JPS6210438U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6210438U JPS6210438U JP10238685U JP10238685U JPS6210438U JP S6210438 U JPS6210438 U JP S6210438U JP 10238685 U JP10238685 U JP 10238685U JP 10238685 U JP10238685 U JP 10238685U JP S6210438 U JPS6210438 U JP S6210438U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waste liquid
- concentration
- concentration detector
- discharge hole
- rotary table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示す正断面図、第２図は第１図の装置による
高濃度廃液の排水時の状態を示す正断面図、第３
図は第１図の装置による低濃度廃液の排水時の状
態を示す正断面図である。第４図は本考案の前提
となる半導体製造装置を示す正断面図である。 ６…半導体ウエーハ、７…廃液回収槽、７ａ…
底部、８…排出孔、９ａ，９ｂ…２系統の配管系
〔第１、第２の排出管〕、１０…濃度検出器〔ｐ
Ｈ測定器〕、１１ａ，１１ｂ…自動切換弁〔第１
、第２の電磁弁〕。
例を示す正断面図、第２図は第１図の装置による
高濃度廃液の排水時の状態を示す正断面図、第３
図は第１図の装置による低濃度廃液の排水時の状
態を示す正断面図である。第４図は本考案の前提
となる半導体製造装置を示す正断面図である。 ６…半導体ウエーハ、７…廃液回収槽、７ａ…
底部、８…排出孔、９ａ，９ｂ…２系統の配管系
〔第１、第２の排出管〕、１０…濃度検出器〔ｐ
Ｈ測定器〕、１１ａ，１１ｂ…自動切換弁〔第１
、第２の電磁弁〕。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 表面に処理液が塗布された半導体ウエーハを保
持する回転テーブルと、 該回転テーブルの周囲を囲繞するように設置さ
れた廃液回収槽と、 該廃液回収槽の底部に設けられた排出孔と連通
する２系統の配管系と、 上記排出孔から廃棄される処理液を含んだ廃液
の濃度を検出する濃度検出器と、 上記配管系に設けられ、濃度検出器で検知され
た廃液濃度に基づいて配管系への廃液の流入を切
換える自動切換弁とを具備したことを特徴とする
半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10238685U JPS6210438U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10238685U JPS6210438U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6210438U true JPS6210438U (ja) | 1987-01-22 |
Family
ID=30973988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10238685U Pending JPS6210438U (ja) | 1985-07-04 | 1985-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6210438U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871494A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Mitsubishi Chem Corp | 色素溶液の自動調製方法 |
-
1985
- 1985-07-04 JP JP10238685U patent/JPS6210438U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0871494A (ja) * | 1994-08-31 | 1996-03-19 | Mitsubishi Chem Corp | 色素溶液の自動調製方法 |