JPS62143811A - モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 - Google Patents

モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法

Info

Publication number
JPS62143811A
JPS62143811A JP28446285A JP28446285A JPS62143811A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP 28446285 A JP28446285 A JP 28446285A JP S62143811 A JPS62143811 A JP S62143811A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
powder
silicide
synthesized
product
purity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP28446285A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JPH0159209B2 (2
Inventor
Iwao Kyono
京野　巌
Masataka Sugano
菅野　正崇
Ryuichi Nagase
隆一 長瀬
Koji Hosaka
広司 保坂
Akira Kato
晃 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Mining Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Mining Co Ltd filed Critical Nippon Mining Co Ltd
Priority to JP28446285A priority Critical patent/JPS62143811A/ja
Publication of JPS62143811A publication Critical patent/JPS62143811A/ja
Publication of JPH0159209B2 publication Critical patent/JPH0159209B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
JP28446285A 1985-12-19 1985-12-19 モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法 Granted JPS62143811A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28446285A JPS62143811A (ja) 1985-12-19 1985-12-19 モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP28446285A JPS62143811A (ja) 1985-12-19 1985-12-19 モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS62143811A true JPS62143811A (ja) 1987-06-27
JPH0159209B2 JPH0159209B2 (2) 1989-12-15

Family

ID=17678847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP28446285A Granted JPS62143811A (ja) 1985-12-19 1985-12-19 モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS62143811A (2)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5460793A (en) * 1993-05-07 1995-10-24 Japan Energy Corporation Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5460793A (en) * 1993-05-07 1995-10-24 Japan Energy Corporation Silicide targets for sputtering and method of manufacturing the same
US5618397A (en) * 1993-05-07 1997-04-08 Japan Energy Corporation Silicide targets for sputtering

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0159209B2 (2) 1989-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4334616B2 (ja) 湿式粒状化による投与単位体を製造する方法
US4992235A (en) Method for producing thermoelectric elements
JP2002501440A (ja) 予備合金化された、銅含有粉末およびダイヤモンド工具の製造におけるその使用
JPS62143811A (ja) モリブデン或いはタングステンシリサイドの合成方法
JP3146593B2 (ja) 高強度セメントの製造方法
JPS63227771A (ja) 高純度チタンシリサイドからなるスパツタリング用タ−ゲツト及びその製造方法
JPS59100233A (ja) 歯科用アマルガム調製用の片状母合金の製造方法
JP2004075467A (ja) ホウ素亜酸化物粉末およびその焼結体の製造方法
JP2542566B2 (ja) スパツタリング装置用タ−ゲツトの製造方法
JPH0681076A (ja) βＦｅＳ▲ｉ２▼の製造方法
JPH04124201A (ja) タングステン合金粒およびその製造方法
JPH05147909A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPH0247261A (ja) シリサイドターゲットおよびその製造方法
JPH02247379A (ja) シリサイドターゲットの製造方法
JPH0767541A (ja) 打錠ガム
JPS55125240A (en) Sintering method for finely powdered starting material for iron manufacture
JPS6317210A (ja) 窒化アルミニウム粉末の製造方法
JPS62171911A (ja) モリプデン或いはタングステンシリサイドの製造方法
JP3164986B2 (ja) チタン酸カリウム焼結体の製造方法
JPH04371536A (ja) ＴｉＡｌ系金属間化合物粉末の製造方法
JPH07133157A (ja) 導電性セラミックス及びその製造方法
JPH01247510A (ja) 金属間化合物の製造方法、熱電素子の製造方法及び熱電素子
JP2558391B2 (ja) 打錠用粉末ガムの製法
JP2544017B2 (ja) 粉末冶金用銅粉の製造方法
JP3580045B2 (ja) メラミン樹脂成形材料の製造方法