厳密に考えなくてよいが架橋部に近い
ことは好ましい事である。しかし、架橋部が複数個であ
って電極数を節約したい場合で、電流通路断面が充分で
ある時は電極面を広げたシして中央付近−個所に置くの
も一つの案であって実験の結果側等の障害も生じなかっ
た。電極間にかける電圧は５〜１０ｖの直流又は交流で
、交流周波数は５０Ｈｚ等商用周波数でよい。
しかし、溶断付近の形状が盛上がったり加熱変形するの
を防止するには、直流ならコンデンサ一方式や電流特性
の制御をする方式の方が好ましい。交流の場合は微細薄
物品の場合５０Ｈｚ以上にする必要もある。これはパル
ス電流矩形波など波形コントロールし、更にパルス数を
制限して行なう。架橋部が一つてなく複数である場合、
特に必要になる。切断部の空隙が小さい時の再スパーク
を防止できる。
を防止するには、直流ならコンデンサ一方式や電流特性
の制御をする方式の方が好ましい。交流の場合は微細薄
物品の場合５０Ｈｚ以上にする必要もある。これはパル
ス電流矩形波など波形コントロールし、更にパルス数を
制限して行なう。架橋部が一つてなく複数である場合、
特に必要になる。切断部の空隙が小さい時の再スパーク
を防止できる。
材質はステンレス銅合金その他金属板ならどれでも可能
である。
である。
かくして、架橋部に流された電流によるジュール熱が架
橋部の最細部分で加速度的に発熱昇温し最細部から溶断
する。
橋部の最細部分で加速度的に発熱昇温し最細部から溶断
する。
ここで一つの工夫がなされた。この溶断作業は大気中で
行なうと大気中の酸素を吸い、金属表面が酸化し、金属
酸化物を作ったり変色したりして、微小な部分であるが
超精密品としては好ましくない事がある。本発明者は、
この絶縁板と薄板を不活性ガス、例えばアルゴンや炭酸
ガス中に置いて、行なってみた”。
行なうと大気中の酸素を吸い、金属表面が酸化し、金属
酸化物を作ったり変色したりして、微小な部分であるが
超精密品としては好ましくない事がある。本発明者は、
この絶縁板と薄板を不活性ガス、例えばアルゴンや炭酸
ガス中に置いて、行なってみた”。
これでも充分酸化防止が行なわれる。更に一般水道水中
や有機溶剤例えば、アルコールに少量の水や四塩化炭素
を加えた引火性の、ないもの、・又はトリクレン等、冷
却性を有するものを各種とりあげこの液中で通電による
溶断分離テストを行ったところ、溶断部の盛シ上がりの
少ない、又酸化等の無い蝕部品を得ることができた。
や有機溶剤例えば、アルコールに少量の水や四塩化炭素
を加えた引火性の、ないもの、・又はトリクレン等、冷
却性を有するものを各種とりあげこの液中で通電による
溶断分離テストを行ったところ、溶断部の盛シ上がりの
少ない、又酸化等の無い蝕部品を得ることができた。
水道水とは電導性が多少あっても差しつかえないという
ことであシ、勿論純水であってもよい。しかし、酸、ア
ルカリの添加は好ましくないが、還元性を持たせるため
材質によっては、アルカリ性なら微かに入れた方が良い
場合もあった。
ことであシ、勿論純水であってもよい。しかし、酸、ア
ルカリの添加は好ましくないが、還元性を持たせるため
材質によっては、アルカリ性なら微かに入れた方が良い
場合もあった。
テストにアルコール中に混入した水、又は四塩化炭素の
量は１５〜６０％である。四塩化炭素の混入は分散剤を
入れるとよい。このような冷却性のある液中溶断は架橋
最小部の溶断の盛り上がりを減らし、酸化を防止するの
みで ４゜なく、溶断が強すぎた場合など溶断火花状飛
沫が飛び散った場合は、その溶断飛沫が近傍に落ちても
蝕部品に再溶着する心配はない。
量は１５〜６０％である。四塩化炭素の混入は分散剤を
入れるとよい。このような冷却性のある液中溶断は架橋
最小部の溶断の盛り上がりを減らし、酸化を防止するの
みで ４゜なく、溶断が強すぎた場合など溶断火花状飛
沫が飛び散った場合は、その溶断飛沫が近傍に落ちても
蝕部品に再溶着する心配はない。
大気中で行った作業には応々にして再溶着する事があっ
た。これは複数個の架橋部の断面積及び形状に差異があ
った場合に発生する。
た。これは複数個の架橋部の断面積及び形状に差異があ
った場合に発生する。
又、通電継続中に１つ目の架橋部が溶断し、２つ目以降
の溶断に入った時、電流値の増大や過渡現象によって発
生する。溶媒中の作業は、架橋部を手際よく溶断分離し
、酸化、変色を防止するのに効果がある。架橋部最小断
面が必要以上に大きいと火花が飛びやすぐ、発熱に時間
がかかシ酸化、変色もしやすい。
の溶断に入った時、電流値の増大や過渡現象によって発
生する。溶媒中の作業は、架橋部を手際よく溶断分離し
、酸化、変色を防止するのに効果がある。架橋部最小断
面が必要以上に大きいと火花が飛びやすぐ、発熱に時間
がかかシ酸化、変色もしやすい。
従って、架橋部の断面積は（Ｌ１ｍ以下であるのが好ま
しい。
しい。
以上の説明で判るように、本発明によれば簡潔にエツチ
ングによる蝕刻部品を、薄板より変形、変色、内部歪を
発生することなく分離することが出来る。
ングによる蝕刻部品を、薄板より変形、変色、内部歪を
発生することなく分離することが出来る。
第１図は、金属薄板に所定パターンをエツチングした後
の状態を示す斜視図である。 第２図は、架橋部を溶断分離するため、金属薄板の蝕部
品と周辺不要部分との間に通電している状態を示す概略
図である。 第５図は、架橋部の拡大平面図である。 第４図、第５図、第６図は、従来技術による切断方法を
示す概略図である。 第７図は本発明の方法を示す他の概略図である。 １０・・・・・・・・・・・・蝕部品 １１・・・・・・・・・・・・周辺不要部１２・・・・
・・・・・・・・隣接する蝕部品１３・・・・・・・・
・・・・架橋部 ２０、２１・・・・・・電極
の状態を示す斜視図である。 第２図は、架橋部を溶断分離するため、金属薄板の蝕部
品と周辺不要部分との間に通電している状態を示す概略
図である。 第５図は、架橋部の拡大平面図である。 第４図、第５図、第６図は、従来技術による切断方法を
示す概略図である。 第７図は本発明の方法を示す他の概略図である。 １０・・・・・・・・・・・・蝕部品 １１・・・・・・・・・・・・周辺不要部１２・・・・
・・・・・・・・隣接する蝕部品１３・・・・・・・・
・・・・架橋部 ２０、２１・・・・・・電極
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属薄板に所定パターンをエッチングした後、主部
たる蝕刻品と従たる薄板上の不要部品との間に形成され
た架橋部と、主部たる蝕刻品相互間に形成された架橋部
とに直流又は交流又は制御された波形電流を流し、それ
によって架橋部を溶断分離することを特徴とするエッチ
ング部品の製造方法。 ２、架橋部の断面積が０．１ｍｍ＾２以下となるように
エッチングし、架橋部の溶断作業中、エッチングされた
金属薄板を不活性ガス、水道水、純水、及び有機溶剤の
群から選択された酸化防止性媒体中に置くこと、を特徴
とする特許請求の範囲第１項に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23960585A JPS62101385A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | エツチング部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23960585A JPS62101385A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | エツチング部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62101385A true JPS62101385A (ja) | 1987-05-11 |
Family
ID=17047235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23960585A Pending JPS62101385A (ja) | 1985-10-28 | 1985-10-28 | エツチング部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62101385A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05293667A (ja) * | 1992-04-16 | 1993-11-09 | Fuchiyuu Seisakusho:Kk | プレス加工後の製品の切り離し方法 |
| EP1018389A3 (en) * | 1999-01-08 | 2004-02-11 | Daisy s.r.l. | Procedure for the separation of microfused pieces from their support and means for carrying out the procedure |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS573669U (ja) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 |
-
1985
- 1985-10-28 JP JP23960585A patent/JPS62101385A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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| JPS573669U (ja) * | 1980-06-09 | 1982-01-09 |
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