JPS62128519A - 液体の気化装置 - Google Patents
液体の気化装置Info
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- JPS62128519A JPS62128519A JP60269712A JP26971285A JPS62128519A JP S62128519 A JPS62128519 A JP S62128519A JP 60269712 A JP60269712 A JP 60269712A JP 26971285 A JP26971285 A JP 26971285A JP S62128519 A JPS62128519 A JP S62128519A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、液体中に気体を通し、気化した蒸気を外部に
供給するための液体の気化装置に関するものである。
供給するための液体の気化装置に関するものである。
従来の技術
化合物半導体の気相成長、たとえばハライド気相エピタ
キ７ヤル成長法や有機金属気相成長法など、半導体装置
の結晶成長やプロセスにおいて、液体を気化させてそれ
を原料として用いていることが多い。
キ７ヤル成長法や有機金属気相成長法など、半導体装置
の結晶成長やプロセスにおいて、液体を気化させてそれ
を原料として用いていることが多い。
その例として、蒸気圧の比較的高い液体状の有機金属（
アルキル化物）を原料として用いる有機金属気相成長法
（ＭＯＣＶＤ法）がある。この場合の有機金属の気化装
置として第４図に示すような構造のものがあった。１は
液体状の有機金属（例えばトリエチルインジウム（ＴＲ
Ｉ ））５を収容した容器、１０は気体（キャリアガス
、例えば水素）を有機金属５中に導いてバブリングさせ
るための導入管、７はバブリングによって有機金属５の
気化した蒸気を陰んだ気体（キャリアガス）を外部へ導
出し供給する導出管、１１は気体（キャリアガス）を導
入管１ｏへ導へだめの弁、９は有機金属５の蒸気を含ん
だ気体（キャリアガス）を外部へ導出するための弁であ
る。
アルキル化物）を原料として用いる有機金属気相成長法
（ＭＯＣＶＤ法）がある。この場合の有機金属の気化装
置として第４図に示すような構造のものがあった。１は
液体状の有機金属（例えばトリエチルインジウム（ＴＲ
Ｉ ））５を収容した容器、１０は気体（キャリアガス
、例えば水素）を有機金属５中に導いてバブリングさせ
るための導入管、７はバブリングによって有機金属５の
気化した蒸気を陰んだ気体（キャリアガス）を外部へ導
出し供給する導出管、１１は気体（キャリアガス）を導
入管１ｏへ導へだめの弁、９は有機金属５の蒸気を含ん
だ気体（キャリアガス）を外部へ導出するための弁であ
る。
上記のような構造の気化装置の動作は次のようになる。
弁１１を開き、気体（キャリアガス、例えば水素）を導
入管１ｏを通して容器１内に収容されている液体状の有
機金属（例えばトリエチルインジウム）Ｓ中に導入し、
バブリングさせる。
入管１ｏを通して容器１内に収容されている液体状の有
機金属（例えばトリエチルインジウム）Ｓ中に導入し、
バブリングさせる。
これによって有機金属６を気化させ、その蒸気を含んだ
気体（キャリアガス）は、導出管７及び弁９を通って外
部へ導出、外部の装置へ供給される。
気体（キャリアガス）は、導出管７及び弁９を通って外
部へ導出、外部の装置へ供給される。
さらに液体の導入管側への逆流を防止できる第６図に示
すような構造の気化装置がある（特開昭６０−１１１４
１７号公報）。この装置も液体状の有機金属を気化する
装置として用いられていた。
すような構造の気化装置がある（特開昭６０−１１１４
１７号公報）。この装置も液体状の有機金属を気化する
装置として用いられていた。
１は仕切板２で上段部３と下段部４とに分けられ、下段
部４に液体状の有機金属５を収容した容器であり、６は
仕切板２を貫通し、上端が上段部３で開口し、下端が下
段部４の底面付近で開口し、上段部３の気体を下段部４
へ導く導管であり、１゜は気体（キャリアガス）を上段
部３へ導へための導入管であり、１１は気体（キャリア
ガス）を導入管１ｏへ導へための弁である。また７は仕
切板２を貫通し、下段部４の有機金属５の気化した蒸気
と気体（キャリアガス）とを容器１の外部へ導出し、外
部装置へ供給する導出管であり、９は有機金属５の蒸気
を含んだ気体（キャリアガス）するための弁である。
部４に液体状の有機金属５を収容した容器であり、６は
仕切板２を貫通し、上端が上段部３で開口し、下端が下
段部４の底面付近で開口し、上段部３の気体を下段部４
へ導く導管であり、１゜は気体（キャリアガス）を上段
部３へ導へための導入管であり、１１は気体（キャリア
ガス）を導入管１ｏへ導へための弁である。また７は仕
切板２を貫通し、下段部４の有機金属５の気化した蒸気
と気体（キャリアガス）とを容器１の外部へ導出し、外
部装置へ供給する導出管であり、９は有機金属５の蒸気
を含んだ気体（キャリアガス）するための弁である。
この気化装置の動作としては、気体（キャリアガス、例
えば水素）は、弁１１が開くと導入管１ｏを通じて容器
１の上段部３に導入され、更に導管６を通して下段部４
内の有機金属５中に導かれてバブリングする。バブリン
グにより気化した有機金属５の蒸気を含んだ気体（キャ
リアガス）は導出管７および弁９を通して外部へ導出さ
れる。
えば水素）は、弁１１が開くと導入管１ｏを通じて容器
１の上段部３に導入され、更に導管６を通して下段部４
内の有機金属５中に導かれてバブリングする。バブリン
グにより気化した有機金属５の蒸気を含んだ気体（キャ
リアガス）は導出管７および弁９を通して外部へ導出さ
れる。
ところが導出側の圧力が導入側より高くなっだりして下
段部４に収容されている有機金属５が逆流しても、導管
６を通して上段部３に流入してたまるだけであり、外部
へ流出しない構造となっている。
段部４に収容されている有機金属５が逆流しても、導管
６を通して上段部３に流入してたまるだけであり、外部
へ流出しない構造となっている。
発明が解決しようとする問題点
ところが上記の構造をもつ液体の気化装置では、装置を
持ち運びする際、横倒しや逆さまにすると液体は導入管
１ｏや導出管７に流れ込み、弁１１や９を直接、液体で
汚染されることになる。弁１１や９には構造上、細かな
小空間やすき間があるため、液体が入り込むと装置を元
へ戻しても、入り込んだ液体は元へ戻らず、弁の内部に
とり残されることになる。通常、このような気化装置は
液体の蒸気圧を一定に保つため、容器１をある一定温度
に保温するわけであるが、弁の内部に液体が残留してい
ると残留した液体からの蒸気や、飛び出しで所望の供給
ｌが外部へ導出、供給できなくなる。更に弁９や１１に
付着した液体（例えば有機金属）の酸化物などの反応物
により、弁が詰ったりして、完全に開閉できなくなり、
所望の供給ができなくなる。また、液体が有機金属であ
る場合、有機金属は、酸化反応が激しく空気中等では激
しく燃えるため、弁９や１１が正常に開閉しない状態で
、気化装置を交替等で外部装置から取りはずす時、きわ
めて危険である。まだ、仮に気化装置を逆さまや横倒し
て運搬し、弁が開いた場合、液体が外部へ放出されてし
まう。液体が有機金属である場合、激しく燃えるため危
険である。
持ち運びする際、横倒しや逆さまにすると液体は導入管
１ｏや導出管７に流れ込み、弁１１や９を直接、液体で
汚染されることになる。弁１１や９には構造上、細かな
小空間やすき間があるため、液体が入り込むと装置を元
へ戻しても、入り込んだ液体は元へ戻らず、弁の内部に
とり残されることになる。通常、このような気化装置は
液体の蒸気圧を一定に保つため、容器１をある一定温度
に保温するわけであるが、弁の内部に液体が残留してい
ると残留した液体からの蒸気や、飛び出しで所望の供給
ｌが外部へ導出、供給できなくなる。更に弁９や１１に
付着した液体（例えば有機金属）の酸化物などの反応物
により、弁が詰ったりして、完全に開閉できなくなり、
所望の供給ができなくなる。また、液体が有機金属であ
る場合、有機金属は、酸化反応が激しく空気中等では激
しく燃えるため、弁９や１１が正常に開閉しない状態で
、気化装置を交替等で外部装置から取りはずす時、きわ
めて危険である。まだ、仮に気化装置を逆さまや横倒し
て運搬し、弁が開いた場合、液体が外部へ放出されてし
まう。液体が有機金属である場合、激しく燃えるため危
険である。
したがって上記の構造をもつ気化装置では、逆さまや横
倒しをすることができず、運搬等に制限が加えられてし
まうといった問題点があった。
倒しをすることができず、運搬等に制限が加えられてし
まうといった問題点があった。
本発明はかかる点を鑑みてなされたもので、液体の気化
装置を逆さまや横倒しにしても、導入管や導出管の弁ま
で収容された液体が流れ込むことを防ぎ、安全な液体の
気化装置を提供することを目的としている。
装置を逆さまや横倒しにしても、導入管や導出管の弁ま
で収容された液体が流れ込むことを防ぎ、安全な液体の
気化装置を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の技術的手段は、内部が
仕切板により下段部と上段部とに仕切られており、前記
下段部は液体を収容するとともに収容された前記液体の
容積の２倍以上の容積を有し、！ｉｒｆ記上段部上段部
ｆｉ記下段部下段部と同じ、もしくはそれ以上の容積を
有する容器と、上記仕切板を貫通し、上端が＋ｉｒｆ記
ト端部に開口し、下端が前記下端部の底面付近に開口し
、前記上段部の気体を１ｆｆｒ記下段部に収容されてい
る１）ｔ１重液体中に導いてバブリングさせるための導
管と、前記仕切板を貫通し、下端が前記下段部の容積を
１／２にする断面の中心部付近に開口し、上端はＥ）０
記容器の上部から外部へ出て、前記下段部に収容された
Ｆｉｆ前記液体の気化した蒸気と１）ｔノ記導管で前記
１段部より前記下段部へ導ひかれたｎｆＩ記気体とを外
部へ導出し供給するための導出管と、前記上段部の容積
をｌ乙にする断面の中心部付近に下端が開口し、上端は
前記容器から外部へ出て、前記下段部に収容されたｉｎ
ｎ液液体バブリングする前記気体を外部から前記上段部
へ導へ導入管とを備えるものである。
仕切板により下段部と上段部とに仕切られており、前記
下段部は液体を収容するとともに収容された前記液体の
容積の２倍以上の容積を有し、！ｉｒｆ記上段部上段部
ｆｉ記下段部下段部と同じ、もしくはそれ以上の容積を
有する容器と、上記仕切板を貫通し、上端が＋ｉｒｆ記
ト端部に開口し、下端が前記下端部の底面付近に開口し
、前記上段部の気体を１ｆｆｒ記下段部に収容されてい
る１）ｔ１重液体中に導いてバブリングさせるための導
管と、前記仕切板を貫通し、下端が前記下段部の容積を
１／２にする断面の中心部付近に開口し、上端はＥ）０
記容器の上部から外部へ出て、前記下段部に収容された
Ｆｉｆ前記液体の気化した蒸気と１）ｔノ記導管で前記
１段部より前記下段部へ導ひかれたｎｆＩ記気体とを外
部へ導出し供給するための導出管と、前記上段部の容積
をｌ乙にする断面の中心部付近に下端が開口し、上端は
前記容器から外部へ出て、前記下段部に収容されたｉｎ
ｎ液液体バブリングする前記気体を外部から前記上段部
へ導へ導入管とを備えるものである。
作用
この技術的手段による作用は次のようになる。
液体の気化装置が横倒しや逆さまになっても、収容され
た液体に、導入管や導出管の開口部が浸らないため、液
体が導入管や導出管区流入しなくなる。したがって、弁
が液体に直接汚染されることがなくなる。
た液体に、導入管や導出管の開口部が浸らないため、液
体が導入管や導出管区流入しなくなる。したがって、弁
が液体に直接汚染されることがなくなる。
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
なお、本実施例では液体としては有機金＠（例えばトリ
エチルインジウム（ＴＥＩ））である。しかし液体はこ
れに限るものではなく、液体を気化させて用いる装置で
あれば、液体の種類にかかわらず、本発明が適用される
。
エチルインジウム（ＴＥＩ））である。しかし液体はこ
れに限るものではなく、液体を気化させて用いる装置で
あれば、液体の種類にかかわらず、本発明が適用される
。
本発明の一実施例を第１図に示す。１は仕切板２によっ
て上段部３と下段部４に分けられた円筒形の容器である
。下段部４には気化させる液体状の有機金属６が収容さ
れている。６は導管で仕切板２を貫通し、上端が上段部
３に開口し下端が下段部４の底面付近で、収容されてい
る有機金属６中に開口し、上端部３中の気体（キャリア
ガス、例えば水素）を下端部４へ導き、有機金属５をバ
ブリングさせるためのものである。７は下端部４内の有
機金属６の気化した蒸気と気体（キャリアガス）とを外
部へ導出する導出管である。その下端の開口部８は、仕
切板２と開口部８との距離をｅとし、有機金属５の容積
をＭ９円筒形の容器１の半径をＲ１下段部４の高さをり
、容積をＡ（＝πＲ）とすると、 Ｍ Ｍ ＜ｅ＜Ｌ−（＝（Ａ−Ｍ）／πＲ２）・・＝・（１）π
Ｒ２πＲ２ の範囲にあり、円筒形の容器１の中心軸１４上にある。
て上段部３と下段部４に分けられた円筒形の容器である
。下段部４には気化させる液体状の有機金属６が収容さ
れている。６は導管で仕切板２を貫通し、上端が上段部
３に開口し下端が下段部４の底面付近で、収容されてい
る有機金属６中に開口し、上端部３中の気体（キャリア
ガス、例えば水素）を下端部４へ導き、有機金属５をバ
ブリングさせるためのものである。７は下端部４内の有
機金属６の気化した蒸気と気体（キャリアガス）とを外
部へ導出する導出管である。その下端の開口部８は、仕
切板２と開口部８との距離をｅとし、有機金属５の容積
をＭ９円筒形の容器１の半径をＲ１下段部４の高さをり
、容積をＡ（＝πＲ）とすると、 Ｍ Ｍ ＜ｅ＜Ｌ−（＝（Ａ−Ｍ）／πＲ２）・・＝・（１）π
Ｒ２πＲ２ の範囲にあり、円筒形の容器１の中心軸１４上にある。
なぜなら第２図ａに示すように容器１を逆さまにしても
開口部Ｂが有機金属に浸らないためである。導出管７の
上端は容器１の外部へ出ており、有機金属５の気化した
蒸気や気体（キャリアガス）を外部導出したり、止めた
りする弁９を備えている。１ｏは気体（ヤヤリアガス）
を上端部３へ導へだめの導入管であり、上端は容器１の
外部に出ており、外部から気体（キャリアガス）を導入
したり止めたりする弁１１を備えている。
開口部Ｂが有機金属に浸らないためである。導出管７の
上端は容器１の外部へ出ており、有機金属５の気化した
蒸気や気体（キャリアガス）を外部導出したり、止めた
りする弁９を備えている。１ｏは気体（ヤヤリアガス）
を上端部３へ導へだめの導入管であり、上端は容器１の
外部に出ており、外部から気体（キャリアガス）を導入
したり止めたりする弁１１を備えている。
下端の開口部１２は容器１の天井面１３からの距離ヲｅ
′とすると、上記の導出管７の開口部８の場合と同じく
、上段部３の高さをＬ’（≧Ｌ）、容積Ａ′（≧Ａ）と
すると Ｍ／ｙｒＲ２（ｅ’（Ｌ’−Ｍ／ｙｒＲ２Ｍ／ πＲ２
（（１’ （（Ａ’−Ｍ ）／ｒｒＲ２，Ａ’＝πＲ２
Ｌ’の範囲で、同筒形の容器１の中心軸上にある。
′とすると、上記の導出管７の開口部８の場合と同じく
、上段部３の高さをＬ’（≧Ｌ）、容積Ａ′（≧Ａ）と
すると Ｍ／ｙｒＲ２（ｅ’（Ｌ’−Ｍ／ｙｒＲ２Ｍ／ πＲ２
（（１’ （（Ａ’−Ｍ ）／ｒｒＲ２，Ａ’＝πＲ２
Ｌ’の範囲で、同筒形の容器１の中心軸上にある。
さらに、下段部４の容積 人（＝πｎ２ ＞は、導出管
アの開口部８０半径がｒとすると、第２図すに示すよう
にこの気化装置を横倒しにしても開口部８が有機金属に
浸らないために Ａ ＞ ２ （Ｍ ＋２１ｒＬ ） −−
−（２）であるＬ＝Ａ／πＲ２であるため、（２）式に
代へと Ａ ） ２ Ｍ／ （１−４ｒＲ／ｙｒＲ）
−＝−・−（３）となる。また下段部４の高さＬはＡ−
πＲを（２）弐′に代入して Ｌ ７Ｍ ／ （πＲ２／ ２ ２ Ｒｒ ）
・・−・（４）となる。
アの開口部８０半径がｒとすると、第２図すに示すよう
にこの気化装置を横倒しにしても開口部８が有機金属に
浸らないために Ａ ＞ ２ （Ｍ ＋２１ｒＬ ） −−
−（２）であるＬ＝Ａ／πＲ２であるため、（２）式に
代へと Ａ ） ２ Ｍ／ （１−４ｒＲ／ｙｒＲ）
−＝−・−（３）となる。また下段部４の高さＬはＡ−
πＲを（２）弐′に代入して Ｌ ７Ｍ ／ （πＲ２／ ２ ２ Ｒｒ ）
・・−・（４）となる。
実際には、有機金属の容積Ｍ＝１００−であり、円筒形
の容器１の内径Ｒ＝＝２．５ｃＩｌ、導出管７の開口部
８の口径ｒ ＝： Ｏ−２ａｎのものを用いると（４）
式より下段部４の高さＬは Ｌ）１１．３４（ロ） と計算される。そこでＬ＝１４０とすると、（１）式よ
り導出管７の開口部８の位置として仕切板２からの距離
ｅは ６．０９＜ ｊ＜ａ、ｅｌ（４） の範囲となる。そこでｅ＝７０とした。また上段部３の
高さＬ′はＬと等しく１４０．導入管１０の開口部１２
と容器１の天井面からの距離ｅ′はｅと等しく７αとし
だ。
の容器１の内径Ｒ＝＝２．５ｃＩｌ、導出管７の開口部
８の口径ｒ ＝： Ｏ−２ａｎのものを用いると（４）
式より下段部４の高さＬは Ｌ）１１．３４（ロ） と計算される。そこでＬ＝１４０とすると、（１）式よ
り導出管７の開口部８の位置として仕切板２からの距離
ｅは ６．０９＜ ｊ＜ａ、ｅｌ（４） の範囲となる。そこでｅ＝７０とした。また上段部３の
高さＬ′はＬと等しく１４０．導入管１０の開口部１２
と容器１の天井面からの距離ｅ′はｅと等しく７αとし
だ。
以上の構造であると気化装置を逆さまや横倒しにしても
第２図で示すように、有機金属５の液面が導出管子や導
入管１０の開口部８や１２に到しないだめ、導出管Ｔや
導入管１ｏに有機金属６カー流へことはなく、したがっ
て弁９や１１を有機金属６で直接汚染することもない。
第２図で示すように、有機金属５の液面が導出管子や導
入管１０の開口部８や１２に到しないだめ、導出管Ｔや
導入管１ｏに有機金属６カー流へことはなく、したがっ
て弁９や１１を有機金属６で直接汚染することもない。
第３図に本発明の他の実施例を示す。上記のり化装置の
構造とほぼ同じであるが、導管６の上端が上段部３の底
面にあたる仕切板２で開口している構造をしている。し
たがって逆さまや横倒し等で、下段部４に収容されてい
る有機金属５が導管６を通って上段部３へ流入しても再
び気化装置を立てることで上段部３にたまった有機金属
は自然に導管６を通って再び下段部４へ戻る。
構造とほぼ同じであるが、導管６の上端が上段部３の底
面にあたる仕切板２で開口している構造をしている。し
たがって逆さまや横倒し等で、下段部４に収容されてい
る有機金属５が導管６を通って上段部３へ流入しても再
び気化装置を立てることで上段部３にたまった有機金属
は自然に導管６を通って再び下段部４へ戻る。
以上の気化装置の動作は次のとおりになる。弁１１を開
き、気体（キャリアガス）を導入管１０を通して容器１
の上段部３に導入し、更に導管６を通して下段部４内の
有機金属６中に導かれてバブリングさせる。このバブリ
ングにより気化した有機金属６の蒸気を含んだ気体（キ
ャリアガス）は導出管７および弁９全通して外部へ導出
されるなお本発明において、容器１の形状は円筒形に捉
るものではない。
き、気体（キャリアガス）を導入管１０を通して容器１
の上段部３に導入し、更に導管６を通して下段部４内の
有機金属６中に導かれてバブリングさせる。このバブリ
ングにより気化した有機金属６の蒸気を含んだ気体（キ
ャリアガス）は導出管７および弁９全通して外部へ導出
されるなお本発明において、容器１の形状は円筒形に捉
るものではない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、液体の気化装置を逆さま
や横倒しにしても、気体（キャリアガス）の導入管や導
出管の開口部が、気化装置の容器内に収容された液体に
浸ることがない。したがって液体が導入管や導出管に流
れ込み、弁を液体で直接汚染することが防げる。ゆえに
、気化装置を一時、逆さまや横倒しになった場合でも液
体の蒸気を所望量、供給することができる。また、気化
装置の交替や運搬の際の取扱いも、従来と比べ、容易か
つ安全となり、きわめて有用なものである。
や横倒しにしても、気体（キャリアガス）の導入管や導
出管の開口部が、気化装置の容器内に収容された液体に
浸ることがない。したがって液体が導入管や導出管に流
れ込み、弁を液体で直接汚染することが防げる。ゆえに
、気化装置を一時、逆さまや横倒しになった場合でも液
体の蒸気を所望量、供給することができる。また、気化
装置の交替や運搬の際の取扱いも、従来と比べ、容易か
つ安全となり、きわめて有用なものである。
さらに、液体の導入管への逆流も防止することができる
。
。
第１図は本発明の一実施例における液体の気化装置の構
造を示す概略構成図、第２図ａは実施例の気化装置を逆
さまにした状態を示す概略構成図、。 第２図すは同
横倒しにした状態を示す概略構成図、第３図は本発明の
他の実施例における液体の気化装置の構造を示す概略構
成図、第４図は従来の液体の気化装置の構造を示す概略
構成図、第５図は従来における逆流防止した液体の気化
装置の構造を示す概略構成図である。 １・・・・・容器、２・・・・・仕切板、３・・・・・
・上段部、４・・・・下段部、５・・・・・液体、６・
・・・・導管、７・・・・導出管、１ｏ・・・・・・導
入管、１３・・・・天井面、１４・・・・中心軸。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 Ａ ＞ ２ＣＭ＋：ＪｒＬ） ｃｂ＞ 第３図 第４図 第５図
造を示す概略構成図、第２図ａは実施例の気化装置を逆
さまにした状態を示す概略構成図、。 第２図すは同
横倒しにした状態を示す概略構成図、第３図は本発明の
他の実施例における液体の気化装置の構造を示す概略構
成図、第４図は従来の液体の気化装置の構造を示す概略
構成図、第５図は従来における逆流防止した液体の気化
装置の構造を示す概略構成図である。 １・・・・・容器、２・・・・・仕切板、３・・・・・
・上段部、４・・・・下段部、５・・・・・液体、６・
・・・・導管、７・・・・導出管、１ｏ・・・・・・導
入管、１３・・・・天井面、１４・・・・中心軸。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第２
図 Ａ ＞ ２ＣＭ＋：ＪｒＬ） ｃｂ＞ 第３図 第４図 第５図
Claims (2)
- （１）内部が仕切板により下段部と上段部とに仕切られ
ており、前記下段部は液体を収容するとともに収容され
た前記液体の容積の２倍以上の容積を有し、前記上段部
は前記下段部の容積と同じもしくはそれ以上の容積を有
する容器と、上記仕切板を貫通し、上端が前記上段部に
開口し、下端が前記下端部の底面付近に開口し、前記上
段部の気体を前記下段部に収容されている前記液体中に
導いてバブリングさせるための導管と、前記仕切板を貫
通し下端が前記下段部の容積をほぼ１／２にする断面の
中心部付近に開口し、上端は前記容器の上部から外部へ
出て、前記下段部に収容された前記液体の気化した蒸気
と前記導管で前記上段部より前記下段部へ導びかれた前
記気体とを外部へ導出し供給するための導出管と、前記
上段部容積をほぼ１／２にする断面の中心部付近に下端
が開口し、上端は前記容器の上部から外部へ出て、前記
下段部に収容された前記液体をバブリングする前記気体
を外部から前記上段部へ導入する導入管とを備えたこと
を特徴とする液体の気化装置。 - （２）容器の形状が内径Ｒの円筒形であり、導出管が半
径ｒの管であり、液体がＭの容積であるとき、下段部が Ａ＞２Ｍ／（１−４ｒＲ／πＲ＾２） なる容積Ａを有するものであり、前記導出管が、円筒形
の前記容器の中心軸上で、かつ仕切板からの距離ｌが Ｍ／πＲ＾２＜ｌ＜（Ａ−Ｍ）／πＲ＾２ の範囲内で下端が開口している管であり、上段部がＡ′
≧Ａなる容積Ａ′を有するものであり、導入管が前記円
筒形の容器の中心軸上でかつ、前記容器の天井面からの
距離ｌ′が Ｍ／πＲ＾２＜ｌ′＜（Ａ′−Ｍ）／πＲ＾２の範囲で
下端が開口している管である特許請求の範囲第１項記載
の液体の気化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60269712A JPS62128519A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 液体の気化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60269712A JPS62128519A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 液体の気化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62128519A true JPS62128519A (ja) | 1987-06-10 |
Family
ID=17476120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60269712A Pending JPS62128519A (ja) | 1985-11-29 | 1985-11-29 | 液体の気化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62128519A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02168942A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-06-29 | Safeguard Ind Corp | 手首治療用固定器具 |
| JPH05237086A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | Ｘ線撮影装置 |
-
1985
- 1985-11-29 JP JP60269712A patent/JPS62128519A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02168942A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-06-29 | Safeguard Ind Corp | 手首治療用固定器具 |
| JPH05237086A (ja) * | 1992-02-28 | 1993-09-17 | Shimadzu Corp | Ｘ線撮影装置 |
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