JPS6199263A - マイクロ波放電光源装置 - Google Patents
マイクロ波放電光源装置Info
- Publication number
- JPS6199263A JPS6199263A JP21992584A JP21992584A JPS6199263A JP S6199263 A JPS6199263 A JP S6199263A JP 21992584 A JP21992584 A JP 21992584A JP 21992584 A JP21992584 A JP 21992584A JP S6199263 A JPS6199263 A JP S6199263A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mesh plate
- microwave
- metal mesh
- light source
- source device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J65/00—Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
- H01J65/04—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
- H01J65/042—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
- H01J65/044—Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by a separate microwave unit
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Circuit Arrangements For Discharge Lamps (AREA)
- Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はマイクロ波放電を利用したマイクロ波放電光
源装置に関するものである。
源装置に関するものである。
第４図は例えば特開昭５８−１９２４５８号公報に示さ
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図であり
、図において、１１よマイクロ波を発振するマグネトロ
ン、２はマグネトロンアンテナ、３はアンテナ２からの
マイクロ波を搬送する通風口３ａを有する導波管、４は
マイクｑ波共振空胴５を構成する空胴壁で、導波管３か
らのマイクロ波を給電口６を通して共振空胴５内に給電
する。７は上記空胴壁４の開口部を閉止した第１の金属
メツシュ板、８はこの第１の金属メツシュ板７の外方側
にリング状スペーサ９を介し、かつ外方に重ねたリング
状固定枠１０と共にねじ１１で固定した第２の金属メツ
シュ板である。１２はマイクロ波共振空胴５内に配設さ
れた球形の無電極ランプ、１３はマグネトロン１と無電
極ランプ１２を冷却するファン、１４は上記各構成部材
を収容する筐体である。
れた従来のマイクロ波放電光源装置を示す断面図であり
、図において、１１よマイクロ波を発振するマグネトロ
ン、２はマグネトロンアンテナ、３はアンテナ２からの
マイクロ波を搬送する通風口３ａを有する導波管、４は
マイクｑ波共振空胴５を構成する空胴壁で、導波管３か
らのマイクロ波を給電口６を通して共振空胴５内に給電
する。７は上記空胴壁４の開口部を閉止した第１の金属
メツシュ板、８はこの第１の金属メツシュ板７の外方側
にリング状スペーサ９を介し、かつ外方に重ねたリング
状固定枠１０と共にねじ１１で固定した第２の金属メツ
シュ板である。１２はマイクロ波共振空胴５内に配設さ
れた球形の無電極ランプ、１３はマグネトロン１と無電
極ランプ１２を冷却するファン、１４は上記各構成部材
を収容する筐体である。
従来のマイクロ波放電光源装置は上記のように構成され
、マグネトロン１から発振されたマイクロ波はアンテナ
２より導波管３内を通り給電口６からマイクロ波共振空
胴５内に放射される。このマイクロ波により無電極ラン
プ】２内の封入ガスが放電励起されて発光する。そして
この光は第１および第２の金属メツシュ板７，８の開口
率二こ応じて外部に放射される。一方、マイクロ波は金
属メツシュ板に反射することによりエネルギーが大きく
減衰する性質から、第１の金属メツシュ板７か□らのマ
イクロ波の漏洩を第２の金属メツシュ板８で反射して減
衰する。したがって、両金属メツシュ板７，８の開口率
および設置間隙を適当に選択することで、マイクロ波エ
ネルギーの漏洩を防止し、光の外部への放射量を高める
ようにしている。
、マグネトロン１から発振されたマイクロ波はアンテナ
２より導波管３内を通り給電口６からマイクロ波共振空
胴５内に放射される。このマイクロ波により無電極ラン
プ】２内の封入ガスが放電励起されて発光する。そして
この光は第１および第２の金属メツシュ板７，８の開口
率二こ応じて外部に放射される。一方、マイクロ波は金
属メツシュ板に反射することによりエネルギーが大きく
減衰する性質から、第１の金属メツシュ板７か□らのマ
イクロ波の漏洩を第２の金属メツシュ板８で反射して減
衰する。したがって、両金属メツシュ板７，８の開口率
および設置間隙を適当に選択することで、マイクロ波エ
ネルギーの漏洩を防止し、光の外部への放射量を高める
ようにしている。
上記のような従来のマイクロ波放電光源装置では、両金
属メツシュ板７，８の設置間隙によってマイクロ波エネ
ルギーの外部への漏洩を防止しているため、機器の大き
さの制限から上記設置間隙を大きくできない問題点があ
った。
属メツシュ板７，８の設置間隙によってマイクロ波エネ
ルギーの外部への漏洩を防止しているため、機器の大き
さの制限から上記設置間隙を大きくできない問題点があ
った。
この発明は、かかる問題点を解決するためになされたも
ので、両金属メツシュ板の設置間隙を大きくすることな
くマイクロ波エネルギーの漏洩を防止できるようにした
マイクロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
ので、両金属メツシュ板の設置間隙を大きくすることな
くマイクロ波エネルギーの漏洩を防止できるようにした
マイクロ波放電光源装置を得ることを目的とする。
この発明に係るマイクロ波放電光源装置は、共振空胴の
開口部を閉止した第１の金属メツシュ板の外方側に１５
〜３０１の間隙を隔て、開口率がｔ？ｉ望のマイクロ波
エネルギーの減衰率となる第２の金属メツシュ板を配設
したものである。
開口部を閉止した第１の金属メツシュ板の外方側に１５
〜３０１の間隙を隔て、開口率がｔ？ｉ望のマイクロ波
エネルギーの減衰率となる第２の金属メツシュ板を配設
したものである。
この発明においては、第１の金属メツシュ板がら漏洩し
たマイクロ波エネルギーが第２の金属メツシュ板によっ
て効果的に反射され、減衰することができる。
たマイクロ波エネルギーが第２の金属メツシュ板によっ
て効果的に反射され、減衰することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す断面図であり、第１
の金属メツシュ板７はマイクロ波共振空胴５の開口部に
リング状固定枠１ｏおよびねじ１１で固定されており、
第２の金属メツシュ板８は第１の金属メツシュ板７の外
方側に１５〜３ｏ−以 ）内の間隙を隔てた
車体１４にリング状固定枠１゜およびねじ１１で固定さ
れている。１５はファン１３の空気取入口に設けた防塵
網である。なお、その他の符号は第４図と同一である。
の金属メツシュ板７はマイクロ波共振空胴５の開口部に
リング状固定枠１ｏおよびねじ１１で固定されており、
第２の金属メツシュ板８は第１の金属メツシュ板７の外
方側に１５〜３ｏ−以 ）内の間隙を隔てた
車体１４にリング状固定枠１゜およびねじ１１で固定さ
れている。１５はファン１３の空気取入口に設けた防塵
網である。なお、その他の符号は第４図と同一である。
上記のようにＩｎ成されたマイクロ波放電光源装置にお
いては、マグネトロン１から放射されるマイクロ波の発
振周波数をｆ ＝ ２４５０ ＭＨｚとすると、第２図
に示すように措軸に示した第１と第２の金属メツシュ板
７，８との間隙りによる縦軸に示したマイクロ波エネル
ギーの減衰率はＬ−１５１１ＩＩ１１以上で大きくなり
、Ｌ＝３０ｍｍｆｉ上で一定となる。
いては、マグネトロン１から放射されるマイクロ波の発
振周波数をｆ ＝ ２４５０ ＭＨｚとすると、第２図
に示すように措軸に示した第１と第２の金属メツシュ板
７，８との間隙りによる縦軸に示したマイクロ波エネル
ギーの減衰率はＬ−１５１１ＩＩ１１以上で大きくなり
、Ｌ＝３０ｍｍｆｉ上で一定となる。
また、第３図に示すように横軸に示した第２の金属メツ
シュ板８の開口率Ｐに対して縦軸に示した減衰率は大き
く変る。上記のことから両金属メツシュ仮７，８の設置
間隙を１５〜３０問以内とし、しかも第２の金属メツシ
ュ板８の開口率を所望のマイクロ波エネルギーの減衰性
となるように第３図に示した特性を考慮して任意に選択
することにより、マイクロ波エネルギーの外部への漏洩
を効果的に防止することができろ。
シュ板８の開口率Ｐに対して縦軸に示した減衰率は大き
く変る。上記のことから両金属メツシュ仮７，８の設置
間隙を１５〜３０問以内とし、しかも第２の金属メツシ
ュ板８の開口率を所望のマイクロ波エネルギーの減衰性
となるように第３図に示した特性を考慮して任意に選択
することにより、マイクロ波エネルギーの外部への漏洩
を効果的に防止することができろ。
この発明は以上説明したように、第１と第２の金属メツ
シュ板の設置間隙を１５〜３ｏ愉以内とし、第２の金属
メツシュ板の開口率を所望のマイクロ波エネルギー減衰
率と゛なるように選択することにより、機器の大きさに
制限されることもなく、両金属メツシュ板の設置間隙を
大きくすることな（マイクロ波エネルギーの漏洩を効果
的に防止できる効果がある。
シュ板の設置間隙を１５〜３ｏ愉以内とし、第２の金属
メツシュ板の開口率を所望のマイクロ波エネルギー減衰
率と゛なるように選択することにより、機器の大きさに
制限されることもなく、両金属メツシュ板の設置間隙を
大きくすることな（マイクロ波エネルギーの漏洩を効果
的に防止できる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例を示すマイクロ波放電光源
装置の断面図、第２図は両メツシュ板の間隙に対するマ
イクロ波エネルギーの減衰率を示す図、第３図は第２の
メツシュ板の開口率に対するマイクロ波エネルギーの減
衰率を示す図、第４図は従来のマイクロ波放電光源装置
の断面図である。 １・・マグネトロン、３・・・導波管、５・・・マイク
ロ波共振空胴、７・・・第１の金属メツシュ板、８・・
・第２の金属メツシュ板、１２・・・無？Ｈ極ランプ。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
装置の断面図、第２図は両メツシュ板の間隙に対するマ
イクロ波エネルギーの減衰率を示す図、第３図は第２の
メツシュ板の開口率に対するマイクロ波エネルギーの減
衰率を示す図、第４図は従来のマイクロ波放電光源装置
の断面図である。 １・・マグネトロン、３・・・導波管、５・・・マイク
ロ波共振空胴、７・・・第１の金属メツシュ板、８・・
・第２の金属メツシュ板、１２・・・無？Ｈ極ランプ。 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）少なくとも一面にマイクロ波エネルギーを放出す
る金属メッシュ板を設けたマイクロ波共振空胴内に無電
極ランプを配設し、このランプをマイクロ波電磁界で点
灯させるマイクロ波放電光源装置において、上記金属メ
ッシュ板の外方側に１５〜３０ｍｍ以内の間隙を隔て、
開口率が所望のマイクロ波エネルギーの減衰率となる第
２の金属メッシュ板を配設したことを特徴とするマイク
ロ波放電光源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21992584A JPS6199263A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21992584A JPS6199263A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199263A true JPS6199263A (ja) | 1986-05-17 |
Family
ID=16743165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21992584A Pending JPS6199263A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | マイクロ波放電光源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199263A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424398A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-26 | Fusion Systems Corp | Microwave discharge light source |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21992584A patent/JPS6199263A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6424398A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-26 | Fusion Systems Corp | Microwave discharge light source |
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