JPS62127677A - 部品の温度試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）発明の技術分野 この発明は、半導体なとの部品を温度試験する場合など
に使用する部品の加熱装置に関するものである。

（ｂ）発明の目的 この発明は、部品を保管場所から温度試験装置のある所
まで搬送して温度試験をし、温度試験終了後、部品を常
温に戻して別の保管場所まで移動するような場合に、部
品が温度試験装置に到着すれば、すぐに温度試験ができ
るように搬送の途中で部品を加熱するようにした加熱装
置において、加熱区間が短く、かつ温度試験が終った部
品を室温に放置しても部品が結露しないようにした加熱
装置の提供を目的とする。

（Ｃ）発明の実施例 最初に、この発明による要部構成図を第１図に示す。

第１図の１は運搬台、２は予熱台、３は駆動機構、４は
部品、１２は熱戻し台である。

部品４を運搬台１に載せたとき、部品４が不安定になら
ないような形に運搬台１を構成する。部品４にリード線
がついている場合は、このリード線が入るような穴を運
搬台１にあけ、この穴にリード線を挿入すれば、部品４
を安定した形で運搬台１に載せることができる。

第１図では、予熱台２の上部と熱戻し台１２の−１一部
を凹形に構成し、予熱台２の凹形と熱戻し台１２の凹形
が連続するように配置している。

そして、予熱台２の凹形と熱戻し台■２の凹形に入るよ
うに運搬台２の■側の−・部を凸形にし、運搬台１が予
熱台２の上部と熱戻し台１２の上部を移動できるように
している。

駆動機構３は運搬台Ｊが予熱台２の上部と熱戻し台１２
の−Ｌ部を移動していくようにするためのもので、駆動
機構３からアーム７が運搬台１の前部に伸びている。

第１図から駆動機構３でアーム７を矢印方向に移動する
と、アーム７は運搬台１の’ＪＡ　ｆｆｉ＜を押しなが
ら移動していくので、運搬台１が予熱台２の上部と熱戻
し台１２の−１一部を移動していくようになる。

予熱台２と熱戻し２台１２は運搬金工の移動力向に沿っ
て内部を中空にしており、この中空部分に加熱空気を送
り込むようにする。

通常の温度試験で使用する一度範囲は、０°Ｃ〜７０°
Ｃの範囲なので、この温度範囲の加熱空気を予熱台２の
端部から予熱台２の中空部分に送り込むようにする。

また、ダクト５の外側とカバー６の内側には、熱戻し台
１２の中空部分を通過した乾燥空気を送り込むようにす
る。

次に、この発明による実施例のｉ［面図を第２図に、側
面図を第３図に示す。

第２図と第３図の５はダクト、６はカバー、８は試験装
置、９と１０は汀大ＩＩ、１１は吹出し口である。

ダクト５は予熱台２の外周を覆うように構成されており
、カバー６はダクト５を覆うように構成されている。

第３図のダクト５の長さはＬｌであり、カバー６の長さ
はＬｌより長いＬ２である。

したがって、第３図の両側部分はダクト５がなく、カバ
ー６だけの部分になっている。

第２図の予熱台２の中空部分に加熱空気を送り込むこ七
は説明済みであるか、同じ加熱空気を予熱台２の外側と
ダクト５の内側との間にも送り込むようにする。すなわ
ち、注入口９は第２図に示）ように予熱台２の中空部分
とダク）・５内に開口している。

ダクト５内と予熱台２の中空部分に注入された加熱空気
は、吹出し口１１から外気に放出される。

この結果、運搬台１で予熱台２のにを移動していく部品
４は、予熱台２からの熱伝導による加熱ときもに、ダク
ト５内の加熱空気で外周を加熱されていく。

また、ダクト５の外側とカバー６の内側との間には、熱
戻し台１２の中空部分を通過させた後の乾燥空気を送り
込むようにしている。この乾燥空気の温度は、通常２５
℃に保たれる。

第３図では、注入口１０から乾燥空気を注入し、カバー
８の両端から外気に吹出している。

ダクト５とカバー６の間に乾燥した空気を送り込む理由
は、予熱台２、部品４およびダクト５に湿気を含んだ外
気が触れないようにするためである。

例えば、外気温が３０℃のときに０℃の温度試験をする
場合は温度差が３０°にもなり、第３図の左端から部品
４を入れていくとき、予熱台２、部品４およびダクト５
が外気に触れ、結露が発生し、水滴がつくことがある。

また、ダクト５とカバー６の間を一定温度に保っていれ
ば、いつも同じ条件で部品４を試験温度にすることがで
きるようになる。

また、第３図の試験装置８で温度試験が終った部品４を
すぐ外気温の中に出すと、部品４に結露がてきることが
ある。例えば、試験温度かＯ′Ｃで外気ｌ−か３０℃の
ときは、温度差のため部品４の表面に水滴がつくように
なり、部品４が劣化する原因になる。

第３図では、試験装置８を出た部品４は、ダクト５がな
く、カバー６だけで覆われた熱戻し台１２の上部を通過
する。この部分には乾燥空気が送り込まれているので、
試験温度と乾燥空気との間に温度差があっても結露か生
ずることはなく、部品４は乾燥空気の温度まで急速に加
熱されていく。

カバー６だけの部分を通過すると、部品４は外気−の中
に取り出されるが、外気温と乾燥空気の温度とは、あま
り差がないので、ここでは部品４に結露かできることは
ない。

一例として、外気温度と試験温度の差が３０℃のとき、
部品温度と試験温度との差が１℃以内に近づくまでの時
間は、従来の空気対流だけの加熱装置では１時間以」二
が必要であったが、この発明による実施例装置によれば
、３分以下で達成することができる。

第１図と第３図の実施例では、熱戻し台１２により、部
品４を加熱状態から室温に戻しているが、予熱台２を延
長し、乾燥空気は第３図の右端からカバー６内に注入す
るようにしてもよい。

（ｄ）発明の効果 この発明によれば、部品の加熱装置をダクトとカバーの
二重構造で覆っており、ダクト内の部品を接触熱伝導と
周囲温度による強制対流を併用して加熱しているので、
移動距離が短い間に部品を急速に加熱することができる
。

また、試験終了後の部品が乾燥した空気内を通過するよ
うにしているので、部品に結露ができるのを防くことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明による要部構成図、 第２図はこの究明による実施例の正面図、第３図はこの
発明による実施例の側面図。 １・・・・・・運搬台、２・・・・・・予熱台、３・・
・・・・駆動機構、４・・・・・・部品、５・・・・・
・ダクト、６・・・・・・カバー、７・・・　　ｆ− ・・・アーム、８・・・・・・試験装置、９・・・・・
・注入口、１０・・・・・・注入口、１１・・・・・・
吹出し口、１２・・・・・・熱戻し台。 代理人　　弁理士　　小　俣　欽　司 第　　］　　１ 図　　２　　図 部品　　　　　　　　　運搬台

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　部品（４）を載せる運搬台（１）と、 運搬台（１）を移動できるように構成し、移動方向に沿
   って内部を中空にした予熱台（２）と、予熱台（２）上
   の運搬台（１）を移動させる駆動機構（３）と、 運搬台（１）の移動方向の寸法がＬ１で、予熱台（２）
   の外周を覆うダクト（５）と、 運搬台（１）の移動方向の寸法がＬ１より長いＬ２で、
   ダクト（５）の外周を覆うカバー（６）とを備え、 予熱台（２）の中空部分に加熱空気を送り込むとともに
   、予熱台（２）の外側とダクト（５）の内側との間に前
   記加熱空気を送り込み、 ダクト（５）の外側とカバー（６）の内側との間に乾燥
   空気を送り込むようにし、 部品（４）を載せた運搬台（１）を予熱台（２）の上に
   載せ、この運搬台（１）を駆動機構（３）で移動させ、
   ダクト（５）内からダクト（５）のないカバー（６）の
   部分を部品（４）が通過し、前記乾燥空気内を通過して
   からカバー（６）の外側に部品（４）を運び出すことを
   特徴とする部品の加熱装置。