JPS6212138A - 半導体装置の製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は列状に搬送される半製品を分離し、これを処理
加工部に供給する半導体装置の製造装置に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

従来、半製品を分離するには、例えばプラスチック封止
の半導体装置では半製品を傾斜させたレール上に流し、
２本の前、後ストッパの相対運動にて分離する方法と、
上下固定式ローラによる分離する方法とがあった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

前者の方式において、半製品のプラスチック封止バリが
ある場合に、パリが障害となって確実に分離できないと
いう欠点があり、後者においては固定式ローラのため、
ローラと半製品との間隔調整が大変難かしく、半製品が
流れなかったり、２個流れが発生するという欠点があっ
た。

本発明は前記問題点を解消するもので、強制的な送りを
与えて分離された半製品を供給する半導体装置の製造装
置を提供するものである・〔問題点を解決するための手
段〕 本発明は列状に搬送される半製品のうち、最先の半製品
に前ストッパを当接させて一時半製品の搬送を停止し、
２番目の半製品を後ストツバテ押圧しつつ前ストッパを
開いて最先の半製品を開放し、これを処理加工部に供給
する半導体装置の製造装置において、前ストッパにて停
止される最先の半製品に向けて、自転するローラを前ス
トッパの進退動作に連動させて進退可能に設け、前スト
ッパを後蝉させた時点で前記ローラを最先の半製品に押
しあて、ローラの回転力で半製品に強制的な送シを与え
るようにしたことを特徴とする半導体装置の製造装置で
ある。

〔実施例〕

以下に、本発明の一実施例を図により説明する。

第１図（４）、田）において、傾斜レール９の途中に前
ストッパ６を出没可能に設け、該ストッパ６をアクチュ
エータ６αに連結する。一方、前ストツパ６よシ半製品
１個分後退した位置の上方に後ストッパ５を昇降可能に
設置し、該ストッパ５をアクチュエータ５αに連結する
。さらに、前ストッパ６にアーム４を取υ付け、該アー
ム４にローラ３を最先の半製品７αに向き合わせて回転
可能に支持し、該ローラ３をモータ１にベルト２によシ
連結する・実施例において、列状に送られる半製品を個
々に分離するには、アクチュエータ６αの作用により前
ストッパ６をレール９上に突き出してこれを傾斜レール
９上を連続して流れてくる最先の半製品７ａに当接させ
、列状の半製品の搬送を一時停止させる。この時モータ
１とベルト２により回転しているローラ３はアクチュエ
ータ６αによジアーム４を介して上昇する。次にアクチ
ュエータ５ｃＬの作用によｐ後ストッパ５で２番目の半
製品乃を押さえた後、前ストッパ６を引込めると、ロー
ラ３が下がり、アクチュエータ６ａが完全に下死点に達
した時点で、ローラ３が最先の半製品７αに接触し、こ
れに時計方向への自転によって強制的な送りを与え、最
先の半製品７ｃＬが確実に１個分離される。その後、前
ストッパ６が上昇し、ローラ３も上昇し、後ストッパ５
により押さえられていた半製品１は落下し、分離位置へ
流れてくる。この動作を繰シ返し行い、半製品を確実に
１個分離し、処理加工部へ送り込んでいくのである。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は自転するローラを半製品と
接触させることによシ、強制的な送りを与えるため、確
実に１個ずつ分離でき、加工部への送り込みが適確に行
われるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図囚は本発明の一実施例を示す側面図、（６）は同
斜視図である。 ３・・・ローラ　　　　　　　５・・・後ストッパ６・
・・前ストッパ 特許出願人　　九州日本電気株式会社 第１図（Ａ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）列状に搬送される半製品のうち、最先の半製品に
   前ストッパを当接させて一時半製品の搬送を停止し、２
   番目の半製品を後ストッパで押圧しつつ前ストッパを開
   いて最先の半製品を開放し、これを処理加工部に供給す
   る半導体装置の製造装置において、前ストッパにて停止
   される最先の半製品に向けて、自転するローラを前スト
   ッパの進退動作に連動させて進退可能に設け、前ストッ
   パを後退させた時点で前記ローラを最先の半製品に押し
   あて、ローラの回転力で半製品に強制的な送りを与える
   ようにしたことを特徴とする半導体装置の製造装置。