JPS62104084A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
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- JPS62104084A JPS62104084A JP24160985A JP24160985A JPS62104084A JP S62104084 A JPS62104084 A JP S62104084A JP 24160985 A JP24160985 A JP 24160985A JP 24160985 A JP24160985 A JP 24160985A JP S62104084 A JPS62104084 A JP S62104084A
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- JP
- Japan
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- laser
- waveguide
- microwave
- ridge
- gas
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Stabilization Of Oscillater, Synchronisation, Frequency Synthesizers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、マイクロ波放電を利用したガスレーザ発振
器に関するものてある。
器に関するものてある。
第６図は例えばＪｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａｐρｌ１ｅｄ
ＰｈｙｓｉｃｓＶｏｌ、４９ Ｎｏ、７．Ｊｕｌｙ
１９７８ Ｐ、３７５３に示された従来のガスレーザ発
振器を示す断面図、第７図は第６図におけるＢ−８断面
図である。（３）はマイクロ波を導波する導波管、（５
１）はパレツクスガラスで形成されたレーザ放電管、（
５２）はレーザガス導入口、（５３）はレーザガス排出
口、（５４）は冷却ガス送気管、（５５）は冷却ガス導
入口、（５６）は冷却ガス排出口、（８１）はブリュー
スター窓、（ｉｏ）は導波管のテーパ部、（１１）はＤ
Ｃｆｉ重用の陰極、（１２）は同じく陽極である。
ＰｈｙｓｉｃｓＶｏｌ、４９ Ｎｏ、７．Ｊｕｌｙ
１９７８ Ｐ、３７５３に示された従来のガスレーザ発
振器を示す断面図、第７図は第６図におけるＢ−８断面
図である。（３）はマイクロ波を導波する導波管、（５
１）はパレツクスガラスで形成されたレーザ放電管、（
５２）はレーザガス導入口、（５３）はレーザガス排出
口、（５４）は冷却ガス送気管、（５５）は冷却ガス導
入口、（５６）は冷却ガス排出口、（８１）はブリュー
スター窓、（ｉｏ）は導波管のテーパ部、（１１）はＤ
Ｃｆｉ重用の陰極、（１２）は同じく陽極である。
上記のような構成の従来のガスレーザ発振器において、
レーザ放電管（５Ｉ）中にはレーザガス導入口（５２）
より例えばＣＯ□レーザガスのようなレーザガスが導入
され、一方、導波管（３）中にはマイクロ波が伝搬して
いる。この導波管（３）の内径はテーパ部（１０）を有
し、レーザ放電管（５１）を包む位置で導波管（３）の
内径が最小径になっているので、この位置でのマイクロ
波の電界が最大となり、マイクロ波によってレーザ放電
管（５１）中のレーザガスが放電する。この場合、冷却
ガス送気管（５４）中に例えばＮ２ガスを高速で流し、
レーザ放電管（５１）を外側から冷却し、適切なレーザ
ガスの放電要件を整えろことによってレーザ発振条件が
得られ、ブリュースター窓（８１）の外部に図示のない
レーザ発振のためのミラーを設けるとレーザ発振が行わ
れる。
レーザ放電管（５Ｉ）中にはレーザガス導入口（５２）
より例えばＣＯ□レーザガスのようなレーザガスが導入
され、一方、導波管（３）中にはマイクロ波が伝搬して
いる。この導波管（３）の内径はテーパ部（１０）を有
し、レーザ放電管（５１）を包む位置で導波管（３）の
内径が最小径になっているので、この位置でのマイクロ
波の電界が最大となり、マイクロ波によってレーザ放電
管（５１）中のレーザガスが放電する。この場合、冷却
ガス送気管（５４）中に例えばＮ２ガスを高速で流し、
レーザ放電管（５１）を外側から冷却し、適切なレーザ
ガスの放電要件を整えろことによってレーザ発振条件が
得られ、ブリュースター窓（８１）の外部に図示のない
レーザ発振のためのミラーを設けるとレーザ発振が行わ
れる。
さらに、陽極（１２）と陰極（１３）との間にＤＣ電圧
を印加し、ＤＣＭ電とマイクロ波放電とをあわせてレー
ザ発振条件を作り出するともてきる。この場合、ＤＣ単
独の放電に比べて発振効率が良くなることが知られてい
る。
を印加し、ＤＣＭ電とマイクロ波放電とをあわせてレー
ザ発振条件を作り出するともてきる。この場合、ＤＣ単
独の放電に比べて発振効率が良くなることが知られてい
る。
上記のような構成の従来のガスレーザ発振器において、
レーザ放電ｆｆ（５１）が導波管（３）巾のマイクロ波
の伝搬方向に対して直交して設けられているので、伝搬
するマイクロ波エネルギのごく一部だけがレーザ放電管
（５１）中の放電エネルギに変換され、他のマイクロ波
はそのまま導波管（３）中を伝搬してしまうために、マ
イクロ波の利用効率、すなわちレーザ発振効率が非常に
低いという問題があった。
レーザ放電ｆｆ（５１）が導波管（３）巾のマイクロ波
の伝搬方向に対して直交して設けられているので、伝搬
するマイクロ波エネルギのごく一部だけがレーザ放電管
（５１）中の放電エネルギに変換され、他のマイクロ波
はそのまま導波管（３）中を伝搬してしまうために、マ
イクロ波の利用効率、すなわちレーザ発振効率が非常に
低いという問題があった。
この発明はかかる問題点を解消するためになされたもの
で、マイクロ波エネルギから放電エネルギへの変換効率
、すなわちレーザ発振効率の高いガスレーザ発振器を得
ることを目的とする。
で、マイクロ波エネルギから放電エネルギへの変換効率
、すなわちレーザ発振効率の高いガスレーザ発振器を得
ることを目的とする。
この発明に係るガスレーザ発振器は、導波管の少なくと
も一部をリッジ導波管にするとともに、レーザ放電管を
とのリッジ導波管に沿って配設するようにしたのである
。
も一部をリッジ導波管にするとともに、レーザ放電管を
とのリッジ導波管に沿って配設するようにしたのである
。
この発明におけるレーザ放電管中のレーザガスは、リッ
ジ導波管中の強いマイクロ波電界によって放電するとと
もに、マイクロ波の伝搬方向に沿ってマイクロ波を吸収
する。
ジ導波管中の強いマイクロ波電界によって放電するとと
もに、マイクロ波の伝搬方向に沿ってマイクロ波を吸収
する。
第１図はこの発明の一実施例によるレーザ発振器の構成
を示す部分断面図であり、（１）はマイクロ波発振器で
あるマグネトロン、（２）はマイクロ波の励振点となる
マグネトロンアンテナ、（３）は導波管、（４）は乙の
導波管（３）のリッジ部、（４１）はリッジテーパ部、
（５）はセラミックで形成されたレーザ放電管、（６）
はレーザガスが充填された放電部、（７１１；ｆレーザ
発振用の全反射鏡、（８）は同じく半透鏡である。
を示す部分断面図であり、（１）はマイクロ波発振器で
あるマグネトロン、（２）はマイクロ波の励振点となる
マグネトロンアンテナ、（３）は導波管、（４）は乙の
導波管（３）のリッジ部、（４１）はリッジテーパ部、
（５）はセラミックで形成されたレーザ放電管、（６）
はレーザガスが充填された放電部、（７１１；ｆレーザ
発振用の全反射鏡、（８）は同じく半透鏡である。
上記のように構成された乙の発明によるレーザ発振器に
おいて、マグネトロン（１）によって発生したマイクロ
波は、マグネトロンアンテナ（２）より導波管（３）中
に放射される。この放射されたマイクロ波は、通常の断
面図形状および寸法の方形導波管中ではＴＥ、。モード
となって導波管軸方向に伝搬する。このＴＥ、。モード
で伝搬するマイクロ波は、リッジテーパ部（４１）を経
てリッジ部（４）においてリッジモードに変換される。
おいて、マグネトロン（１）によって発生したマイクロ
波は、マグネトロンアンテナ（２）より導波管（３）中
に放射される。この放射されたマイクロ波は、通常の断
面図形状および寸法の方形導波管中ではＴＥ、。モード
となって導波管軸方向に伝搬する。このＴＥ、。モード
で伝搬するマイクロ波は、リッジテーパ部（４１）を経
てリッジ部（４）においてリッジモードに変換される。
第３図はりッジモードを説明する図であり、矢ＥｒＪ
Ｅ ｌｅｔ電界を示す。この図のように、リッジモード
はリッジ先端部分に電界が集中している。また、レーザ
放電管（５）は第２図に示したように、とのリッジ先端
部の電界が集中している部分に設けられており、強いマ
、イクロ波電界によって放電部（６）のレーザガスが放
電するので、マイクロ波電力が比較的小さくても、高い
圧力のレーザガスを放電させろことができる。又、放電
部（６）はマイクロ波の伝搬方向に沿って設けられてい
るので、マイクロ波エネルギはマイクロ波が伝搬するに
したがって放電エネルギに変換され、導波管（３）の終
端部において反射し、再びマグネトロンアンテナ（２）
側へ向って反射波として伝搬する。この反射波も伝搬す
るにしたがって放電エネルギに変換され、導波管のリッ
ジ部（４）および放電部（６）の寸法とレーザガスのガ
ス圧とを適切な値に定めることによって、伝搬する間に
マイクロ波エネルギすべて放電エネルギに変換される。
Ｅ ｌｅｔ電界を示す。この図のように、リッジモード
はリッジ先端部分に電界が集中している。また、レーザ
放電管（５）は第２図に示したように、とのリッジ先端
部の電界が集中している部分に設けられており、強いマ
、イクロ波電界によって放電部（６）のレーザガスが放
電するので、マイクロ波電力が比較的小さくても、高い
圧力のレーザガスを放電させろことができる。又、放電
部（６）はマイクロ波の伝搬方向に沿って設けられてい
るので、マイクロ波エネルギはマイクロ波が伝搬するに
したがって放電エネルギに変換され、導波管（３）の終
端部において反射し、再びマグネトロンアンテナ（２）
側へ向って反射波として伝搬する。この反射波も伝搬す
るにしたがって放電エネルギに変換され、導波管のリッ
ジ部（４）および放電部（６）の寸法とレーザガスのガ
ス圧とを適切な値に定めることによって、伝搬する間に
マイクロ波エネルギすべて放電エネルギに変換される。
一方、全反射鏡（７）と半透鏡（８）とでレーザ共振系
が構成されるので、放電部（６）の放電条件を適合させ
ることによってレーザ発振が生じ、半透鏡（８）からレ
ーザ光を出射することができる。このようにして、マイ
クロ波エネルギはレーザエネルギに変換され、マイクロ
波エネルギの全てがほぼ放電エネルギに変換されるので
変換効率を高（することができる。また、例えばＣＯ２
レーザにおいては放電部の冷却が重要であるが、レーザ
放電管（５）とりッジ部（４）とが接触しているのでリ
ッジ部（４）の導波管外部より冷却することが可能とな
り、冷却効率も良くすることができる。
が構成されるので、放電部（６）の放電条件を適合させ
ることによってレーザ発振が生じ、半透鏡（８）からレ
ーザ光を出射することができる。このようにして、マイ
クロ波エネルギはレーザエネルギに変換され、マイクロ
波エネルギの全てがほぼ放電エネルギに変換されるので
変換効率を高（することができる。また、例えばＣＯ２
レーザにおいては放電部の冷却が重要であるが、レーザ
放電管（５）とりッジ部（４）とが接触しているのでリ
ッジ部（４）の導波管外部より冷却することが可能とな
り、冷却効率も良くすることができる。
なお、上記実施例では放電部（６）とマグネトロンアン
テナ（２）とを比較的近接した位置に配設した例につい
て説明したが、第４図に示すような導波管（３）にコー
ナ部（３１）を設けて放電部（６）とマグネ１：ロンア
ンテナ（２）とを離隔した位置に配設する構成にずれば
、マグネトロンアンテナ（２）近傍の乱れた電磁界に放
電部（６）が影響されないために、放電が乱れろ恐れが
なくなる。また、レーザ放電管（５）より離れた導波管
（３）の位置にインピーダンス整合素子（３３）を挿入
することによって、マイクロ波整合が容易となるために
、リッジ部（４）および放電部（６）の寸法の設計が容
易になる。
テナ（２）とを比較的近接した位置に配設した例につい
て説明したが、第４図に示すような導波管（３）にコー
ナ部（３１）を設けて放電部（６）とマグネ１：ロンア
ンテナ（２）とを離隔した位置に配設する構成にずれば
、マグネトロンアンテナ（２）近傍の乱れた電磁界に放
電部（６）が影響されないために、放電が乱れろ恐れが
なくなる。また、レーザ放電管（５）より離れた導波管
（３）の位置にインピーダンス整合素子（３３）を挿入
することによって、マイクロ波整合が容易となるために
、リッジ部（４）および放電部（６）の寸法の設計が容
易になる。
また、第５図に示すように導ｅ、管（３）の両側にリッ
ジ部（４］） 、 （４２）を設けた双リッジ導波管と
し、例えば石英ガラス管のような円筒管を用いてレーザ
放電管（５１）としても、マイクロ波エネルギを効率良
く放電エネルギに変換でき、しかも放電部が円筒である
ためにレーザ発振モードも低次にできろ。
ジ部（４］） 、 （４２）を設けた双リッジ導波管と
し、例えば石英ガラス管のような円筒管を用いてレーザ
放電管（５１）としても、マイクロ波エネルギを効率良
く放電エネルギに変換でき、しかも放電部が円筒である
ためにレーザ発振モードも低次にできろ。
この発明は以上説明したように、マイクロ波を伝搬させ
る導波管の少なくともその一部をリッジ導波管とし、レ
ーザガスを封入したレーザ放電管をリッジ導波管のリッ
ジ部に沿って配設するように構成したので、高い圧力の
レーザガスを放電させることがてき、レーザ発振効率の
高いガスレーザ発振器が得られる効果がある。
る導波管の少なくともその一部をリッジ導波管とし、レ
ーザガスを封入したレーザ放電管をリッジ導波管のリッ
ジ部に沿って配設するように構成したので、高い圧力の
レーザガスを放電させることがてき、レーザ発振効率の
高いガスレーザ発振器が得られる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるガスレーザ発振器の
構成を示す部分断面図、第２図は第１図におけろＡ−Ａ
断面図、第３図はりッジ導波管部の電界分布を示す図、
第４図はこの発明の他の実施例によるガスレーザ発振器
を示す部分断面図、第５図はこの発明の他の実施例を示
すリッジ導波管部の断面図、第６図は従来のガスレーザ
発振器の一例を示す断面図、第７図は第６図におけるＢ
−Ｂ断面図である。 図において、（１）はマグネトロン、（２）はマグネ）
・ロンアンテナ、（３）は導波管、（４）はリッジ部、
（５）はレーザ放電管、（７）は全反射鏡、（８）は半
透鏡、（３１）ばコーナ部、（３３）はインピーダンス
整合素子。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 Ａ １１？’７″ネトロン ２１７７字トロンアンテナ ３：停 シ皮 管 ４：リー７ジ部 ５：レーサーＲ電管 ７：企及材４見 ８１半透１１ 第２図 第３図 第５図 Ｉ 第４図 ３１１コーア都 ３３：インロ°−タ゛ンス警合糸ｊ 第６図 手続補正書（自発） １．事件の表示 特願昭６０−２４１６０９号 ２、発明の名称 ガスレーザ発振器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社 代表者 志岐守哉 ４、代理人 住 所 東京都港区虎ノ門五丁目８番６号５、補
正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲の記載を別紙のとおり補
正する。 （２）明細書第８頁第１８行と第１９行との間に次のと
おり加入する。 「上記の２つの実施例はいずれもレーザ発振用の鏡（全
反射鏡及び半透鏡）をレーザ放電管の両端に設けている
が、レーザ放電管の両端にブリュースター窓を設け、外
部にレーザ発振用の鏡を設けてレーザ発振させるように
してもよいことはいうまでもない。Ｊ （３）図面の第６図を別紙補正図面のとおり補正する。 以上 ）・ Ｐ、：’１ 特許請求の範囲（補正） （１）マイクロ波発振器、レーザガスを封入したレーザ
放電管、及びこのレーザ放電管と上記マイクロ波発振器
との間に設けられた導波管を備え、上記マイクロ波発振
器からのマイクロ波を上記導波管に励振し、この導波管
の少なくとも一部をリッジ導波管とし、このリッジ導波
管のリッジ部に沿って上記レーザ放電管を配設したこと
を特徴とするガスレーザ発振器。 （２）リッジ導波管が単一リッジ導波管であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器
。 （３）リッジ導波管が双リッジ導波管であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器。 （４）リッジ導波管のリッジ部に接触してレーザ放電管
を配設したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のガスレーザ発振器。 （５）導波管にコーナ部を設けた形状にすることによっ
て、マイクロ波発振器から上記導波管におけるマイクロ
波励振点よりレーザ発振管までの距離を離隔させたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項のガスレーザ発振器
。 （６）マイクロ波励振点とレーザ発振器との間にインピ
ーダンス整合素子を設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載のガスレーザ発振器。
構成を示す部分断面図、第２図は第１図におけろＡ−Ａ
断面図、第３図はりッジ導波管部の電界分布を示す図、
第４図はこの発明の他の実施例によるガスレーザ発振器
を示す部分断面図、第５図はこの発明の他の実施例を示
すリッジ導波管部の断面図、第６図は従来のガスレーザ
発振器の一例を示す断面図、第７図は第６図におけるＢ
−Ｂ断面図である。 図において、（１）はマグネトロン、（２）はマグネ）
・ロンアンテナ、（３）は導波管、（４）はリッジ部、
（５）はレーザ放電管、（７）は全反射鏡、（８）は半
透鏡、（３１）ばコーナ部、（３３）はインピーダンス
整合素子。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 Ａ １１？’７″ネトロン ２１７７字トロンアンテナ ３：停 シ皮 管 ４：リー７ジ部 ５：レーサーＲ電管 ７：企及材４見 ８１半透１１ 第２図 第３図 第５図 Ｉ 第４図 ３１１コーア都 ３３：インロ°−タ゛ンス警合糸ｊ 第６図 手続補正書（自発） １．事件の表示 特願昭６０−２４１６０９号 ２、発明の名称 ガスレーザ発振器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号名
称 （６０１）三菱電機株式会社 代表者 志岐守哉 ４、代理人 住 所 東京都港区虎ノ門五丁目８番６号５、補
正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
６、補正の内容 （１）明細書の特許請求の範囲の記載を別紙のとおり補
正する。 （２）明細書第８頁第１８行と第１９行との間に次のと
おり加入する。 「上記の２つの実施例はいずれもレーザ発振用の鏡（全
反射鏡及び半透鏡）をレーザ放電管の両端に設けている
が、レーザ放電管の両端にブリュースター窓を設け、外
部にレーザ発振用の鏡を設けてレーザ発振させるように
してもよいことはいうまでもない。Ｊ （３）図面の第６図を別紙補正図面のとおり補正する。 以上 ）・ Ｐ、：’１ 特許請求の範囲（補正） （１）マイクロ波発振器、レーザガスを封入したレーザ
放電管、及びこのレーザ放電管と上記マイクロ波発振器
との間に設けられた導波管を備え、上記マイクロ波発振
器からのマイクロ波を上記導波管に励振し、この導波管
の少なくとも一部をリッジ導波管とし、このリッジ導波
管のリッジ部に沿って上記レーザ放電管を配設したこと
を特徴とするガスレーザ発振器。 （２）リッジ導波管が単一リッジ導波管であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器
。 （３）リッジ導波管が双リッジ導波管であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器。 （４）リッジ導波管のリッジ部に接触してレーザ放電管
を配設したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のガスレーザ発振器。 （５）導波管にコーナ部を設けた形状にすることによっ
て、マイクロ波発振器から上記導波管におけるマイクロ
波励振点よりレーザ発振管までの距離を離隔させたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項のガスレーザ発振器
。 （６）マイクロ波励振点とレーザ発振器との間にインピ
ーダンス整合素子を設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載のガスレーザ発振器。
Claims (6)
- （１）マイクロ波発振器、レーザガスを封入したレーザ
放電管、このレーザ放電管と上記マイクロ波発振器との
間に設けられた導波管、上記レーザ放電管の両端にレー
ザ発振用の全反射鏡および半透鏡とを備え、上記マイク
ロ波発振器からのマイクロ波を上記導波管に励振し、こ
の導波管の少なくとも一部をリッジ導波管とし、このリ
ッジ導波管のリッジ部に沿って上記レーザ放電管を配設
したことを特徴とするガスレーザ発振器。 - （２）リッジ導波管が単一リッジ導波管であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器 - （３）リッジ導波管が双リッジ導波管であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ発振器。 - （４）リッジ導波管のリッジ部に接触してレーザ放電管
を配設したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のガスレーザ発振器。 - （５）導波管にコーナ部を設けた形状にすることによつ
て、マイクロ波発振器から上記導波管におけるマイクロ
波励振点よりレーザ発振管までの距離を離隔させたこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項のガスレーザ発振器
。 - （６）マイクロ波励振点とレーザ発振器との間にインピ
ーダンス整合素子を設けたことを特徴とする特許請求の
範囲第５項記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24160985A JPH0716036B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24160985A JPH0716036B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62104084A true JPS62104084A (ja) | 1987-05-14 |
| JPH0716036B2 JPH0716036B2 (ja) | 1995-02-22 |
Family
ID=17076862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24160985A Expired - Lifetime JPH0716036B2 (ja) | 1985-10-30 | 1985-10-30 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0716036B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6469070A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Optical waveguide type gas laser equipment |
-
1985
- 1985-10-30 JP JP24160985A patent/JPH0716036B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6469070A (en) * | 1987-09-10 | 1989-03-15 | Mitsubishi Electric Corp | Optical waveguide type gas laser equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0716036B2 (ja) | 1995-02-22 |
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