JPS6211181U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6211181U JPS6211181U JP10152985U JP10152985U JPS6211181U JP S6211181 U JPS6211181 U JP S6211181U JP 10152985 U JP10152985 U JP 10152985U JP 10152985 U JP10152985 U JP 10152985U JP S6211181 U JPS6211181 U JP S6211181U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- workpiece
- tip
- electrolytic
- porous layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図は加工面の状態を示す図、第３図、第４図は他
の実施例を示す断面図、第５図は従来例を示す断
面図、第６図は従来例により加工した加工面を示
す断面図である。 ５……加工物（シリコン基板）、７……マスク
、９……ノズル、１０……電解液、１２……電源
、２０……多孔質層。
図は加工面の状態を示す図、第３図、第４図は他
の実施例を示す断面図、第５図は従来例を示す断
面図、第６図は従来例により加工した加工面を示
す断面図である。 ５……加工物（シリコン基板）、７……マスク
、９……ノズル、１０……電解液、１２……電源
、２０……多孔質層。
Claims (1)
- 加工物を陽極、ノズルを陰極とし、所定の間隔
を隔てて対向配置し、これら電極間に所定の電圧
を印加し、前記ノズルの先端から電解液を噴出さ
せて加工物の加工を行う電解加工装置において、
前記ノズルの先端または全体を多孔質層で構成し
たことを特徴とする電解加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152985U JPS6211181U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10152985U JPS6211181U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211181U true JPS6211181U (ja) | 1987-01-23 |
Family
ID=30972342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10152985U Pending JPS6211181U (ja) | 1985-07-03 | 1985-07-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6211181U (ja) |
-
1985
- 1985-07-03 JP JP10152985U patent/JPS6211181U/ja active Pending
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