JPS62103702A - 機械プロセスのコンピユ−タ制御システム及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は一般に機械プロセスのコンピュータ制御シテ
スム及び方法に関し、特にプロセスの選択と、機械によ
るプロセスの性能を指示するためコンピュータ制御プロ
グラムによって使われるオペレーティングパラメータの
定義及び選択とのためのメニュー式方法を含んだコンピ
ュータ制御シテスム及び方法に関する。

（従来の技術） 体ウェハのシート抵ｒマツプ作成の重　性この明細書に
記す発明は、各種の生産または試験プロセスを行なうコ
ンピュータ制御式機械へ一般に適用し得る。その他、デ
ータ収集及びデータベースの管理プログラムにも適用で
きる。しかしながら、発明の詳細な説明は、半導体ウェ
ハのシート抵抗マツプ作成を行なうための自動抵抗率テ
スターの制御について述べる。このテスターは、例えば
大規模集積回路等の半導体素子を製造するプロセスの一
部として所定の目標導電率値の表面層を形成するのに使
われる半導体ウェハ製造装置の性能特徴を求めるのに用
いられる。

この発明によって制御される自動抵抗率テスターの好ま
しい例は、係属中で本出願人が譲受した１９８５年４月
２４日付提出の米国特許出願魚７２６．４９８、「半導
体ウェハ試験用装置及び方法」に開示されている。同特
許の開示内容は、参照付けによって本明細書中に含まれ
るものとする。この発明の利点を実証するための背景環
境としてそのようなコンピュータ制御式試験装置を採り
上げることは、この発明を非常に意義あるものとして適
用できる工場自動化の領域を含め、多（の領域における
科学技術の発展に対して持つ半導体産業の重要性のため
特に有意義である。半導体産業において自動抵抗率試験
が持つ全般的な重要さを理解するためには、上記係属中
の米国特許出願に記された業界の現況及びイオン注入さ
れた半導体ウェハについて自動抵抗率試験を行なうこと
の重要性に関する背景の情報を参照されたい。

半導体ウェハを横切る注入量の正確さと一様性は、輪郭
マツプモードと直径走査モードの両方で複数の試験値読
取りを可能とする自動シート抵抗率マツプ作成システム
で求められる。注入半導体試験ウェハ上のさまざまな所
定の試験位置でシート抵抗率測定を行なうのに、列状の
４点プローブを使うことは従来周知である。シート抵抗
率マツプ作成及びかかる試験方法の理論と結果は、参照
付けによって本明細書に含まれるものとする下記の論文
及び刊行物で詳しく論じられている。

Ｄ、Ｓ、Ｐｅｒｌｏｆｆ等、「イオン注入装置の量の精
度のドーピングの一様性Ｊ、５ｏｌｉｄ　５ｔａｔｅ　
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、１９８１年２月、ｐｐ、１１２
〜１２０；Ａｄｒｅｗ　Ｂ、Ｗｉｔｔｂｏｗｅｒ　ｓ　
　ｒイオン注入装置の設計が注入物の一様性に及ぼす影
響Ｊ　、５ｏｌｉｄ　ＳｔａｔｅＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
、１９８２年９月、ｐｐ、７７〜８１゜Ｄａｖｉｄ　Ｓ
、Ｐｅｒｌｏｆｆ　、　　ｒ大径ドープ半導体ウェハの
測定に用いる４点プローブの補正因子」、Ｊｏｕｒｎａ
ｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍｉｃａｌ　
５ｏｃｉｅｔｙ：５ｏｌｉｄ−５ｔａｔｅ　５ｃｉｅｎ
ｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ、　１９７６年１
１月、ｐｐ、１７４５〜１７５０；及び り、Ｓ、Ｐｅｒｌｏｆｆ等、「半導体処理において輪郭
マツプが示す非一様性Ｊ　、５ｏｌｉｄ　５ｔａｔｅ　
Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ。

１９７７年２月。

第１図は、ウェハの一様でない注入のパターンを示す輪
郭マツプのプリントアウトを示す。太い輪郭線がウェハ
の平均抵抗率値を表わしている。

細い輪郭線は、平均値と比べ前もって設定された比率だ
け異る領域の輪郭を示している。＋と−の記号は、抵抗
率値がそれぞれ平均値より大及び小である試験サイト（
箇所）を表わす、第２図は、同じウェハ上における２つ
の直径方向走査のプリントアウトを示している。同図で
は、実抵抗率値がウェハの直径に沿った試験サイトの位
置を関数としてプロットしである。これらの試験とプリ
ントアウトから、プロセスに従事しているエンジニアは
、イオン注入装置が正しく動作しているかどうかを判定
できる。抵抗率試験における診断能力のｉ！ｉ論は、上
記の論文に含まれている。

係属中で本出願人が譲受した１９８５年２月２２日提出
の米国特許出願、「抵抗率試験用装置及び方法」には、
半導体ウェハの導電性表面層について４点プローブ式の
シート抵抗率測定を行なう際に、向上した精度で抵抗率
のテストプローブを配向させる新規な構成が開示されて
いる。同特許出願の明細書は、参照付けによりこ＼に含
まれるものとする。

自動抵抗率テスター等の試験装置の使用を促進するため
には、エンジニアが有意義なデータを与えるプロセス内
でモニター測定を行なうのを容易とするテスター用の全
体的コンピュータ制御プログラムを提供するのが重要で
ある。また、制御プログラムを簡単にし、オペレータが
信頼度と一貫性を持って有意義なデータを生じるように
することも重要である。エンジニアとオペレータ両方に
とって便利さと信頼度が、自動プロセス制御及び試験の
全産業における採用を広げるための重要なキーである。

従来のコンピュータ制御方法 当該分野では、種々のタスクを行なう能力または同じタ
スクを種々の方法で行なう能力を持った各種機械類の動
作を制御するのに、プログラム式デジタルコンピュータ
を用いることが標準的な方法となってきた。デジタルマ
イクロコンピュータ技術のコスト低減に伴い、例えば家
電製品のメーカは、電子レンジ、皿洗い機等の機能を制
御するため専用のマイクロコンピュータを使うようにな
ってきた。これらの家電類は比較的わずかなタスクを実
施するもので、温度と時間等比較的わずかなパラメータ
を入力すればよいので、パラメータの入力は一般に機械
に装備され特別に構成されたキーボードを使ってなされ
る。全パラメータの入力によって設定されるオペレータ
制御タスクの他、そのような家電類は一般に、オペレー
タにより１つのアイテムまたはコード番号の入力によっ
て、前もって決められたプロセスのメニューから選択さ
れる一群の所定パラメータセットを有する。

産業機械類のコンピュータ制御は一般に、もっと複雑な
プロセスのセットと、選択したプロセスを実行するため
機械に入力されねばならないもっと多くのパラメータを
含んでいる。この複雑さのため、所望のプロセスを有効
に実施するための機械のセットアンプは通常、システム
の全機能及びプロセスパラメータと機械のプロセス制御
プログラムとの対話に通じたエンジニアによって行なわ
れる。もっと進んだ設計のシステムでは、プロセスの選
択とパラメータの入力を指示する一連の異ったメニュー
つまり指示メツセージをエンジニアに与える機械制御プ
ログラムによって、上記のエンジニアリングセットアツ
プが容易化されている。

これらのメニューつまり指示メツセージは一般に、個々
に順次与えられる。多数のメニュー画面が必要な状況で
は、１つの画面上におけるプロセスまたはパラメータ値
の選択が、数画面異ったそれより以前もしくは以後の選
択で影響されることがある。従ってエンジニアリングセ
ットアツプの動作は、全体として有効で一貫したプロセ
スの選択及びパラメータの入力が各画面レベルで達成で
きるように、画面間で連続的なページ戻し及び送りを行
ない、選んだプロセスまたは先に入力したパラメータを
チェックする必要がある。

大部分のコンピュータ制御機械におけるエンジニアリン
グセットアンプの複雑さと不便さが、高度技術会社の高
度技術を身につけたエンジニアを除き、それらの使用を
控えさせる傾向にある。またこうしたシステムを使う場
合でも、オペレータ命令を書く必要がフラストレーショ
ンを招き、例えば利益をもたらす技術の普及を妨げてい
る傾向もある。

エンジニアリングセットアツプの実施後、どのプロセス
を選択するか及びどの特定パラメータのどの特定値を入
力するかに関する所定の書いた命令を与えられたオペレ
ータによって、機械の実際の動作が行なわれる。すなわ
ちオペレータは、プロセスとコンピュータに指示して機
械の性能を制御する関連のパラメータ値とを選ぶのに必
要な実験を行なってから、−組の所定の命令に従って正
しいプロセスを選び、必要な全てのパラメータ値を入力
しなければならない。これを行なう際、オペレータは一
般にエンジニアが使ったのと同じ画面セットを用いるが
、入力すべきパラメータ値は命令シートに記されている
。オペレータが重要なパラメータについて間違った１）
ｊｌの命令を使ったり、正しくない値を入力すると、機
械は選ばれたプロセスを正し〈実施しない。制御すべき
機械によって、さるざまな種類及び程度の損傷が生じる
結果となる。不注意や適切な相互連絡または訓練の不足
によるオペレータのエラーは、自動プロセス制御の効率
と価値を減じる大きな因子である。

上記方法の変形例として、従来のコンピュータ制御機械
には、１つの特定プロセスを実行するのにエンジニアに
よって選択されるパラメータ値を記憶するための非揮発
性記憶媒体を備えたものもある。こうすればオペレータ
は、実施すべき適切なプロセスに該当する記憶媒体に簡
単にアクセスして、機械のプロセス実施をスタートさせ
られる。

この方法はよりミスの少い自動的なパラメータの入力（
オペレータが正しい記憶媒体を選択）を与えるが、非常
に変わり易く、プロセスの実行直前に入力するのが最も
好都合である幾つかのパラメータについて自由なオペレ
ータ入力を与えない。

また、プロセス全体の追跡のために入力するのが好まし
いデータ項目を入力できない。

従来のウェハ抵打率テスターのシステム　び　法従来の
システムに存在する代表的な制限を示すため、従来のコ
ンピュータ制御式抵抗率試験システムの特徴と性能を次
に説明する。

Ｐｒｏｍｅｔｒｉｘの商標“Ｏｎ＋ｎｉｍａｐ　　（オ
ムニマツプ）”で市販され型式Ｎ１１ｌｌのこの従来シ
ステムは、エンジニア／オペレータ組合せモジュー）Ｌ
ｔ、−Ｍｌのプロセス制御プログラム、及び抵抗率テス
ター２２を具備する。第１．２及び３表に、従来のＯｍ
ｎｉｍａｐシステムで発生される３つのコンピュータ表
示画面を示す。

従来のＯｍｎｉｍａｐシステムでは、第１表に示したよ
うなメニューを使って、システムのオペレータがタスク
を選択できる。タスクは画面上に見えるポインタ（第１
表中右向きの矢印で示す）を所望のメニュータスク項目
に移動させた後、コンピュータのキーボード上の入力（
ＢＮＴＨＲ）キーを押すことによって選ばれる。

従来の抛ｎｉｍａｐシステムのメニューで使えるタスク
には、生産環境下でオペレータによって使われる輪郭デ
ータ収集等のオペレータタスクと、ディスク保守タスク
等のエンジニアセットアツプタスクの両方が含まれてい
る。

第２表を参照すると、従来のＯｍｎｉｍａｐシステムへ
のパラメータ入力は、ディスプレイ最下の状態（ＳＴＡ
ＴＵＳ）　ライン上に表示されるメツセージに応じ、パ
ラメータ値をキーボード入力することで行なわれる。つ
まり、メツセージ“オペレータ（Ｑｐｅｒａｔｅｒ）”
が現われると、オペレータは自分の名前をタイプ入力す
る。各パラメータ値は入力されると、ディスプレイ画面
上に表示される。第２表においてディスプレイは、オペ
レータ（ＯＰＥＲＡＴＯＲ）及びシフｌ−（ＳＨＩＦＴ
）パラメータ値がすでに入力されており、サイト数（Ｎ
ＵＭＢＥＲＯＦ　５ＩＴＥＳ）パラメータが入力プロセ
ス中である状態を示している。

シフト（ＳＨＩＦＴ）等の一部のパラメータは複数の所
定値のうち１つだけを取る得る（例えば昼間（ＤＡＹ）
、夜間（ＳＷＩＮＧ）または深夜（ＮＩＧＨＴ）等）。

従来の抛ｎｉｍａｐシステムの場合、このようなパラメ
ータの値は選択キー（キーボード３７上の下向き矢印の
カーソルキー等）を用い、前もって定められた応答を介
し切換えることによって入力される。適切なパラメータ
値が状Ｂ　（ＳＴＡＴｔｌＳ）ライン上に現われたら、
オペレータが入力（ｆｉＮＴＥＲ）キーを押してそのパ
ラメータ値を選ぶ、このパラメータ値入力法は、サイト
数パラメータを含む幾つかのパラメータに対して使われ
る。

第３表を参照すれば、選んだプロセスの全パラメータ値
が入力されると、全ての入力パラメータ値が表示され、
オペレータへの命令が状態（ＳＴＡＴ（Ｉｓ）ラインに
表示される。一般的な命令には次のものが含まれる：所
望の試験が実施されるように、抵抗率テスター上の幾つ
かの制御ダイヤルを調整することをオペレータに要求す
る命令、及びウェハがすでにテスターに装着され、ウェ
ハの試験手順を開始する準備が整っているときに、コン
ピュータのキーボード上の入力（ＩＩ！ＮＴＥＲ）キー
を押すことをオペレータに指示する命令。

明らかなごとく、従来の０ｍｎ１ｎ＋ａｐシステムにお
いてオペレータは、エンジニア用でもあるタスクのうち
任意なものを選択して実施できる。またオペレータには
、選んだプロセスの全可変パラメータに値を与えること
が要求される。各パラメータ値は一般に、エンジニアが
先に作成した命令シートに記入された形でオペレータに
与えられる。従来の抛ｎｉｍａｐシステムにおける別の
大きな制限で、その他人部分の従来技術にも当てはまる
制限は、実行のためオペレータによってセットアツプ中
のプロセスについて、ソフトウェアで使えるのは１つの
プロセスパラメータ用データ構造だけであるという点で
ある。この発明の好ましい実施例に関する以下の説明か
ら明らかとなるように、この制限は、１回に１つのプロ
セスしかセットアツプできず、またそのプロセスのセッ
トアツプ毎に全パラメータを入力しなければならないこ
とを意味する。

上記した従来のＯｍｎｉｍａｐシステムに追加し得る従
来技術の範囲内における改良には、エンジニア専用のタ
スクを使うときにパスワードの入力を要求すること、及
びオペレータ用の前もって定義した数組のパラメータ値
を記憶させることも含まれる。本発明は、上記した従来
のＯｍｎｉｍａｐシステムの制限を解消するはるかに包
括的な方法を提供する。

つまり従来技術においては、オペレータによる完全に自
由なパラメータの入力（エラー確率が大）か、あるいは
完全に固定式で、パラメータ入力の際ある程度のオペレ
ータ裁量権でセットアツプを行なうという妥当なエンジ
ニアリングの創造性を損ねてしまうかいずれかのオプシ
ヲンに限られる傾向があった。全てのオペレータが同じ
ように扱われ、プロセスの選択及びパラメータの入力に
関し同じアクセスレベルを有していた。

（発明が解決しようとする問題点） 従ってこの発明の主目的は、実時間プロセスのメニュー
駆動式コンピュータ制御のための改良システム及び方法
を提供することにある。

この発明の目的は、プロセス選択、パラメータ定義及び
パラメータ選択のエンジニアリングセットアツプを容易
化するコンピュータベースのプロセス制御システム及び
方法を提供することにある。

この発明の別の目的は、オペレータによる選択と特定プ
ロセスの実行を容易化するコンピュータベースのプロセ
ス制御システム及び方法を提供することにある。

この発明の別の目的は、ポータブル式データ記憶媒体を
使うことで、各種プロセスへのオペレータのアクセスレ
ベルについて便利なエンジニアリング制御を可能とする
コンピュータベースのプロセス制御システム及び方法を
提供することにある。

（問題点を解決するための手段） この発明の上記目的は、プロセス制御プログラムで使わ
れるデータ構造において、固定値を有するオペレータが
変更不能なパラメータ、デフォルト値ト しておいたり変更したりできる１つの値）を有するオペ
レータが変更可能なパラメータ、あるいはプロセスの実
行前にオペレータによって与えられねばならない強制的
なオペレータ入力パラメータとして各プロセスパラメー
タを指定可能な特徴を備えたプログラム式デジタルコン
ピュータを使ってプロセスを制御するシステム及び方法
において達成される。この発明のシステム及び方法は更
に、エンジニアによって定義されセットアツプされた特
定のプロセスがオペレータによって実行できるものかど
うかを指定する構成をデータ構造中に与えるという特徴
を具備する。またこの発明は、複数のプロセス用のデー
タ構造を複数で個々の、オペレータ用ポータブル式記憶
手段に記憶させ、複数の特定プロセスの実行に対して異
ったオペレータレベルのアクセスが可能になると共に、
パラメータ値の入力における異ったレベルでのオペレー
タ裁量が容易化されるように成す構成も特徴とする。

この発明の別の重要な特徴は、局レベルのメニュー内に
おけるレベル選択が一位置から他位置へ切換えられたと
きに、動的に変化するサブメニューを与えることによっ
てエンジニアリングセットアツプの機能を大巾に容易化
させる“動的メニュー”の特徴である。

さらに詳述すれば、この発明はプログラム式デジタルコ
ンピュータを用いてプロセスを制御する方法であって、
各々がその動作に必要な対応した一組の定義済パラメー
タを有する一組のプロセス制御プログラムを定める段階
から始まる方法を特徴とする。本方法は更に、各プロセ
ス制御プログラム毎にデータ構造フォーマットを定義す
る段階で、データ構造フォーマットがパラメータ指定手
段とパラメータ値記憶手段を具備するように成す段階を
含む。パラメータ指定手段は各々の定義済パラメータを
、固定値を有するパラメータが変更不能なパラメータ、
デフォルト値を有するオペレータが変更可能なパラメー
タ、あるいはプロセスの実行前に与えられねばならない
強制的なオペレータ入力パラメータのいずれかとして指
定する。

パラメータ値記憶手段は、各定義済パラメータ毎にその
値を記憶可能とする。

次に、一定のエンジニアリングセットアップ段階を対話
式のコンピュータ制御で実施可能とするため、エンジニ
アリングセットアンプ制御プログラムが定められる。こ
れらの段階には、複数の特定プロセスの各々毎に、指定
または選択された１つのプロセス制御プログラム用のデ
ータ構造フォーマ−／　）に従って実際のデータ構造を
定義し記憶すること、及びエンジニアリングセットアッ
プのためそれらのプロセスの１つを指定することが含ま
れる。次いで、エンジニアが特定プロセス用のパラメー
タ指定手段に各定義済パラメータ値を入力し、それをオ
ペレータ変更不能パラメータ、オペレータ変更可能パラ
メータまたは強制的オペレータ入力パラメータとして指
定できる。その後、パラメータ値記憶手段に、オペレー
タ変更不能パラメータ用の固定値を入力する段階と、オ
ペレータ変更可能パラメータ用のデフォルト値を入力す
る段階が続く。

本方法は更に、一定のオペレータ制御段階を対話式のコ
ンピュータ制御で実施可能とするオペレータ制御プログ
ラムを定める段階を含む。これらのオペレータ制御段階
には、プロセスの１つを選択し、各選択プロセスについ
て記憶されたデータ構造を用い、オペレータ変更可能パ
ラメータ及び強制的オペレータ入力パラメータ用の値の
オペレータ入力を可能とし、全ての強制的オペレータ入
力パラメータの値が入力された後でのみ、選択プロセス
に対応したプロセス制御プログラムの実行を可能とする
ことが含まれる。

エンジニアリングセットアップとプロセスのオペレータ
制御に関する従来の構成と比べ、この発明のシステム及
び方法は、プロセスパラメータを固定、オペレータ変更
可能または強制入力として指定する点で高いレベルのエ
ンジニア裁量権を与える。さらに、これらのプロセスパ
ラメータの指定は、特定機械の稼動のためにエンジニア
がセットアツプした異るプロセスの各々について別々に
行なえる。つまりエンジニアは例えば、ある特定プロセ
スを全て固定の変更不能なパラメータで指定し、別のプ
ロセスを全てオペレータ変更可能パラメータで指定し、
更に強制入力パラメータと上記パラメータとの混合を有
する別のプロセスを指定することができる。この追加能
力の価値は以下の詳細な説明から明らかになるであろう
が、本発明のこの特徴によってエンジニアが自分の判断
に基き、特定プロセスパラメータの状態指定を各プロセ
スに適合させられることは明らかであろう。

この適合はプロセスの条件、オペレータの技量レベル、
またはオペレータが自分の判断で適当と見なすその他任
意のファクタに基いて行なえる。

好ましい実施例において、この発明のシステム及び方法
は更に、定義された各プロセス毎のデータ構造フォーマ
ット中に、対応するプロセス制御プログラムの実行が可
能または不能いずれにされるかをエンジニアが指定でき
るようにする可用性指定手段を含む。データ構造中のこ
の特徴と共に、エンジニアリングセットアツプ制御プロ
グラムを定める段階は更に、特定プロセスの実行が可能
または不能いずれにされるかを指示つまり指定する値を
可用性指定手段に入力する段階を、対話式のコンピュー
タ制御として実行することを含む。好ましい実施例にお
いて、オペレータのプロセス選択段階は、プロセスの実
行が可能と指定された対応するデータ構造を持つプロセ
スから１つのプロセスを選択することに限定される。

すなわちこの特徴によって、エンジニアは、セントアッ
プされたプロセスをオペレータが使えるようにするかど
うかについて完全に制御できる。

しかし、実行不能とされたプロセスも、検討、編集また
はその他の作業のためにエンジニアが使えるようにする
全てのデータ構造を有している。従って、エンジニアは
オペレータにまた使われたくない特定プロセスのセント
アンプ中でも、準備完了前にオペレータによって使われ
る危険を生じることなく、そのプロセスのデータ構造を
システムの全体的な記憶媒体中に維持できる。

エンジニアによってデータ構造フォーマットが定義され
た各プロセスの実施可能または不能を指定するこの特徴
が、この発明の別の特徴と組み合わされて、複数の特定
プロセスの実行に対し異ったオペレータアクセスレベル
を与える便利な方法を提供する。これを達成するため、
エンジニアリングセットアツプ制御プログラムは更に、
複数の個々のボータプル式データ記憶手段のそれぞれに
複数のプロセスの各々毎のデータ構造を記憶する段階を
対話式のコンピュータ制御で実施可能とすることを含む
、更に本方法は、オペレータ用のボータプル式記憶手段
の１つから複数のプロセス用のデータ構造を読出し且つ
記憶させ、以後そのデータ構造をエンジニアリングセッ
トアツプ制御プログラムとオペレータ制御プログラムの
両方で使えるようにすることを含む。

このようにして、オペレータ用記憶手段に記憶されたデ
ータ構造中の可用性指定手段が、オペレータ制御プログ
ラムで使われる各プロセスの可用性を制御する。すなわ
ち、そのような記憶手段を使って記憶されたデータ構造
を機械内に読込むオペレータは、記憶データ構造内で実
施可能と指定されたプロセスだけを実行できる。さらに
、ボータプル式の記憶手段に記憶されたデータ構造はエ
ンジニアによって、エンジニアリングセットアップ制御
プログラムを用い、記憶手段上のデータ構造の可用性指
定手段に記憶された値を単に変えるだけで容易且つ迅速
に再構成できる。従って、特に経験の豊かなオペレータ
には機械によって実行されるべき各種プロセスに対して
広範囲なアクセスが与えられる一方、経験の浅いオペレ
ータは１つまたは２つのプロセスにだけアクセスできる
。

多様なオペレータのためのこうしたプロセスアクセスレ
ベルの裁量セットアツプは、完全にエンジニアの制御下
にある。各オペレータにはディスク等の別々のポータブ
ル式記憶手段が与えられ、これが機器についてオペレー
タが実施できるプロセスを完全に制御する。

ポータブル式記憶手段に記憶されたデータ構造によって
オペレータのアクセスレベルを制御するという上記の特
徴は更に、各プロセス毎にデータ構造中のパラメータ指
定手段の特徴を利用し、パラメータの入力におけるオペ
レータ裁量レベルを個々に制御するのにも適用できる。

従って、同じプロセスの実行にアクセスする２人の異っ
たオペレータに対し、そのオペレータの経験または能力
に基き、パラメータの入力において異ったレベルの裁量
権を与えることができる。パスワードの入力によってエ
ンジニアリングセットアツプ制御プログラムにアクセス
するエンジニアだけが、個々のオペレータ用記憶手段上
のデータ構造を変更できる。しかし、全プロセス用のデ
ータ構造の全てがポータブル式記憶手段に記憶されてい
るので、エンジニアはオペレータ用記憶手段を装着し、
エンジニアリング制御プログラムを実行して、プロセス
の可用性またはパラメータ指定を指示するデータ構造の
内容を変更することによって、プロセスに対するオペレ
ータのアクセスレベル及びパラメータ入力におけるオペ
レータの裁量権を非常に容易且つ迅速に再構成し得る。

本発明の上記特徴がエンジニアとオペレータの両方にも
たらす利点は、以下の特定例に関する議論中で詳しく説
明する。但し上記からも、プロセスの実行に対するオペ
レータのアクセス及びパラメータ値の入力を完全にエン
ジニアが制御するという制御レベルは、高度なレベルの
柔軟性と便利さを与え、従来のシステムにおける制限さ
れた選択に伴うフラストレーションの多くを解消できる
ことが理解されよう。

動的メニュー表示の特徴 この発明の目的は更に、動的メニュー表示を含む本発明
の別の特徴によって達成される。この特徴は、ある意味
において上記した特徴と別個で独立しているが、別の意
味では本発明の上記の特徴とも協働し、特に本発明のエ
ンジニアリングセットアツプ制御プログラムに関連して
追加の多大な便利さを与える。すなわち、この発明の動
的メニュー表示の特徴は、コンピュータのディスプレイ
装置上にメニュー項目を表示して選択するシステム及び
方法を含む。

この方法の段階には、複数の別々の主メニュー項目を定
義すること、及び複数の別々の補助メニュー項目グルー
プで、それぞれ少くとも１つの主メニュー項目と対応し
た項目グループを定義することが含まれている。２つの
別々のメニュー表示領域がコンピュータのディスプレイ
装置上に定められ、各領域が複数のメニュー項目とそれ
に対応し個々のメニュー項目へ選択的に位置決め可能な
ポインタを表示筒゛能である。−例として、主メニュー
項目はプロセスグループ名で、補助メニュー項目は各グ
ループ内の個々のプロセス名である。

本方法は更に、第１のメニュー表示領域内に少くとも複
数の主メニュー項目（可能なら全項目が好ましい）を、
表示メニュー項目の１つに位置した対応ポインタと一緒
に表示する段階へと続く。

これと同時に、第２のメニュー表示領域内には、ポイン
タで指されている主メニュー項目に対応した補助メニュ
ー項目グループの１つのうち少（とも一部分が、表示補
助メニュー項目の１つに位置した対応ポインタと一緒に
表示される。最後に本方法は、第１メニュー表示領域内
におけるポインタの位置変更に自動的に応答して新しい
主メニュー項目を指し、同時に第２メニュー表示領域を
変更して、ポインタで指されている新しい主メニュー項
目に対応した補助メニュー項目グループの１つのうち少
くとも一部を表示する段階を含む。

すなわち、第１メニュー表示領域中のポインタが一項目
から他項目へ切換わると、補助メニュー項目グループの
表示は自動的に、ポインタで指されている新しい主メニ
ュー項目に対応したグループの１つへと変る。この特徴
を充分価値あるものとするため、第２メニュー表示領域
における新しい補助メニュー項目グループへの表示変更
は事実上瞬間的に成され、第２メニュー表示領域での各
項目の選択肢が瞬間的に見えるようにするのが好ましい
。こうすれば、主メニュー項目表示領域内におけるポイ
ンタの切換えによって、補助メニュー項目グループを通
じた選択及びページングを迅速に行なえる。

この動的メニューの特徴は、ディスプレイ装置のサイズ
、解像度、コンピュータメモリの可用性及び動作速度の
範囲内で、階層構造として配置された３つまたはそれ以
上のメニュー表示領域へと拡大し、主表示領域の１つに
おけるポインタの任意の切換えで、ディスプレイ装置上
の低位にある全表示領域に表示されているメニュー項目
中で動的変更を生じるようにすることができる。また上
記動的メニューの特徴は、第３のメニュー領域内におけ
る各項目が第２メニュー領域内の各項目とｌ対ｌの関係
でリンクされているような、階層状でない他のメニュー
とも組合せられる。こうした動的メニュー表示の特徴が
持つ利点と価値の完全な理解は、以下の詳細な説明から
得られるであろう。但し上記の要旨からでも、多数のプ
ロセスがエンジニアによるセットアツプで使われる場合
に、動的メニューの特徴がシステム内でエンジニアリン
グセットアツプ制御プログラムを用いる便利さを飛躍的
に高めることは明らかなはずである。それら多数のプロ
セスは、セットアツプに使われる全ての特定プロセスを
エンジニアが素速く見られるように、主グループ名、２
次グループ名及び最後のプロセス名（３領域の表示状況
の場合）によってグループ分けできる。

さらに、エンジニアが動的表示のプロセス名レベルで特
定のポインタを動かすと、個々のプロセスに対応したグ
ループ名と従属グループ名に関する完全な情報が、画面
上でエンジニアの目の前に存在したま＼となることによ
って得られる。従ってエンジニアは、当のプロセス名選
択へ至る移動路を思い出すのに、ディスプレイがページ
ングを施した画面の各種レベルのどこにあるのかを思い
出すためページ戻り及び送りをする必要がない。

エンジニアが誤って特定のプロセスを選んでしまい、階
層中における最高位メニューの選択項目を切換えること
によって正しいプロセスへ行きたい場合には、ポインタ
を表示階層中の最高位メニューレベルに動かした後、更
に新しいプロセスグループ名へ動かせば、第２メニュー
表示領域中の全サブグループ名及び指されているプロセ
スサブグループ名に含まれる第３メニュー表示領域中の
全プロセス名が瞬間的に更新されるため、極めて迅速に
行なえる。

以下の詳細な説明から明らかとなるように、上記動的メ
ニューの特徴はそれ自体及びこの発明の他の特徴と組み
合わされて、複雑で高度な機械制御の環境下における実
時間プロセス制御プログラムのセットアンプ及び実行用
の非常に強力な手段を与える。この発明の特徴を利用す
れば、プロセスの可用性及びパラメータ値の選択に関す
る全てが完全に自分の制御下に置かれるという充分満足
し得る状態となるため、エンジニアは便利さと信頼性を
持ってエンジニアリングセットアツプ機能を進行できる
。また、オペレータは名人の能力と権限内でのみプロセ
スの選択及びパラメータの入力に対してアクセス可能と
なるので、オペレータにとっても便利さと信頼性が得ら
れる。この発明の特徴を使えば、オペレータ制御に基く
プロセス実行中において生じる可能性のあるエラーが大
巾に減少される。エンジニアとオペレータ両方に与えら
れる便利さと信頼性の向上は、広範囲なレベルのエンジ
ニアリング及び製造技術の複雑さを持った組織によるコ
ンピュータベースの実時間プロセス制御の使用を促進さ
せる。

この発明のその他の目的、特徴及び利点は、添付の図面
を参照した以下の詳細な説明から明らかとなろう。

（実施例） 第１〜２図についてはすでに従来の技術の項で論じたの
で以下では説明しない。

システムモジュール 第３図を参照すると、この発明の装置を組み入れこの発
明の方法を実施可能なシステム２０のブロック図が示し
である。半導体ウェハ抵抗率テスター等の物理的処理系
２２が、コンピュータベースの制御系２４によって制御
される。この発明では、制御系２４が次の２つのモジュ
ールに分けられる；エンジニアリングセットアツプモジ
エール２６とオペレータモジュール２８゜制御系２４は
更に一組のプロセス制御プログラム４０を備え、各プロ
グラムは物理的処理系２２を制御するのに使われる一方
、指定されたプロセスを実行する。

エンジニアリングセットアツプモジュール２６はコンピ
ュータ３０と、エンジニアリングセットアツプ制御プロ
グラム３２から成るコンピュータ用ソフトウェアとを具
備する。コマンド及びデータをコンピュータ３０内へ入
力するのに、キーボード３３または同等の装置が使われ
る。

以下詳述するように、エンジニアリングセットアツプ制
御プログラムは、物理的処理系２２を用いて実行できる
プロセスの種類を限定し制御する制約の程度と種類を定
義するのに使われる。好ましい実施例において、コンピ
ュータ３０はタッチ画面３４（タッチされた位置を感知
する画面）を備えたＨＰ１５０である。

オペレータモジュール２８はコンピュータ３６と、オペ
レータプロセス制御プログラム３８から成るコンピュー
タ用ソフトウェアとを具備する。

オペレータモジュール２８は、エンジニアリングセット
アツプモジュール２６を使って先にセットアツプされた
プロセスを選び、物理的処理系２２に対して実行するた
めオペレータ（つまり人員）によって使われる。同じく
タッチ画面ディスプレイ装置３９を有するコンピュータ
３６ヘコマンド及びデータを入力するのに、キーボード
３７または同等の装置が使われる。

また以下詳述するように、オペレータプロセス制御プロ
グラム３８はどのプロセスが物理的処理系２２で実行さ
れるべきかを選択するためのプロセス選択プログラムと
、物理的処理系で実行されるべきプロセスに関連して使
われるパラメータ値を指定するためのパラメータ入力プ
ログラムとを含む。重要な特徴として、パラメータ入力
プログラムは、（エンジニアリングセットアツプモジュ
ールで前もって選択された）一定のパラメータが指定さ
れるまで、選択プロセスが実行されるのを防止する手段
を含む。

オペレータモジュール２８は更に、ポータブル式磁気デ
ィスク３５上でエンジニアリングセットアツプモジュー
ル２６によって成されたセットアツプ判定の表示を記憶
するための手段を具備する。

これらの選択は、エンジニアリングセットアツプ及びオ
ペレータプロセス制御両プログラムで使われる一組のデ
ータ構造４５への入力によって表わされる。

好ましい実施例において、各モジュール２６．２８用の
ソフトウェアはエンジニアリングセット及びオペレータ
プロセス制御両プログラムを含んでいる。従って、オペ
レータモジュール　２８はエンジニアリングセットアツ
プモジュールとしても使える。同様に、エンジニアリン
グセットアツプモジュール２６を物理的処理系２２に接
続すれば、同モジュール２６はオペレータプロセスモジ
ュールとしても使える。

好ましい実施例において、物理的処理系２２はウェハ抵
抗率テスターで、３種類のプロセス制御プログラム４０
が存在する。輪郭マツプと呼ばれる第１のプロセス制御
プログラムは、オペレータモジュール内のコンピュータ
３６を制御し、ウェハ上の所定数の個別位置座標で半導
体ウェハの抵抗率を測定して記録するようにテスター２
２に指示する制御信号をテスター２２へ送る。直径走査
と呼ばれる第２のプロセス制御プログラムは制御コマン
ドを発生し、このコマンドが直径ラインに沿った所定数
の個別試験サイトで半導体ウェハの抵抗率を測定して記
録するようにテスター２２に指示する。迅速チェックと
呼ばれる第３のプロセス制御プログラムは、少数の試験
サイトで半導体ウェハの抵抗率を測定し、半導体ウェハ
の概略抵抗率を迅速に求める。

第４図に、好ましい実施例での各ソフトモジュール内に
おける大部分の重要なコンピュータプログラムのリスト
を示す。

第３ａ図を参照すると、エンジニアリングセットアツプ
及びオペレータ２６．２８のキーボード３３．３７に備
えられた一組の標準的なカーソル移動制御キー４１ａ〜
４１ｄが示しである。以下に述べるように、カーソル移
動キーは好ましい実施例において、エンジニアリングセ
ットアツプ及びオペレータモジュール２６．２８のディ
スプレイ３４．３９上でポインタを動かすのに使われる
。

各カーソルキーに対応したポインタの移動方向は、それ
ぞれ矢印で示しである。

抜打率テスターのオペレータ この発明のシステム及び方法は、プロセス制御プログラ
ムを使ってコンピュータ制御のセットアツプが成される
任意の物理的処理系２２に適用できる。しかしこの発明
を例示するため、以下の詳細な説明では、前出の係属、
中の米国特許出願に記されたような自動抵抗率テスター
の制御を含んだ現時点で好ましい実施例における本発明
の使用を示す。第４図はこうした自動抵抗率テスターで
使われる電子制御系のブロック図を示し、このブロック
図はエンジニアリングセットアツププログラム、オペレ
ータプロセス制御プログラム、及び物理的処理制御プロ
グラムの各機能間の関係を示すのに用いられる。

第４図は、抵抗率テスターの動作機能を実際に制御する
専用マイクロコンピュータ２２０と接続された主コンピ
ユータ２４０を示す。簡単化のため、主コンピユータ２
４０は単一コンピュータでエンジニアリングセットアン
プモジュール２６とオペレータモジュール２８の両方を
有するものと仮定する。この発明を第４図のシステムで
使えるようにするため、エンジニアリングセットアツプ
プログラム、オペレータプロセス制御プログラム、及び
物理的制御プログラムは全て、同システムを供給する会
社により前もって定義される。物理的処理系つまり抵抗
率テスターを実行する物理的プロセス制御プログラムが
、データ構造フォーマットと、エンジニアリングセット
アツププログラム及びオペレータプロセス制御プログラ
ムの各内容をだいたいにおいて決定する。

０曇抵抗率テスターの特徴 こ＼での説明に用いる自動抵抗率テスターの場合、シス
テムには次の３種のプロセス制御プログラムが用意され
る：１）輪郭マツププログラム、２）直径走査プログラ
ム、及び３）迅速チェックプログラム。これらプロセス
制御プログラムは各々主コンピユータ２４０のメモリで
使用可能で、専用マイクロコンピュータ２２０へ逐次送
られる一連のソフトウェア制御コマンドから成り、専用
マイクロコンピュータ２２０がコマンドを解釈し、制御
コマンドをシステム中のその他の電子モジュールへ送っ
て所定の機能を実施せしめる。第４図中２３０で示した
モジュールがウェハとプローブヘッドの位置決めを制御
し、半導体ウェハ上における現試験サイトの位置座標を
決める。また第４図中２４０で示したモジュールが、電
流源２４１からプローブ先端へ送られる電流値を含む測
定パラメータ及び測定形状を制御し、プローブ先端はリ
レー信号配分網２４２を介して電流を受取ると共に、デ
ジタル電圧計２４３に接続される。

輪郭マツププログラムと直径走査プログラムにはそれぞ
れ、マイクロコンピュータ２２０に指示してモジエール
２３０にコマンドを与え、テスターのプローブヘッドを
前もって決めた順序で一連の個々の試験サイトへ位置決
めさせる一組のプログラム命令が含まれている。試験サ
イト数は、エンジニアまたはオペレータが入力しなけれ
ばならないパラメータである。各試験サイトの位置座標
はウェハのサイズや試験直径等その他のパラメータから
プログラムに従って決められる。輪郭マツププログラム
が、所定の試験直径内における試験サイトの２次元配列
上にわたって分散された試験サイトを選択する。直径走
査プログラムが、ウェハの直径に沿って所定の配向角度
だけ規則正しく離間した各試験サイトを選択する。

またこれら両プログラムには、マイクロコンピュータ２
２０に指示してモジュール２４０にコマンドを与え、入
力された電流パラメータの値を用いて個々の試験サイト
で測定を行なわせる一組のプログラム命令が含まれてい
る。前出の係属中の米国特許出願に、抵抗率テスターの
プロセス制御プログラムに与えられる一連のコマンドが
詳しく説明しである。

上記の簡単な説明は、エンジニアとオペレータに対し抵
抗率テスターがいかに機能しているのかに関する詳しい
知識を必要とせずにタスクを容易且つ便利に実施できる
にようにするエンジニアリングセットアツププログラム
とオペレータ制御プログラムを与える必要性を示すベー
スとして、システムの複雑さを例示するためのものであ
る。さらに上記の説明は、プロセス制御プログラムがそ
れの制御する物理的処理系と協働して、データ構造のフ
ォーマットと、エンジニアリングセットアツプ制御プロ
グラム及びオペレータプロセス制御プログラムの内容を
決めることを例示するためにこ＼に示した。これらのプ
ログラムが定義され書かれると、システム全体の準備が
完了し、エンジニアは重要な領域で各自の裁量を用いな
がらシステムのセットアツプタスクを実施できるように
なり、その後オペレータがシステムに指示を与え、各種
筒用プロセスの構成法バージョンを実施できるようにな
る。

換言すれば、この発明のシステム及び方法を用いること
でエンジニアには、定義済の各プロセス制御プログラム
毎の定義済データ構造フォーマットによって構成された
ソフトウェアシステムの全体が与えられる。定義済のエ
ンジニアリングセットアツプ制御プログラムによりエン
ジニアは、システムが実施可能なプロセスの複数バージ
ョンの最終的なオペレータ用構成を決定可能となる。こ
れはエンジニアによる完全な制御下で、１）個々のプロ
セスバージョンに付けられるプロセスグループ名とプロ
セス名、２）オペレータの実行で利用可能なプロセスグ
ループと個々のプロセスバージョン、及び３）固定、オ
ペレータ変更可能または強制入力としこの個々の定義済
パラメータの状態に関し、１回に１バージヨンのベース
で行なわれる。こ＼までの説明では、エンジニアリング
セットアツプタスクが比較的複雑で手のかかるものと思
われるであろうが、以下説明が順次進むにつれ、各プロ
セスのエンジニアリングセットアンプは、非常に強力で
有利な最終的なシステム能力をもたらす一連の簡単で容
易なステップを含むことが示されよう。

エンジニアリング、セットアツプ制御プログラムとそれ
に含まれる各ステップを理解するためには、エンジニア
がすでに構成したシステム用オペレータプロセス制御ソ
フトウェアの諸機能をまず説明し、エンジニアリングセ
ットアップソフトウエア手段の創造的な使用による有利
な最終結果を示すのが役立つであろう。

オペレータＩ御プログラムの 電源投入されると、システムは第５表に示すような導入
画面を表示する。導入画面は単にソフトウェアプログラ
ムを識別するもので、著作権の告示とシステムの所有権
に関する警告を表示する。

画面最下の指示メツセージラインがオペレータに対し、
画面にタッチしてオペレータ制御プログラムの実行をス
タートするように指示する。ＨＰ１５０システムはオペ
レータ入力の一特徴としてタッチ画面機能を用いている
が、その他のコンピュータシステムを使うときは、その
他多数の方法を使える。これらについては後述する。

好ましい実施例において、１つ以上のウェハに対し抵抗
率試験の作業を行なう役割を与えられたオペレータは、
複数のプロセス用の全データ構造をエンジニアが記憶さ
せたオペレータ用ディスクを有する。オペレータはその
ディスクをＨＰ１５０コンピュータに装着し、タッチ画
面にタッチすると、システムが記憶されているデータ構
造をディスクからコンピュータの内部メモリ中に格納す
る。

プロセスグループの択 オペレータが導入画面にタッチすると、第６表のメニュ
ーがタッチ画面上に表示される。このメニューは次の４
つの表示領域を持つ：オペレータ命令を含む最上の指示
メツセージライン、エンジニアによって定義済のプロセ
スグループ名が表示される９個のボックスを含む中央領
域、４個のボックスに分れた構成可能なコマンド名と機
能を含む中央領域下方のコマンド入力領域、及びオペレ
ータ命令を含む最下の指示メツセージライン。

このメニューには６つのプロセスグループ名が表示され
、本例ではそのうち５つが各イオン注入系の名前である
。このことから、エンジニアは抵抗率テスターで試験す
べきウェハを製造するのに使われたウェハ処理装置に関
連するプロセスグループ名を与えるように決めたことが
理解されよう。

５つのプロセスグループ名のうち３つは強調表示領域を
持ち、こ＼では実線と点線の混合ラインで示しであるが
、一般には明るい反転映像領域やその他の強調法で示さ
れる。オペレータは先行する命令によって、この段階で
は強調項目だけが選択可能であること及び強調されてい
ないボックスにタッチしてもシステムは応答しないこと
を知っている。

オペレータはトラベラ（ｔｒａｖｅｌｅｒ）・つまり試
験すべきウェハに添付されたプロセス指示シートから、
どの注入機でウェハが処理されたかを知る。

この例では、注入機がＮ０ＶＡ　ＮＶ　１０−１であっ
たとし、オペレータがそのボックスにタッチして実行す
べきプロセスグループを選ぶ。システムはこれに応答し
て、第７表に示す次のメニューを表示する。こうして選
ばれたプロセスグループ名が、こ＼で情弗を与える口約
で、最上指示メツセージラインの右側に表示される。

プロセス（構成）の選択 第７表のメニューはオペレータに対し、テスターで実行
すべき試験プロセスの構成を選ぶように指示する。この
場合は、エンジニアがＮ０ＶＡ　ＮＶｌｏ−１グル一プ
名内に８つの別々のプロセス構成をセットアツプしてい
る。またエンジニアは、後述するエンジニアリングセッ
トアツププログラムで容易化される特に有意義な方法で
、これら別々のプロセス構成に命名している。各プロセ
ス構成名には、注入量レベル（例えば１ｃｒＡ当り１×
１０−”原子の注入量の科学的表示であるＩＥ１２）　
、。

注入ドープ剤の種類（例えばホウ素）、及びウェハに実
施すべき試験の種類に（及び関連のプロセス制御プログ
ラム）（例えば輪郭マツプテスタープログラムの使用を
意味するＭＡＰまたは試験走査テスタープログラムの使
用を意味するＤＩＡ　”）の各表示が含まれる。

オペレータはトラベラ上において、使われた注入量とエ
ンジニアによって要求された試験の種類を見て取る。こ
＼では、ＩＥ１３ＢＯＲＯＮ　　（ホウ素）（ＭＡＰ）
試験が要求されているものとする。オペレータは、その
プロセス構成名が強調されプロセスが利用可能なことを
指示しているのを見て取り、画面上のそのブロックにタ
ッチしてその試験プロダラムを呼出す。システムはこれ
に応答し第９表に示すような画面を表示する。

第８表は、第１メニュースクリーンでＥＸＴＲＩＯＮ　
ＤＦ４プロセスグループが選ばれた場合に、オペレータ
が見る画面を示す。この画面は、エキストリオン（Ｅｘ
ｔｒｉｏｎ）注入機がヒ素の注入に使われ、エンジニア
がＥＸＴＲＩＯＮ　ＤＦ４グループの個々のプロセス各
について同じ命令規定を用いていることを示している。

どラノニ】氾にガ 第９表の画面は、オペレータによるパラメータ入力用の
ものである。この画面は、指示メッシージと選ばれたグ
ループに関する情報を含んだ最上ライン、選択プロセス
、及び選択プロセスが実際に実行されるときに呼出され
るテスタープロセス制御プログラム（つまりＣ０ＮＴＯ
ＵＲＭＡＰ　’）を含む。

最上指示メツセージラインの下には、エンジニアによっ
て固定ヘッディングとなるように構成されたヘッダーブ
ロックが位置し、その後に次の２つの強制入力パラメー
タが続＜　：　０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ＨＩＦＴ　。

情報を入力すべきフィールドまたは領域が輝く反転映像
（表中領域の外側に２重星印“★★”で示す）であるた
め、オペレータはこれらが強制的入力パラメータである
ことを知る。オペレータが変更可能だが強制入力パラメ
ータでないパラメータは、普通の反転映像（表中１つの
星印“★”で示す）で表わされる。固定値のパラメータ
は普通の映像（表中星印なしで示す）で表わされる。

尚、０ＰＥＲＡＴＯＲ及び５ＨＩＦＴはプロセス関連パ
ラメータでなく、エンジニアが自分の裁量でトラックす
ること、つまりプロセスの実行前にオペレータが強制入
力すべきことを決めたデータパラメータである。テスタ
ー２２に送るべきコマンドを決めるのには、プロセス制
御パラメータだけがプロセス制御プログラムによって使
われる。プロセスの実行中、収集データに対しプロセス
制御プログラムによって行なわれる解析を制御するのに
は、解析制御パラメータと呼ばれる別種のパラメータが
使われる。

２つの強制入力パラメータの後にオペレータ変更可能パ
ラメータのラインが続き、エンジニアはそのラインを未
指定のままにしているが、一定の状況下ではオペレータ
に対し書面の指示で、一定のデータ追跡パラメータを入
力するように要求できる。オペレータはキーボード上で
０ＰＥＲＡＴＯＲ及びＳ旧ＦＴ両パラメータを順次タイ
プ入力し、キーボード上の下向き矢印カーソルを押して
（矢印のように）ポインタを次のパラメータフィールド
へ移すことによってそれぞれ入力する。ポインタは通常
オペレータが入力しなければならない第１パラメータに
初期位置を持ち、この特徴はオペレータ制御プログラム
ソフトウェアの一部である。

０ＰＥＲＡＴＯＲと５ＨＸＦＴを入力した後、オペレー
タはカーソル下降キーを使ってカーソルつまりポインタ
を動かし、画面の試験パラメータ入力領域へ下げる。こ
の領域は１０のパラメータ名を表示し、その一部はプロ
セスパラメータ、一部は解析制御パラメータ、一部はデ
ータパラメータである。プロセスパラメータはＮＵＭＢ
ＥＲＯＦ　５ＩＴＥＳ　　（試験サイト数）　、ＷＡＦ
ＥＲＤＩＡＭＥＴＥＲ（ウェハ直径）　、ＴＥＳＴＤＩ
ＡＭＥＴＥＲ（試験直径）及びＭＥＡＳＵＲＥＲＣＤＲ
ＲＥＮＴ（測定電流）である。解析制御パラメータはＣ
０ＮＴＯＬＩＲＩＮＴＥＲＶＡＬ　（輪郭間隔）ト５Ｏ
ＲＴ　ＣＲＩＴＥＲＩＡ（分類基準）である。その他は
データパラメータである。

エンジニアは先に、恐らく自らがホウ素注入ウェハにつ
いて必ず２２５サイトで測定したいと望み、且つ注入機
が３．０インチ（約７．６ｃｍ）のウェハを注入するよ
うにセットアツプされているためウェハは必ず３．０イ
ンチ（約７．６ｃｍ）ウェハにすると決定したという理
由から、最初の２つのパラメータをオペレータ変更不能
パラメータと指定している。（オペレータは、それらパ
ラメータが強調されていすまたカーソルつまりポインタ
がそのラインへ位置決めできないため、それらが固定で
あることを知る。）オペレータが両パラメータを変更で
きるようにする必要はなく、変更に伴うエラーは適切で
ない試験結果の点で非常にコスト高となり、注入を別の
ウェハについて繰り返さなければならないので、オペレ
ータが両パラメータを入力できないようにすることには
正当な理由がある。多くの従来システムでは、オペレー
タがエンジニア指示シートに基いて両パラメータを入力
しなければならず、入力エラーが生じ易い。本発明では
、エンジニアがそれらのパラメータ値を使用すべき正し
い４ｔとして固定する。

オペレータ変更可能パラメータは表中１つの星印で指定
されており、オペレータはエンジニアからの指示内で、
一定の試験状況下でそれらのパラメータを変更できる裁
量権を持つ。（異ったデータ構造が記憶された異るディ
スクを有する別のオペレータは、例えばもっと少いかま
たは多い異った変更可能パラメータを持ち得る。）オペ
レータは強制入力パラメータを全て入力した後、プログ
ラマブルコマンドライン内の５ＴＡＲＴ　　（スタート
）ボックスが存在することを確かめる。これはオペレー
タにとって、強制入力パラメータが全く入力され、シス
テムがウェハ上で選択プロセスを実行する準備が完了し
たことを意味する。

オペレータは必要なら、強制入力パラメータを含め任意
の変更可能パラメータを未だ変更できる。

全パラメータが正しければ、オペレータが５ＴＡＲＴボ
ツクスにタッチし、テスターによるプロセスの実行が、
それ以上のオペレータの操作を必要とせずコンピュータ
の制御下でスタートする。そしてオペレータはシステム
によって、システムのウェハ試験台上にウェハを装填す
ることを促される。

ウェハの試験台上にウェハが置かれたことをオペレータ
が確認すると、テスター系がそれを受はオペレータによ
って呼出された構成法のＣ０ＮＴＯＵＲＭＡＰプロセス
を実施し、測定データがオペレータのディスク上または
その他のデータ記憶媒体上に記憶される。

Ｃ０ＮＴＯＵＲＭ＾Ｐプログラムがテスターで実行され
ている間、画面はシステムコンピュータによって受取ら
れた抵抗率の測定値を表示すると共に、試験すべきサイ
ト数、それまでに試験したサイト数、及び受取った測定
値の統計に関する情報も表示する。テスターの動作が終
了すると、ウェハの試験台がウェハをオペレータに差し
戻し、コマンドラインの第２ボツクスはＮＥＸＴ　ＷＡ
ＦＥＲ（次のウェハ）を指示する。オペレータは同じプ
ロセスプログラムを使って同じ試験を実行するため台上
に別のウェハを装填するか、次の試験でのパラメータを
変えるためＣＨＡＮＧＥ（変更）にタッチするか、ある
いは第１のメニューに戻って別のプロセスグループを選
ぶためＥχＩＴ　（出口）にタッチするかのいずれかが
可能である。

上記の説明から、オペレータ制御プログラムはオペレー
タにとり、信頼性を持って使用するのが非常に容易であ
ることが理解されよう。システムの各種プロセスを構成
する際、エンジニアが訓練を受けたオペレータに対して
充分な意味を持つプロセスグループの名称及びプロセス
名を使うか、あるいはオペレータが自動的に所有するこ
とになる書類上にそれらを示すようにすれば、オペレー
タによるプロセス選択のステップは著しく容易化される
。さらに、システムは自動的に各パラメータの状態をオ
ペレータに伝える。デフォルト値と固定パラメータがす
でに入力されていれば、オペレータは強制入力パラメー
タを入力し、エンジニアが指示したかあるいは試験すべ
きウェハに添付されたトラベラが意味するオペレータ変
更可能パラメータ値を変えるだけでよい。前記導入部で
論じた従来の軸ｎ１ＩＩＩａｐシステム法と比べ、オペ
レータ入力エラーの可能性は大巾に減少し、パラメータ
入力の便利さは大巾に向上し、さらにオペレータの能力
を向上させる柔軟性が著しく容易化することが明らかで
あろう。

次に、上記したシステムの構成を与えるためのエンジニ
アリングセットアツプ制御プログラムの動作を説明する
。エンジニアがシステムをスタートさせるとき、エンジ
ニアにはオペレータの場合と同じ初期導入画面が与えら
れる。エンジニアリングセットアツプ制御プログラムへ
のアクセスはパスワードを通じてなされ、エンジニアは
キーボード上に該当のパスワードを入力してリターンキ
ーを押す。タッチ画面上に表わされる次のスクリ−ンを
第１３表に示し、ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵ　　（主メニュー
）画面と呼ぶ。

タスクの選択 この画面はディスプレイの中心領域に２つのメニュー表
示領域を持ち、この発明の動的メニュー表示という特徴
を使って主メニュー項目と従属メニュー項目がそこに表
示される。右側領域に示される補助メニュー項目は、そ
の時点でポインタが指している主メニュー項目であるＣ
０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮ（構成）と指定されたタスク
グループの一部であるエンジニアリングセットアツプタ
スクに対応する。第１４表に、上または下動カーソルキ
ーを使って主メニュー領域内のポインタがＤＡＴＡ　Ｐ
ＲＩＮＴＩＮＧ（データ印刷）の項へ切換えられたとき
の、補助メニュー中の各項目を示す。

エンジニアリングタスクのＣ０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮ
グループは最も重要なものなので、以下詳しく述べる。

０ＰＥＲＡＴＩＩＥＲＰＲＯＭＰＳ　　（オペレータ指
示メツセージ）タスクが一般に最初に実施されるので、
エンジニアはＧｏ　（ゴー）コマンドボックスにタッチ
してタスクグループの実施を開始する。システムはこれ
に応答して第１５表に示す画面を与えるが、３つの中央
のメニュー表示領域はエンジニアによって満たされるよ
うにブランクであるか（又は初期の示唆例が示しである
）。ＴＩＴＬＥ　　（名称）及びＣ０ＮＦＩＧＵＲＡＴ
ＩＯＮ　　（構成）の両頭域は、それぞれプロセスグル
ープ名または名称及び構成の名称について指定される。

この場合、ＴＥＳＴ　ＴＹＰＥ　　（試験の種類）領域
は構成名と１対１でリンクされ、その構成の選択によっ
て呼出されるべきプロセス制御プログラムの特定の１つ
を指定する。すなわち、構成名は（プロセスパラメータ
及びデータ構造の内容の観点から）、抵抗率テスターが
実行可能なテストプログラムのアレンジ済種類の１つと
対応する構成済プロセス用のものである。

オペレータ指示メツセージの編集タスク複数のブロセッ
スの初段セットアツプのため、エンジニアがＰＲＯＭＰ
Ｔ　ＥＤＩＴＯＲ（指示メツセージエディタ）へと進む
のには多くの方法がある。すでにエンジニアが全ての初
期グループと対応する構成をプラン済であれば、全ての
グループ名称と構成名を一度に入力することによって第
１５表の画面を編集できる。これらは後に、任意に追加
、削除または変更可能である。本例では、それぞれのウ
ェハ製造領域が１日毎に半導体ウェハの処理のために使
われる異ったイオン注入機の各々について、エンジニア
が構成済の試験プロセスをセットアツプしようとしてい
るものとする。そこでエンジニアは上／下動カーソル制
御キーを使って、名称領域の下方第１の５ライン中の１
つをポインタで指し、ＣＨＡＮＧＥ　（変更）ボックス
にタッチし、注入機の名前またはその他の表示を入力し
た後、各注入機毎に上記の手順を続けて繰り返す。

次に、ＴＩＴＬＥ表示領域中の第１ラインへと戻り、エ
ンジニアは（右動カーソルキーを使って）ポインタをＣ
ｏＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮ表示領域に位置換えし、試験
グループＥＸＴＲＩＯＮ　ＤＦ４の全試験構成名を１つ
づつ入力する。次に、ポインタがＴＥＳＴ　ＴＹＰＥ表
示領域に移動され、ＣＱＮＦＩＧＩＩＲＡＴＩＯＮ名に
対する各ラインで、エンジニアはＣＨＡＮＧＥボックス
にタッチし、所望の制御プログラム名が表示されるまで
上／下動カーソル制御キーを使ってプロセス制御プログ
ラム名を切換える。この場合、４つの構成がＣ０ＮＴＯ
υＲｌ’ｌＡＰプログラムを使用し、他の４つの構成が
ＤＩＡＭＥＴＥＲ５ＣＡＮプログラムを使用する。

その後、ＴＩＴＬＥ表示領域中の続く各ラインがポイン
タで指され、上記と同じ順序のステップが実施されて、
各注入機名に対応した構成プロセスを命名し、そのプロ
セスが選ばれたときに呼出されるべきプロセス制御プロ
グラムの１つを選択する。

このセットアツプ作業は全て、パラメータの入力前にプ
ロセスグループと個々のプロセス選択を与える２つのメ
ニュー画面上にオペレータが見るものを制御しているこ
とが思い起されよう。つまり、プロセスグループ名が第
１画面上に表われ（第６表）、選んだプロセスグループ
名に応じてプロセス名が第２画面上に表われる（第７ま
たは８表）。

例えば第１６表は、Ｎ０ＶＡ　ＮＶ　１０−１試験クル
ープのためエンジニアによって入力されたプロセス名が
、第８表でオペレータが見るものに対応することを示し
ている。

以上のステップの実施で０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴ
Ｓ機能は完了され、エンジニアは必要に応じて変更を施
す。こ＼ではエンジニアは一時メモリ内に記憶されたそ
れらの名称及びプロセス表示を全て、各プロセスと１対
１で対応したデータ構造の形で有する。こうして構成さ
れたシステムでは、エンジニアは９のプロセスグループ
名を定義でき、各グループ毎に９の個々のプロセス名を
指定でき、合計８１の異ったプロセスを構成できること
が理解されよう。

ｉ　セットアツプタスク 実施すべき次のステップは、ＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰ　
　（試験セットアンプ）ステップである。エンジニアが
Ｃ０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮメニュー領域内のポインタ
を試験セットアツプのために選んだプロセスに位置させ
、ＥＸＩＴにタッチすると、画面上にＭＡＩＮ　ＭＥＮ
Ｕが再び現われる（第１３表）。次にＩＴＥＭ　（項目
）下のポインタがＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰに移動され、
ＧＯ水ボツクスタッチされる。システムはこれに応答し
、第１９表に示すような試験セットアツプ画面を表示す
る。

表示中最上の指示メツセージ／情報ラインは、特定のプ
ロセスグループとこのステップで作業される個々のプロ
セスを示しているので、エンジニアはその試験に関連し
たパラメータ構成について混乱を生じない。

試験セットアツプ画面は、次の２つの非常に重要な機能
をエンジニアによって実施可能とする＝１）３種類の状
態つまりオペレータ変更不能（固定値）、オペレータ変
更可能（共通のデフォルト値）、または強制入力（プロ
セスを実行可能とするのにオペレータが入力しなければ
ならない）のうち１つを有するものとして各パラメータ
を指定すること；及び２）固定パラメータとオペレータ
変更可能パラメータのデフォルト値を入力すること。尚
、ＰＡＲＡＭＥＴＥＲ（パラメータ）領域中のパラメー
タ名は、セットアツプ中の特定プロセスに対応したプロ
セス制御プログラム（この場合ＣＯＮＴＯＵＲＭＡＰ　
）に対して定義済である。この例では、それらパラメー
タ名をエンジニアは変更できない。但し所望なら、選択
データ型パラメータのエンジニアによる追加を可能とす
るように、エンジニアリング制御プログラムを構成する
こともできる。

試験セントアンプを実施するには、エンジニアがカーソ
ルつまりポインタをＶＡＬＵＥ（値）欄内の各項目に位
置させ、ＣＨＡＮＧＥにタッチした後、値をタイプ入力
するかまたは上／下動カーソル制御キーを使って各パラ
メータ毎に前もって設定したオプションの項目を切換え
る。例えば、ＮＵＭＢＥＲ０ＦＳＩＴＥＳパラメータは
、（所望値が選ばれるまで下動カーソルキーを使うかま
たはＣＨＡＮＧＥボックスを押すことによって）切換え
られねばならない一定組のオプション値を有する。パラ
メータ値の設定または入力後、右動カーソルキーを使っ
てポインタが０ＰＴＩＯＮ　（オプション）ｊＭに移動
され、パラメータの所望状態がＬＯＣＫＥＤ　（固定及
び変更不能）、ＭＡＹ　Ｃ）ＩＡＮＧＥ　（オペレータ
変更可能）及びＦＯＲＣＨＤ（オペレータが入力しなけ
ればならない）の３つの選択肢のいずれかに切換えるこ
とによって指定される。尚、必要または所望なら、オペ
レータによる入力が必要な各プロセスパラメータに、例
えば有効日やウェハ識別の入力等の妥当性チェックが施
される。補足の試験セットアツプ機能として、エンジニ
アは入力されるパラメータ値や日付について特定のフォ
ーマット及び／又はその他の制約を定めることができる
。

上記の試験セットアツプは、第１５表の画面を使ってプ
ロセスを選びＭＡＩＮ　ＭＥＮＵからＴＥＳＴ　ＳＥＴ
　ＵＰ機能を呼出すことによって、構成済プロセスの各
各毎になされねばならない。これは時間のかかるタスク
であるが、エンジニアリングセットアッププログラム中
に含まれている慣れた手段を用い簡単な方法で容易に行
なえるタクスである。

ヘッダーセットアツプタスク ＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ｔｌＰ終了後、エンジニアは同様に
ＭＡＩＮＭＥＮＵからＩＩＥＡＤＥＲＳＥＴ　ＵＰ　　
（ヘソグーセットアップ）を呼出し第２１表に示した画
面を使うことによって、各構成済プロセス毎にＨＥＡＤ
ＥＲＳＥＴ　ＵＰを行なう。第１ラインは一般にＬＯＣ
ＫＥＤの説明的名称で、ヘングー中のその他のラインが
エンジニアの完全な裁量下で名前と状態が構成されるデ
ータラインである。

オペレータ゛　用タスク 各構成済プロセス毎のＨＥＡＤＥＲＳＥＴ　ＵＰ終了後
、最後の構成ステップである０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩ
ＣＢＳ　（オペレータ選択）が、ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵか
らこのタスクを呼出して行なわれる。このタスクは、Ｏ
ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴＳタスクでエンジニアによ
って構成されたメニューとぼり対応する第１８表に示し
たメニューを使って実施される。但しこ＼では、プロセ
スグループ及び／又は個々のプロセス毎に利用可能か利
用不能かを指定する。プロセスは全て利用不能にデフォ
ルトされているので、エンジニアはオペレータに対し利
用可能としたいと望む各プロセスグループ及び各プロセ
スを実際に利用可能と指定しなければならない。これは
ＴＩＴＬＥ下のプロセスグループ名及び／又はＣ０ＮＦ
ＩＧＵＲＡＴＩＯＮ下のプロセス名にポインタを位置決
めし、５ＥＬＥＣＴ　（選択）ボックスにタッチするこ
とで簡単に行なえる。選択（利用可能）プロセスは反転
映像で強調される（表中１つの星印で示す）。こうして
エンジニアは任意に、各プロセスグループと個々のプロ
セスを利用可能及び利用不能とできる。勿論、プロセス
グループが利用不能とされれば、オペレータはそのグル
ープを選べないので、グループ中の個々のプロセスは全
て自動的に利用不能となる。

上記したオペレータ例の場合（第６．８表参照）エンジ
ニアは最初の３グループ（注入機）プロセス名を利用可
能とし、ＥＸＴＲＯＩＮ　ＤＦ４グループ内では、Ｃ０
ＮＦ　ＩＧＵＲＡＴ　Ｉ　ＯＮ下の最初の３つの構成プ
ロセスが利用可能とされている。Ｎ０ＶＡ　ＮＶ　　１
０−１グ、ループ（第１７．１８表参照）では、最初の
２つの構成だげが利用可能とされた。後述するように、
この指定はエンジニアによっていつでも変えられる。

他の構成タスクについても終了すると、エンジニアは一
般ニＭＡＩＮ　ＭＥＮＵからＵＰＤＡＴＥ　ＡＬＬ　（
全更新）を呼出して変更された全てのデータ構造を更新
する。これによって、新しいまたは修正された全データ
構造がオペレータディスク上に書込まれると共にシステ
ム中に入力され、そのディスクに容易に変更可能なオペ
レータ用の構成を与える。

上記の説明から、この発明のシステム及び方法は本明細
書の導入部で論じた全ての利点をエンジニアに与えられ
ることが明らかであろう。すなわち、本発明を自動抵抗
率テスターのセットアツプに適用した場合には、それぞ
れ個々のパラメータ状態表示と可用性表示を含む複数の
試験プロセス構成を容易且つ便利にセットアツプできる
手段がエンジニアに与えられることが明らかであろう。

この全セットアツプ作業の結果は、損失、混同または誤
解釈される恐れのある書類上でなく、対応したデータ構
造中に記憶される。

さらに、エンジニアは任意に、プロセス修正の命令を書
面上で扱わずデータ構造値の直接的な修正によって、マ
シン編集の形で構成済の任意の試験プロセスを修正でき
る。エンジニアが先行構成の記録を維持したいときは、
これらの構成をオペレータ用ディスクの１つに記憶する
が、オペレータによってそのディスクが誤って使われな
いように、全プロセスグループを利用不能にすることも
できる。これ自体によっても、プロセス修正レベルのド
キュメンテーションでしばしば生じる“書面作業での混
乱”及び古い書面のプロセス命令をオペレータが使うこ
とによって生じるエラーを取り除ける。この発明のシス
テムと方法で与えられル手段を使ってエンジニアが慎重
に作業を進めれば、オペレータ用ディスクは全て有効で
正しいプロセス構成だけを利用可能とする。

この発明のシステム及び方法は複数の試験プロセスをセ
ットアツプするという時間のかかるタスりを避けられな
いが、この発明のシステム及び方法で与えられる手段の
使用法をエンジニアが一旦学べば、エンジニアリングセ
ットアップのタスクははるかに効率且つ効果的に実施で
きる。ドキュメンテーシヨンの保守という骨折り作業を
取り除き、この発明のシステム及び方法を使って生じる
便利さと信頼性を与えることで、コンピュータ制御式試
験のより広範囲で有効な使用を促す。

プロセス実行のためオペレータによって使われるこの発
明のオペレータ制御プログラム及びエンジニアによって
使われるエンジニアリングセットアツプ手順に関する上
記の説明を理解することで、本発明の詳細なプロセスフ
ローに関する以下の説明がより容易に理解されよう。こ
の発明のシステム及び方法は、オペレータ制御プログラ
ムとエンジニアリングセットアツププログラムの両方に
ついて一連のルーチンを含み、次にこれらのルーチンを
第５〜２０図を参照して説明する。

本発明の方法の概要 第５図を参照すると、この発明の方法の全般的概念のフ
ロー図が示しである。本方法はエンジニアリングセット
アツププログラム３２で実施されるタスクに始まり、オ
ペレータ制御プログラム３８によって実施つまり開始さ
れるタスクで終る。

理解を容易とするため、本方法のオペレータ制御部分を
まず説明する。

オペレータプログラム３８がオペレータ（オペレータ入
力４２）からのコマンドに応答し、テスター２２で実行
すべきプロセスを選ぶ。次にオペレータプログラム３８
によって、オペレータが選択プロセスを実行するのに必
要なパラメータ値を入力する。これらのパラメータ値は
、その他の定義済パラメータ値と一緒にコンピュータの
メモリ内に記憶される。さらに、任意の特定プロセスに
関するパラメータ値が以下に説明するその他の関連情報
と一緒に、データ構造４５ａによってコンピュータのメ
モリ内に編成される。

“プロセス制御プログラム”と“プロセス”の間には重
要な違いがある。プロセス制御プログラムは、系２２に
指示して何らかのプロセスを実施するのに使われるコン
ピュータプログラムである。

一方プロセスは、特定組のパラメータ値に基き特定のプ
ロセス制御プログラムの制御下で系２２によって実施さ
れる動作である。

以下明らかとなるように、プロセスは、使用すべきプロ
セス制御プログラムとそこで使われるパラメータ値を指
定するデータ構造によって表わせる。さらに、異った対
応するプロセス用のかかる多数のデータ構造は、１度に
コンピュータ内に記憶できる。この点は本発明の主要な
特徴である。

本発明の好ましい実施例では、以下に論する多数のデー
タ構造を用いる。

オペレータが選択プロセスを実行するのに必要な全ての
パラメータ値を入力し終ると、選択プロセスの実行４４
が可能となる。特定のプロセス制御プログラム（ＰＣＰ
　）４０に該当するデータ構造４５ａからパラメータ値
が与えられ、これらの値を用いてテスター系２２へ送る
べき特定のコマンド信号を決める。

方法の初めに戻ると、オペレータ制御プログラム３８の
制御下で実行すべきプロセスを指定するデータ構造４５
を作成するのにエンジニアリングセットアツプ制御プロ
グラム３２が使われる。データ構造は一般に、エンジニ
アからの命令（キーボード入力４６）に応じて作成され
る。

各プロセス制御プログラムは異る一組のパラメータを必
要とし、且つそれらのパラメータが編成される方法は一
般にプロセス制御プログラム毎に変るため、プロセスを
定義するのに使われるデータ構造のフォーマットは一般
に、そのプロセス用のプロセス制御プログラムに依存す
る。簡潔に言えば、各データ構造のフォーマットは対応
するプロセス制御プログラムに必要なパラメータによっ
て決まる。従って、各プロセス制御プログラム毎にデー
タ構造フォーマツ）　（ＯＳ　ＦＭＴ）　４８が存在す
る。

第５図に示すように、各プロセス用のデータ構造には次
のよう、な幾つかの情報が含まれる：プロセス名（Ｏｐ
　Ｐｒｏｍｐｔ　）　　；オペレータ制御プログラムで
プロセスの使用が可能かどうかを示すフラグ値（Ａｖａ
ｉｌ　）　　；そのプロセス用プロセス制御プログラム
へのポインタ（ＰＣＰ　Ｐｔｒ　）　　；及びプロセス
用パラメータのリスト。各パラメータ毎に、値と状態フ
ラグが記憶可能である。状態フラグは、パラメータ値が
固定及びオペレータ制御プログラムによって変更不能；
オペレータ制御プログラムによって変更可能；またはプ
ロセスの実行前にオペレータ制御プログラムで値を与え
ねばならないかどうかを指示するのに使われる。

好ましい実施例において、エンジニアリングセットプロ
グラムによって生成されるデータ構造４５はディスク３
５上に記憶され、オペレータ制御プログラム３８によっ
て後で使われる。好ましい実施例でＨＰ　１５０コンピ
ユータと共に使われるディスク３５は約７５０，０００
バイトのデータを記憶可能なマイクロディスケット（つ
まり小型のポータブル式可撓性ディスク）で、ウエノ＼
抵抗率テスター２２の実行中に収集されるデータの他多
数のデータ構造を記憶できる。こ＼で“ディスク”及び
“マイクロディスケット”の両方は、相互に置換可能な
用語として用いる。

オペレータ制御プログラム３８はその使用時、ディスク
３５からそれらのデータ構造のコピーを読込んで記憶す
る。オペレータの入力パラメータ値は使われているプロ
セス用データ構造４５のコピー中に一時的に記憶される
ので、ディスク３５に記憶されたデータ構造４５のコピ
ーに影響を及ぼさない。事実、オペレータ制御プログラ
ム３８はディスク３５に記憶されたデータ構造を変更で
きない。

この発明の方法の全般的特徴に関する上記の説明と同じ
く、解り易くするため、この発明で使、′−）れるエン
ジニアリングセットアツプモジュール及びデータ構造の
説明に入る前に、オペレータ制御モジュールを詳述する
。

方法の初期ステップ 第６図を参照すると、好ましい実施例の方法の初期ステ
ップを表わすフローチャートが示しである。これらはエ
ンジニアリングセットアンプ及びオペレータ制御両プロ
グラムをスタートさせるスチップである。

エンジニアモジュール２６かオペレータモジュール２８
内のコンピュータ３０または３６が電源入力されると、
自動的に標準的なシステムブート入力手順５０を踏む。

これにより、コンピュータのオペレーティングシステム
内にソフトウェアがロードされると共に、この場合には
主プログラムモジュールの導入シーケンスである指定プ
ログラムもロードされスタートされる（ボックス５２）
。

従って、コンピュータ３０または３６が電源投入される
かリセットされると、制御系２４用のソフトウェアを自
動的にロードし、定義済の表示画面（第５表参照）がコ
ンピュータのディスプレイ３４上に現われる。好ましい
実施例では、導入画面がシステムを識別し、著作権の告
示を表示し、制御系２４の使用がライセンス契約の条項
に基（ことをユーザに警告する。

尚、導入表示ステップ（ボックス５４）への入口点Ａは
システムスタート手順でこの部分へ戻るための省略表示
として以下の各図で用いられる。

同じく、他の入口点表示（Ｂ、Ｃ，Ｄ等）も、システム
中のソフトウェアの一部から他への制御フローを示すた
め、各図を通じ一貫して使われている。

初期画面から、オペレータ制御ソフトウェアかエンジニ
アセットアツプソフトウェアが起動可能である。コンピ
ュータの表示画面３４がタッチされると、オペレータ制
御ソフトウェアが起動する。

これは、ディスク３５に記憶されたデータ構造のコピー
をコンピュータのメモリ内にロードしくボックス５６）
、オペレータプロセスをスタートする（ボックス５８）
ことによって成される。

尚好ましい実施例では、コンピュータのディスプレイ３
４がタッチ感応画面である。つまりコンピュータは、画
面３４がタッチされたことだけでなく、画面上のタッチ
位置も一般に検知できる。

後に明らかとなるように、この発明の好ましい実施例で
は、オペレータによる制御系２４の使用を容易化するた
め、このタッチ画面の特徴が多くの個所で用いる。タッ
チ感応画面は当該分野で周知なので、好ましい実施例で
あるこの特徴についてはこれ以上説明しない。但し、タ
ッチ感応画面３４からの入力信号は以下で論するこの発
明の別の実施例において、キーボード信号またはマウス
装置やライトペン装置からの信号で容易に置換可能であ
る。

さらに第６図を参照すると、画面３４ヘタフチする代り
にキーボード３３上にパスワードを入力すれば、エンジ
ニアセットアツププロセスがスタートする。入力された
パスワードが正しいと（ボックス６２）、エンジニアセ
ットアツプソフトウェアが起動される。この起動は、デ
ィスク３５に記憶されたデータ構造のコピーをコンピュ
ータのメモリ内にロードしくボックス６２）、エンジニ
アセットアツププロセス（ボックス６４）をスタートす
ることによって成される。入力パスワードが正しくない
と（ボックス６０）、ｉ大表示画面が表示され続ける。

そして画面最下の指示メツセージラインに、エラーメツ
セージが一時的に表示される。

オペレータ制御プロセス オペレータ制御プログラム用のフローチャートを第７〜
９図に示す。

第７図を参照すると、オペレータ制御プログラムの基本
ステップはテスター２２で実行すべきプロセスの選択（
ボックス７０）；プロセス用パラメータ値の入力（ボッ
クス７２）：及び選択プロセスの開始（ボックス７４）
である。

オペレータ制御プロセスの各ステップで、オペレータは
現ステップから出て、方法中の前のステップへリターン
できる。選択プロセスのステップ中にオペレータが画面
３４上のＥＸＩＴボックスにタッチすれば（第６表参照
）、第６図に示すような導入表示ステップ（ボックス５
４）に戻る。

同じく、パラメータ入力のステップ中にオペレータがＥ
ＸＩＴボックスにタッチすれば、プロセス選択ステップ
に戻る。

また上記のごとく、オペレータ制御プロセスがスタート
するとき、８１の定義済プロセス用のデータ構造がディ
スクからコンピュータのメモリ内にコピーされ、オペレ
ータ制御モジュール２８によって使われる。これらの定
義済プロセスは９グループのプロセスに編成され、各グ
ループが９のプロセスを含む。

オペレータプロセスの択 第８図を参照すると、プロセス選択法の第１ステツプは
、幾つのプロセスグループがオペレータによって利用可
能かを決めることである（ボックス８０）。１つだけ利
用可能なら、そのグループが自動的に選ばれる（ボック
ス８２）。

ゼロまたは１より多いプロセスが利用可能なら、第７表
に示す１つ等の画面を表示することによってプロセス選
択ステップが進行する。画面中央の項目はそれぞれ、定
義済プロセスのグループを表わす。オペレータが利用可
能なプロセスは、２重水平線間にあるものとして第６表
に示すように反転映像で表わされる。オペレータが利用
不能なプロセスは、１重水平線間にあるものとして第６
表に示すように普通映像で表わされる。つまり第６表テ
ハ、ＥＸＴＲＩＯＮ　ＤＦ４　、ＥＸＴＲＩＯＮ　ＣＦ
３００及びＮ０ＶＡＮＶＩＯ−１のプロセスグループが
利用可能で、Ｎ０ＶＡＮＶ１０−２及びＬＩＮＴＯＴＴ
　ＩＩＩＸのプロセスグループが利用不能である。

スクリーン３４上の利用可能なグループ名にタッチする
ことで、グループ選択（ボックス８６）が実施される。

利用不能なプロセスの位置でタッチ画面ディスプレイ３
４を押すと、オペレータ制御プログラムはと−プ音を発
生し、表示はそのままにとどまる。一方、利用可能プロ
セスグループの位置でディスプレイ３４にタッチすると
、第７または８表に示した表示等の新しい表示が示され
る。

文脈情報が与えられるので、利用不能グループ名の表示
は有用なことが多い。追加の文脈情報は、実行中の手順
名が示されるディスプレイの最上位置に与えられる。

ＥＸＩＴ（出口）オプションを選ぶと、オペレータは入
口点Ａを介して導入表示に戻る。

こ＼でまたはプロセス中の他の任意の地点でＨＥＬＰ　
（ヘルプ）オプションを選ぶと、説明文が一時的に表示
されて使用上の混乱を防ぐ。

いずれのグループも可能でないと（つまりオペレータに
とって利用可能でない）、グループ名が表示されるが、
利用可能なオプションはＥＸＩＴオプションしかない。

利用可能なものがないとしても、グループ名の表示は、
エンジニアがセットアツプ中のプロセスグループ名の表
示をチェックするのに有用である。

グループが選ばれると、選択グループ内の利用可能なプ
ロセス数をチェックすることによって（ボックス９０）
選択プロセスは進行する。１つだけ利用可能なら、その
プロセスが自動的に選ばれる（ボックス９２）。そうで
なければ（つまりゼロまたは１より多いプロセスが利用
可能なら）、第７表に示す１つ等の画面を表示すること
によってプロセス選択ステップが進行する。第７表は、
Ｎ０ＶＡ　ＮＶＩＯ−１グループが選ばれたときに表示
されるプロセス名を示している。第８表は、ＥＸＴＲＩ
ＯＮＤＦ４グループが選ばれたときに表示されるプロセ
ス名を示している。第７表を参照すると、画面中央の各
項目は定義済のプロセスを表わす。オペレータが利用可
能なプロセスは、２重水平線間にあるものとして第７表
に示すように反転映像で表わされる。オペレータが利用
不要なプロセスは、１重水平線間にあるものとして第７
表に示すように普通映像で表わされる。

グループの選択に関して上記したように、プロセス選択
（ボックス９６）は画面３４上の利用可能なプロセス名
にタッチすることによって成される。次いで、プロセス
はパラメータ入力ルーチンに進む（ボックス７２、第９
図参照）。

■のグループ　びプロセス択法 この発明の別の実施例では、テスターで実行すべきプロ
セスを選ぶのに、動的メニューがオペレータ制御プログ
ラムにおいて使われる。この方法では、プロセスグルー
プ名が第１メニュー表示領域に表示される。第１メニュ
ー表示領域中ポインタで指されているグループ名に対応
するプロセス名は、第２メニュー表示領域に表示される
。さらに、グループ及びプロセスの可用性は、利用可能
なグループ及びプロセスの名前を反転映像で表示するこ
とによって視覚的に示される。

オペレータは、まず選びたいグループを指すまで第１メ
ニュー表示領域内でポインタを動かしてプロセスを選択
する。ポインタが利用不能なグループを飛び越すように
、ポインタの移動をオペレータ制御プログラムで制御す
ることもできる。ポインタの移動につれ、第２メニュー
表示領域中のプロセス名は、そのときに指されているグ
ループ用のプロセス名へ自動的に置換される。次いでオ
ペレータは第２メニュー表示領域内でポインタを移動し
、選びたいプロセスを指す。こ＼でも、利用不能なプロ
セスを飛び越すように、ポインタの移動を制御できる。

最後に、第２メニュー表示領域中のポインタがオペレー
タの選びたいプロセスを指しているときに、オペレータ
は画面上の該当するラベル表示ボックス（ＳＥＬＥＣＴ
等）にタッチしてそのプロセスを選び、パラメータ入力
ステップへと進む。

第７表に示したＥＸＩＴオプションを選ぶと、１より多
いグループが利用可能なら入口点Ｃを介してプロセスは
グループ選択ステップへ戻り；さもなければ、入口点Ａ
を介してプロセスは黒人表示ステップ（ボックス９８参
照）へ進む。

第６．７表に示したプロセスは使用しているイオン注入
機に関してグループ分けされているが、各プロセスはエ
ンジニアが望む任意の方法でグループ分けできる。

オペレータパラメータの　力 第９図を参照すると、パラメータ入力ルーチンは、第１
０表に示した１つ等のパラメータ入力画面を表示するこ
とによって始まる（ボックス１００）。

画面の最上ラインはオペレータに対し、パラメータ値を
入力するよう求められていることを知らせると共に、選
択されたプロセスとプロセスグループの名前及び選択プ
ロセスに対応したプロセス制御プログラムの名前を識別
する。第９表に示した例では、選択グループがＮ０ＶＡ
　ＮＶＩＯ−Ｉ　ＭＡＰグループで、選択プログラムは
Ｉ　Ｅ　１３−ＢＯＲＯＮ（ＭＡＰ）と呼ばれ、対応す
るプロセス制御プログラムはＣ０ＮＴＯＵＩ？　ＭへＰ
である。

画面左側における最上の指示メツセージライン下方の数
行は、ヘッダーラインと呼ばれる。ヘッダーラインの下
に、各パラメータとそれらの値のリストが位置する。

固定値でオペレータが変更できないヘッダーラインとパ
ラメータ値は、画面上普通の映像で示される。オペレー
タが変更できるヘッダーラインとパラメータは、普通の
反転映像で示される（第１０表中項目に続く１つの星印
“★”で表わす）。

最後に、選択プロセスの実行前に値を与えねばならない
ヘッダーラインとパラメータは、輝く反転映像で示され
る（第９表中項目に続く２重の星印“★★”で表わす）
。

現時点で選択されるパラメータまたはヘッダーラインを
指示するのには、（第９表中左向き矢印で示すような）
可動ポインタが使われる（ボックス１０６）。好ましい
実施例では、可動ポインタが固定値のヘッダーラインと
パラメータを自動的に飛び越す。

現時点で選択したラインまたはパラメータの値は、画面
上のＣＨＡＮＧＥボックスにタッチし、オペレータ用キ
ーボード３７を使って該当価を入力することにより入力
できる（ボックス１０８）。従来のＯｍｎｉｍａｐシス
テムに関連して述べたように、一部のパラメータ値はオ
ペレータ用キーボード３７で値をタイピングすることで
入力され、他の一部は（左／右動カーソルキー等の）カ
ーソル移動キーを使い前もって定義した組の中から選ば
れる。

各パラメータの入力（ボックス１０８）Ｇ（及びパラメ
ータ入力画面が最初に表示されるとき）、システムは全
ての強制入力パラメータ（明るい反転映像で示す）につ
いて値が入力されているかどうかをチェックする。入力
済でないと、選択プロセスの実行は不能とされ、画面最
下のボックスに５ＴＡＲＴまたはＲＬＩＮ　ＴＥＳＴ　
（実行テスト）のラベル付けがなされる。強制入力のヘ
ッダーラインとパラメータがどちらもないと、パラメー
タ入力画面が最初に表示されたとき選択プロセスの実行
が可能である。また好ましい実施例では、強制入力パラ
メータまたはヘッダーラインの値が入力されると、その
値は輝く反転映像でなく普通の反転映像で表わされる。

従ってオペレータには、残りの強制入力パラメータに関
して視覚的に合図される。

ＥＸＩＴオプションを選ぶと、パラメータ入力のプロセ
スが打ち切られる。まず（ボックス１１０）、“ＡＲＥ
　ＹＯＵ　５ＵＲＥ　ＴＨＡＴ　Ｙｏｕ　ＷＡＮＴ　Ｔ
ＯＥＸＩＴ？　（出たいのは確かか？）゛等の質問を最
下の指示メツセージライン上に表示することによって、
実際に出たいのかどうかがオペレータに問われる。そし
て画面上の最下４ボツクス内のテキストが置換され、１
つがＹＥＳ、１つがＮｏ１残りがブランクとなる。オペ
レータが画面上のＮｏボックスにタッチすると、パラメ
ータ入力プロセスが再開される。

ＹＥＳボックスにタッチすると、パラメータ入力プロセ
スが打ち切られる。この場合、選択グループ中の１つよ
り多いプロセスが利用可能なら、プロセス選択ステップ
でプロセスが再開する（ボックス１１２）；さもなけれ
ば、利用可能プロセスグループの数に応じ、プロセスは
グループ選択のステップかまたは導入画面のステップで
プロセスが再開する（第８図のボックス９８参照）。

全ての強制入力パラメータに値が与えられると（判定ボ
ックス１１４参照）　、５ＴＡＲＴオプシヨン（ＲＵＮ
　ＴＥＳＴまたはＲＵＮ　ＰＲＯＣ（実行手順）オプシ
ョンとも呼ばれる）が選択プロセスの実行を開始する（
ボックス１１６）。選択プロセスがスタートすると、対
応したプロセス制御プログラムがコンピュータを支配す
る。つまり、表示を変更したり、オペレータに質問した
り、オペレータがテスター２２上の各種ダイヤルを設定
するように要求したりする。好ましい実施例では、テス
ター２２の調整は全てシステムによって自動的に成され
、オペレータによる手会話を必要としない。

選択プロセスが完了すると、パラメータ入力画面が再び
現われ、最下のオプションボックスにＮＥＸＴ　ＷＡＷ
ＥＲ（次ウェハ）とＤＯＮＥ　（完了ｉ　ＥＸＩＴと同
義）がラベル表示される。ＮＥＸＴ　ＷＡＷＥＲがオペ
レータによって選ばれると、パラメータ入力が再び可能
となる。好ましい実施例では、前の実験で使われたパラ
メータ及びヘッダーライン値が次の試験のスタート値と
して使われる。この方が、オペレータにとって便利なこ
とが多いからである。ＤＯ１ｔＥオプションが選ばれる
と、プロセスは入口点Ｆを介して判定ボックス１１２に
戻り、利用可能なプロセス及び／又はグループの数に応
じてオペレータ制御プロセス中の先行する一地点へ至る
。

要約すれば、オペレータ制御プロセスによってオペレー
タは任意の利用可能プロセスを選べる。

またオペレータは、オペレータ変更パラメータのパラメ
ータ値を入力できると共に、強制入力パラメータの値を
入力するように強いられる。全ての強制入力パラメータ
について値が入力されると、選択プロセスの実行が可能
となる。

以上オペレータ制御プロセスを説明したので、次にかか
るオペレータ制御プロセスの使用をセットアツプするた
めシステムを定義するプロセスを説明する。しかしその
前にまず、好ましい実施例である関連のハードウェア上
の特徴と動的メニュー特徴の概要について論じる。

ビットマツプ式表示す−ビスルーチン 好ましい実施例では、ビットマツプ式表示を用いたＨＰ
１５０コンピュータを使用する。ビットマツプ式表示は
コンピュータのディスプレイ上における新たな画像の迅
速な書込みを容易化し、特に表示の選択部分を書き直す
のに有用である。また表示はモノクロだが、次の３つの
照明レベルが可能である：暗、明及び耀き。

現在多くのコンピュータで標準的となっているように、
ＨＰ１５０はその表示を制御するための組込みファーム
ウェアルーチンを有する。ＨＰ１５０の表示ファームウ
ェアプログラムの重要な特徴は次の通り。

第１に、そこに書込むべき画面位置及びテキストまたは
画像（ラインやボックス等）を指定するだけで、画面の
任意の部分を書き換えられる。第２に、テキストを普通
の映像、反転映像または輝く反転映像（強調とも呼ばれ
る）で書くように指定できる。第３に、ユーザが事実上
応答時間に気づかないほどルーチンが速い。

ビットマツプ式表示及び表示ルーチンの内部動作は、当
業者にとって周知である。これらの詳細はこの発明にと
って重要ではないので、こ＼ではこれ以上説明しない。

動的メニューの選民法 この発明の動的メニュー特徴の全機能を示すため、好ま
しい実施例で使われるのと別の例を使用する。好ましい
実施例における動的メニュー特徴の使用を、エンジニア
リングセットアツププログラムでのＭＡＩＮ　ＭＥＮＵ
、　０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴ及び０ＰＥＲＡＴＯ
ＲＣＩＩＯＩＣＢＳの各タスクに関連して以下説明する
。

第１０図を参照して、第１０表に例示のメニュー表示を
検討する。例示のメニュー表示は、−組の項目中から１
項目を選ぶのに使われる。これらの項目はグループとサ
ブグループに編成され、各各は割当てられた名前を有す
る。この例の目的上及び動的メニュー特徴の一般性を示
すため、項目はマイクロコンピュータの制御下で旋盤に
よって製造される物件で、各グループは個々の顧客に従
って命名され、各サブグループが顧客の特定部門かまた
は一定の物件が製造されねばならない顧客の特定プロジ
ェクトであるとする。この発明による動的メニュー選択
法のその他の例も、以下詳述するエンジニアリングセッ
トアツププロセスに関連して示す。

３つのメニュー表示領域が表示画面上に形成されるニゲ
ループメニュー、サブグループメニュー及び物件メニュ
ー。第４領域は、物件メニューに示された各項目に対応
するプロセス制御プログラムを識別するのに使われる。

各メニュー領域とプロセス型式領域には、それぞれポイ
ンタが存在する。各ポインタの現位置は、その項目を反
転映像で表示することによって表わされる（第１０表中
選択位置に続く星印“★”で示す）。

第２メニュー領域内に示されるサブグループは、第１メ
ニュー領域内のポインタで指されているグループに対応
したサブグループである。第３メニュー領域内に示され
る物件名は、第２メニュー領域内のポインタで指されて
いるサブグループに対応した物件である。

位置ポインタのうち１つだけが１回にアクティブとなる
。アクティブポインタは、反転映像である対応メニュー
の名称を表示しく第１０表中名称に続く星印“★”で示
す）、輝く反転映像内でアクティブポインタにより指さ
れている項目を表示する（第１１表中輝く反転映像内で
項目を指く矢印によって示す）ことによって示される。

アクティブポインタをあるメニューから別のメニューへ
移動するのにはキーボード３３上の左／右カーソル移動
キーを用い、−メニュー中で項目リストを上下させるの
には上／下カーソル移動キーを用いる。

メニューが最初に表示されるとき、アクティブポインタ
は第１グループ名を指し、その他のポインタは各メニュ
ー内の第１項目を指している。

第１１表に示すように、例えば第１メニュー領域内の第
２項目を指すためポインタがそのメニュー内で移動され
ると、サブグループメニューは第１メニュー領域内のポ
インタで指されているグループ項目に対応したサブグル
ープ項目と自動的に置換される。同様に、第３メニュー
領域は第２表示領域内のポインタで指されている新しい
サブグループ項目に対応した物件名と置換され；また第
４表示領域は第３メニュー表示領域内で示されている新
しい物件名に対応したプロセス名と置換される。

第１２表は、アクティブポインタが第２表示領域に移動
され、サブグループメニュー内の第３項目に下動された
後の表示を示す。

画面上の５ＥＬＥＣＴボツクスがタッチされると、物件
メニュー内でそのときポインタ指示されている物件に対
応したプロセスが１選ばれる”。状況に応じ、これは例
えばエンジニアリングセットアツプ用のプロセスを選ぶ
のにも使える。動的メニュー選択法の別の例では、！Ｖ
ＬＥＣＴボックスにタッチすると、アクティブポインタ
でそのとき指されている項目（グループ、サブグループ
または物件）が、オペレータにとって利用可能または利
用不能いずれかとして指定される。

画面上のＣＨＡＮＧＥ！ボックスがタッチされると、ア
クティブポインタで指されている項目名を、コンピュー
タのキーボードで新しい名前をタイプ入力することによ
って変更できる。

第１２表を参照すると、好ましい実施例では特定プロセ
スと共に使われるプロセス制御プログラム（つまり物件
メニュー内の項目）が、アクティブポインタを物件メニ
ュー内の特定項目に移動し、アクティブポインタを型式
メニューへと右動することによって変更可能である６画
面上のＣＨＡＮＧＥボックスがタッチされると、利用可
能なプロセス制御プログラムの１つを選択するようにエ
ンジニアが促される。このプロセスは、以下にエンジニ
アリングセットアツププロセスのオペレータ指示メツセ
ージセットアツププロセスを説明するときに詳述する。

第１０図を参照すると、基本のメニュー選択法は通常の
ように作動する。まず、少（とも２つのメニュー表示領
域が定義され、２つのメニューが定義済の初期ポインタ
位置を含めて表示される（ボックス１２０）。例えば第
１０表に示す動的メニューの例では、ＧＲＯＵＰ　　（
グループ）と題された第１メニュー表示領域と、５ＵＢ
−ＧＲＯｔｌＰ　　（サブグループ）と題された第２メ
ニュー表示領域が存在する。各表示領域がポインタを有
し、そのポインタの位置は第１０表中星印で示しである
。好ましい実施例における動的メニューの全てでなく一
部の使用では、表示領域のポインタで指されている項目
が反転映像で示される。

主メニューポインタを移動するのには上／下動カーソル
キー（プロセスフローパス１３１と１３２参照）が使わ
れ、これによって第２メニューはそのときポインタで指
されている主メニュー項目に対応した項目と自動的に置
換される（ボックス１２２）。例えば、第１０表から第
１１表への移行参照。プロセスフローパス１３２は、主
メニューポインタの連続的な移動を表わしている。

左／右カーソルキーを連続的に使うと（プロセスフロー
パス１３３〜１３７）、第２メニューのポインタ（ボッ
クス１２４）及び主メニューボインタ（ボックス１２６
）がアクティブとなる。−メニュー表示領域から他への
アクティブポインタの各移動は、アクティブポインタを
含む表示領域の名称を強調することによって視覚的に確
認される。好ましい実施例における動的メニューの全て
ではなく一部の使用では、アクティブポインタで指され
ている項目を輝く反転映像で示す一方、他の表示領域中
のポインタで指されている項目を普通の反転映像で示す
ことによって、アクティブポインタが更に区別される。

第１２表における第２メニューポインタのアクティブ化
は、ＧＲＯＵＰメニュー（第１１表）の名称から５ＯＢ
−ＧＲＯＵＰメニュー（第１２表）の名称への星印の移
動によって示される。第１２表に示した画面状態から左
動カーソルキーを押すと、第１メニューポインタがアク
ティブ化され、第２メニューポインタがデアクチイブ化
される。

第２メニューポインタがアクティブになると、上／下動
カーソルキー（プロセスフローステップ１３８．１３９
）を使って第２メニューポインタを動かせる。つまり、
第１２表に示した画面は、第２メニューポインタをアク
ティブ化した後、下動カーソルキーを２回押し、ポイン
タを第２メニュー表示領域内の第３項目に下動すること
によって達成されたものである。

アクティブポインタで指されている項目を参照するか、
または該当信号をコンピュータに送って第２メニューポ
インタを参照することにより、任意の地点で指定タスク
を実施できる（ボックス１３０とプロセスフローパス１
４１．１４２参照）。

例えば、ポインタで指されているサブグループ（プロジ
ェクトＸ）をオペレータ制御プログラムによって使用可
能とするためには、第１２表に示した画面上の５ＥＬＥ
ＣＴボツクスを押せばよい。

第１１図を参照すると、３つのメニューディスプレイ領
域を用いたメニュー選択法のフロー図が示しである。こ
れは第１０図を拡張したものなので、追加の特徴だけを
説明する。

主な追加の特徴は、第２表示領域内におけるポインタの
上／上移動（フローパス１４４．１４５を参照）によっ
て、第３メニュー表示領域がそのときポインタ指示され
ている第２メニュー項目に対応した項目と自動的に置換
されることである。

例えば、第１１表から第１２表への移行参照。また、第
１メニュー表示領域内におけるポインタの上／上移動に
よって、第２及び第３の表示領域が書き換えられる。例
えば、第１０表から第１１表への移行参照。第３表示領
域の内容は第１表示領域内におけるポインタの移動で変
化する第２表示領域内でそのときポインタ指示されてい
る項目に対応しなければならいなので、第３表示領域も
影響を受ける。

第１０図になく第１１図にあるその他の追加スローパス
は、第３の動的メニュー表示領域を含めることで可能と
なる表示領域から表示領域へのアクティブポインタの追
加の横移動を表わしている。

上記の動的メニュー選択法は、４つ以上の同時表示メニ
ュー用にも拡張できる。例えば、動的メニュー選択法は
次の場合の同時表示メニューに使用可能である；（１）
米国内の各州；（２）現時点で選ばれている川内の各群
；（３）現時点で選ばれている群内の各都市または編入
されていない町；及び（４）現時点で選ばれている都市
内の各管区または同等の区分。

いずれのメニュー内におけるポインタの移動によっても
、階層中より低位のメニューがそのときポインタ指示さ
れている新しい項目に対応したリストと置換される。ま
たこの例では、各表示領域中のリストがほとんどの表示
装置にとって長過ぎるため、各リストの一部だけを示す
必要がある。

つまり、このような実施例の特徴は、任意の１つの表示
領域内における全項目を走査するためのスクロールまた
はページング機能となる。

別のポインタシステム この発明の動的メニュー特徴のその他の実施例では、好
ましい実施例で用いるカーソルキーの代りにマウス装置
やライトペンを使って表示領域ポインタを操作できる。

マウスは一般に、コンピュータに接続された手持ち人位
置感応装置である。例えば、マウスがデスフ表面に沿っ
て移動されると、コンピュータ画面上のカーソルまた同
様のポインタがマウスの移動に追従する。視覚的なフィ
ードバックで、画面上のポインタが任意の所望位置にく
るように、ユーザは迅速にマウスを移動させられる。さ
らに、こうしたマウス装置は通常２つ以上の機能ボタン
を有する。これらの機能ボタンは、この発明の動的メニ
ュー特徴との関連において、表示領域ポインタがそのと
のマウスで指されている項目へ移動されるべき時点を指
示するのに使われる。

ライトペンは一般に、コンピュータ画面上のどの位置が
指示されているかを検知するのに使える光感応ポイント
装置である。従ってライトペンは、ユーザがライトペン
で任意の動的メニュー表示領域内の新しい項目を指した
とき、該当の表示領域ポインタをそこへ移動させるよう
にシステムをプログラミングしておくだけで、動的メニ
ュー内の表示領域ポインタを移動するのに使える。

データ構造 第１２．１３．１４．１５及び１６ａ　〜１６ｃ図を参
照すると、この発明の好ましい実施例で使われる主デー
タ構造のブロック図が示しである。

第１２〜１５図は、主データ構造が論理的にいかに構成
され相互関連されているかを示す。第１６ａ〜１６ｃ図
は、好ましい実施例においていかにデータ構造がメモリ
とディスクへ記憶されるかを示す。

上記のごとく好まし実施例において、データ構造は各々
が９プロセスを含む９のプロセスグループに編成された
合計８１の定義法プロセスについて定義され記憶される
。これらのデータ構造は初めにエンジニアリングセット
アップモジュール２６（第３図）で定義され、その後の
使用のためディスク３５上に記憶された後、オペレータ
制御モジュール２８での使用のためコンピュータのメモ
リ内にコピーされる。

第１２図を参照すると、グループ指示メツセージデータ
構造１５０は、それぞれ２０文字長までの一組の９のプ
ロセスグループ名１５２と、−組の９の対応するグルー
プ可用性フラグ１５４を含む。グループ名１５２は例え
ば第６表に示すごとく、上記のプロセス選択ステツブ中
オペレータ画面上に表示される。各グループ可用性フラ
グは、対応グループがオペレータによって利用可能なら
０、対応グループが利用不能なら１である。

第１３図を参照すると、プロセス指示メツセージ構造１
５５は一組の８１のプロセスグループ名１５６と、−組
の対応するプロセス可用性フラグ１５８を含む。第１の
９プロセス名が第１グループに属し、次の９プロセス名
が第２グループに属し、以下同様である。選ばれたグル
ープ用のプロセス名１５６は例えば第７表に示すとと（
、上記のプロセス選択ステップ中オペレータ画面上ニ表
示される。各プロセス可用性フラグは、対応プロセスが
オペレータによって利用可能なら０、対応プロセスが利
用不能なら１である。

第１４図を参照すると、ヘッダーデータ構造１６０は各
プロセス毎のヘッダーラインを含む（例えば第９表最上
指示メツセージライン真下に示したヘッダーライン参照
）。概念上、ヘッダーデータ構造１６０は９×９アレイ
のプロセスへフダーデータ構造１６２から成る。各プロ
セスヘンダーデータ構造１６２は、最上ヘッダーライン
のテキスト１６３ａ（５０文字長まで）、通常の６ヘツ
ダーラインのテキスト１６４ａ　（各２０文字長まで）
を含む。さらに、プロセスヘッダーデータ構造中の各ヘ
ッダーライン毎に状態フラグが存在し、この状態フラグ
はヘッダーラインが強制入力ラインであるとＯ２変更可
能ラインであると１、ヘッダーラインのテキストが固定
だと２である。

第９表を参照すると、通常のヘッダーラインは第１の通
常ヘッダーラインが左側、第２の通常ヘッダーラインが
右側にそれぞれ表示される等し、上記のオペレータパラ
メータ入カプロセス中に見られるとき各２ラインが対を
成す。一般に、左側のヘッダーラインは、対応する右側
のヘッダーラインへオペレータによって入力されるべき
値を指示する固定テキストを含む。

第１５図を参照すると、全ての定義法プロセス用のパラ
メータ値を記憶するのにパラメータデ−夕構造１７０が
使われる。概念上、パラメータデータ構造１７０は９×
９アレイのプロセスパラメータデータ構造１７２から成
る。各プロセスヘッダー構造１７２は、プロセスに対応
したプロセス制御プログラムのインジケータ１７３と、
プロセス制御プログラムと対応した全可変パラメータの
該当するデフォルト値１７４を含む。プロセス制御プロ
グラムのインジケータ１７３は、プロセスに対応したプ
ロセス制御プログラムに対するデータ構造１７２からの
間接ポインタとして機能する。

さらに、プロセスパラメータデータ構造は各パラメータ
毎にパラメータ状態フラグ１７５を有し、このフラグ１
７５はパラメータ状態がＦＯＲＣＨＤ　（強制）（つま
りプロセス実行前にオペレータが値を与えねばならない
強制入力パラメータ）なら０、ＭＡＹ　ＣＩＩＡＮＧＥ
　（変更可能）（つまりオペレータが変更可能なパラメ
ータ）なら１　、ＬＯＣＫＥＤ　（ロック）（つまり値
固定）なら２である。

各プロセス制御プログラムは一般にそれに対応した異る
パラメータを有するので、エンジニアリングセットアツ
プモジュールは各プロセス制御プログラム毎に、プロセ
スに対応したパラメータ名、プロセスパラメータデータ
構造１７２内に記憶するパラメータの順序、及び各パラ
メータのフォーマットを指定するデータ構造フォーマッ
ト１７６を含んでいる。各パラメータがフォーマットを
持つのは、その一部はテキストとして単に記憶され、他
は整数または浮動少数点数として記憶され、さらにその
他は日付または別の特殊データフォーマットとして記憶
されるからである。

エンジニアリングセットアツププロセスに関する議論で
や〜詳しく説明するように、特定プロセスのパラメータ
及びヘソグーデータ構造を指し示すのに使われる特定プ
ロセスポインタ１７７が存在する。この特定プロセスは
、エンジニアリングセットアツププロセスによるセット
アツプのため現時点で選択（つまり指定）されているプ
ロセスである。

第１６ａ〜１６Ｃ図を参照すると、好ましい実施例にお
いて上記のデータ構造は、上記と異るフォーマットでコ
ンピュータのメモリ内に記憶される。

基本的に言うと、実際の記憶方式では、データ構造中の
各種類の項目が別個のアレイとして一緒に記憶される。

このようなメモリ記憶方式で標準的となっているように
、異ったアレイ中の関連項目は共通のポインタまたはイ
ンデックスによって相互に対応付けられる。すなわち、
−アレイ　（プロセス可用性フラグのアレイ等）中のＮ
番目の項目は、別の関連アレイ　（プロセス名アレイ等
）中のＮ番目の項目と対応する。

好ましい実施例で使われるメモリ記憶方式は、迅速なデ
ータの処理及びディスク３５からの迅速なデータ構造の
読出しとコピーを容易化する。

第１６ａ図を参照すると、指示メツセージデータ構造１
８０は順番に、９のプロセスグループ可用性フラグ１５
４；８１のプロセス可用性フラグ１５８．９のグループ
名１５２；及び８１のプロセス名１５６用の各アレイか
ら成る。

第１６ｂ図を参照すると、パラメータデータ構造１８２
は順番に、８１のプロセス制御プログラム種類インジケ
ータ１７３；８１組（各組１２）のパラメータ状態フラ
グ１７５　（パラメータ指定手段とも呼ばれる）；及び
８１組のパラメータ値１７４用の各アレイから成る。上
記のように、各パラメータ値はパラメータによって表わ
される値の種類に応じた個別のフォーマットで記憶でき
る。

つまり、一部のパラメータ値はテキストとして単に記憶
され、他の一部は整数または浮動少数点数として記憶さ
れ、さらにその他は日付または別の特殊なデータフォー
マットとして記憶され得る。

第１６ｃ図を参照すると、ヘソグーデータ構造１８４は
順番に、８１組のヘソグーライン状態フラグ１６５（プ
ロセス指定手段とも呼ばれる）；８１の最上ヘッダーラ
イン；及び８１組の通常ヘッダーライン１６４（各組６
行のヘソグーラインを有する）用の各アレイから成る。

好ましい実施例において、実際に必要なパラメータ数は
プロセス制御プログラム毎に異るが、同一量のメモリス
ペースが各プロセスのプロセスパラメータデータ構造に
割り当てられる。つまり、好ましい実施例で使われるプ
ロセス制御プログラムで必要な最大数である各プロセス
毎に１２のパラメータ値用のスペースが、パラメータデ
ータ構造１８２に割り当てられる。これは−例に過ぎず
、他のプロセス制御プログラム用に他のデータ構造フォ
ーマットを使えることは容易に理解されよう。

例えば、各プロセス毎に記憶されるパラメータ数は、そ
のプロセスに対応したプロセス制御プログラムに従って
変えられる。さらにこの発明の他の実施例では、新しい
プロセス及び新しいプロセスグループの定義につれ、使
用するデータ構造用のメモリスペースを動的に割り当て
てもよい。

初期のシステム構成 好ましい実施例による制御系２４がエンジニアリングセ
ットアツプの前に初期構成されるとき、制御系には使用
可能なシステムを迅速且つ容易にセットアツプするのに
必要な全てのエレメントが含められる。システム用のハ
ードウェアはエンジニアリング及びオペレータ両モジュ
ール用のコンピュータと、テスターと、両者用のインク
フェイスから成る。

システム用のソフトウェアには、エンジニアリングセッ
トアツププログラム、オペレータ制御プログラム及び導
入プログラムの他、テスター系を制御するためのプロセ
ス制御プログラムも含まれる。さらに、第１６ａ〜１６
ｃ図に示したフォーマットの形でディスク上に記憶され
る一組の初期データ構造が、プロセス制御プログラム毎
にデータ構造フォーマットを備えている。最初に与えら
れる一組のデータ構造は一般に、前にシステムを使った
ことのないエンジニアによるセットアツプを容易化する
ため、定義法の例示プロセスを幾つか有する。対応する
データ構造フォーマットがエンジニアリングセットアツ
ププログラムに加えられる範囲で、追加のプロセス制御
プログラムを加えることができる。

初期構成システムが各ユーザのニーズに適合したシステ
ムへいかに変換されるかを以下に説明する。

エンジニアリングセットアツプ 第１７図を参照すると、エンジニアリングセットアツプ
プロセスの全体的なフローチャートが示しである。第６
図を参照して上述したように、エンジニアリングセット
アツププロセスは、システムの導入メツセージの表示後
パスワードの正しい入力によって開始される。

エンジニアリングセットアツププログラムの第１ステツ
プでは、第１３表に示すようなＭＡＩＮ　ＭＥＮＵを表
示する。ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵは上記の動的メニュー特徴
を有する。このＭＡＩＮ　ＭＥＮＵはエンジニアによっ
て、幾つのタスクグループに分れた多数の定義法エンジ
ニアリングタスクのうち１つを選ぶのに使われる。

ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵは、それぞれポインタを含む２つの
メニュー表示領域を含む。各メニュー表示領域内でポイ
ンタ指示されている項目が、反転映像で表示される（第
１３表中項目に続く星印で示す）。

現時点でアクティブなポインタと呼ぶ１つのポインタだ
けが、任意の一時点で移動可能である。現時点でアクテ
ィブなポインタに対応したメニュー表示領域の名称は反
転映像で表わされ、アクティブポインタで指された項目
が輝く反転映像で表示される（第１３表中項目を指して
いる左向き矢印で示す）。

ＭＥＮＵ　（メニュー）と題された第１メニュー領域は
、エンジニアリングタスクの各グループを識別する。Ｉ
ＴＥＭ　（項目）と題された第２メニュー領域は、第１
メニュー領域内でポインタ指示されたタスクグループに
対応したタスクを列挙する。

アクティブポインタがＭＥＮＵポインタであると、ポイ
ンタの移動に応じ、１７２Ｍメニューがそのときにポイ
ンタ指示されているＭＥＮＵ項目に対応したタスクのリ
ストと置換される（ボックス３０２）。

また、２つのメニュー領域の一方でポインタが移動する
度に、前にポインタ指示されていた項目が普通の映像に
書き換えられ、そのときポインタ指示されている新しい
項目が反転映像に書き換えられる。さらに、現時点のア
クティブポインタが一メニュー領域から他のメニュー領
域へ移動すると、−領域の名称が普通映像に書き換えら
れ、他領域の名称が反転映像に書き換えられる。

ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵ画面の最上指示メツセージラインが
その画面をＭＡＩＮ　ＭＥＮＵとして識別すると共に、
グループ名、プログラム名及び対応するプロセス制御プ
ログラムの名前によって現時点の指定プロセスを識別す
る。

第１５図に戻ると、１つの特定プロセスに対応したデー
タ構造を指し示すポインタ１７７が存在する。便宜上、
このポインタ１７７は指定プロセスを指しているものと
する。

エンジニアリングセットアツププロセスがＩＨＪＪにロ
ードされるとき、特定プロセスポインタ１７７はコンピ
ュータのメモリ内に記憶されたデータ構造中の第１プロ
セス（つまり第１プロセス用のデータ構造）を指すよう
に自動的に設定されている。

以下説明するように、特定プロセスポインタは、オペレ
ータ指示メツセージエンジニアリングタスクを使って任
意の特定プロセスを指すようにも設定できる。

再び第１７図と第１３表を参照すると、表示画面上の０
ＰＥＲＡＴＯＲ（オペレータ）ボックスにタッチして０
ＰＥＲＡＴＯＲタスクを選択すると、エンジニアリング
セットアツププロセスが終了し、エンジニアは導入画面
に戻る。

表示画面上のＧＯ水ボツクスタッチしてＧＯタスクを選
ぶと、ＩＴＥＭメニュー内でそのときポインタ指示され
ているエンジニアリングタスクが開始される。

ＭＡＩＮ　ＭＥＮｔｌに示されたデータ管理タスク、デ
ータプリントタスク及びシステム保守タスクは零発゛明
の主旨でなく、構成タスクはど重要でないので、それら
のタスクは構成タスクの説明後面単に論じる。但し例示
を目的として、第１４表は、ＭＥＮＵポインタを２項目
下げてＤＡＴＡ　ＰＲＯＮＴＩＮＧを指し、右動力カー
ソルキーを使ってアクティブポインタをＩＴＥＭメニュ
ーに移動し、さらにＩＴＥＭポインタを１項目下げてＣ
０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮＳを指したときに生じるディ
スプレイを示す。

構成タスク３１０のグループ内で、エンジニアによって
実施される第１タスクは通常、エンジニアが次にセット
アツプしたいプロセスを指すように特定プロセスポイン
タを設定３１４するのに使われる０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲ
ＯＭＰＴ　　（オペレータ指示メツセージ）タスク３１
２である。０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴタスク３１２
は、プロセスグループ名、個々のプロセス名及び各プロ
セスに対応したプロセス制御プログラムを変更するのに
も使える。

ＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰ　　（試験セットアツプ）タス
ク３１６は、現時点で指定されているプロセス用のデー
タ構造において、どのパラメータが強制入力パラメータ
で、どれがオペレータ変更可能パラメータで、どれが固
定のオペレータ変更不能パラメータであるかを指定する
のに使われる。またＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰタスクは、
オペレータ変更可能パラメータのデフォルト値及びオペ
レータ変更不能パラメータの固定値を与えるのにも使わ
れる。

ＲＥＡＤＥＲＳＥＴ　ＵＰヘッグーセットアップ）タス
ク３１８は、パラメータでな（特定プロセス用のヘング
ーラインをセットアツプするのに使われる点を除き、Ｔ
ＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰ　タスク３１６と実質上回等であ
る。

０ＰＥＲＡＴＯＲＣｔ［０ｒＣＥＳ　（オヘレータ選択
）タスク３２０は指示メツセージデータ構造において、
どのプロセスグループ及びどの個々のプロセスがオペレ
ータにとって再利用可能で、どれが利用不能かを指定す
るのに使われる。

ＵＰＤＡＴＩＥ　ＡＬＬ　（全更新）タスクは、第１６
ａ〜１６ｃ図に示した指示メツセージ、ヘングー及びパ
ラメータの各データ構造全てをディスク３５上にコピー
するのに使われる。

いずれかのエンジニアリングタスクの実施後、一部のタ
スクを除き、ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵが再表示３００される
。例えば、ＵＰＤＡＴＥ　ＡＬＬタスクはＭＡＩＮ　Ｍ
Ｅ！ＮＯを初めの位置に置換°しない。

主ご土二ノ」■し仁ムに１区 第１８図を参照すると、０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴ
　　（オペレータ指示メツセージ）タスクは、第１５表
に示すようなＰＲＯＭＰＴ　ＥＤＩＴＯＲ（指示メツセ
ージエディタ）画面を表示することによって始まる（ボ
ソクス３３０）。第１５表から明らかなように、画面の
最上指示メツセージラインはエンジニアリングタスク（
つまりＰＲＯＭＰＴ　ＥＤＩＴＯＲ）と、そのとき指定
されているプロセスのグループ名、プロセス名及びプロ
セス制御プログラムとを識別する。

ＰＲＯＭＰＴ　ＥＤＩＴＯＲ表示は、ＴＩＴＬＥ及びＣ
０ＮＦＩＧＬＩＲＡＴＩＯＮと題された２つのメニュー
表示領域と、ＴＥＳＴ　ＴＹＰＥ（試験の種類）と題さ
れた第３の表示領域を含み、第３表示領域はＣ０ＮＦＩ
ＧＵＲＡＴＩＯＮメニユ一表示領域内に列挙された各項
目毎のプロセス制御プログラムを識別する。

第１８図は０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴタスクの例示
的使用のフローチャートを示す。ＰＲＯＭＰＴ　Ｅ［１
ＩＴＯＲ画面の表示（ボックス３３０）の後、エンジニ
アは第１メニュー表示領域用のポインタを上下動できる
（ボックス３３２）。

この発明の動的メニュー特徴に関連して上述したように
、主メニューポインタ（つまり第１メニュー表示領域の
ポインタ）が移動する度に、第２メニュー表示領域中の
リストは、第１メニュー表示領域内でそのときポインタ
指示されているグループ名に対応したプロセス名のリス
トと自動的に置換される。０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰ
Ｔタスク中における第２メニュー表示領域の上記更新例
を、第１６及び１７表に示す。

第１５表では、主メニューポインタが第１グループ名を
指しており、第２メニュー表示領域はそのグループのプ
ロセス名のリストを含んでいる。

第１６表では、主メニューポインタが第３グループ名を
指すように移動され、第２メニュー表示領域が自動的に
書き換えられて、第３グループのプロセス名のリストを
含んでいる。さらに例示を目的として、第１７表では、
アクティブポインタがＣ０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮメニ
ューに移動され、そのメニュー内で第２項目へと下げら
れている。好ましい実施例では、主メニューポインタが
移動すると、第２メニュー表示領域用のポインタが自動
的にリセットされてそのメニュー内の最上項目を指す。

アクティブポインタが第１メニュー表示領域内のいずれ
かの項目を指しているとき、表示上のＣＨＡＮＧＥボッ
クスを押してＣＨＡＮＧＥタスクを選ぶと、エンジニア
はポインタの指しているグループ名を変更できる（ボッ
クス３３４）。修正されたテキストは、指示メツセージ
データ構造１８０中のグループ名アレイ１５２内に記憶
される。

同様に、アクティブポインタが第２メニューに移動され
た後（プロセスフローパス３３５）、第２メニューのポ
インタは第２メニュー内に列挙された任意のプロセスの
名前を指すように移動可能である（ボックス３３６）。

こ−でＣＨＡＮＧＥタスクを選ぶと、エンジニアはポイ
ンタで指されているプロセス名を変更でき（ボックス３
３８）、修正されたテキストは指示メツセージデータ構
造１８０中のプロセス名アレイ１５６に記憶される。

アクティブポインタは第２メニュー表示領域からＴＥＳ
Ｔ　ＴＹＰＥ表示領域へ移動可能で（プロセスフローパ
ス３３９）、こうするとＴＥＳＴ　ＴＹＰＥ表示領域内
のプロセス制御プログラム名が輝く反転映像で示される
（ボックス３４０）。好ましい実施例では、ＴＥＳＴ　
ＴＹＰＥ表示領域内においてポインタが上下に移動でき
ない。つまり、Ｃ０ＮＦＩＧｔｌＲＡＴＩＯＮメニユ一
表示領域用のポインタで指されている項目が、ＴＥＳＴ
　ＴＹＰＥ表示領域内でその項目が指されることを決め
る。

プロセスに対応したプロセス制御プログラムは、アクテ
ィブポインタがそのプロセス用のＴＥＳＴ　ＴＹＰＥメ
ニュー項目を指しているとき、ＣＨＡＮＧＥタスクを選
ぶことによって変更できる。プロセス制御プログラムは
、上／下動カーソルキーを使い、定義法プロセス制御プ
ログラムの名前リストを走査することによって変えられ
る（ボックス３４２）。システムキーボード３３上の上
／下動カーソルキーを押すごとに、そのリストのプロセ
ス制御名は新しくなる。

好ましい実施例では、１つのプロセス制御プログラム用
のパラメータ値は他のどのプロセス制御プログラムにお
いても意味を持たない（つまり不適正）と仮定しである
ので、ＹＥＳＴ　ＴＹＰＥメニュー中に示されているプ
ロセス制御プログラムを変更するためＣＨＡＮＧＥタス
クを起動すると直ちに、対応したプロセス用のパラメー
タデータ構造１７２が消去され不（つまりブランクデー
タと置換される）。

表示上のＵＰＤＡＴＥ　（、更新）ボックスを押してＵ
ＰＤＡＴＥ（更新）タスクを選ぶと、指示メツセージデ
ータ構造１８０がディスク３５上にコピーされる（ボッ
クス３４４）。これは、コピー処理が完了するまで一時
的に表示上のＵＰＤＡＴＥボックスを反転映像のメソセ
ージＢＵＳＹ　（使用中）に置換する点を除き、表示を
書き換えないで行なわれる。ＵＰＤＡＴＥタスクは割込
みタスクなので、ＵＰＤＡＴＥタスクが終了すると０Ｐ
ＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰプログラムは、ＵＰＤＡＴＥタ
スクが選ばれた直前と同じプログラム中の地点に戻る。

表示上のＥＸＩＴボックスを押してＥＸＩＴタスクを選
ぶと、Ｃ０ＮＦＩＧＵＲＡＴＩＯＮメニュー内でそのと
きポインタ指示されているプロセスを指すように、特定
プロセスポインタ１７７が設定さ・れる（ボックス３１
４）。次いで、プロセスはＭＡＩＮ　ＭＥＮＵ表示に戻
り（第１７図のボックス３００参照）、特定プロセスポ
インタでそのとき指されているプロセスの名前が最上指
示メツセージラインに示される。

例えば、第１７表に示すごとく表示されているときＥＸ
ＩＴタスクを選ぶと、特定プロセスポインタはプロセス
名Ｉ　Ｅ　１３−ＢＯＲＯＮ　（ＭＡＰ）を指し、門へ
ＩＮＭＥＮＵ中の最上指示メツセージラインは次のよう
になる： ＭＡＩＮ　ＭＥＮＵ　　Ｎ０ＶＡ　ＮＶＩＯ−１１Ｅ１
３−ＢＯＲＯＮ　（ＭＡＰ）ＣＯＮＴＯＵＲＭＡＰ　。

オゴ］：ｚわ１沢 第１９図を参照すると、０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩＣＥ
Ｓ　（オペレータ選択）タスクは第１８表に示すような
０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩＣＢＳ画面を表示することに
よって始まる（ボックス３５０）。第１８表から明らか
なように、０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩＣＥＳ画面は上記
のＰＲＯＭＰＴＥＤＩＴＯＲ表示と非常に似ている。主
な相違は、最上指示メツセージラインの識別タスクがＰ
ＲＯＭＰＴＥＤＩＴＯＲの代りに０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨ
ＯＩＣＥＳで、左下のタスクボックスがＣＨＡＮＧＥの
代りに５ＥＬＥＣＴと題されていることである。

第１９図は、０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩＣＥＳタスクの
例示的使用のフローチャートを示している。０ＰＥＲＡ
ＴＯＲＣＨＯＩＣＥＳ画面の表示（ボックス３５０）後
、エンジニアは第１メツセージ表示領域のポインタを上
下に移動できる（ボックス３５２）。

この発明の動的メニュー特徴に関連して上述したように
、主メニューポインタが移動する度に、第２メニュー表
示領域中のリストは、第１メニュー表示領域内でそのと
きポインタ指示されているグループ名に対応したプロセ
ス名のリストと自動的に置換される。

ＰＩ？ＯＭＰＴ　ＥＤＩＴＯＲ（指示メツセージエディ
タ）の表示と異り０ＰＥＲＡＴＯＲＣＨＯＩＣＢＳの表
示では、グループ名及びプロセス名が、指示メツセージ
データ構造内で対応グループまたはプロセスが（オペレ
ータにとって）利用不能と指定されていると普通の映像
で書かれ、また指示メンセージデータ構造内で対応グル
ープまたはプロセスが利用可能と指定されていると反転
映像で書かれてる（第１８表中星印で示す）。

またＰＲＯＭＰＴ　ＥＤＩＴＯＲ表示と異り、０ＰＥＲ
ＡＴＯＲＣＨＯＩＣＢＳ表示の各表示領域中のポインタ
は表示上の矢印で示され、アクティブポインタは輝く反
転映像で示される。アクティブポインタが位置する表示
領域の名称も、輝く反転映像で示される。第１８表中ポ
インタの位置は指している項目に下線を引いて示してあ
り、アクティブポインタは矢印で示してあり、利用可能
な項目は星印で表わしである。

アクティブポインタが第１メニュー表示領域中の任意の
項目を指しているとき、表示上の５ＥＬＥＣＴボツクス
を押して５ＥＬＥＣＴタスクを選ぶと、指されているグ
ループの可用性フラグが切換ねる（ボックス３５４）。

すなわち、それまでグループが利用不能だった場合、５
ＥＬＥＣＴボツクスを押すと利用可能と指定され、また
それまでグループが利用可能だった場合、５ＥＬＥＣＴ
ボツクスを押すとそのグループは利用不能と指定される
。

さらにポインタ指示されているグループ名は、そのグル
ープがそのとき利用不能なら普通の映像で表わされ、そ
のとき利用可能なら反転映像で表わされるように書き換
えられる。修正された可用性フラグは、指示メンセージ
データ構造１８０のグループ可用性フラグアレイ１５４
内に記憶される。

同様に、アクティブポインタが第２メニューに移動され
た後（プロセスフローバス３５５）、第２メニューのポ
インタは第２メニュー内に列挙すれた任意のプロセスの
名前を指すように移動可能である（ボ・ノクス３５６）
。こ＼で５ＥＬＥＩＣＴタスクを選ぶと、指されている
プロセスの可用性フラグが切換えられ、修正された筒用
フラグは指示メツセージデータ構造１８０のプロセス可
用性フラグアレイ１５８内に記憶される。

アクティブポインタは、第２メニュー表示領域からＴＥ
ＳＴ　ＴＹＰＥ表示領域へ移動できない。Ｔε５ＴＴＹ
ＰＥ表示領域はもっばらエンジニアの便宜を図るために
設けられているので、エンジニアは各プロセスに対応し
たプロセス制御プログラムを思い起す必要がなく、ある
いはそれを求めるのに他を捜さなくともよい。

表示上のＵＰＤＡＴＥ　（更新）ボックスを押してＵＰ
ＤＡＴＥタスクを選ぶと、指示メソセージデータ構造１
８０がディスク３５上にコピーされる（ボックス３５７
）。

これは、コピー処理が完了するまで一時的に表示上のＵ
ＰＤＡＴＥボックスを反転映像のメツセージＢＵＳＹに
置換する点を除き、表示を書き換えないで行なわれる。

ＵＰＤＡＴＥタスクは割込みタスクなので、ＵＰＤＡＴ
Ｅタスクが終了すると０ＰＥＲＡＴＯＲＰＲＯＭＰＴプ
ログラムは、ｔｌＰＤＡＴＥタスクが選ばれた直前と同
じプログラム中の地点に戻る。

表示上のＥＸＩＴボックスを押してＥＸＩＴタスクを選
ぶと、プログラムはＭＡＩＮ　ＭＩＵ表示に戻る（ボッ
クス３５９）（第１７図のボックス３００参照）。

試　セットアツプおよびヘッダセットアツプ第２０図に
おいて、試験セ−／　）アップ（ＴＥＳＴＳＥＴ　ＵＰ
）タスクが、特定のプロセスのためのＴＥＳＴＳＥＴ　
ＵＰディスプレーの表示、例えば第１９表（ボックス３
６０）に示す表示を行うことによって開始される。第１
９表に示す表示は、第９表に示されるオペレータのため
のＰＡＲＡＭＥＴＥＲＥＮＴＲＹＮＴＲ−ンに対応する
ものである。

ＴＥＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰ表示の頂部のプロフロトライン
は、現在実行されているタスクがＴＥＳＴ　ＳＥＴ　Ｕ
Ｐであることを示し、セットアツプされつつある特定の
プロセスを示す。

ディスプレーの中央部分は３個の領域を含む。

第１の領域は特定のプロセスのためのパラメータの名称
のリストを示し、第２の領域は各パラメータのパラメー
タ値を示し、第３の領域はＬＯＣＫＥＤ（即ち値が固定
）　、ＭＡＹ　ＣＨＡＮＧＥ　（オペレータにより可変
）、あるいはＦＯＲＣＨＤ　（即ち、強制的にエンター
されるパラメータでプロセスが開始される前にオペレー
タによって数値を与えてやる必要のあるパラメータ）の
いずれかを示す。

第１９表に示す輪郭マツププロセス制御プログラムのた
めのパラメータについて説明すると、ＮＵＭＢＥＲＯＦ
　５ｒＴＥＲパラメータはウェハ上の抵抗率測定点（サ
イト）の数を示す。ＷＡＦＥＲＤＩ八へＥＴＥＲは試験
されつつあるウェハの直径を示す。ＴＥＳＴＤＩＡＭＥ
ＴＥＲは試験されるべき領域の直径を示す。

Ｃ０ＮＴＯＵＲＩＮＴＥＲＶＡＬハ、収集すしたデータ
カラ形成された抵抗率輪郭の輪郭ライン間の抵抗率の差
を示す。ＰＲＩＮＴ　ＴＥ’５ＴＲＥＳＵＬＴはプロセ
ス制御プログラムが輪郭マツプをプリントするべきか否
かを示す、ＴＥＳＴ祿ＦＥＲ１０および−ＡＦＧＲＬＯ
Ｌ　ＩＤは、試験されているウェハを特定するために用
いられる。

−＾ＦＧＲＰＲＯＣＥＳＳ　ＤＡＴＥはテストが行なわ
れた日付を示す。ＭＥＡＳＵＲＥ　ＣＵＲＲＥＮＴは特
定の電流値、例えば１ミリアンペア、または自動電流レ
ベル選択モードのためのＡＵＴＯＭＡＴＩＣを示す。

５ＯＲＴ　ＣＲＩＴＥＲＩＯＮは、あるデータ値が他の
データ値から特定の景以上異っている場合、このデータ
値を誤りとしてスクリーンアウトするための分析コント
ロールパラメータである。

第２０表は直径走査プロセスのための試験セットアツプ
スクリーンを示す。第１９表と第２０表との比較から理
解されるように、輪郭マツプ制御プログラムおよび直径
走査プロセス制御プログラムは異ったパラメータを使用
しており、従って、それ等のデータ構成のフォーマット
もまた異っている。ＡＮＧＬＥ　ＯＦ　５ＣＡＮなるパ
ラメータは、ウエハの直径線（この直径性に沿って抵抗
率の測定が行なわれる）の向きを制御するためのもので
ある。

第２のＶＡＬＵＥ表示領域のためのポインタは、エンジ
ニアが修正を希望するパラメータを選択するべく上下に
移動可能である（ボックス３６２）。

次いでエンジニアは、ＣＩＩＡＮＧεタスクを、ディス
プレー上のＣＨＡＮＧＥボックスに触れることによって
選択する（ボックス３６４）。先に述べたように、パラ
メータ値を変更するだめの方法はパラメータ値のフロー
チャートによって変る。

アクチブポインタを０ＰＴＩＯＮ表示領域に移動させる
（プロセスフロー経路３６５）ことによってエンジニア
はパラメータのためのパラメータ状態フラッグを変更す
ることができる。

０ＰＴＩＯＮ項目はポインタが移動する際にハイライト
される。その後エンジニアはディスプレー上のＣＨＡＮ
ＧＥボックスに触れることによってＣＨＡＮＧＥタスク
を選択することができる（ボックス３６８）。

０ＰＴＩＯＮデイスプレー中のパラメータ状態フラッグ
の値はエンジニアがキーボード３３上のカーソルキーア
ンプあるいはダウンキーを用いてＬＯ（ＪＥＤからＭＡ
Ｙ　ＣＨＡＮＧＥおよびＦＯＲＣＨＤへ動かすことがで
きる。

選択されたパラメータ状態フラッグの表示値が変化した
場合にはパラメータデータ構造１８２の内部に記憶され
た値もまた変化する。

エンジニアがアクチブポインタを’ＪＡＬＵＥメニュー
（プロセスフロー経路３６３）にもどすとき、彼はまた
他のパラメータをセントアップできる。

ＵＰＤＡＴＥタスクの選択をディスプレー上のＵＰＤＡ
ＴＥボックスを押すことによって行なうと、パラメータ
データ構造１８２がディスク３５　（ボックス３７６）
上にコピーされる。これは表示を書き換えることな（行
なわれるが、コピーが終了するまでの間、ディスプレー
上のＵＰＤＡＴＥボックスが逆ビデオによる、メツセー
ジＢＵＳＹと一時的に置き換えられる。

ＵＰＤＡＴＥタスクは割り込みタスクとして作用するの
でＵＰＤＡＴＥタスクが完了した時にはＯＰＥＲＡＴＯ
ＲＰＲＯＭＰＴプログラムは、ＵＰＤＡＴＥタスクが選
択される直前の点にもどる。

ディスプレー上のＥＸＩＴボックスを押すことによって
ＥＸＩＴタスクを選択すると、プログラムはＭＡＩＮＭ
ＥＮＵＥディスプレー（ボックス３６９）にもどる。

（第１７図のボックス３００を参照） ＨＥＡＤＥＲＳＥＴ　ＵＰは、パラメータ値のかわりに
ヘングーラインがセットアツプされることを除けばＴＥ
ＳＴ　ＳＥＴ　ＵＰ　と同様である。ＩＩＥＡＤＩＩ！
ＲＳＥＴ　ＵＰディスプレーの例が第２１表に示されて
いる。セットアツプをすすめるためにエンジニアはアク
ティブポインタを彼がセットアツプしたいと思うヘング
ーラインに動かしくボックス３６２）更にそのヘングー
ラインのために記憶されたテキストを変更することおよ
び／またはそのヘッダラインのためのパラメータ状態フ
ラッグを変更することによって行なう。第２１表に示す
ＨＥＡＤＥＲＳＥＴ　ＵＰは第９表に示すオペレータパ
ラメータエントリースクリーンに対応する。

アンプデートオール 第２１図において、ＵＰＤＡＴＥ　ＡＬＬタスクはプロ
ンプト、パラメータおよびヘッダーデータ構成１８０．
１８２．１８４をディスク３５にコピーする。この間Ｍ
ＡＩＮ　ＭＥＮＵは乱されることはないが、ディスプレ
ー上のＧＯ水ボックス中内容が逆ビデオによるメツセー
ジＢＵＳＹに置き換えられる。

他のエンジニアリング　タスク 簡単に述べると、データマネージメントタスク群（第１
７図のボックス３０４）は記憶されたデータの輪郭マツ
プをプリントしたり、抵抗率の傾向の解析結果をプロッ
トしたり、テスタから収集されたデータの同様な他のデ
ータ解析を行うための一連のタスクである。

データプリントタスク（ボックス３０６）は、例えば第
２２表に示すような、プロセスセットアツプ、エンジニ
アセットアツプおよび他の情報の要約（サマリー）をプ
リントするためのものである。

システムメンテナンスタスク（ボックス３０８）は、コ
ンピュータの作動システムによって通常提供されるよう
な一連のベーシックシステムユーティリティーを含む。

更にまたエンジニアリングセットアンププログラムにエ
ントリーするためのパスワードを変更するためのプログ
ラムも同意されている。

オペレータ関連ディスク 本発明の特徴のひとつは一連のプロセスのためのデータ
構成が多数の異るディスクに記憶され、各ディスクがオ
ペレータアクセスレベルとパラメータエントリの判断レ
ベルとのいろいろな組み合わせを有していることにある
。従って、例えば、一連のデータ構成が多数の異るディ
スクに記憶され、その結果、複数のプロセスの基本的な
組み合わせのために、ひとつのディスクがオペレータを
して一組のプロセスの実行を可能ならしめるデータ構成
をもち、他のディスクは他のプロセスの実行を可能なら
しめるデータ構成をもち、更に他のディスクは第１のデ
ィスクのものと同一のい（つかのプロセスの実行を可能
とするがパラメータ値のエントリーのためのオペレータ
の自由度がより大きいというように構成される。

当業者には明らかなように、推奨実施例において使用さ
れるディスク３５は、上述したデータ構成を記憶するこ
とが可能な種々の不揮発性且つ携帯可能な記憶手段と均
等であり、従って発明の他の実施例においてはカセット
テープ、バブル記憶カートリッジその他の記憶手段が用
いられ得る。

このように、本発明は多数のオペレータ関連ディスクを
用い所定のプロセスの組み合わせに対して異るオペレー
タアクセスが可能となるという特徴を有する。このこと
によって異るオペレータが、そのシステム操作技術のレ
ベルや、その使命に応じて適当なアクセス方法を採用す
ることが可能となる。アクセスレベルはオペレータが利
用可能なプロセスの種類（各プロセスのデータ構成の利
用可能フラッグを用いる）と、パラメータエントリにお
けるオペレータ判断（各パラメータのためのデータ構成
におけるパラメータ状態フラッグを用いる）との両者に
おいて調整可能である。

更にまた各ディスクにすべてのプロセスのためのすべて
のデータ構成が記憶されているので、オペレータ関連デ
ィスクをコンピュータに挿入しエンジニアリング制御プ
ログラムを実行し、プロセス利用可能°性あるいはパラ
メータ指定のいずれかを表わすデータ構成を変更するこ
とによって、エンジニアは容易に且つ迅速にオペレータ
アクセスレベルをプロセスおよびパラメータエントリー
におけるオペレータ判断にあわせて変更することができ
る。

本発明において用いられるディスクの他の特徴はデータ
構成を記憶するのに用いられる同一のディスクが、これ
等のデータ構成によって規定される単一または複数のプ
ロセスによって得られるデータをも記憶し得るという点
にある。このことは得られたデータが同一のディスク上
のプロセスセットアツプに反映できるという点で便利で
ある。

本発明の他の実施例においては、この自己ドキュメント
作製という特徴が、パスワードの入力によって行なわれ
るエンジニアリングモジュールによってデータ構成の変
更を行なうことによって改善され且つ強化される。ある
いはまたパスワードの使用はディスクにデータファイル
も存在するような時にのみ必要とされる。

ディスクに関連する他の特徴は、本発明の更に他の実施
例においては、エンジニアリング制御モジュールやオペ
レータ制御モジュールとは異る他のデータ処理モジュー
ルによってデータ管理タスクが実行できるという点にあ
る。推奨実施例においては、基本データ解析タスクがプ
ロセス制御プログラムに含まれ、またエンジニアリング
モジュールはシステムによって提供される他のデータ解
析およびデータ管理タスクを含む。

しかしながら、このようなタスクを分離することが有利
性を与えるような場合には携帯可能な不揮発性の記憶メ
ディアを利用することによってかかる分離を容易となす
ことができる。例えばデータ解析プログラムが、エンジ
ニアリングおよびオペレータ制御プログラムが必要とす
るよりもかなり大きなコンピュータリソースを必要とす
るような場合には分離されたデータ処理モジュールを使
用することが有利となろう。

プロセス制御プログラムの実行 第６図にもどって説明すると、推奨実施例においてはシ
ステムのためのソフトウェアがシステムのコンピュータ
メモリ　（ボックス５２）にロードされると、そのシス
テムのためのプロセス制御プログラムもまたメモリーに
ロードされる。他の実施例においてはこのことは実際的
でない。特に、多数のプロセス制御プログラムがある場
合および／またはメモリーのかなりの部分をプロセス制
御プログラムが占有する場合には、オペレータの希望す
るプロセス制御プログラム（第７図の７４）は、これが
実行される時にコンピュータメモリに記憶されるように
しても良い。必要に応じてソフトウェアモジュールをロ
ードするという手法は既に広く行なわれていることであ
り、如何にしてそれを行なうかということについては説
明を要しないだろう。

プロセス制御プログラム実行に関しての他の特徴はオペ
レータ制御プログラムからプロセス制御プログラムへの
パラメータの転送にある。推奨実施例においては、プロ
セス制御プログラムはヘッダラインを含む選択されたプ
ロセスの全パラメータについてアクセスし得るがこれ等
のパラメータのうちのごくわずかのものがプロセス制御
パラメータであるに過ぎない。これ等のパラメータはど
のコマンドがテスタ２２に送られるべきかを決定するた
めにプロセス制御プログラムによって用いられる。例え
ばＣ０ＮＴＯＵＲＭＡＰプロセス制御プログラムのため
のサイトパラメータの数は制御システム２４からウェハ
テスタ２２に送られるコマンドに影響を与えるから、こ
の数はプロセス制御パラメータである。

プロセス制御プログラムによって用いられる第２の型の
パラメータは分析制御パラメータである。

これ等はプロセス実行中に得られたデータの解析をプロ
セス制御プログラムによって実行する時にこのプログラ
ムによって使用される。Ｃ０ＮＴＯＵＲＭ＾Ｐプログラ
ムを例にとって説明すると、輪郭間隔パラメータがひと
つの解析パラメータであり、得られたウェハ抵抗率デー
タから作成された輪郭マツプ上の輪郭ライン間の抵抗率
差を特定するためにこのパラメータが使用される。

各プロセスに関連する他のパラメータは、プロセスから
得られたデータがあとで特定できるようにする目的で主
に用いられるもので、データパラメータと呼ばれる。ひ
とつのプロセスのためのすべてのパラメータを、プロセ
スによって得られたデータの記憶が行なわれるデータフ
ァイルの初期において記憶するようにしても良いが、デ
ータパラメータは通常はプロセス制御プログラムの他の
目的のためには使用されない。Ｃ０ＮＴＯＵＲ、ＭＡＰ
プログラムの場合には、ウェハ特定パラメータおよびウ
ェハロット特定パラメータがデータパラメータであるこ
とは明らかである。

本発明の更に他の実施例 発明の背景に言及しつつ先に述べたように、先行技術は
多岐にわたるコンピュータ制御プロセスを含む。本発明
とこれ等先行技術との差は、本発明においてはプロセス
制御方法が、特定のクラスのプロセス（例えば半導体ウ
ェハの抵抗率検査）を実行するオペレータに対して自由
度の程度と種類との双方においてフレキシブルであると
いう概念によるものであるという点にある。

本発明の推奨実施例は半導体ウェハの抵抗率検査の方法
に関するものであったが、本発明は、例えば以下に述べ
るようなコンピュータ制御工作機械の運転技術などのよ
うな他の用途にも適用可能であり、有用かつ可能性の高
いものである。

コンピュータ制御工作機械は幾多の製造プロセスを実行
することができる。先行技術においては、通常各製造タ
スクが固有の独立したコントロールプログラムを必要と
する。

先行技術の範囲内においであるシステムを想定する。マ
スタープログラムが複数の工作機械制御プログラムのう
ちの所定のものを選択するようになっており、各プログ
ラムは所定のパラメータの仕様、例えば製作されるべき
ボルトの種類や寸法を必要とするかあるいはこれを与え
る。

本発明もまた上記した想定されたシステムと同等の能力
を与えるものであるが、以下の点においてこれと異る。

第１に利用可能なプロセス群が組織化されており、改良
されたメニュー方法によって提示され、それによってプ
ロセスの選択および不使用パラメータ値のセットアツプ
が容易となる。

第２に本発明によればプロセス制御方法がエンジニアリ
ングセットアツププロセスとオペレータプロセスとに分
割される。エンジニアリングセットアツププロセスにお
いては、オペレータプロセスにおいて使用可能なプロセ
ス群がセットアンプされ、これ等のプロセスのためのパ
ラメータが、その値が（１１予め決定され固定されてい
る（２）予め決定されているがオペレータプロセスにお
いて変更可能、あるいは（３）オペレータプロセスにお
いて特定することが必要か否かに応じて定義される。

オペレータプロセスは、エンジニアリングセットアツプ
プロセスにおいて定義された制限および条件の範囲内で
作動する。もしオペレータプロセスが単一プロセスに制
限されているならばこれは単一のコントロールプログラ
ムを有する従来のプロセスムコントローラと類似するも
のである。また反対にオペレータプロセスが何等制限を
有しないならば、それは前記想定されたシステムに類似
したものとなる。

大事なことは、本発明によればオペレータに対する制限
がもっと意味のあるものであるということである。例え
ば、一連の利用可能なプロセスが一連の加工タスクを有
し、それによって各顧客向けに固有の仕様の製品を作成
することができる。

製造アルゴリズムと呼ばれる、異るプロセス制御プログ
ラムが製造されるべき物の各クラスについて提供される
。エンジニアリングプロセスはオペレータプロセスを制
限するためにも使用可能であり、従って、例えば、オペ
レータプロセスが次のワーク移送の間に４種類の製品の
プロセス構成を行なうことしかできないようにすること
ができる。

例えば、ひとつのクラスの製品について多種の品目を作
製する必要から、オペレータプロセスにおいて、ひとつ
の品目のために２個以上のパラメータ（例えば、製造さ
れるべき数、寸法要素等）を特定し、他の３個の品目の
ために異る数のパラメータを決定しなければならないよ
うな場合がこれにあたる。

第１０．１１および１２表に、本発明の特徴たるグイナ
ミソクメニューに言及しつつ説明した工作機械制御プロ
セスの例のグループ名、サブグループ名およびプロセス
名を示す。これ等の表かられかるように、本発明の他の
実施例においては、推奨実施例においてプロセスを二つ
のレベル階層（グループおよびプロセス）によってまと
めたことにかえて三つのレベル階層（グループ、サブグ
ループおよびプロセス）を用いてまとめることが有利で
あろう。

本発明によればこれ等の制限ならびにオペレータプロセ
スに必要とされるパラメータは、メニューに従ったコン
ピュータプロセスを用いてエンジニアリングセットアツ
ププロセスにおいて決定され得る。実際問題として単数
あるいは複数の工作機械のためのエンジニアリングセッ
トアツプを携帯可能な磁気ディスクに記憶させて、単数
または複数の装置の担当オペレータにわたすことが可能
である。従って装置によって実行されるべき異るタスク
の数が不特定であったとしても本発明は装置の運転のプ
ロセスを制御でき、また実行されるべきプロセスの範囲
を制限することができる。

更にまた本発明の方法によれば、各種のオペレータプロ
セスを収容するために特殊なコントロールプログラムを
書いたり作製したりする必要をなくし、また不適当な作
動を防ぐべくオペレータプロセスを制限してやるような
必要をもなくすることができる。

更に付言するならば、オペレータプロセスの制限（利用
可能なプロセスの制限およびパラメータの特定）は、こ
れ等の選択あるいは宣言決定に用いられるデータ構成を
用いることによって達成される。この点に由来する本発
明の利益は、このデータ構成が、いろいろな事態におい
てオペレータプロセスに許容されるいろいろな程度およ
び種類の自由度をいろいろな制御プログラムに収容する
必要をなくするということである。

以上に図面に言及しつついくつかの実施例を示したが、
これ等は単に例示的なものであって発明の範囲をこれに
限定する趣旨ではない。特許請求の範囲に記載された発
明の精神および範囲から逸脱することなく種々の改変を
行うことが当業者にとっては可能であろう。

【図面の簡単な説明】

第１．２図は自動は半導体ウェハ抵抗率テスターで得ら
れた例示の輪郭マツプと直径走査を示す。 第３図はこの発明の装置を組み入れたコンピュータシス
テムのブロック図で、第３ａ図は一組のカーソル移動キ
ーを示す。 第４図は自動半導体ウェハ抵抗率を制御するのに、この
発明の好ましい実施例がいかに使用されるかを示すブロ
ック図である。 第５図はこの発明の方法の概念図である。 第６図はこの発明の方法の好ましい実施例の初期ステッ
プを示すフローチャートである。 第７〜９図はこの発明の好まし実施例のオペレータ制御
プログラムのフローチャートである。 第１０．１１図はこの発明のメニュー選択法のフローチ
ャートである。 第１２〜１５図はこの発明のシステム及び方法で使われ
る主なデータ構造を示す。 第１６ａ〜１６ｃ図はこの発明の好ましい実施例で使わ
れるデータ構造用のメモリ記憶方式を示す。 第１７〜２０図はこの発明の好ましい実施例のエンジニ
アリングセットアツププログラムのフローチャートであ
る。 ２０・・・システム、　２２・・・物理的処理系（テス
ター）、　２４・・・制御系、　３０．３６・・・コン
ピュータ、　　３３．３７・・・キーボード、３４．３
９・・・タッチ画面ディスクプレイ手段、３５・・・不
揮発性記憶手段（ディスク）、３８・・・オペレータ（
制御）プログラム、４０・・・プロセス制御プログラム
（ＰＣＰ）、４１ａ−ｄ・・・カーソル移動制御キー、
４５．１５０．１５５．１６０．１６２．１７０．１７
２・・・データ構造（ＤＳ）、　４８．１７Ｆ、・・・
データ構造フォーマット、　１５４．１５８．１６５．
１７５・・・パラメータ指定手段。 ＦＩＧ、　６ λペレーη ＦＩＧ、　７ ■

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）プログラム式デジタルコンピュータを用いてプロ
   セスを制御する方法であって： ａ）各々が対応した一組の定義済パラメータを有する一
   組のプロセス制御プログラムを定める段階； ｂ）上記プロセス制御プログラム毎にパラメータデータ
   構造フォーマットを定義する段階で、該プロセス制御プ
   ログラムが 上記各定義済パラメータを、固定値を有するオペレータ
   変更不能パラメータ、デフォルト値を有するオペレータ
   変更可能パラメータ、あるいはプロセスの実行前に値が
   与えられねばならない強制的オペレータ入力パラメータ
   のいずれかとして指定するパラメータ指定手段；及び 上記定義済パラメータ毎にその値を記憶するパラメータ
   値記憶手段を具備すること； ｃ）下記の各段階を対話式のコンピュータ制御で実施可
   能とするエンジニアリングセットアップ制御プログラム
   を定める段階、 複数の特定プロセスの各々毎に、指定された１つのプロ
   セス制御プログラム用のパラメータデータ構造フォーマ
   ットに従ってパラメータデータ構造を記憶する段階； エンジニアリングセットアップのため上記プロセスの１
   つを指定する段階； 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラメー
   タ指定手段に各定義済パラメータの値を入力し、オペレ
   ータ変更不能パラメータ、オペレータ変更可能パラメー
   タまたは強制的オペレータ入力パラメータとして指定す
   る段階；及び 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラメー
   タ値記憶手段に、オペレータ変更不能パラメータ用の固
   定値とオペレータ変更可能パラメータ用のデフォルト値
   を入力する段階；及びｄ）下記の各段階を対話式のコン
   ピュータ制御で実施可能とするオペレータ制御プログラ
   ムを定める段階、 上記特定プロセスの１つを選択する段階； 選択プロセス用の記憶されたパラメータデータ構造を用
   い、その選択プロセスについてオペレータ変更可能パラ
   メータ及び強制的オペレータ入力パラメータの値を入力
   する段階；及び 上記選択プロセスに対応した強制的オペレータ入力パラ
   メータの値が全て入力された後でのみ、選択プロセスに
   対応したプロセス制御プログラムを実行する段階；から
   成る方法。
2. （２）コンピュータのディスプレイ装置上にメニュー項
   目を表示し選択する方法であって： 複数の別々の主メニュー項目を定義する段階；複数の別
   々の補助メニュー項目グループを定義する段階で、それ
   ぞれの補助メニュー項目グループが少なくとも１つの主
   メニュー項目と対応していること； 少なくとも２つの別々のメニュー表示領域を上記コンピ
   ュータのディスプレイ装置上に定める段階で、各メニュ
   ー表示領域が複数のメニュー項目とそれに対応し個々の
   メニュー項目へ選択的に位置決め可能なポインタを表示
   可能であること；第１のメニュー表示領域内に少なくと
   も複数の主メニュー項目を、表示主メニュー項目の１つ
   に位置した対応ポインタと一緒に表示する段階；同時に
   第２のメニュー表示領域内に、第１のメニュー表示領域
   内で選択されている主メニュー項目に対応した補助メニ
   ュー項目グループの１つのうち少なくとも一部分を、表
   示補助メニュー項目の１つに位置した対応ポインタと一
   緒に表示する段階；及び 第１のメニュー表示領域内におけるポインタの変更に自
   動的に応答して新しい主メニュー項目を指し、第２メニ
   ュー表示領域を変更して、ポインタで指されている新し
   い主メニュー項目に対応した補助メニュー項目グループ
   の１つのうち少なくとも一部を表示する段階；から成る
   方法。
3. （３）プログラム式デジタルコンピュータを用いてプロ
   セスを制御する方法であって； ａ）各々がその動作に必要な対応した一組の定義済パラ
   メータを有する一組のプロセス制御プログラムを定める
   段階； ｂ）上記プロセス制御プログラム毎にパラメータデータ
   構造フォーマットを定義する段階で、上記各定義済パラ
   メータを、固定値を有するオペレータ変更不能パラメー
   タ、デフォルト値を有するオペレータ変更可能パラメー
   タ、あるいはプロセスの実行前に値が与えられねばなら
   ない強制的オペレータ入力パラメータのいずれかとして
   指定するパラメータ指定手段；及び 上記定義済パラメータ毎にその値を記憶するパラメータ
   値記憶手段を具備すること； ｃ）エンジニアリングセットアップ制御プログラムを定
   める段階で、該エンジニアリングセットアップ制御プロ
   グラムが 複数の特定プロセスの各々毎に、指定された１つのプロ
   セス制御プログラム用のパラメータデータ構造フォーマ
   ットに従ってパラメータデータ構造を記憶する手段； 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラメー
   タ指定手段に各定義済パラメータの値を入力し、オペレ
   ータ変更不能パラメータ、オペレータ変更可能パラメー
   タまたは強制的オペレータ入力パラメータとして指定す
   るパラメータアクセス手段；及び 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラメー
   タ値記憶手段に、オペレータ変更不能パラメータ用の固
   定値とオペレータ変更可能パラメータ用のデフォルト値
   を入力する値セットアップ手段を具備すること；及び ｄ）オペレータ制御プログラムを定める段階で、該オペ
   レータ制御プログラムが 上記エンジニアリングセットアップ制御プログラムによ
   って定義され記憶されたプロセス及び対応するパラメー
   タデータ構造を選択するオペレータプロセス選択手段； 上記選択プロセス用の記憶されたパラメータデータ構造
   を用い、その選択プロセスについてオペレータ変更可能
   パラメータ及び強制的オペレータ入力パラメータの値の
   入力を可能とする値入力手段；及び 上記選択プロセスに対応した強制的オペレータ入力パラ
   メータの値が全て入力された後でのみ、選択プロセスに
   対応したプロセス制御プログラムの実行を可能とするプ
   ロセス可能化手段を具備すること；から成る方法。
4. （４）プログラム式デジタルコンピュータを用いてプロ
   セスを制御する方法であって； ａ）各々がその動作に必要な対応した一組の定義済パラ
   メータを有する一組のプロセス制御プログラムを定める
   段階； ｂ）上記プロセス制御プログラム毎にパラメータデータ
   構造フォーマットを定義する段階で、該プロセス制御プ
   ログラムが 上記各定義済パラメータを、固定値を有するオペレータ
   変更不能パラメータ、デフォルト値を有するオペレータ
   変更可能パラメータ、あるいはプロセスの実行前に値が
   与えられねばならない強制的オペレータ入力パラメータ
   のいずれかとして指定するパラメータ指定手段；及び 上記定義済パラメータ毎にその値を記憶するパラメータ
   値記憶手段を具備すること； ｃ）複数の特定プロセスの各々毎に、指定された１つの
   プロセス制御プログラム用のパラメータデータ構造フォ
   ーマットに従ってパラメータデータ構造を記憶する段階
   ； ｄ）上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラ
   メータ指定手段に各定義済パラメータの値を入力し、オ
   ペレータ変更不能パラメータ、オペレータ変更可能パラ
   メータまたは強制的オペレータ入力パラメータとして指
   定する段階；ｅ）オペレータ変更不能パラメータ用の固
   定値とオペレータ変更可能パラメータ用のデフオルト値
   を入力する段階；及び ｆ）上記プロセスの１つを選択する段階； ｇ）上記選択プロセスについてオペレータ変更可能パラ
   メータ及び強制的オペレータ入力パラメータの値を入力
   する段階；及び ｈ）上記選択プロセスに対応した強制的オペレータ入力
   パラメータの値が全て入力された後でのみ、選択プロセ
   スに対応したプロセス制御プログラムの実行を可能とす
   る段階；から成る方法。
5. （５）ディスプレイを有するプログラム式デジタルコン
   ピュータを用い、該プログラム式デジタルコンピュータ
   が制御可能な一組の定義済タスクから１つのタスクを選
   択する方法であって： ａ）各々が所定組のメンバタスクを有する複数の定義済
   タスクグループを定める段階； ｂ）各タスク毎のタスク名と各グループ毎のグループ名
   を定める段階； ｃ）少なくとも２つのメニュー表示領域で、それぞれ別
   個のメニューを表示する領域を上記ディスプレイ上に定
   義し、各メニュー表示領域毎に対応するメニュー表示領
   域内の１つの項目を差示す移動可能なポインタを定める
   段階； ｄ）第１のメニュー表示領域内へのグループ各メニュー
   の表示；及び 第２のメニュー表示領域内への、上記タスクグループの
   うち１つに含まれる少なくとも下位相のメンバタスクの
   タスク名の表示； を同時に行う段階； ｅ）上記第１メニューポインタの第１メニュー内におけ
   る一項目から他項目への移動に応答して第２メニューを
   自動的に更新し、第１メニュー内のポインタで指されて
   いるグルー名に対応したタスク名を表示する段階； ｆ）上記第２メニューポインタが実施すべきタスクのタ
   スク名を指すまで上記両ポインタを移動する段階；及び ｇ）選択信号に応答して、第２メニューポインタの現位
   置に対応したタスクを実施する段階；から成る方法。
6. （６）プログラム式デジタルコンピュータを用いたプロ
   セスの制御システムであって： ａ）各々が対応したその動作に必要な一組の定義済パラ
   メータを有する一組のプロセス制御プログラムを与える
   手段； ｂ）上記プロセス制御プログラム毎にパラメータデータ
   構造フォーマットを定義する手段で、上記各定義済パラ
   メータを、固定値を有するオペレータ変更不能パラメー
   タ、デフォルト値を有するオペレータ変更可能パラメー
   タ、あるいはプロセスの実行前に値が与えられねばなら
   ない強制的オペレータ入力パラメータのいずれかとして
   指定するパラメータ指定手段；及び 上記定義済パラメータ毎にその値を記憶するパラメータ
   値記憶手段を具備すること； ｃ）エンジニアリングセットアップ制御プログラム手段
   で、 複数の特定プロセスの各々毎に、指定された１つのプロ
   セス制御プログラム用のパラメータデータ構造フォーマ
   ットに従ってパラメータデータ構造を記憶する段階； 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のパラメー
   タ指定手段に各定義済パラメータの値を入力し、オペレ
   ータ変更不能パラメータ、オペレータ変更可能パラメー
   タまたは強制的オペレータ入力パラメータとして指定す
   るパラメータアクセス手段；及び オペレータ変更不能パラメータ用の固定値とオペレータ
   変更可能パラメータ用のデフォルト値を入力する値セッ
   トアップ手段を具備すること；及び ｄ）オペレータ制御プログラム手段で、 上記エンジニアリングセットアップ制御プログラムによ
   って定義され記憶されたプロセス及び対応するパラメー
   タデータ構造を選択するオペレータプロセス選択手段； 上記選択プロセス用の記憶されたパラメータデータ構造
   を用い、その選択プロセスについてオペレータ変更可能
   パラメータ及び強制的オペレータ入力パラメータの値の
   入力を可能とする値入力手段；及び 上記選択プロセスに対応した強制的オペレータ入力パラ
   メータの値が全て入力された後でのみ選択プロセスに対
   応したプロセス制御プログラムの実行を可能とするプロ
   セス可能化手段を含む、選択プロセスに対応したプロセ
   ス制御プログラムを実行するプロセス開始手段を具備す
   ること；の組み合わせから成るシステム。
7. （７）コンピュータディスプレイ装置を有するプログラ
   ム式デジタルコンピュータを用いるプロセス制御システ
   ムであって； 複数の別々の主メニュー項目を定義する主メニュー定義
   手段； 複数の別々の補助メニュー項目グループを定義する補助
   メニュー定義手段で、それぞれの補助メニュー項目グル
   ープが少なくとも１つの主メニュー項目と対応している
   こと； 少なくとも２つの別々のメニュー表示領域を上記コンピ
   ュータのディスプレイ装置上に定める画面定義手段で、
   各メニュー表示領域が複数のメニュー項目とそれに対応
   し個々のメニュー項目へ選択的に位置決め可能なポイン
   タを表示可能であること；及び ディスプレイ手段で 第１のメニュー表示領域内に少なくとも複 数の主メニュー項目を、表示主メニュー項目の１つに位
   置した対応ポインタと一緒に表示し；同時に第２のメニ
   ュー表示領域内に、第１ のメニュー表示領域内で選択されている主メニュー項目
   に対応した補助メニュー項目グループの１つのうち少な
   くとも一部分を、表示補助メニュー項目の１つに位置し
   た対応ポインタと一緒に表示し；更に 第１のメニュー表示領域内におけるポイン タの変更に自動的に応答して新しい主メニュー項目を指
   し、第２メニュー表示領域を変更して、ポインタで指さ
   れている新しい主メニュー項目に対応した補助メニュー
   項目グループの１つのうち少なくとも一部を表示するデ
   ィスプレイ手段；の組み合わせから成るシステム。
8. （８）プログラム式デジタルコンピュータを用いてプロ
   セスを制御する方法であって； ａ）各々がその動作に必要な対応した一組の定義済パラ
   メータを有する一組のプロセス制御プログラムを定める
   段階； ｂ）上記プロセス制御プログラム毎にパラメータデータ
   構造フォーマットを定義する段階で、該プロセス制御プ
   ログラムが 対応するプロセス制御プログラムの実行が可能かまたは
   不能かを指定するプロセス可用性指定手段；及び 上記定義済パラメータ毎にその値を記憶するパラメータ
   値記憶手段を具備すること； ｃ）下記の各段階を対話式のコンピュータ制御で実施可
   能とするエンジニアリングセットアップ制御プログラム
   を定める段階、 複数の特定プロセスの各々毎に、指定された１つのプロ
   セス制御プログラム用のパラメータデータ構造フォーマ
   ットに従ってパラメータデータ構造を記憶する段階； エンジニアリングセットアップのため上記プロセスの１
   つを指定する段階； 上記特定プロセス用パラメータデータ構造内のプロセス
   可用性指定手段、特定プロセスの実行が可能かまたは不
   能かを指定する値を入力する段階；及び 複数の個々のオペレータ用でポータブル式の不揮発性記
   憶手段に、上記複数の各プロセス用のプロセスデータ構
   造を記憶する段階； ｄ）上記オペレータ用でポータブル式の不揮発性記憶手
   段から複数のプロセス用のプロセスデータ構造を読出し
   記憶するための読出・記憶プログラムを定める段階で、
   該プロセスデータ構造がその後上記エンジニアリングセ
   ットアップ制御プログラム及びコンピュータ内のその他
   のプログラムによって利用可能であること； ｅ）下記の各段階を対話式のコンピュータ制御で実施可
   能とするオペレータ制御プログラムを定める段階、 上記プロセスの１つを選択する段階で、そのプロセス選
   択をプロセスの実行が可能と指定された対応するプロセ
   スデータ構造を持ったプロセスに限定すること； 選択プロセス用の記憶されたデータ構造を用い、その選
   択プロセスについてオペレータ変更可能パラメータ及び
   強制的オペレータ入力パラメータの値をオペレータ入力
   する段階；及び 上記選択プロセスに対応した強制的オペレータ入力パラ
   メータの値が全て入力された後でのみ、選択プロセスに
   対応したプロセス制御プログラムを実行する段階；から
   成り、 上記オペレータ用でポータブル式の不揮発性記憶手段に
   記憶された各プロセスデータ構造内のプロセス可用性指
   定手段が、オペレータ制御プログラムの可用性を制御し
   ；更に 各オペレータ用不揮発性記憶手段に記憶された各プロセ
   スデータ構造エンジニアリングセットアップ制御プログ
   ラムによって容易且つ迅速に再構成可能である方法。