JPS62126344A - 空気中のジボランの測定法 - Google Patents
空気中のジボランの測定法Info
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- JPS62126344A JPS62126344A JP61216093A JP21609386A JPS62126344A JP S62126344 A JPS62126344 A JP S62126344A JP 61216093 A JP61216093 A JP 61216093A JP 21609386 A JP21609386 A JP 21609386A JP S62126344 A JPS62126344 A JP S62126344A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
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- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
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-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高い選択性及び速度での空気中のノボラン（
ｐｐｂ−範囲）の高感度検出法に関オろ。
ｐｐｂ−範囲）の高感度検出法に関オろ。
従って、この方法は、例えばマイクロ電子工学におけろ
気相配量法（Ｇａｓｐｈａｓｅｎｄｏｓｉｃｒｐｒｏｚ
ｃ−ｓｓｃｎ）の際の作業場及び作業室の監視らしくは
設ｆｉｉｉ＋装置ξの吐出（Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）の監視
並びに設備装置の密閉度管理のために好適である。
気相配量法（Ｇａｓｐｈａｓｅｎｄｏｓｉｃｒｐｒｏｚ
ｃ−ｓｓｃｎ）の際の作業場及び作業室の監視らしくは
設ｆｉｉｉ＋装置ξの吐出（Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）の監視
並びに設備装置の密閉度管理のために好適である。
従来の技術
〉ボランの検出のために、種々の方法が使Ｉ＋１されろ
。例えば比色分針の原理に基づく装置かある。これらの
装置は０〜８７ｐｐｂの検出範囲をｆｌｏし、敏感かつ
選択的であるか、長い濃縮時問（Δｎｒｅｉｃｈｃｒｕ
ｎｇｓｚｅｉＬ） （約１時間）を必要とずろ。従って
これは事故の場合には好適ではない。更に、そのバンド
（Ｆｒ ａ ｎ ｄ ｔ＞ ｒ ）は貯蔵性が限られて
おり、その操作−及び監視経費は高い。
。例えば比色分針の原理に基づく装置かある。これらの
装置は０〜８７ｐｐｂの検出範囲をｆｌｏし、敏感かつ
選択的であるか、長い濃縮時問（Δｎｒｅｉｃｈｃｒｕ
ｎｇｓｚｅｉＬ） （約１時間）を必要とずろ。従って
これは事故の場合には好適ではない。更に、そのバンド
（Ｆｒ ａ ｎ ｄ ｔ＞ ｒ ）は貯蔵性が限られて
おり、その操作−及び監視経費は高い。
（Ｔ効なより迅速な方法は、分散性赤外線スペクトル法
に堰つく ［例えば、フォックスボロ・アナリテイブＪ
ル社（ｌＸｉｒｍａ Ｆｏｘｂｏｒｏ Ａｎａｌｙｔｉ
ｃａｌ。
に堰つく ［例えば、フォックスボロ・アナリテイブＪ
ル社（ｌＸｉｒｍａ Ｆｏｘｂｏｒｏ Ａｎａｌｙｔｉ
ｃａｌ。
Ｕ 、 Ｓ 、 Ａ 、 ） （７）装（：Ｑ、 ミ７
ン（ＭＩＲＡＮ）コ。測定は約１０秒かかるたけであ
るが、検出限界は ＋ ００ ｐｐｂにあるたけであり
、多くの使用分野は排除される。
ン（ＭＩＲＡＮ）コ。測定は約１０秒かかるたけであ
るが、検出限界は ＋ ００ ｐｐｂにあるたけであり
、多くの使用分野は排除される。
化学定光らノボランの検出に利用される （例えばフラ
ンス特許第２５０６４５９号明細書参照）。 ノボラン
とオゾンとの反応時に生じる線を２次電子倍増装置を用
いて測定する。この方法ら迅速であるがその感度は低い
。検出限界は２ ｐｐｍである。
ンス特許第２５０６４５９号明細書参照）。 ノボラン
とオゾンとの反応時に生じる線を２次電子倍増装置を用
いて測定する。この方法ら迅速であるがその感度は低い
。検出限界は２ ｐｐｍである。
最後に、エーロゾルイオン化ガス分ｔｌ？（Ａｃｒｏ−
ｓｏｌ １ｏｎｉｓａｔ ｉｏｎｓｇａｓａｎａｌｙｓ
Ｏ）をノボランの検出のために使用するｉ＋Ｊ能性らあ
る。放射性調製物は、イオン化室中でエーロゾルの存在
時に変イっるイオン化電流を生じ、この際、この変化は
このエーロゾル濃度に比例する。ノボランの場合に、良
好に検出可能なエーロゾルをもたらすアミンとの反応が
利用される。この方法は、充分に迅速に作動するが、こ
こでも感度は充分ではない。その検出限界は、Ｉ ５０
ｐｐｂである。更に、空気中の二酸化硫黄含分は妨害
作用をする発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、空気中のジボランの迅速、選択的かつ
高感度の検出である。
ｓｏｌ １ｏｎｉｓａｔ ｉｏｎｓｇａｓａｎａｌｙｓ
Ｏ）をノボランの検出のために使用するｉ＋Ｊ能性らあ
る。放射性調製物は、イオン化室中でエーロゾルの存在
時に変イっるイオン化電流を生じ、この際、この変化は
このエーロゾル濃度に比例する。ノボランの場合に、良
好に検出可能なエーロゾルをもたらすアミンとの反応が
利用される。この方法は、充分に迅速に作動するが、こ
こでも感度は充分ではない。その検出限界は、Ｉ ５０
ｐｐｂである。更に、空気中の二酸化硫黄含分は妨害
作用をする発明が解決しようとする問題点 本発明の目的は、空気中のジボランの迅速、選択的かつ
高感度の検出である。
問題点を解決するための手段
本発明は、ジボランに関するエーロゾルイオン化ガス分
析を、検出限界を１位敗より大きく改良し、場合により
空気中のＳＯｚの妨害性影響が排除されろように変形ず
ろことを課題としている。
析を、検出限界を１位敗より大きく改良し、場合により
空気中のＳＯｚの妨害性影響が排除されろように変形ず
ろことを課題としている。
本発明の方法は、空気流に、アミン （／Ａ度２５０
ｐｐｍ）に付加的にアミンとはエーロゾルを形成しない
か又は無視しうる程度に僅かに形成するか、ジボランと
は反応して、アミンで良好に検出可能なエーロゾルを形
成する化合物にする試薬を添加することよりなる。この
際、この反応により得られるエーロゾルは、主要測定効
果（ジボランとアミンとの直接反応により作用されろ測
定効果と並んで）を形成する。
ｐｐｍ）に付加的にアミンとはエーロゾルを形成しない
か又は無視しうる程度に僅かに形成するか、ジボランと
は反応して、アミンで良好に検出可能なエーロゾルを形
成する化合物にする試薬を添加することよりなる。この
際、この反応により得られるエーロゾルは、主要測定効
果（ジボランとアミンとの直接反応により作用されろ測
定効果と並んで）を形成する。
特に、空気中に含（了されるＳＯ７はこの測定に影響し
ないか又は無視しうる程度に僅かな影響を有するだけで
ある（５０２はアミンと全く反応しない）ので、≧３
、５ ｐｐｍの濃度の二酸化硫Ｑ２の使用か好適である
。
ないか又は無視しうる程度に僅かな影響を有するだけで
ある（５０２はアミンと全く反応しない）ので、≧３
、５ ｐｐｍの濃度の二酸化硫Ｑ２の使用か好適である
。
空気中の強酸性反応成分（例えばＮＯ２，ＩＩｃｃ）に
χ律する交叉感度（Ｑｕｃｒｃｍｐｆ １ｎｄｌ １ｃ
ｈｋｃｉｔｃｎ）を除くノこめに、ノボランを通過させ
るか、強酸性反応物質を化学反応により除く亜鉛顆粒を
使用４′る。分ｔＪｉ’ ４’へき空気流内へのこの試
薬の導入の際には、これを、アミンの１６加前に行なう
へきてあり、これ（こより、まずジボランと試薬との反
応を進１テさせることかできる二とに注［］すべきであ
る。これを達成するためには、種々の可能性があり、例
えば試薬をイオン化室の前で空気流中に配量することが
できるが、このアミンは直接、イオン化室中に配量する
ことかできるか又は、空気流から、分流に分けてこれに
試薬を加え、次いでこれを、再び主流と一緒にし、アミ
ンを再びイオン化室に入れる。しかしながら、空気流か
ら２木の分流を分枝させ、これらに試薬らしくはアミン
を配…することらできる。これらの分流を順次に再び主
流と一緒にする。 この試薬の導入は、トＲ々の公知方
法で行なうことができる。Ｓ０２の使用の場合には、次
の変法か推奨される・即ら、Ｎａ２５ｚＯｓ−溶液の分
解により、適当なソート（例えばポリエチレン）を通っ
て、特定の濃度で空気流中に浸透するＳＯ２を得ろ。こ
れは１．制定工程てすら、液体を必要としない利点をａ
する。
χ律する交叉感度（Ｑｕｃｒｃｍｐｆ １ｎｄｌ １ｃ
ｈｋｃｉｔｃｎ）を除くノこめに、ノボランを通過させ
るか、強酸性反応物質を化学反応により除く亜鉛顆粒を
使用４′る。分ｔＪｉ’ ４’へき空気流内へのこの試
薬の導入の際には、これを、アミンの１６加前に行なう
へきてあり、これ（こより、まずジボランと試薬との反
応を進１テさせることかできる二とに注［］すべきであ
る。これを達成するためには、種々の可能性があり、例
えば試薬をイオン化室の前で空気流中に配量することが
できるが、このアミンは直接、イオン化室中に配量する
ことかできるか又は、空気流から、分流に分けてこれに
試薬を加え、次いでこれを、再び主流と一緒にし、アミ
ンを再びイオン化室に入れる。しかしながら、空気流か
ら２木の分流を分枝させ、これらに試薬らしくはアミン
を配…することらできる。これらの分流を順次に再び主
流と一緒にする。 この試薬の導入は、トＲ々の公知方
法で行なうことができる。Ｓ０２の使用の場合には、次
の変法か推奨される・即ら、Ｎａ２５ｚＯｓ−溶液の分
解により、適当なソート（例えばポリエチレン）を通っ
て、特定の濃度で空気流中に浸透するＳＯ２を得ろ。こ
れは１．制定工程てすら、液体を必要としない利点をａ
する。
実施例
本発明方法の実施のために（史用される装置は、内蔵線
′Ｊ１λを（イオろイオン化室、ガス流発生、ガス流調
節、ガス流表示、測定値検出及び測定値処理のための装
置、アミン及びＮａｚＳｚＯｚ−溶液用の貯蔵容器、ガ
ス管及びガス分配器を備えたイオン化室よりなる。空気
中のジホランの測定は、次のようにして、即ち、ポンプ
を用いて空気流をこの装置中に吸引することにより実施
する。装置のガス人口に備えられたフィルター（一方で
は亜鉛顆粒、他方ではエーロゾルフィルター）は、ずへ
ての強酸性反応化合物及び自然に出てくる空気流からの
エーロゾルを除去する。次いでこの空気流を主流（これ
はイオン化室に直接導入される）と分流（この中にＳ０
７がポリエヂレンンートを通って浸透により配量される
）とに分ける。配量されたＳ０７を何する分流をイオン
化室の前で、再び主流と一緒にする。アミンをイオン化
室中に配量すると、検出すべきエーロゾルの形成は、直
接この室内で行なわれる。このアミンの濃度は５０ ｐ
ｐｍ（エーロゾル収率の飽和）であり、ＳＯ２のそれは
約３ 、５ ｐｐｍである１Ｉｒｊ記の装置を用いて、
０〜５００ｐの測定範囲で、５１’１ｒｌｂより僅がち
測定することかてきろ。その測定時間は僅か（５１分）
であり、保守費用も低い。
′Ｊ１λを（イオろイオン化室、ガス流発生、ガス流調
節、ガス流表示、測定値検出及び測定値処理のための装
置、アミン及びＮａｚＳｚＯｚ−溶液用の貯蔵容器、ガ
ス管及びガス分配器を備えたイオン化室よりなる。空気
中のジホランの測定は、次のようにして、即ち、ポンプ
を用いて空気流をこの装置中に吸引することにより実施
する。装置のガス人口に備えられたフィルター（一方で
は亜鉛顆粒、他方ではエーロゾルフィルター）は、ずへ
ての強酸性反応化合物及び自然に出てくる空気流からの
エーロゾルを除去する。次いでこの空気流を主流（これ
はイオン化室に直接導入される）と分流（この中にＳ０
７がポリエヂレンンートを通って浸透により配量される
）とに分ける。配量されたＳ０７を何する分流をイオン
化室の前で、再び主流と一緒にする。アミンをイオン化
室中に配量すると、検出すべきエーロゾルの形成は、直
接この室内で行なわれる。このアミンの濃度は５０ ｐ
ｐｍ（エーロゾル収率の飽和）であり、ＳＯ２のそれは
約３ 、５ ｐｐｍである１Ｉｒｊ記の装置を用いて、
０〜５００ｐの測定範囲で、５１’１ｒｌｂより僅がち
測定することかてきろ。その測定時間は僅か（５１分）
であり、保守費用も低い。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、アミンを用いるエーロゾルイオン化ガス分析に基づ
き空気中のジボランを測定するために、空気流に、アミ
ンに付加的に、アミンとは反応しないがジボランと反応
してアミンとエーロゾルを形成する化合物になる試薬を
添加することを特徴とする、空気中のジボランの測定法
。 ２、試薬の濃度を、ジボランとアミンとの直接反応によ
って作用された測定効果と比べて大きい測定効果が生じ
るように選択する、特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、二酸化硫黄を≧３．５ｐｐｍの濃度で添加する、特
許請求の範囲第１項又は第２項に記載の方法。 ４、Ｎａ＿２Ｓ＿２Ｏ＿５水溶液の分解により二酸化硫
黄を得、浸透により空気流中に配量する、特許請求の範
囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の方法。 ５、試薬及びアミンの添加の前に、すべての酸性反応を
する化合物を亜鉛顆粒を用いて空気流から除去する、特
許請求の範囲第１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD85280626A DD252521A3 (de) | 1985-09-16 | 1985-09-16 | Verfahren zur bestimmung von diboran in luft |
| DD01N/280626-2 | 1985-09-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62126344A true JPS62126344A (ja) | 1987-06-08 |
Family
ID=5571270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61216093A Pending JPS62126344A (ja) | 1985-09-16 | 1986-09-16 | 空気中のジボランの測定法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4740474A (ja) |
| EP (1) | EP0215332A3 (ja) |
| JP (1) | JPS62126344A (ja) |
| BR (1) | BR8604415A (ja) |
| DD (1) | DD252521A3 (ja) |
| ES (1) | ES2002156A6 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4114468C1 (ja) * | 1991-05-03 | 1992-12-10 | Hartmann & Braun Ag, 6000 Frankfurt, De | |
| FR2735037B1 (fr) * | 1995-06-07 | 1997-09-19 | Ind De Construction D App Et R | Filtre a gaz selectif pour le dosage quantitatif et qualitatif de gaz toxique |
| US5879947A (en) * | 1997-06-06 | 1999-03-09 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for detecting DMAH using particle sensing detector |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3926560A (en) * | 1973-10-30 | 1975-12-16 | Us Energy | System for detecting gaseous contaminants in air |
| DE2461726A1 (de) * | 1974-12-28 | 1976-07-08 | Magyar Asvanyolaj Es Foeldgaz | Verfahren und vorrichtung zum messen der konzentration der in der luft befindlichen schwefelhaltigen verunreinigungen |
| US4309385A (en) * | 1979-01-26 | 1982-01-05 | Nippon Sanso K.K. | Apparatus for measuring volatile hydrides |
| FR2506459A1 (fr) * | 1981-05-25 | 1982-11-26 | Air Liquide | Procede et appareil d'analyse directe et continue de traces d'hydrures gazeux |
-
1985
- 1985-09-16 DD DD85280626A patent/DD252521A3/de not_active IP Right Cessation
-
1986
- 1986-08-22 EP EP86111611A patent/EP0215332A3/de not_active Withdrawn
- 1986-09-15 BR BR8604415A patent/BR8604415A/pt unknown
- 1986-09-15 US US06/907,740 patent/US4740474A/en not_active Expired - Fee Related
- 1986-09-15 ES ES8601906A patent/ES2002156A6/es not_active Expired
- 1986-09-16 JP JP61216093A patent/JPS62126344A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0215332A2 (de) | 1987-03-25 |
| BR8604415A (pt) | 1987-11-17 |
| EP0215332A3 (de) | 1989-05-31 |
| DD252521A3 (de) | 1987-12-23 |
| US4740474A (en) | 1988-04-26 |
| ES2002156A6 (es) | 1988-07-16 |
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