JPS621221A - 溶融物質の蒸気噴出装置 - Google Patents
溶融物質の蒸気噴出装置Info
- Publication number
- JPS621221A JPS621221A JP14113385A JP14113385A JPS621221A JP S621221 A JPS621221 A JP S621221A JP 14113385 A JP14113385 A JP 14113385A JP 14113385 A JP14113385 A JP 14113385A JP S621221 A JPS621221 A JP S621221A
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- Japan
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- steam
- crucible
- vapor
- ejection
- melt
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- Pending
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- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、溶融物質の蒸気を噴出孔から噴出させる熔
融装置に関するものである。
融装置に関するものである。
第２図は例えば特開昭５４−９５９２号公報に示された
従来の溶融物質の蒸気噴出装置（蒸気噴出装置）を示す
断面図であり、図において、１はるつぼ、２は該るつぼ
１を加熱するための加熱用フィラメント、３は上記るつ
ぼ１のふた、４は咳ふた３の蒸気噴出孔、５は溶融物質
の噴出蒸気である。また第３図は複数個の噴出孔を持つ
蒸気噴出装置を示す断面図である。
従来の溶融物質の蒸気噴出装置（蒸気噴出装置）を示す
断面図であり、図において、１はるつぼ、２は該るつぼ
１を加熱するための加熱用フィラメント、３は上記るつ
ぼ１のふた、４は咳ふた３の蒸気噴出孔、５は溶融物質
の噴出蒸気である。また第３図は複数個の噴出孔を持つ
蒸気噴出装置を示す断面図である。
次に動作について説明する。上記構成において、加熱用
フィラメント２を加熱することによりるつぼ１内に発生
した蒸気はるつぼ１内の圧力を高め、噴出孔４から噴出
される。この際噴出蒸気５は圧力差によるｌｆＩ熱膨張
により、横方向に拡がる。また蒸気は断熱膨張により、
加速冷却されてクラスターという１０〜１０００個程度
の原子が緩く結合した塊状原子集団を作る。このクラス
ターが被蒸着材上でのＷＩＮ形成に用いられる。
フィラメント２を加熱することによりるつぼ１内に発生
した蒸気はるつぼ１内の圧力を高め、噴出孔４から噴出
される。この際噴出蒸気５は圧力差によるｌｆＩ熱膨張
により、横方向に拡がる。また蒸気は断熱膨張により、
加速冷却されてクラスターという１０〜１０００個程度
の原子が緩く結合した塊状原子集団を作る。このクラス
ターが被蒸着材上でのＷＩＮ形成に用いられる。
従来の蒸気噴出装置は以上のように構成されているので
、被蒸着材上に蒸着して薄膜を形成する真空蒸着の際に
噴出蒸気の膨張による拡がりが太き（、蒸着効率が低い
という問題点があった。また噴出孔において圧力が振動
的に変化するため、蒸気の噴出速度が時間的に変動し、
断熱膨張時に形成されるクラスターの構成原子個数分布
にばらつきがでるなどの問題点があった。
、被蒸着材上に蒸着して薄膜を形成する真空蒸着の際に
噴出蒸気の膨張による拡がりが太き（、蒸着効率が低い
という問題点があった。また噴出孔において圧力が振動
的に変化するため、蒸気の噴出速度が時間的に変動し、
断熱膨張時に形成されるクラスターの構成原子個数分布
にばらつきがでるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、蒸着効率を高めることができさらに蒸気の噴
出速度の時間的変動をなくし、断熱膨張時に生成するク
ラスターの構成原子個数をほぼ一定に制御し、クラスタ
ーの生成効率を高めることができる蒸気噴出装置を提供
することを目的とする。
たもので、蒸着効率を高めることができさらに蒸気の噴
出速度の時間的変動をなくし、断熱膨張時に生成するク
ラスターの構成原子個数をほぼ一定に制御し、クラスタ
ーの生成効率を高めることができる蒸気噴出装置を提供
することを目的とする。
（問題点を解決するための手段）
この発明に係る蒸気噴出装置は、るつぼの噴出孔を形成
する部分に続いて形成された末広がりのノズルを備えた
ものである。
する部分に続いて形成された末広がりのノズルを備えた
ものである。
この発明においては、末広がりのノズルは蒸着物質の拡
がりを抑え、蒸着効率を向上し、蒸気の噴出速度を安定
化し、また断熱膨張時に生成されるクラスターの構成原
子数を均一とし、さらにクラスターの生成効率を高める
。
がりを抑え、蒸着効率を向上し、蒸気の噴出速度を安定
化し、また断熱膨張時に生成されるクラスターの構成原
子数を均一とし、さらにクラスターの生成効率を高める
。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第１図は本発明の一実施例による蒸気噴出装置を示し、
図中、第２図と同一符号は同一部分を示す０図において
、６はるつぼ１の噴出孔を形成する部分に続いて形成さ
れた末広がりのノズルである。
図中、第２図と同一符号は同一部分を示す０図において
、６はるつぼ１の噴出孔を形成する部分に続いて形成さ
れた末広がりのノズルである。
次に作用効果について説明する。
るつぼｌ内で熔融し蒸発した物質は噴出孔４より低圧中
に噴射され、断熱膨張するが、この膨張時の噴出蒸気５
の拡がりは末広がりのノズル６によって抑えられ、より
多くの噴出蒸気が被蒸着材側に到着し、蒸着効率が高ま
る。また、この断熱膨張過程は第２図に示す従来装置の
場合と異なりノズルの末広部でゆっくりと行なわれるた
め、蒸気の噴出速度が安定化し冷却時に１０〜１０００
個程度の蒸気原子がファンデルワールス力で緩く結合し
てできるクラスターの生成効率が向上し、また構成原子
の個数も均一となる。さらに末広がりのノズル６の拡が
り角を変えることにより、構成原子個数を変えることも
できる。
に噴射され、断熱膨張するが、この膨張時の噴出蒸気５
の拡がりは末広がりのノズル６によって抑えられ、より
多くの噴出蒸気が被蒸着材側に到着し、蒸着効率が高ま
る。また、この断熱膨張過程は第２図に示す従来装置の
場合と異なりノズルの末広部でゆっくりと行なわれるた
め、蒸気の噴出速度が安定化し冷却時に１０〜１０００
個程度の蒸気原子がファンデルワールス力で緩く結合し
てできるクラスターの生成効率が向上し、また構成原子
の個数も均一となる。さらに末広がりのノズル６の拡が
り角を変えることにより、構成原子個数を変えることも
できる。
第４図は、第１図に示した本実施例装置を用いたＹｌｌ
Ｉ５１を形成装置を示したもので、図において、７はク
ラスターをイオン化するイオン化電子放出フィラメント
、８は該イオン化電子放出フィラメント７から放出され
た電子を加速するグリフド、９はイオン化したクラスタ
ーを加速制御する加速電極、１０は表面に金５薄膜を蒸
着させる被蒸着材、１１は真空槽である。
Ｉ５１を形成装置を示したもので、図において、７はク
ラスターをイオン化するイオン化電子放出フィラメント
、８は該イオン化電子放出フィラメント７から放出され
た電子を加速するグリフド、９はイオン化したクラスタ
ーを加速制御する加速電極、１０は表面に金５薄膜を蒸
着させる被蒸着材、１１は真空槽である。
この薄膜形成装置はイオン化されたクラスターの運動エ
ネルギーを電界でコントロールして、薄膜の性能を制御
するものであるため、この発明における蒸気噴出装置を
使用し、該装置により作られる均一な構成原子数からな
るクラスターを利用すれば、クラスターの運動エネルギ
ーのばらつきが小さくなり、均質な薄膜が効率良く形成
できる。
ネルギーを電界でコントロールして、薄膜の性能を制御
するものであるため、この発明における蒸気噴出装置を
使用し、該装置により作られる均一な構成原子数からな
るクラスターを利用すれば、クラスターの運動エネルギ
ーのばらつきが小さくなり、均質な薄膜が効率良く形成
できる。
以上のように、この発明によれば、末広がりのノズルを
備えたので、より多くの噴出蒸気が被蒸着材側に到達す
ることとなり、蒸着効率が高くなり、より安価な薄膜が
形成できる効果がある。また、この蒸気噴出装置を用い
たＶ＃膜形成装置で形成される薄膜は、さらに高品質な
ものとなる。
備えたので、より多くの噴出蒸気が被蒸着材側に到達す
ることとなり、蒸着効率が高くなり、より安価な薄膜が
形成できる効果がある。また、この蒸気噴出装置を用い
たＶ＃膜形成装置で形成される薄膜は、さらに高品質な
ものとなる。
第１図はこの発明の一実施例による蒸気噴出装置を示す
断面側面図、第２図および第３図は従来の蒸気噴出装置
を示す断面図、第４図は本実施例装置を用いた薄膜形成
装置を示す断面図である。 １・・・るつぼ、４・・・噴出孔、６・・・末広がりの
ノズル。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
断面側面図、第２図および第３図は従来の蒸気噴出装置
を示す断面図、第４図は本実施例装置を用いた薄膜形成
装置を示す断面図である。 １・・・るつぼ、４・・・噴出孔、６・・・末広がりの
ノズル。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）溶融物質の蒸気を噴出孔から噴出させるるつぼに
おいて、該るつぼの上記の噴出孔を形成する部分に続い
て形成された末広がりのノズルを備えたことを特徴とす
る溶融物質の蒸気噴出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14113385A JPS621221A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14113385A JPS621221A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621221A true JPS621221A (ja) | 1987-01-07 |
Family
ID=15284933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14113385A Pending JPS621221A (ja) | 1985-06-26 | 1985-06-26 | 溶融物質の蒸気噴出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621221A (ja) |
-
1985
- 1985-06-26 JP JP14113385A patent/JPS621221A/ja active Pending
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