JPS62102943A - 駆動テ−ブル装置 - Google Patents
駆動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS62102943A JPS62102943A JP23980285A JP23980285A JPS62102943A JP S62102943 A JPS62102943 A JP S62102943A JP 23980285 A JP23980285 A JP 23980285A JP 23980285 A JP23980285 A JP 23980285A JP S62102943 A JPS62102943 A JP S62102943A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- drive member
- drive
- air
- moved
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/12—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine
- B23Q11/126—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only
- B23Q11/128—Arrangements for cooling or lubricating parts of the machine for cooling only for cooling frame parts
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/28—Electric drives
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、たとえば半導体製造Ｒ器、測定機器等の移動
テーブルに適用される駆動テーブル装置の改良に関する
。
テーブルに適用される駆動テーブル装置の改良に関する
。
〔発明の技術的背景とその問題点］
従来、直線的にテーブルが移動する駆動テーブル装置は
、大別すると次のような駆動系を採用した構成となって
いる。すなわち、 （ａ） 回転モータの駆動力を、ナラ１〜部材が螺合
されている送りねじ（ボールねじ、アクタ）に伝えるこ
とにより、上記ナツト部材を直線移動させ、これと一体
的なテーブルに伝達させるもの。
、大別すると次のような駆動系を採用した構成となって
いる。すなわち、 （ａ） 回転モータの駆動力を、ナラ１〜部材が螺合
されている送りねじ（ボールねじ、アクタ）に伝えるこ
とにより、上記ナツト部材を直線移動させ、これと一体
的なテーブルに伝達させるもの。
（ｂ） 回転モータの駆動力を、ワイヤーが掛渡され
たブーりに伝えることにより、上記ワイヤーを軸芯方向
に沿って移動させ、これと一体的なテーブルに伝達させ
るもの。
たブーりに伝えることにより、上記ワイヤーを軸芯方向
に沿って移動させ、これと一体的なテーブルに伝達させ
るもの。
（Ｃ） リニアモータあるいは各種シリンダ等の直進
アクチュエータの動きをテーブル（こ伝達させるもの。
アクチュエータの動きをテーブル（こ伝達させるもの。
等がある。
しかしながら、（ａ）の駆動基を採用したちのは、ねじ
送りのため撮動がナツト部材を通してテーブルに伝わり
、高い移動精度が得られない。
送りのため撮動がナツト部材を通してテーブルに伝わり
、高い移動精度が得られない。
（ｂ）の駆動系を採用したものは、ワイヤーの伸びによ
り高い移動精度が得られない。（Ｃ）の駆動系を採用し
たものの内、シリンダの場合は、ステックスリップを生
じるので高い移動精度が得られず、また、リニアモータ
の場合は、振動が発生せず、しかも直進するのでテーブ
ルに外乱を与えないなどの利点がある反面、発熱量が多
くテーブルが変形してしまい、高い移動精度が得られな
い等の問題がある。
り高い移動精度が得られない。（Ｃ）の駆動系を採用し
たものの内、シリンダの場合は、ステックスリップを生
じるので高い移動精度が得られず、また、リニアモータ
の場合は、振動が発生せず、しかも直進するのでテーブ
ルに外乱を与えないなどの利点がある反面、発熱量が多
くテーブルが変形してしまい、高い移動精度が得られな
い等の問題がある。
このように、従来の駆動テーブル装置は、高い移＠精度
が得られず、半導体製造機器、計測機器等のサブミクロ
ン以下の高い移動精度が要求される場合には、別途誤差
補正機構を必要とするといった問題がある。
が得られず、半導体製造機器、計測機器等のサブミクロ
ン以下の高い移動精度が要求される場合には、別途誤差
補正機構を必要とするといった問題がある。
本発明は、上記事情に基づきなされたもので、その目的
とするところは、別途誤差補正機構などを用いることな
く、高い移動精度が得られるようにした駆動テーブル装
置を提供しようとするものである。
とするところは、別途誤差補正機構などを用いることな
く、高い移動精度が得られるようにした駆動テーブル装
置を提供しようとするものである。
本発明は、上記目的を達成すべく、テーブルと、このテ
ーブルにカップリングを介して連結された駆動部材と、
この駆動部材および前記テーブルを直線的に移動自在に
案内する案内手段と、この案内手段により移動自在に案
内された前記駆動部材に直線的駆動力を付与するリニア
モータと、前記駆動部材に取付けられ前記テーブル方向
から駆動部材側に向けて空気を吹付けることによりリニ
アモータを空冷する空気吹付は手段とを具備した構成と
し、リニアモータの発熱源である駆動コイルをテーブル
とは別部材の駆動部材に取付けるとともに空気のシャワ
ーによってテーブルと逆方向に熱を放出して熱影響をな
くすことにより、リニアモータの問題点を除去し、しか
も、′同一の案内手段に゛よって直線移動自在に案内す
るようにしてリニアモータにより生じる推力の内、テー
ブルの移動方向ベクトルと異なる力をすへて駆動部材で
吸収する構成とすることによりテーブルを高精度で移動
できるようにしたものである。
ーブルにカップリングを介して連結された駆動部材と、
この駆動部材および前記テーブルを直線的に移動自在に
案内する案内手段と、この案内手段により移動自在に案
内された前記駆動部材に直線的駆動力を付与するリニア
モータと、前記駆動部材に取付けられ前記テーブル方向
から駆動部材側に向けて空気を吹付けることによりリニ
アモータを空冷する空気吹付は手段とを具備した構成と
し、リニアモータの発熱源である駆動コイルをテーブル
とは別部材の駆動部材に取付けるとともに空気のシャワ
ーによってテーブルと逆方向に熱を放出して熱影響をな
くすことにより、リニアモータの問題点を除去し、しか
も、′同一の案内手段に゛よって直線移動自在に案内す
るようにしてリニアモータにより生じる推力の内、テー
ブルの移動方向ベクトルと異なる力をすへて駆動部材で
吸収する構成とすることによりテーブルを高精度で移動
できるようにしたものである。
以下、本発明の一実施例を図面を参照して説明する。
第１図は全体構成を概略的に示すもので、図中１はテー
ブルであり、２はこのテーブル１にカップリング３を介
して連結された駆動部材である。
ブルであり、２はこのテーブル１にカップリング３を介
して連結された駆動部材である。
これら、テーブル１Ｊ５よび駆動部材２は、案内手段４
を介して直線的に移動自在に案内された構成となってい
る。すなわち、テーブル１および駆動部材２は、気体軸
受５・・・を介して並設された案内レール６．６に取付
けられた状態となっており、これらテーブル１および駆
動部材２は案内レール６．６に沿って直線的かつ非接触
状態で移動自在となっている。この状態では、上記テー
ブル１および駆動部材２は、互いに連結され、しかも同
一の案内レール６．６上に載っているので、同一方向の
ｔ１進移動精度が維持できる。
を介して直線的に移動自在に案内された構成となってい
る。すなわち、テーブル１および駆動部材２は、気体軸
受５・・・を介して並設された案内レール６．６に取付
けられた状態となっており、これらテーブル１および駆
動部材２は案内レール６．６に沿って直線的かつ非接触
状態で移動自在となっている。この状態では、上記テー
ブル１および駆動部材２は、互いに連結され、しかも同
一の案内レール６．６上に載っているので、同一方向の
ｔ１進移動精度が維持できる。
また、駆動部材２には、直進駆動源としてのリニアモー
タ７により直線的な駆動力が付与されるようになってい
る。すなわら、駆動部材２には、館記案内レール６．６
と平行になるよう定盤に固定されたセンタヨーク８と、
永久磁石９．サイドヨーク１０とに挟まれた駆動コイル
１１が取付けられている。
タ７により直線的な駆動力が付与されるようになってい
る。すなわら、駆動部材２には、館記案内レール６．６
と平行になるよう定盤に固定されたセンタヨーク８と、
永久磁石９．サイドヨーク１０とに挟まれた駆動コイル
１１が取付けられている。
また、前記テーブル１の方向から駆動部材２側に向けて
空気を吹付けることにより、リニアモータ７を空冷する
空気吹付は手段１２が設けられており、テーブル１への
熱影響を防止するようになっている。すなわち、駆動部
材２のテーブル１側の端面部には、第２図に示すように
、多数の空気噴出孔１３ａ・・・を有した冷月１板１３
が取付けられており、図示しない空気発生源から送られ
る空気をリニアモータ７の熱発生源であるところの駆動
コイル１１にシャワー状に吹付け、熱を反テーブル１側
に放出する構成となっている。
空気を吹付けることにより、リニアモータ７を空冷する
空気吹付は手段１２が設けられており、テーブル１への
熱影響を防止するようになっている。すなわち、駆動部
材２のテーブル１側の端面部には、第２図に示すように
、多数の空気噴出孔１３ａ・・・を有した冷月１板１３
が取付けられており、図示しない空気発生源から送られ
る空気をリニアモータ７の熱発生源であるところの駆動
コイル１１にシャワー状に吹付け、熱を反テーブル１側
に放出する構成となっている。
なお、第１図に示す１４・・・は案内レールの両端部を
支承するレール支持部材である。
支承するレール支持部材である。
しかして、リニアモータ７に通電すると、り二ア［−夕
７によって発生する推力は、カップリング３を介してテ
ーブル１と連結された状態にある駆動部材２に伝達され
、テーブル１が駆動部材２とともに案内レール６．６上
を直線移動する。そして、リニアモータ７への通電をコ
ントロールすることにより、前記テーブル１を所定位置
に移動させることになる。
７によって発生する推力は、カップリング３を介してテ
ーブル１と連結された状態にある駆動部材２に伝達され
、テーブル１が駆動部材２とともに案内レール６．６上
を直線移動する。そして、リニアモータ７への通電をコ
ントロールすることにより、前記テーブル１を所定位置
に移動させることになる。
この時、リニアモータ７によって生じる推力の内、テー
ブル１の移動方向ベクトルと異なる力は、全て駆動テー
ブル２によって吸収されるためにテーブル１は高精度な
移動ができる。
ブル１の移動方向ベクトルと異なる力は、全て駆動テー
ブル２によって吸収されるためにテーブル１は高精度な
移動ができる。
さらに、駆動部材２には、リニアモータ７と対向して冷
却板１３が取付けられ、空気噴出孔１３ａ・・・がら空
気が噴出される。このときの空気のシャワーによってリ
ニアモータ７によって生じる発熱は、テーブル１と逆方
向に放出され、テーブル１へのｉ影響を防止できること
になる。
却板１３が取付けられ、空気噴出孔１３ａ・・・がら空
気が噴出される。このときの空気のシャワーによってリ
ニアモータ７によって生じる発熱は、テーブル１と逆方
向に放出され、テーブル１へのｉ影響を防止できること
になる。
なお、上記実施例によれば、リニアモータ７の発熱源で
ある駆動コイル１１をテーブル１とは別部材である駆動
部材２に取付けるとともに空気のシャワーによってテー
ブル１と逆方向に熱を放出するようにしたから、駆動コ
イル１１の熱がテーブル１に伝達するのを防止でき、テ
ーブル１の熱変形を防止できる。
ある駆動コイル１１をテーブル１とは別部材である駆動
部材２に取付けるとともに空気のシャワーによってテー
ブル１と逆方向に熱を放出するようにしたから、駆動コ
イル１１の熱がテーブル１に伝達するのを防止でき、テ
ーブル１の熱変形を防止できる。
また、駆動コイル１１を備えた駆動部材２がテーブル１
と同一案内レール６．６上に載っているので、駆動コイ
ル１１の力の中で、テーブル１を直進させる成分のみ伝
達でき、安定した移動動作が行なえるとともに別にした
ものに比べ小型化できる。
と同一案内レール６．６上に載っているので、駆動コイ
ル１１の力の中で、テーブル１を直進させる成分のみ伝
達でき、安定した移動動作が行なえるとともに別にした
ものに比べ小型化できる。
なお、上述の一実施例において、案内手段４として気体
軸受５を用いたものについて説明したが本発明は、これ
に限らず、たとえば、コロ軸受、クロスローラ軸受、ず
ぺり軸受等であってもよい。
軸受５を用いたものについて説明したが本発明は、これ
に限らず、たとえば、コロ軸受、クロスローラ軸受、ず
ぺり軸受等であってもよい。
その他、本発明は本発明の要旨を変えない範囲で種々変
形実施可能なことは勿論である。
形実施可能なことは勿論である。
（発明の効果）
本発明は以上説明したように、テーブルと、このテーブ
ルにカップリングを介して連結された駆動部材と、この
駆動部材および前記テーブルを直線的に移動自在に案内
する案内手段と、この案内手段により移動自在に案内さ
れた前記駆動部材に直線的駆動力を付与するリニアモー
タと、前記駆動部材に取付けられ前記テーブル方向から
駆動部材側に向けて空気を吹付けることによりリニアモ
ータを空冷する空気吹付は手段とを具漏した構成とし、
リニアモータの発熱源である駆動コイルをテーブルとは
別部材の駆動部材に取付けるとともに空気のシャワーに
よってテーブルと逆方向に熱を放出して熱影響をなくす
ことにより、リニアモータの問題点を除去し、しかも、
同一の案内手段によって直線移動自在に案内するように
してリニアモータにより生じる推力の内、テーブルの移
動方向ベクトルと異なる力をすべて駆動部材で吸収する
構成とすることによりテーブルを高精度で移動できるよ
うにしたものである。したが、って、別途誤差補正機構
などを用いることなく、高い移動精度が得られるように
した駆動テーブル装置を提供でさるといった効果を奏す
る。
ルにカップリングを介して連結された駆動部材と、この
駆動部材および前記テーブルを直線的に移動自在に案内
する案内手段と、この案内手段により移動自在に案内さ
れた前記駆動部材に直線的駆動力を付与するリニアモー
タと、前記駆動部材に取付けられ前記テーブル方向から
駆動部材側に向けて空気を吹付けることによりリニアモ
ータを空冷する空気吹付は手段とを具漏した構成とし、
リニアモータの発熱源である駆動コイルをテーブルとは
別部材の駆動部材に取付けるとともに空気のシャワーに
よってテーブルと逆方向に熱を放出して熱影響をなくす
ことにより、リニアモータの問題点を除去し、しかも、
同一の案内手段によって直線移動自在に案内するように
してリニアモータにより生じる推力の内、テーブルの移
動方向ベクトルと異なる力をすべて駆動部材で吸収する
構成とすることによりテーブルを高精度で移動できるよ
うにしたものである。したが、って、別途誤差補正機構
などを用いることなく、高い移動精度が得られるように
した駆動テーブル装置を提供でさるといった効果を奏す
る。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は概略的
斜視図、第２図は要部の斜視図である。 １・・・テーブル、２・・・駆動部材、３・・・カップ
リング、４・・・案内手段、７・・・リニアモータ、１
１・・・駆＃Ｊコイル、１２・・・空気吹付は手段。
斜視図、第２図は要部の斜視図である。 １・・・テーブル、２・・・駆動部材、３・・・カップ
リング、４・・・案内手段、７・・・リニアモータ、１
１・・・駆＃Ｊコイル、１２・・・空気吹付は手段。
Claims (2)
- （１）テーブルと、このテーブルにカップリングを介し
て連結された駆動部材と、この駆動部材および前記テー
ブルを直線的に移動自在に案内する案内手段と、この案
内手段により移動自在に案内された前記駆動部材に直線
的駆動力を付与するリニアモータと、前記駆動部材に取
付けられ前記テーブル方向から駆動部材側に向けて空気
を吹付けることによりリニアモータを空冷する空気吹付
け手段とを具備してなることを特徴とする駆動テーブル
装置。 - （２）空気吹付け手段が、駆動部材に取着されたリニア
モータの駆動コイルを空冷するものであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の駆動テーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23980285A JPS62102943A (ja) | 1985-10-26 | 1985-10-26 | 駆動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23980285A JPS62102943A (ja) | 1985-10-26 | 1985-10-26 | 駆動テ−ブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62102943A true JPS62102943A (ja) | 1987-05-13 |
| JPH0133295B2 JPH0133295B2 (ja) | 1989-07-12 |
Family
ID=17050076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23980285A Granted JPS62102943A (ja) | 1985-10-26 | 1985-10-26 | 駆動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62102943A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160307189A1 (en) * | 2011-10-17 | 2016-10-20 | Capital One Services, LLC. | System, method, and apparatus for a dynamic transaction card |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928436U (ja) * | 1982-08-13 | 1984-02-22 | フアナツク株式会社 | 工作機械の駆動装置 |
-
1985
- 1985-10-26 JP JP23980285A patent/JPS62102943A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5928436U (ja) * | 1982-08-13 | 1984-02-22 | フアナツク株式会社 | 工作機械の駆動装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20160307189A1 (en) * | 2011-10-17 | 2016-10-20 | Capital One Services, LLC. | System, method, and apparatus for a dynamic transaction card |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0133295B2 (ja) | 1989-07-12 |
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