JPS62105356A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS62105356A JPS62105356A JP24466385A JP24466385A JPS62105356A JP S62105356 A JPS62105356 A JP S62105356A JP 24466385 A JP24466385 A JP 24466385A JP 24466385 A JP24466385 A JP 24466385A JP S62105356 A JPS62105356 A JP S62105356A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microwave
- light source
- source device
- discharge light
- metal mesh
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はマイクロ波放電を利用したマイクロ波放電光
源装置に関するものである。
源装置に関するものである。
第２図は例えば実開昭５８〜１９２４５８号公報に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図である
。図において、１はマイクロ波を発振するマグネトロン
、２はマグネトロンアンテナ、３はアンテナ２からのマ
イクロ波を搬送する通風口３ａを有する導波管、４はマ
イクａ波共振空胴５を構成する空胴壁で、導波管３から
のマイクロ波を給電口６を通して共振空胴５内に給電す
る。７は上記空胴壁４の開１コ部を閉止１〜た第１の金
属メツシュ板、８はこの第１の金属メツシュ板７の外方
側にリング状スペーサ９を介し、かつその外方に重ねた
リング状固定枠１０と共にねじ１１で固定した第２の金
属メツシュ板である。１２はマイクロ波共振空胴５内に
配設された球形の無電極ランプ、１３はマグネトロン１
と無電極ランプ１２を冷却するファン、１４は上記各構
成部材を収容する筐体である。
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図である
。図において、１はマイクロ波を発振するマグネトロン
、２はマグネトロンアンテナ、３はアンテナ２からのマ
イクロ波を搬送する通風口３ａを有する導波管、４はマ
イクａ波共振空胴５を構成する空胴壁で、導波管３から
のマイクロ波を給電口６を通して共振空胴５内に給電す
る。７は上記空胴壁４の開１コ部を閉止１〜た第１の金
属メツシュ板、８はこの第１の金属メツシュ板７の外方
側にリング状スペーサ９を介し、かつその外方に重ねた
リング状固定枠１０と共にねじ１１で固定した第２の金
属メツシュ板である。１２はマイクロ波共振空胴５内に
配設された球形の無電極ランプ、１３はマグネトロン１
と無電極ランプ１２を冷却するファン、１４は上記各構
成部材を収容する筐体である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように構成され
、マグネトロン１から発振されたマイクロ波はアンテナ
２より導波管３内を通り給１℃口６からマイクロ波共振
空胴５内に放射される。このマイクロ波により無電極ラ
ンプ１２内の封入ガスが放電励起されて発光する。そし
てこの光は第１および第２の金属メツシュ板７．８の開
口率に応じて外部に放射される。一方、マイクロ波は金
属メツシュ板に反射することによりエネルギーが大きく
減衰する性質から、第１の金属メツシュ板７からのマイ
クロ波の漏洩を第２の金属メツシュ板８で反射して減衰
する。したがって、両金属メツシュ板７，８の開口率お
よび設置間隙を適当に選択することで、マイクロ波エネ
ルギーの漏洩を防止し、光の外部への放射量を高めるよ
うにしている。
、マグネトロン１から発振されたマイクロ波はアンテナ
２より導波管３内を通り給１℃口６からマイクロ波共振
空胴５内に放射される。このマイクロ波により無電極ラ
ンプ１２内の封入ガスが放電励起されて発光する。そし
てこの光は第１および第２の金属メツシュ板７．８の開
口率に応じて外部に放射される。一方、マイクロ波は金
属メツシュ板に反射することによりエネルギーが大きく
減衰する性質から、第１の金属メツシュ板７からのマイ
クロ波の漏洩を第２の金属メツシュ板８で反射して減衰
する。したがって、両金属メツシュ板７，８の開口率お
よび設置間隙を適当に選択することで、マイクロ波エネ
ルギーの漏洩を防止し、光の外部への放射量を高めるよ
うにしている。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置では、両金
属メツシュ板７，８の開口率および設置間隙によって、
マグネトロン１で発生するマイクロ波エネルギーの基本
波から高調波までのマイクロ波エネルギーの外部への漏
洩を防止しているたメ、金属メツシュ板７，８の開口率
をマイクロ波エネルギーの高調波の高い周波数に合わせ
なければならず、従ってマイクロ波シールディングの一
般的特性から両金属メツシュ板７，８の開口率を小さく
しなければならない。このため従来のマイクロ波放電光
源装置では外部への光の放射量が減少してしまうという
問題点があった。
属メツシュ板７，８の開口率および設置間隙によって、
マグネトロン１で発生するマイクロ波エネルギーの基本
波から高調波までのマイクロ波エネルギーの外部への漏
洩を防止しているたメ、金属メツシュ板７，８の開口率
をマイクロ波エネルギーの高調波の高い周波数に合わせ
なければならず、従ってマイクロ波シールディングの一
般的特性から両金属メツシュ板７，８の開口率を小さく
しなければならない。このため従来のマイクロ波放電光
源装置では外部への光の放射量が減少してしまうという
問題点があった。
この発明は上記の問題点を解決するためになされたもの
で、外部への光の放射量を増大させることのできるマイ
クロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
で、外部への光の放射量を増大させることのできるマイ
クロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
この発明に係るマイクロ波放電光源装置は、導波管内に
、マイクロ波エネルギーの基本波成分を通過させ他の高
調波成分のマイクロ波エネルギーを抑圧、減衰させるマ
イクロ波バンドパスフィルタを設けたものである。
、マイクロ波エネルギーの基本波成分を通過させ他の高
調波成分のマイクロ波エネルギーを抑圧、減衰させるマ
イクロ波バンドパスフィルタを設けたものである。
この発明においては、マイクロ波バンドパスフィルタが
設けられているため、基本波成分以外の高調波成分のマ
イクロ波エネルギーが抑圧、減衰され、従って金属メツ
シュ板の開口率を、該開口率が最大となる基本波成分の
周波数に合致させることができる。
設けられているため、基本波成分以外の高調波成分のマ
イクロ波エネルギーが抑圧、減衰され、従って金属メツ
シュ板の開口率を、該開口率が最大となる基本波成分の
周波数に合致させることができる。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ波放電光源
装置を示す断面図である。図において、１〜１４は第２
図に示す従来装置と同様であるため対応する部分に同一
符号を付してその説明を省略する。また、１５は導波管
３の中間部に位置するよう接続され、マグネトロン１の
発振周波数である基本波成分のマイクロ波エネルギーを
通過させ、他の高調波成分のマイクロ波エネルギーを抑
圧し減衰させるマイクロ波バンドパスフィルタである。
装置を示す断面図である。図において、１〜１４は第２
図に示す従来装置と同様であるため対応する部分に同一
符号を付してその説明を省略する。また、１５は導波管
３の中間部に位置するよう接続され、マグネトロン１の
発振周波数である基本波成分のマイクロ波エネルギーを
通過させ、他の高調波成分のマイクロ波エネルギーを抑
圧し減衰させるマイクロ波バンドパスフィルタである。
このように構成されたマイクロ波放電光源装置は、既に
従来装置で説明したような基本的な動作により、マイク
ロ波エネルギーによって無電極ランプ１２内のガスが放
電励起されて発光する。そしてこの場合、マグネトロン
１から発振されたマイクロ波エネルギーには、マイクロ
波回路系として主要な基本波成分とこれ以外に基本波の
周波数の整数倍の不要な高調波成分とが含まれている。
従来装置で説明したような基本的な動作により、マイク
ロ波エネルギーによって無電極ランプ１２内のガスが放
電励起されて発光する。そしてこの場合、マグネトロン
１から発振されたマイクロ波エネルギーには、マイクロ
波回路系として主要な基本波成分とこれ以外に基本波の
周波数の整数倍の不要な高調波成分とが含まれている。
この高調波成分のマイクロ波エネルギーは、マイクロ波
バンドパスフィルタ１５を介して導波管３内を通過する
時に抑圧、減衰され、基本波成分のみがマイクロ波共振
空胴５に導かれる。これによりマイクロ波エネルギーの
漏洩を防止するための第１の金属メツシュ板７および第
２の金属メツシュ板８の開口率および設置間隙をマイク
ロ波の高調波成分に合わせる必要がなく、基本波成分に
設定することができる。従って開口率を大きくすること
ができて光の外部への放射量を高めることができる。
バンドパスフィルタ１５を介して導波管３内を通過する
時に抑圧、減衰され、基本波成分のみがマイクロ波共振
空胴５に導かれる。これによりマイクロ波エネルギーの
漏洩を防止するための第１の金属メツシュ板７および第
２の金属メツシュ板８の開口率および設置間隙をマイク
ロ波の高調波成分に合わせる必要がなく、基本波成分に
設定することができる。従って開口率を大きくすること
ができて光の外部への放射量を高めることができる。
この発明は以上説明したように、導波管内にマグネトロ
ンから発振されるマイクロ波エネルギーの基本波成分を
通過させ、他の不要な高調波成分のマイクロ波エネルギ
ーを抑圧、減衰させるマイクロ波バンドパスフィルタを
設けたので、マイクロ波エネルギーを漏洩防止用の第１
および第２の金属メツシュ板の開口率を、該開口率が最
大となる基本波成分の周波数に合致させることができ、
これにより光の外部への放射量を増大させることができ
るとともに外部へのマイクロ波エネルギーの漏洩も確実
に防止できる効果がある。
ンから発振されるマイクロ波エネルギーの基本波成分を
通過させ、他の不要な高調波成分のマイクロ波エネルギ
ーを抑圧、減衰させるマイクロ波バンドパスフィルタを
設けたので、マイクロ波エネルギーを漏洩防止用の第１
および第２の金属メツシュ板の開口率を、該開口率が最
大となる基本波成分の周波数に合致させることができ、
これにより光の外部への放射量を増大させることができ
るとともに外部へのマイクロ波エネルギーの漏洩も確実
に防止できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるマイクロ波放電光源
装置の断面図、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置
ｉｔの断面図である。 １・・・マグネトロン、３・・−導波管、５・・・マイ
クロ波共振空胴、７・・・第１の金属メツシュ板、８・
・・第２の金属メツシュ板、１２・・・無電極ランプ、
１５・・・マイクロ波バンドパスフィルタ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
装置の断面図、第２図は従来のマイクロ波放電光源装置
ｉｔの断面図である。 １・・・マグネトロン、３・・−導波管、５・・・マイ
クロ波共振空胴、７・・・第１の金属メツシュ板、８・
・・第２の金属メツシュ板、１２・・・無電極ランプ、
１５・・・マイクロ波バンドパスフィルタ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 少なくとも一面に金属メツシユ板を設けたマイクロ波共
振空胴内に無電極ランプを配設し、この無電極ランプを
、マグネトロンより発振されたマイクロ波を導波管を介
して搬送し前記マイクロ波空胴内に形成されるマイクロ
波電磁界で点灯させるマイクロ波放電光源装置において
、前記導波管内に、マイクロ波エネルギーの基本波成分
を通過させ他の高調波成分のマイクロ波エネルギーを抑
圧し減衰させるマイクロ波バンドパスフイルタを配設し
たことを特徴とするマイクロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466385A JPS62105356A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24466385A JPS62105356A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62105356A true JPS62105356A (ja) | 1987-05-15 |
Family
ID=17122100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24466385A Pending JPS62105356A (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62105356A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009539214A (ja) * | 2006-05-30 | 2009-11-12 | セラビジョン・リミテッド | ランプ |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP24466385A patent/JPS62105356A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009539214A (ja) * | 2006-05-30 | 2009-11-12 | セラビジョン・リミテッド | ランプ |
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