JPS62131983A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
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- JPS62131983A JPS62131983A JP27407385A JP27407385A JPS62131983A JP S62131983 A JPS62131983 A JP S62131983A JP 27407385 A JP27407385 A JP 27407385A JP 27407385 A JP27407385 A JP 27407385A JP S62131983 A JPS62131983 A JP S62131983A
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- Japan
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- stage
- temperature
- cryopanel
- gas
- freezing
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はクライオパネルの温度調整手段を備えたクライ
オポンプに関するものである。
オポンプに関するものである。
（従来の技術）
小型ヘリウム冷凍機で冷却される２段のクライオパネル
を備えたクライオポンプが多くの真空排気作業に使用さ
れるようになってきた。この種のクライオポンプでは冷
凍機を作動して、通常第１段クライオパネルは５０に〜
１００にの温度に冷却され、また、第２段クライオパネ
ルは１０に〜２０にの温度に冷却されている。前記第２
段クライオパネルは凝縮性ガスの排気をし易くするため
に従来から椀状に形成されており、主にＡｒ。
を備えたクライオポンプが多くの真空排気作業に使用さ
れるようになってきた。この種のクライオポンプでは冷
凍機を作動して、通常第１段クライオパネルは５０に〜
１００にの温度に冷却され、また、第２段クライオパネ
ルは１０に〜２０にの温度に冷却されている。前記第２
段クライオパネルは凝縮性ガスの排気をし易くするため
に従来から椀状に形成されており、主にＡｒ。
Ｎ２．ｏ２等のガスの凝縮排気を行っている。
そして、近年においては、この第２段クライオパネルに
活性炭等の吸着材が覆合形成され、以前においては不可
能であったＨ、やＨ２等の凝縮排気を可能にしている。
活性炭等の吸着材が覆合形成され、以前においては不可
能であったＨ、やＨ２等の凝縮排気を可能にしている。
第１段〉ライオパネルは前記第２段クライオパネルを覆
うような形で配置され、ｃｏ２，８．０等の気体を凝縮
するとともに、ポンプ容器からの輻射熱を防ぐ役割を担
っている。
うような形で配置され、ｃｏ２，８．０等の気体を凝縮
するとともに、ポンプ容器からの輻射熱を防ぐ役割を担
っている。
上記のような構造を有するクライオポンプは半導体の膜
形成を行うスパッタリング装置の真空排気用に広く使用
されている。通常、このスバ・・ｌタリング装置ではス
パッタリング室をクライオポンプで真空状態にするとと
もにスパッタリング室内に凝縮性ガスの１つであるＡｒ
ガスを導入し、スパッタリング室内の圧力を調整しなが
ら作業が行われている。このように、凝縮性ガスの１つ
であるＡ、ガスを圧力調整用ガスとして用いた場合には
、クライオポンプは大きなガス排気速度をもちなおかつ
他のガス、例えばＨ２などに対して大量の吸蔵量をもつ
ことが可能である。
形成を行うスパッタリング装置の真空排気用に広く使用
されている。通常、このスバ・・ｌタリング装置ではス
パッタリング室をクライオポンプで真空状態にするとと
もにスパッタリング室内に凝縮性ガスの１つであるＡｒ
ガスを導入し、スパッタリング室内の圧力を調整しなが
ら作業が行われている。このように、凝縮性ガスの１つ
であるＡ、ガスを圧力調整用ガスとして用いた場合には
、クライオポンプは大きなガス排気速度をもちなおかつ
他のガス、例えばＨ２などに対して大量の吸蔵量をもつ
ことが可能である。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、近年、クライオポンプの用途が種々な半
導体製造装置に多く用いられ、圧力調整用ガスとしてＡ
、ガスばかりでなく数々の種類の凝縮性ガスが用いられ
るようになった。ところが従来の２段型小型クライオポ
ンプにあっては、各クライオパネルの温度は、冷凍機の
冷媒ガスとしての■（。ガス封入圧、コンプレッサの能
力、ディスプレーサのコンダクタンス、ディスプレーサ
へのＨ＠ガス置換回数等により一義的に決まってしまい
、圧力調整用ガスの種類によってはスバ・ツタリング室
等の真空作業室内のガス圧力が第１段クライオパネルの
温度により決定される凝縮をしたガスの飽和蒸気圧より
も高い場合にはその圧力調整用ガスが第１段クライオパ
ネルにａｍされてしまい、このガスの凝縮層がガスカッ
トオフ時に（例えば真空作業室での初段の薄膜膜付は作
業完了時などに）第１段クライオパネルがガス発生源と
して作用してしまうという問題があった。
導体製造装置に多く用いられ、圧力調整用ガスとしてＡ
、ガスばかりでなく数々の種類の凝縮性ガスが用いられ
るようになった。ところが従来の２段型小型クライオポ
ンプにあっては、各クライオパネルの温度は、冷凍機の
冷媒ガスとしての■（。ガス封入圧、コンプレッサの能
力、ディスプレーサのコンダクタンス、ディスプレーサ
へのＨ＠ガス置換回数等により一義的に決まってしまい
、圧力調整用ガスの種類によってはスバ・ツタリング室
等の真空作業室内のガス圧力が第１段クライオパネルの
温度により決定される凝縮をしたガスの飽和蒸気圧より
も高い場合にはその圧力調整用ガスが第１段クライオパ
ネルにａｍされてしまい、このガスの凝縮層がガスカッ
トオフ時に（例えば真空作業室での初段の薄膜膜付は作
業完了時などに）第１段クライオパネルがガス発生源と
して作用してしまうという問題があった。
本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
のであり、その目的は、第１段クライオパネルの温度を
制御可能に構成し、圧力調整ガスが前記第１段クライオ
パネルに凝縮するのを防止することができるクライオポ
ンプを提供することにある。
のであり、その目的は、第１段クライオパネルの温度を
制御可能に構成し、圧力調整ガスが前記第１段クライオ
パネルに凝縮するのを防止することができるクライオポ
ンプを提供することにある。
（問題点を解決するための手段）
本発明は上記目的を達成するために次のように構成され
ている。すなわち、本発明は、ポンプ容器内に冷凍機に
よって冷却される第１段冷凍ステージとこの第１段冷凍
ステージよりもさらに冷却される第２段冷凍ステージと
を有し、前記第１段冷凍ステージには第１段クライオパ
ネルが配設され、また、前記第２段冷凍ステージには第
２段クライオパネルがそれぞれ配設されているクライオ
ポンプにおいて、前記第１段クライオパネルの温度は温
度調整装置により調整可能に構成されているクライオポ
ンプである。
ている。すなわち、本発明は、ポンプ容器内に冷凍機に
よって冷却される第１段冷凍ステージとこの第１段冷凍
ステージよりもさらに冷却される第２段冷凍ステージと
を有し、前記第１段冷凍ステージには第１段クライオパ
ネルが配設され、また、前記第２段冷凍ステージには第
２段クライオパネルがそれぞれ配設されているクライオ
ポンプにおいて、前記第１段クライオパネルの温度は温
度調整装置により調整可能に構成されているクライオポ
ンプである。
（作 用）
上記構成からなる本発明において、真空作業室の真空排
出時には冷凍機を駆動して第１段クライオパネルは５０
に〜１００Ｋに冷却され、また、第２段クライオパネル
はＩＯＫ〜２０Ｋに冷却される。その結果、第２段クラ
イオパネルには、荒引きポンプによる真空排気後に残留
した真空作業室内の各種の気体が凝縮される。一方、真
空作業室に凝縮性の圧力調整ガスが導入される場合には
温度調整装置を動作させて第１段クライオパネルの温度
を、クライオポンプ内の圧力における圧力調整ガスの飽
和蒸気圧曲線から求められる温度く以下飽和蒸気温度と
いう。）よりも高い温度に調整する。この第１段クライ
オパネルの温度調整により圧力調整ガスが第１段クライ
オパネルに凝縮されるという現象は確実に防止される。
出時には冷凍機を駆動して第１段クライオパネルは５０
に〜１００Ｋに冷却され、また、第２段クライオパネル
はＩＯＫ〜２０Ｋに冷却される。その結果、第２段クラ
イオパネルには、荒引きポンプによる真空排気後に残留
した真空作業室内の各種の気体が凝縮される。一方、真
空作業室に凝縮性の圧力調整ガスが導入される場合には
温度調整装置を動作させて第１段クライオパネルの温度
を、クライオポンプ内の圧力における圧力調整ガスの飽
和蒸気圧曲線から求められる温度く以下飽和蒸気温度と
いう。）よりも高い温度に調整する。この第１段クライ
オパネルの温度調整により圧力調整ガスが第１段クライ
オパネルに凝縮されるという現象は確実に防止される。
したがって、圧力調整ガスのカットオフ１時に圧力調整
ガスが第１段クライオパネルをガス源として発散される
という不具合がなくなる。
ガスが第１段クライオパネルをガス源として発散される
という不具合がなくなる。
（実 施 例）
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図には本発明の第１実施例の構成が示され、ポンプ容器
１内には冷凍機２によって５０に〜１００Ｋに冷却され
る第１段冷凍ステージ３と１０に〜２０Ｋに冷却される
第２段冷凍ステージ４とが配設されている。前記第１段
冷凍ステージ３には椀状に形成された第１段クライオパ
ネル５が上向きに固定され、この第１段クライオパネル
５の上端部にはルーバ６が設けられている。
図には本発明の第１実施例の構成が示され、ポンプ容器
１内には冷凍機２によって５０に〜１００Ｋに冷却され
る第１段冷凍ステージ３と１０に〜２０Ｋに冷却される
第２段冷凍ステージ４とが配設されている。前記第１段
冷凍ステージ３には椀状に形成された第１段クライオパ
ネル５が上向きに固定され、この第１段クライオパネル
５の上端部にはルーバ６が設けられている。
この第１段クライオパネル５は主にポンプ容器１からの
輻射熱を防ぐものである。また、第２ ＦＱ冷凍ステー
ジ４には前記第１段クライオパネル５の内側に２個の椀
状の第２段クライオパネル７および同８が下向きに固定
されている。なお、クライオパネル８には吸着材８ａが
覆合形成されている。さらに、ポンプ容器１には荒引き
用の吸引ポンプ９が連通されている。
輻射熱を防ぐものである。また、第２ ＦＱ冷凍ステー
ジ４には前記第１段クライオパネル５の内側に２個の椀
状の第２段クライオパネル７および同８が下向きに固定
されている。なお、クライオパネル８には吸着材８ａが
覆合形成されている。さらに、ポンプ容器１には荒引き
用の吸引ポンプ９が連通されている。
一方、前記第１段冷凍ステージ３にはヒータ１０が巻回
配置されており、また、第１段クライオパネル５の底部
および第２段クライオパネル７の側面にはＡｕ Ｃ１
熱電対からなる温度センサ１１および同１２が熱伝導性
の良いアルミテープまたはエポキシ系の接着剤で固着さ
れている。
配置されており、また、第１段クライオパネル５の底部
および第２段クライオパネル７の側面にはＡｕ Ｃ１
熱電対からなる温度センサ１１および同１２が熱伝導性
の良いアルミテープまたはエポキシ系の接着剤で固着さ
れている。
そして、これらヒータ１０への電力導入ケーブルおよび
温度センサ１１および同１２の信号ケーブルはポンプ容
器１に気密に設けた電流導入端子１３に集結され、コン
ピュータを内蔵する制御器１４によってヒータ１０への
供給電力の制御、すなわち、第１段クライオパネル５の
温度調整ができるようになっている。なお、上記し−タ
１０と、温度センサ１１と、制御器１４とは第１段クラ
イオパネル５の温度を調整する温度調整装置を構成する
。
温度センサ１１および同１２の信号ケーブルはポンプ容
器１に気密に設けた電流導入端子１３に集結され、コン
ピュータを内蔵する制御器１４によってヒータ１０への
供給電力の制御、すなわち、第１段クライオパネル５の
温度調整ができるようになっている。なお、上記し−タ
１０と、温度センサ１１と、制御器１４とは第１段クラ
イオパネル５の温度を調整する温度調整装置を構成する
。
上記のように構成されている本第１実施例において、ク
ライオポンプの運転に際しては、まず、吸引ポンプ９を
駆動して真空作業室の予備排気をするとともに、冷凍機
２を駆動して第１段クライオパネル５を５０に〜１００
Ｋに冷却し、第２段クライオパネル７および同８をＩＯ
Ｋ〜２０Ｋに冷却する。このとき第１段クライオパネル
５および第２段クライオパネル７および同８の温度は温
度センサ１１および同１２によって検出され、この検出
信号は制御器１４に供給される。
ライオポンプの運転に際しては、まず、吸引ポンプ９を
駆動して真空作業室の予備排気をするとともに、冷凍機
２を駆動して第１段クライオパネル５を５０に〜１００
Ｋに冷却し、第２段クライオパネル７および同８をＩＯ
Ｋ〜２０Ｋに冷却する。このとき第１段クライオパネル
５および第２段クライオパネル７および同８の温度は温
度センサ１１および同１２によって検出され、この検出
信号は制御器１４に供給される。
前記クライオパネル５、同７および同８の冷却後真空作
業室内に圧力調整用ガスが導入される場合には、制御器
１４は、あらかじめ該制御器１４に記憶されている各種
ガスの飽和蒸気圧曲線からポンプ容器１内の圧力に対す
る圧力調整用ガスの飽和蒸気温度を求め、この温度と前
記温度センサ１１から得られる第１段クライオパネル５
の温度とを比較し、第１段クライオパネル５の温度が飽
和蒸気圧曲線の温度よりもやや高くなるようにヒータ１
０へ供給する電力を制御する。
業室内に圧力調整用ガスが導入される場合には、制御器
１４は、あらかじめ該制御器１４に記憶されている各種
ガスの飽和蒸気圧曲線からポンプ容器１内の圧力に対す
る圧力調整用ガスの飽和蒸気温度を求め、この温度と前
記温度センサ１１から得られる第１段クライオパネル５
の温度とを比較し、第１段クライオパネル５の温度が飽
和蒸気圧曲線の温度よりもやや高くなるようにヒータ１
０へ供給する電力を制御する。
この温度調整により、真空作業室内の気体の主たる凝縮
を第２段クライオパネル７および同８にさせることがで
きるとともに、第１段クライオパネル５に圧力調整用ガ
スが不当に多量に；凝縮してしまうという従来装置に見
られた現象は確実に防止できる。したがって、圧力調整
用ガスのカットオフ時の従来装置の弊害、すなわち、第
１段クライオパネル５に凝縮された圧力調整用ガスがガ
ス源となるという弊害は確実に解消されることになる。
を第２段クライオパネル７および同８にさせることがで
きるとともに、第１段クライオパネル５に圧力調整用ガ
スが不当に多量に；凝縮してしまうという従来装置に見
られた現象は確実に防止できる。したがって、圧力調整
用ガスのカットオフ時の従来装置の弊害、すなわち、第
１段クライオパネル５に凝縮された圧力調整用ガスがガ
ス源となるという弊害は確実に解消されることになる。
第２図には本発明の第２実施例が示されている０本第２
実施例の特徴的なことは、前記第１実施例の構成の外に
冷凍機２を動作させる冷媒ガス（Ｈ，ガス）のサプライ
とリターンの回路間に開閉および開度調節可能のバイパ
ス回路が設けられていることである。すなわち、第２図
においてコンプレッサ装置１５のコンプレッサ本体１６
と冷法線２間にはＨｅガスのサプライ回路１７とリター
ン回路１８とが配管されており、このサプライ回路１７
とすダーン回路１８間にバイパス回路１９が設けられ、
このバイパス回路１９の通路は電磁バルブ等から構成さ
れるバルブ２０によって開閉および開度調節が可能とな
っている。
実施例の特徴的なことは、前記第１実施例の構成の外に
冷凍機２を動作させる冷媒ガス（Ｈ，ガス）のサプライ
とリターンの回路間に開閉および開度調節可能のバイパ
ス回路が設けられていることである。すなわち、第２図
においてコンプレッサ装置１５のコンプレッサ本体１６
と冷法線２間にはＨｅガスのサプライ回路１７とリター
ン回路１８とが配管されており、このサプライ回路１７
とすダーン回路１８間にバイパス回路１９が設けられ、
このバイパス回路１９の通路は電磁バルブ等から構成さ
れるバルブ２０によって開閉および開度調節が可能とな
っている。
上記構成からなる本第２実施例において、クライオポン
プの運転に際し、真空作業室の予備排気は第１実施例と
同様に吸引ポンプ９の駆動により行われ、またクライオ
パネル５、同７および同８の冷却（クールダウン）はバ
イパス回路１９を閉の状態にして行われる。そしてこの
クールダウン後、圧力調整ガスが真空作業室に導入され
る場合には前記第１実施例の場合と同様に、ポンプ容器
１内の圧力値における圧力調整ガスの飽和蒸気温度が制
御器１４により求められる。そして、制御器１４は温度
センサ１１からの検出信号から得られる第１段クライオ
パネル５の温度と前記圧力調整ガスの飽和蒸気温度との
差を求め、第１段クライオパネル５の温度が飽和蒸気温
度よりもやや高くなるようにヒータ１０への電力量とバ
ルブ２０の開き量を制御駆動する。この場合、バルブ２
０を開けることにより冷凍機２の冷媒ガス（Ｈ、ガス）
の入口と出口との圧力差が減少し、これに伴い冷凍能力
が下がり、第１段クライオパネル５の温度が上昇するの
である。
プの運転に際し、真空作業室の予備排気は第１実施例と
同様に吸引ポンプ９の駆動により行われ、またクライオ
パネル５、同７および同８の冷却（クールダウン）はバ
イパス回路１９を閉の状態にして行われる。そしてこの
クールダウン後、圧力調整ガスが真空作業室に導入され
る場合には前記第１実施例の場合と同様に、ポンプ容器
１内の圧力値における圧力調整ガスの飽和蒸気温度が制
御器１４により求められる。そして、制御器１４は温度
センサ１１からの検出信号から得られる第１段クライオ
パネル５の温度と前記圧力調整ガスの飽和蒸気温度との
差を求め、第１段クライオパネル５の温度が飽和蒸気温
度よりもやや高くなるようにヒータ１０への電力量とバ
ルブ２０の開き量を制御駆動する。この場合、バルブ２
０を開けることにより冷凍機２の冷媒ガス（Ｈ、ガス）
の入口と出口との圧力差が減少し、これに伴い冷凍能力
が下がり、第１段クライオパネル５の温度が上昇するの
である。
このように、本第２実施例ではヒータ１０の加熱制御と
冷凍機２の冷凍能力の制御とにより第１段クライオパネ
ル５の温度制御が行われるから、第１段クライオパネル
５の温度を圧力調整ガスの飽和蒸気温度よりも高く制御
するのがより効率的となり、これにより第１実施例の場
合と同様に、真空１ヤ業室内の気体の主たる凝縮を第２
段クライオパネル７および同８にさせ、第１段クライオ
パネル５への圧力調整ガスの凝縮を小さくすることがで
きる。
冷凍機２の冷凍能力の制御とにより第１段クライオパネ
ル５の温度制御が行われるから、第１段クライオパネル
５の温度を圧力調整ガスの飽和蒸気温度よりも高く制御
するのがより効率的となり、これにより第１実施例の場
合と同様に、真空１ヤ業室内の気体の主たる凝縮を第２
段クライオパネル７および同８にさせ、第１段クライオ
パネル５への圧力調整ガスの凝縮を小さくすることがで
きる。
次に本発明の第３実施例を第３図に基づいて説明する０
本第３実施例は前記第１実施例と同一の構成とする外に
冷凍機２の冷凍能力を制御するＨ８ガス用圧縮機（図示
せず）の毎分回転数を制御する回転速度制御機構が設け
られていることである。この回転速度制御機構は周波数
変換器２１をそなえ、コンプレッサ本体モータの駆動電
力の周波数をこの周波数変換器２１で連続的または階段
的に変化させることにより冷凍機２に供給する冷媒ガス
（Ｈ，ガス）の量を調整するものである。かかる構成か
らなる本第３実施例において、クライオポンプの運転に
際し、第１実施例の場合と同様にして真空作業室の予備
排気を行う、そしてクライオパネル５、同７および同８
のクールダウン（冷却〉はコンプレッサ本体モータの回
転速度を通常運転よりも早くした状態で行う。
本第３実施例は前記第１実施例と同一の構成とする外に
冷凍機２の冷凍能力を制御するＨ８ガス用圧縮機（図示
せず）の毎分回転数を制御する回転速度制御機構が設け
られていることである。この回転速度制御機構は周波数
変換器２１をそなえ、コンプレッサ本体モータの駆動電
力の周波数をこの周波数変換器２１で連続的または階段
的に変化させることにより冷凍機２に供給する冷媒ガス
（Ｈ，ガス）の量を調整するものである。かかる構成か
らなる本第３実施例において、クライオポンプの運転に
際し、第１実施例の場合と同様にして真空作業室の予備
排気を行う、そしてクライオパネル５、同７および同８
のクールダウン（冷却〉はコンプレッサ本体モータの回
転速度を通常運転よりも早くした状態で行う。
そして、真空作業室内に圧力調整ガスが導入された場合
には、第１実施例の場合と同様に圧力調整ガスの飽和蒸
気温度と第１段クライオパネル５の温度との差が制御器
１４により求められ、制御器１４は、前記第１実施例の
場合と同様に第１段クライオパネル５の温度の方が低い
場合にはヒータ１０に電力を供給する。その一方におい
て、前記飽和温度と第１段クライオパネル５の温度差に
対応させて周波数変換器２１を制御しコンプレッサ本体
モータの毎分回転数を小さくする。この毎分回転数の減
少によりＨ８ガスの圧送量が減少し、これに伴い冷凍機
２の冷凍能力が下がり、第１段クライオパネル５の温度
上昇が図られるのである。このヒータ１０への電力供給
量とコンプレッサ本体モータの回転数の制御は制御器１
４によって行われ、これにより第１段クライオパネル５
の温度は前記圧力調整ガスの飽和温度よりも高く設定さ
れるのである。この結果、前記第１実施例および第２実
施例と同様に真空作業室内の気体凝縮を主として第２段
クライオパネル７および同８に行わせることができる。
には、第１実施例の場合と同様に圧力調整ガスの飽和蒸
気温度と第１段クライオパネル５の温度との差が制御器
１４により求められ、制御器１４は、前記第１実施例の
場合と同様に第１段クライオパネル５の温度の方が低い
場合にはヒータ１０に電力を供給する。その一方におい
て、前記飽和温度と第１段クライオパネル５の温度差に
対応させて周波数変換器２１を制御しコンプレッサ本体
モータの毎分回転数を小さくする。この毎分回転数の減
少によりＨ８ガスの圧送量が減少し、これに伴い冷凍機
２の冷凍能力が下がり、第１段クライオパネル５の温度
上昇が図られるのである。このヒータ１０への電力供給
量とコンプレッサ本体モータの回転数の制御は制御器１
４によって行われ、これにより第１段クライオパネル５
の温度は前記圧力調整ガスの飽和温度よりも高く設定さ
れるのである。この結果、前記第１実施例および第２実
施例と同様に真空作業室内の気体凝縮を主として第２段
クライオパネル７および同８に行わせることができる。
そして、第１段クライオパネル５への圧力調整ガスの温
度の凝縮を防止できるから、圧力調整ガスのカットオフ
時に第１段クライオパネル５がガス源として作用するこ
とがなくなる。
度の凝縮を防止できるから、圧力調整ガスのカットオフ
時に第１段クライオパネル５がガス源として作用するこ
とがなくなる。
（発明の効果）
本発明は以上説明した構成と作用とを有しているので、
圧力調整ガスの導入時に、第１段タライオパネルの温度
を、圧力調整ガスの飽和蒸気温度よりもやや高い温度に
調整することが可能となる、したがって、圧力調整ガス
の種類によって第１段クライオパネルに圧力調整ガスが
過度に凝縮してしまうという従来の弊害、すなわち、第
１段クライオパネルに凝縮した圧力調整ガスがガス源と
なるという弊害は確実に防止できる。このように本発明
は圧力調整ガスの種類にかがわらず真空装置の排気特性
を効果的に改善することが可能である。
圧力調整ガスの導入時に、第１段タライオパネルの温度
を、圧力調整ガスの飽和蒸気温度よりもやや高い温度に
調整することが可能となる、したがって、圧力調整ガス
の種類によって第１段クライオパネルに圧力調整ガスが
過度に凝縮してしまうという従来の弊害、すなわち、第
１段クライオパネルに凝縮した圧力調整ガスがガス源と
なるという弊害は確実に防止できる。このように本発明
は圧力調整ガスの種類にかがわらず真空装置の排気特性
を効果的に改善することが可能である。
第１図は本発明の第１実施例の構成を示す断面図、第２
図は本発明の第２実施例の構成を示す冷媒ガスの回路図
、第３図は本発明の第３実施例の構成図である。 １・・・・・・ポンプ容器、 ２・・・・・・冷凍機、
３・・・・・・第１段冷凍ステージ、 ４・・・・・
・第２段冷凍ステージ、 ５・・・・・・第１段クライ
オパネル、 ６・・・・・・ルーバ、 ７，８・・・・
・・第２段クライオパネル、８ａ・・・・・・吸着材、
９・・・・・・吸引ポンプ、１０・・・・・・ヒータ
、 １１．１２・・・・・・温度センサ、１３・・・
・・・電流導入端子、 １４・・・・・・制闘器、１５
・・・・・・コンプレッサ装置、 １６・・・・・・
コンプレッサ本体、 １７・・・・・・サプライ回路
、１８・・・・・・リターン回路、１９・・・・・・バ
イパス回路、２０・・・・・・バルブ、 ２１・・・・
・・周波数変換器。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 算 ／ 図 ｖ＝２ 図 第 ３ 図
図は本発明の第２実施例の構成を示す冷媒ガスの回路図
、第３図は本発明の第３実施例の構成図である。 １・・・・・・ポンプ容器、 ２・・・・・・冷凍機、
３・・・・・・第１段冷凍ステージ、 ４・・・・・
・第２段冷凍ステージ、 ５・・・・・・第１段クライ
オパネル、 ６・・・・・・ルーバ、 ７，８・・・・
・・第２段クライオパネル、８ａ・・・・・・吸着材、
９・・・・・・吸引ポンプ、１０・・・・・・ヒータ
、 １１．１２・・・・・・温度センサ、１３・・・
・・・電流導入端子、 １４・・・・・・制闘器、１５
・・・・・・コンプレッサ装置、 １６・・・・・・
コンプレッサ本体、 １７・・・・・・サプライ回路
、１８・・・・・・リターン回路、１９・・・・・・バ
イパス回路、２０・・・・・・バルブ、 ２１・・・・
・・周波数変換器。 代理人 弁理士 八 幡 義 博 算 ／ 図 ｖ＝２ 図 第 ３ 図
Claims (4)
- （１）ポンプ容器内に冷凍機によって冷却される第１段
冷凍ステージとこの第１段冷凍ステージよりもさらに冷
却される第２段冷凍ステージとを有し、前記第１段冷凍
ステージには第１段クライオパネルが配設され、また、
前記第２段冷凍ステージには第２段クライオパネルが配
設されているクライオポンプにおいて、前記第１段クラ
イオパネルの温度は温度調整装置により調整可能に構成
されていることを特徴とするクライオポンプ。 - （２）温度調整装置は第１段冷凍ステージに配設され第
１段クライオパネルを加熱するヒータと、第１段クライ
オパネルの温度を検出する温度センサと、この温度セン
サからの検出信号に基づいてヒータの加熱制御を行う制
御器とを備えることを特徴とする特許請求の範囲第（１
）項記載のクライオポンプ。 - （３）温度調整装置は第１段冷凍ステージに配設され第
１段クライオパネルを加熱するヒータと、第１段クライ
オパネルの温度を検出する温度センサと、この温度セン
サからの検出信号に基づいてヒータの加熱制御を行う制
御器と、冷凍機冷媒ガスのリターン回路とサプライ回路
の間に設けられ前記制御器からの指令により、開閉およ
び開度調節される制御弁を有するバイパス回路とからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のク
ライオポンプ。 - （４）温度調整装置は第１段冷凍ステージに配設され第
１段クライオパネルを加熱するヒータと、第１段クライ
オパネルの温度を検出する温度センサと、この温度セン
サからの検出信号に基づいてヒータの加熱制御を行う制
御器と、該制御器からの指令により冷凍機のＨｅガス用
圧縮機の回転速度を制御する回転速度制御機構とからな
ることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載のク
ライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27407385A JPS62131983A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27407385A JPS62131983A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62131983A true JPS62131983A (ja) | 1987-06-15 |
| JPH0312675B2 JPH0312675B2 (ja) | 1991-02-20 |
Family
ID=17536593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27407385A Granted JPS62131983A (ja) | 1985-12-05 | 1985-12-05 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62131983A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6475031A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Hitachi Ltd | Evacuation apparatus |
| JPH04303186A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-27 | Aisin Seiki Co Ltd | クライオポンプの再生装置 |
| JP2011526981A (ja) * | 2008-07-01 | 2011-10-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプの温度制御を行う装置および方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761188U (ja) * | 1980-09-30 | 1982-04-10 |
-
1985
- 1985-12-05 JP JP27407385A patent/JPS62131983A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761188U (ja) * | 1980-09-30 | 1982-04-10 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6475031A (en) * | 1987-09-16 | 1989-03-20 | Hitachi Ltd | Evacuation apparatus |
| JPH04303186A (ja) * | 1991-03-29 | 1992-10-27 | Aisin Seiki Co Ltd | クライオポンプの再生装置 |
| JP2011526981A (ja) * | 2008-07-01 | 2011-10-20 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプの温度制御を行う装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0312675B2 (ja) | 1991-02-20 |
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