JPS62143416A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、ＬＳｌ、ＶＬＳＩ等の半導体デバイスを製造
する装置に関し、特に、装置稼動中に発生した事象を自
動的に記録し、さらにその記録データについて適宜表示
等ができるようにした半導体製造装置に関する。

［発明の背１］ 半導体集積回路の集積度の向上に伴い、半導体製造装置
の高機能化や高性能化が計られている。

これらの高機能化や高性能化に伴ってこの種の装置を動
作させる際のコマンドおよびパラメータも非常に増加し
てきた。また、予め定められた一連の動作を行なうシー
ケンスの種類も増加し、シーケンス動作中に発生する事
象も多岐に渡るものとなっている。ここで、事象とはオ
ペレータによるコマンドやパラメータの入力、装置から
発せられるシーケンス通過情報、状態、警告、エラー情
報等を意味する。

これら数多くのコマンドおにびパラメータはそれぞれ半
導体製造装置の動作を制御する上で重要な役割を果たす
ものであり、装置の機能を最大限利用する場合に欠くこ
とができないものである。

また、これらコマンド等の入力事象やシーケンス動作中
に発生する事象に関する情報は半導体製造装置の動作状
況を把握し、保守管理を行なうための重要な情報となる
。

ところが、それらの数が多いため、ある事象、特に警告
やエラー等が発生した場合、当該事象の発生の原因を理
解し適切な処置を取ることは困難である。すなわち、そ
の原因を知るには当該事象が発生するまでにどのような
操作をし、どのような事象が発生していたかを知ること
が必要であるが、数が多く複雑多岐に渡るため、オペレ
ータやエンジニアがそれを記憶しておくことは全く不可
能である。このような事情は、装置の異常をすみやかに
回復しなければならないＩＣ製造工程では特辷問題とな
る。

［発明の目的］ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、オペレータ等が
行なったコマンドやパラメータの入力の事象や、またそ
れらの入力により発生した事象に関する情報を、これら
の事象が生起した順に時刻等とともに自動的にファイル
として記録する機能とそれを読み出す機能を備えるとい
う構想に基づき、適切に装置を保守管理することができ
る半導体製造装置を提供することを目的とする。

［実施例の説明］ 以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを備えた
マスクで、他にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを備えている。２はマスクス
テージで、マスク１を保持してマスク１を平面内（ＸＹ
方向）及び回転方向（θ方向）に移動させる。３は縮小
投影レンズ、４は感光層を備えるウェハで、マスク・ウ
ェハ・アライメントマークとテレビ・ウエハアライ、メ
ントマークを備えている。５はウェハステージである。

ウェハステージ５はウェハ４を保持してそれを平面内及
び回転方向に移動させるものであり、またウェハ焼付位
置（投影視野内）とテレビ・ウェハアライメント位置間
を移動する。６はテレビ・ウェハアライメント用検知装
置の対物レンズ、７は搬像管または固体影像素子、９は
双眼ユニットで、投影レンズ３を介してウェハ４の表面
を観察するために役立つ。１０は照明光学系およびマス
ク・ウェハ・アライメント用の検知装置を収容する上部
ユニツ１〜である。１１は投影露光装置本体に指令を与
えるコンソールのモニタ受像機（コンソールＣＲＴ）、
１２は装置に指令を与えたりパラメータを入力するキー
ボードである。

第２図は、第１図の投影露光装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、２１は装置全体の制
御を司る本体ＣＰＵで、マイクロコンピュータまたはミ
ニコンピユータ等の中央演算処理装置からなる。２２は
ろエバステージ駆動装置、２３はアライメント検出系、
２４はレチクルステージ駆動装置、２５は照明系、２６
はシャッタ駆動装置、２７はフォーカス検出系、２８は
Ｚ駆動装置で、これらは、本体ＣＰＵ２１により制御さ
れる。２９は搬送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ＣＰ　Ｕ　２１にこ
の露光装置の動作に関する各種の指令やパラメータを与
えるためのものである。３１はコンソールＣＰＵ、３２
はパラメータ等を記憶する外部メモリである。また、３
３はパラメータやファイルの内容を記録するためのプリ
ンタである。なお、ＣＲＴｌｌおよびキーボード１２は
第１図のものと同一である。

第３図は、事象が生起類にファイルされていく様子を示
すフローチャートである。同図を参照して、コマンド入
力待ち状態においてオペレータによりコマンドが入力さ
れると、まずそのコマンド名が入力時の日付および時刻
とともに記録ファイルに記録（記りされる。この記録フ
ァイルとしては、例えば第２図に示したコンソールユニ
ット３０の外部メモリ３２がある。次に、コマンドに従
ったシーケンス動作が始まる。動作中に事象１が発生す
るとその事象１に関する情報が記録される。

以下、同様に事象の発生毎にその事象が発生時の日付お
よび時刻とともに記録され、シーケンス動作が終了する
。終了とともにその終了の旨およびシーケンス終了日付
時刻等が記録され、次のコマンド入力待ち状態となる。

以上のようにして、記録ファイルが作成される。

第４図は、記録ファイルの内容をプリンタに出力したプ
リント例である。本例は、２５枚のウェハを１０ツトと
し１ウエハ３６シヨツトからなるステップアンドリピー
ト方式で露光する半導体製造装置の一連のシーケンス動
作中に発生した事象を示すものである。この例ではイベ
ント（事象）ナンバ９において、１枚目ウェハの３シヨ
ツト目がオードアライメン！−不良により露光ができな
かったことがわかる。また、イベントナンバ１３におい
ては、レーザのパワーが低下してきているので、レーザ
交換した方が良いことを示す警告が発生している。イベ
ントナンバにでは、本体とコンソール間）通信エラーが
発生したが、自動再通信機能でエラー回復し次のシーケ
ンスが続行されたことを示している。このようにして、
１枚目ウェハの３シヨツト目のチップは不良品であるこ
と、またレーザ交換が必要なこと等、工程や装置を管理
していく上で必要な情報を得ることができる。

次に、第５図のフローチャートおよび第６ａ。

６ｂ図の表示画面例を参照しながら、第１図および第２
図に示す装置において事象に関する情報を記録ファイル
にどのように記録していくかを示す記録仕様の決定動作
について説明する。

この装置においては、電源投入後の初期化を終了したと
き、および所定の動作指令（コマンド）を実行し終えた
とき、コマンド入力待ち状態となる。この状態において
事象に関する情報をファイルに記録する際の記録仕様を
定めるコマンドを入力すると、第５図のフローチャート
に示す流れに従ってその仕様を定めることができる。

まず、このコマンドが入力されると、ステップＳ１で現
在設定されている事象記録仕様が画面に表示される。次
に、ステップＳ２でそれぞれの項目に付されているナン
バ（項目ナンバ）を入力すると、ステップＳ３で記録仕
様のうち当該項目の部分を変更することができる。

第６ａ図は、ステップＳ１での画面表示の後、ステップ
Ｓ２で「３」を入力したときの様子を示す。同図の中段
の１〜４の項目で現在設定されている記録仕様を表示し
ている。プロンプトメツセージ［３ｅｌｅｃｔ　　Ｎｏ
、　　ｏｒ　　ＥｎｄＪの後には入力した「３」が表示
されている。「ｐ」はリターンキーの押下を示す。これ
によりステップＳ３の記録仕様変更処理が可能となり、
画面は第６ｂ図のようになる。ここでは、１日毎にファ
イルが更新される状態から１００事象毎にファイルが更
新される状態にタイプ（Ｔｙｐｅ）を変更している。す
なわち、第６ａ図の項目ナンバ３ではタイプが「Ｄａｉ
ｌｙＪであり１日毎にファイルが更新されていくように
設定されているが、第６ｂ図では最下行で「１００　　
［：ｖｅｎｔｓ　Ｊと入力した結果、画面中段の項目ナ
ンバ３の欄も［１００ＥＶｅｎｔＳ　Ｊとなり、１００
事象毎にファイルが更新される状態にタイプが変更され
ている。

以上のようにある１項目の変更が終了すると、ステップ
＄１に戻り、また記録仕様を示す画面が表われて項目入
力待ち状態となる。さらに、この例の項目ナンバ４に示
すように記録する事象（Ｒｅｃｏｒｄ　　Ｅｖｅｎｔｓ
　）の種類を選択可能とすることによって、必要事象の
みを記録することが可能である。第５ａ、５ｂ図では、
コマンド入力（Ｃｏｍｍａｎｄ）　、エラー（Ｅ　ｒｒ
ｏｒ）　、警告（Ｗａｒｎｉｎａ）および露光不能（Ｕ
　ｎｅｘｐｏｓｅ　）の発生についての事象を記録する
ことを示しており、前述の第４図はこれらの事象を記録
した例である。

必要な項目を変更し終わったら、ステップＳ２において
処理の終了を示すｒＥＪを入力することにより記録仕様
決定作業が終わる。

次に、第７図のフローチャートおよび第３ａ。

８ｂ図の表示画面例を参照しながら、第１図および第２
図に示す装置における事象記録ファイルの読み出し動作
について説明する。

まず、コマンド入力待ち状態において記録ファイル読み
出しのコマンドを入力すると、ステップ３１１で出力仕
様が画面に表示され、ステップ８１２でそれぞれの項目
に付されているナンバ等の入力待ち状態となる。ここで
、その項目ナンバを入力した場合は、ステップＳ１３で
出力仕様の当該項目について変更することができる。

第８ａ図は、ステップ８１１での画面表示の後、ステッ
プ８１２で「３」を入力したときの様子を示す。同図の
中段の１〜４の項目で現在設定されている出力仕様を表
示している。プロンプトメツセージｒｓｅｌｅｃｔ　　
Ｎｏ、　　ｏｒ　　Ｑｕｔｐｕｔ　　ｏｒ　　ＥｎｄＪ
の後には入力した「３」が表示されている。ｒＤＪはリ
ターンキーの押下を示す。これによりステップ８１３の
出力仕様変更処理が可能となり、画面は第８ｂ図のよう
になる。ここでは、出力光（Ｏｌｌｔｐｕｔ　　［）ｅ
ｖｉｃｅ　）をＣＲＴ画面（ＣＲＴ）からプリンタ（Ｐ
　ｒｉｎｔｅｒ）に変更している。また、この項目に外
部メモリを指定すれば、記録ファイルの内容は外部メモ
リにコピーされ保存しておくことができる。

さらに、この例では第８ａ図の項目ナンバ４で読み出す
事象（Ｏｕｔｐｕｔ　　Ｅｖｅｎｔｓ　）の種類を露光
されなかったショット（ＩＪ　ｎｅＸｐＯ３ｅ　）のみ
に限定している。このような機能により、記録ファイル
の内容を事象別に出力することができ、目的の情報を把
握しやすくなる。

第９図は、このような出力仕様のもとにプリントアウト
された記録ファイルのプリント例である。

なお、本例では、通常のシーケンス動作についての状態
等を表わす事象は指定しなくとも出力されるので、同図
のプリント例ではこれら通常の事象と露光不能の事象に
ついて出力されている。

ステップ３１３で所望の出力仕様を定めた後は、ステッ
プＳ１１に戻り再度出力仕様を表示する。次にステップ
８１２において、アウトプットの指定を入力するとステ
ップ３１４で記録ファイルが所定の装置に出力される。

また、処理終了を示すｒＥＪを入力すると出力作業終了
となる。

次に、記録ファイルに記録されたコマンドを記録ファイ
ル読み出し作業の中から実行する例を第１０図のフロー
チャートおよび第１１ａ　、　１ｉｂ図の表示画面例を
参照しながら説明する。

まず、前述した事象記録ファイルの読ｌ出し操作に従っ
てステップＳ２１で第１１ａ図に示すように、コマンド
のみを画面に表示する。次に、ステップ８２２で第１１
ｂ図に示すようにイベントナンバを入力すると、コンソ
ールＣＰ　Ｕ　３１は、ステップ８２３でイベントナン
バで指定されたコマンドを解読し、ステップ８２４で、
本体ＣＰ　Ｕ　２１へ、コマンドの実行指令を出す。本
体ＣＰ　Ｕ　２１は、ステップ８２５で、コンソールＣ
Ｐ　ｔＪ　３１からの実行指令を受けることにより、ス
テップ３２６で、各ブロックへ動作指令を出し、該当す
るシーフェンス動作を実行させる。

また、何もせずに終了したい場合は、ステップＳ２２で
ｒＥＪを入力する。この機能により、実際に行なった操
作をオペレータの記憶に頼ることなく再現できるので、
複雑なオペレーションを繰返し実行するのに有効である
。また、この機能はステップ３２１において、コマシト
以外の事象が表示されていても何ら支障はない。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明によれば、半導体製造装置に
おいて装置稼動中に発生した事象を自動的に記録し、か
つそれを適宜読み出すことができるので、工程の管理や
装置の保守管理が極めてやりやすいものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
図、 第２図は、上記実施例の投影露光装置の電気回路構成図
、 第３図は、事象に関する情報が自動的に記録されていく
様子を示すフローチャート、 第４図は、記録された事象に関する情報をプリンタに出
力したプリント例、 第５図および第６図は、事象の記録仕様の決定動作を説
明するためのフローチャートおよびその場合の表示画面
を示す図、 第７図および第８図は、事象記録ファイルの読み出し動
作を説明するためのフローチャートおよびその場合の表
示画面を示す図、 第９図は、記録された事象のうち一部のみを読み出して
プリント出力した例、 第１０図および第１１図は、記録されたコマンドを読み
出し実行フローの中からコマンドを実行する動作を説明
するためのフローチャートおよびその場合の表示画面を
示す図である。 １１・・・モニタ用０ＲＴ、　　１２・・・キーボード
、２１・・・本体ＣＰ　Ｕ　、　　　　　３０・・・コ
ンソール、３１・・・コンソールＣＰＵ、　　３２・・
・外部メモリ、３３・・・プリンタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、動作指令入力手段を介して入力される動作指令に従
   った複数種類の動作が可能な半導体製造装置において、 動作指令の入力事象および該動作指令により起動された
   シーケンスの動作中に発生した事象に関する情報を、こ
   れらの事象が生起した順番に生起時の日付および時刻と
   ともに自動的に記憶する手段と、該記憶情報を読み出す
   手段とを備えたことを特徴とする半導体製造装置。 ２、前記読み出し手段は、前記記憶情報を選択的に読み
   出すことができ、かつ記憶された前記動作指令の入力事
   象情報に係る動作指令について読み出し機能の中から実
   行可能であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の半導体製造装置。