JPS62148082A - ベ−パ−リフロ−式はんだ付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ベーパーリフロー式はんだ付け装置に係り、
プリント配線板、特に４方向に平面的に電極端子を取り
出した、いわゆるフラットパックの素子、抵抗、コンデ
ンサ等の半導体チップ部品を用いた高密度実装プリント
配線板のはんだ付けに好適なベーパーリフロー式はんだ
付け装置に関するものである。

〔発明の背景〕

近年、プリント配線板への電子部品の高密度実装がます
ます進んでいるが、プリント配線板へ半導体チップなど
電子部品を接着するはんだ付け作業はラインの最終工程
に当たるため、はんだ付けの良否が電子部品性能を左右
することがら、はんだ付け技術はラインの中でももっと
も重要技術とみられるに至った。

最近では、はんだ付け作業を行う炉内の温度分布の均一
性を高め、かつ電子部品に対する有害な過熱を避ける必
要性から、対空気比重の大きい蒸気を熱媒体として用い
、その凝縮潜熱を利用して被処理物を加熱するペーパー
リフロー（蒸気再溶融）式はんだ付け装置が注目されて
いる。

この装置は、例えば特開昭６０−１０６５０２号公報記
載のように、プリント配線板のはんだパターン上に電子
部品を搭載し、このプリント配線板を前述のように対空
気比重の大きい熱媒体の飽和蒸気中に通すことによって
はんだを加熱溶融し、電子部品をプリント配線板上には
んだ付けする、ベーパーリフロー槽とよばれる蒸気槽を
備えたはんだ付け装置である。

このような蒸気槽で使用される熱媒体は、ふっ素糸不活
性有機剤などで、その飽和蒸気は、適用温度および圧力
下において、例えばその分子量が約８２０グラム１モル
といったように、対空気比重が約２０倍になるものがあ
る。このように熱媒体は非常に高価であり、使用済みの
蒸気を回収して再使用に供するための回収装置が種々工
夫されている。

まず、第８図を参照して、従来の代表的な、ベルトコン
ベアを用いた横形ベーパーリフロー式はんだ付け装置に
ついて説明する。

第８図は、従来のベーパーリフロー式はんだ付け装置の
構成図である。

第８図において、１は、熱媒体１１を沸騰加熱させる蒸
気発生槽１ａと被処理物のはんだを加熱溶融させる炉槽
部とを一体の槽で形成した蒸気槽、２′は、被処理物と
係るはんだ付け部材１３を蒸気槽１に搬入する搬入側搬
送路、３′は、処理されたはんだ付け部材１３を搬出す
る搬出側搬送路、４は、その搬送用のコンベアである。

５は、蒸気槽１の下部、すなわち蒸気発生槽１ａ部に設
けた加熱ヒータ、６は、蒸気槽１の上部に設けた上部冷
却コイル、７は、搬入側搬送路２′の外周に設けた搬入
側冷却コイル、８は、搬出側搬送路３′の外周に設けた
搬出側冷却コイル、９は搬入側排気口、１０は搬出側排
気口である。

このように構成されたベーパーリフロー式はんだ付け装
置の作用を説明する。

蒸気槽１の底部すなわち蒸気発生器に溜っている熱媒体
１１に浸った加熱ヒータ５により佛騰蒸発した熱媒体の
飽和蒸気１２は、蒸気槽１の上部に上昇し、その高さは
上部冷却コイル６の凝縮作用により制御される。

搬入側搬送路２′および搬出側搬送路３′に流入した飽
和蒸気１２は、搬入側冷却コイル７および畿出側冷却コ
イル８により冷却されて、蒸気量は次第に低減する。わ
ずかに残った蒸気は搬入側排気口９および搬出側排気口
１０から大気に排気される。

一方、プリント配線板へ電子部品をはんだ付けする被処
理物、すなわちはんだ付け部材１３は。

コンベア４により搬入側搬送路２′に搬入され、飽和蒸
気１２に接触して次第に加熱され、蒸気槽１内に入り、
飽和蒸気１２の凝縮潜熱ではんだは加熱溶融されて部材
同志がはんだ付けされる。

このとき、飽和蒸気１２の一部は凝縮液化して落下し、
蒸気槽１の下部すなわち蒸気発生槽１ａの低部に溜まる
。

処理の終ったはんだ付け部材１３は、搬出側搬送路３′
に入り、次第に冷却されて装置から搬出される。

このようなベーパーリフロー式はんだ付け装置において
、以下のような問題点が生じる。

１）搬送路の出入１１にはコンベア４が通っていて、被
処理物であるはんだ付け部材１３を出入させるために、
どうしても開口部が必要である。このために、開口部か
ら熱媒体の飽和蒸気１２が大気に漏洩する。

熱媒体は一般にきわめて高価なものであるから、その飽
和蒸気の漏洩はランニングコストの上昇をもたらすとと
もに、熱媒体は蒸気中に微量であるが毒性、腐食性ガス
を含有するので安全性上も問題となる。

２）蒸気槽１内ではんだ付けの終了したはんだ付け部材
１３は、搬出側搬送路３の蒸気中に含まれる空気の熱伝
達と冷却された搬送路との輻射伝熱により冷却されるも
のであるが、これらは熱伝達量が少ないので搬出側搬送
路３すなわち冷却通路が長くなる。

したがって、はんだ付け部材１３のはんだが固まるまで
の搬送時間が長くなり、その間、コンベア４の振動や蒸
気流の影響ではんだ付け個所が動く危険性がある。この
ようなことから、はんだ付け作業量に制限があったり、
一方では搬出側搬送路３が長大となるためにはんだ付け
装置全体が大形化する問題があった。

〔発明の目的〕

本発明は、前述の従来技術の問題点を解決するためにな
されたもので、被処理物のはんだ付け後の冷却を効率よ
く行い、そのはんだ付け部の冷却に用いて態度上昇した
熱媒体の熱量を、被処理物の予熱に熱回収するとともに
、熱媒体の飽和蒸気の漏洩を少なくした、ランニングコ
ストが低く、信頼性の高いベーパーリフロー式はんだ付
け装置の提供を、その目的としている。

〔発明の概要〕

本発明に係るベーパーリフロー式はんだ付け装置の構成
は、被処理物に熱媒体の飽和蒸気を接触させ被処理物の
はんだを加熱溶融させてはんだ付けを行うべき蒸気槽と
、この蒸気槽に被処理物を搬入、搬出するための搬送路
とを備えた蒸気加熱式はんだ付け装置において、搬出側
搬送路に、はんだ付けを終った被処理物を冷却するため
の低温熱媒体の液霧発生手段を設け、前記被処理物の冷
却にともなって加熱され高温となった高温熱媒体を、搬
入側搬送路における被処理物の予熱手段とを参照して説
明する。

まず、第１図は、本発明の一実施例に係るベーパーリフ
ロー式はんだ付け装置の構成図、第２図は、第１図のＡ
−Ａ矢視断面図であり、図中、第８図と同一符号のもの
は従来技術と同等部分であるから、その説明を省略する
。

第１，２図の実施例は、搬出側搬送路に熱媒体の液霧発
生手段を設け、搬入側搬送路の開口部にエアカーテン装
置を装備して熱回収する例である。

搬入側搬送路２の入口の開口部１４に装備したエアカー
テン装置１５の詳細を第２図に示す。

第２図において、１６は、エアカーテンを形成する循環
空気流を吹き出す吐出ノズル、１７は、その空気流を吸
い込む吸込みノズル、１８は、循環空気流を生成せしめ
る電動機付きファン、１９は、循環空気流と、後述する
搬出側搬送路３における熱媒体の酸霧発生により生じた
高温熱媒体と熱交換させるための熱交換器である。

２１は、熱交換器１９と吐出ノズル１６とを連通ずる空
気循環のためのダクト、２２は、吸込みノズル１７と電
動機付きファン１８設置部とを連通ずる空気循環のため
のダクトである。

２４は、搬出側搬送路３の上壁に設けた噴霧ノズルに係
る上方液ノズル、２５は、搬出側搬送路３の下壁に設け
た噴震ノズルに係る下方液ノズルで、これら上方液ノズ
ル２４．下方液ノズル２５で、はんだ付けを終ったはん
だ付け部材１３を冷却するための低温熱媒体の液−発生
手段を構成している。すなわち、上方液ノズル２４．下
方液ノズル２５から低温の熱媒体液を噴出し液状カーテ
ンを形成するようになっている。

なお、本実施例に用いる酸霧発生のための熱媒体は、蒸
気槽内ではんだ付けを行うためのはんだ加熱用の熱媒体
１１と同種のものである。

２６は、液状カーテンによってはんだ付け部材１３を冷
却するにともなって高温になった熱媒体液を受ける搬出
側液溜り、２７は循環ポンプ、２８′は、循環ポンプ２
７を備えた熱媒体循環路に係る配管で、前記搬出側液溜
り２６とエアカーテン装置１５の熱交換器１９とを接続
する配管、２９′は、熱媒体循環路に係る配管で、前記
熱交換器１９と上方液ノズル２４．下方液ノズル２５と
を接続する配管である。

このような構成の本実施例のベーパーリフロー式はんだ
付け装置の作用を説明する。

蒸気槽１で熱媒体の飽和蒸気１２によって加熱され、は
んだの再溶融によってはんだ付けされた被処理物に係る
はんだ付け部材１３は、搬出側搬送１６Ｉ３に入ると、
上方液ノズル２４および下方液ノズル２５によって形成
される低温熱媒体の液状カーテンにより冷却される。は
んだ付け部材１３から熱を奪った熱媒体は、温度上昇し
て搬出側液溜り２６に溜まる。

この高温熱媒体液は循環ポンプ２７により配管２８′を
介して搬入側搬送路２の開口部１４に装備されたエアカ
ーテン装置１５の熱交換器１９に送られて、エアカーテ
ンの循環空気流によって冷却される。

冷却した低温熱媒体液は、配管２９′を介して搬出側搬
送路３における液霧発生手段すなわち上方液ノズル２４
．下方液ノズル２５に戻って、以下循環を繰り返す。

一方、エアカーテン装置１５では、熱交換器１９で加熱
された循環空気流は、ダクト２１を通って吐出ノズル１
６に達し、搬入側搬送路２の人口の開口部１４の前面で
、整流加速されてエアカーテンを形成し、搬入側搬送路
２を搬送されるはんだ付け部材１３を加熱する。この加
熱は、はんだ付け部材１３が、蒸発槽１内で加熱処理さ
れる前の予熱として機能する。

温度の低下した空気は吸込みノズル１７に吸い込まれ、
ダクト２２を通り、電動機付きファン１８によって加速
、加圧されて循環を繰り返す。

本実施例によれば、次のような効果がある。

１）被処理物に係るはんだ付け部材１３が、熱媒体の飽
和蒸気１２ではんだの融点まで加熱されたのち、低温の
熱媒体で急に凝固点以下に冷却されるので、熱容量のあ
る電子部品ははんだの融点に達することなく、熱的影響
が少ない。また、その下流に設けられる搬出側搬送路３
の長さも短くてよく、経済的に有利な小形な装置となる
。

２）液状のカーテンが搬送路をふさぎ、また、液状カー
テンの温度は飽和蒸気１２より低いので、蒸気４！１か
ら搬出側搬送路に流動した蒸気は、液状カーテンを形成
している低温熱媒体液に凝縮する。

したがって、熱媒体の飽和蒸気１２に対するシール効果
があり、はんだ付け装置から大気への熱媒体の蒸気の漏
洩は低減され、高価な熱媒体の消耗が少なく、ランニン
グコストの低減と安全性の向上を図ることができる。

３）搬出側搬送路３におけるはんだ付け部材１３の冷却
にともなって加熱された熱媒体を、搬入側搬送路２にお
けるはんだ付け部材１３の予熱に熱回収するので、省エ
ネルギーを達成することができる。

次に、本発明の他の実施例を第３図を参照して説明する
。

ここに第３図は、本発明の他の実施例に係るベーパーリ
フロー式はんだ付け装置の構成図で、図中、第１図と同
一符号のものは、先の実施例と同等部分であるから、そ
の説明を省略する。

第３図の実施例は、搬出側に液状カーテンを設け、搬入
側の液状カーテンにより熱回収する場合の例を示したも
のであり、先の第１，２図に示した搬入側のエアカーテ
ン装置１５に変わって、散霧発生手段を設けている。

第３図において、３０は、搬入側搬送路２の土壁に設け
た噴霧ノズルに係る上方液ノズル、３１は、搬入側搬送
路２の下壁に設けた噴霧ノズルに係る下方液ノズルで、
これら上方液ノズル３０゜下方液ノズル３１で、はんだ
付け部材１３を予熱するための高温熱媒体の液霧発生手
段を構成している。すなわち、上方液ノズル３０．下方
液ノズル３１から高温の熱媒体液を噴出し液状カーテン
を形成するようになっている。

なお、本実施例に用いる液状カーテン発生のための熱媒
体は、蒸気槽１内ではんだ付けを行うためのはんだ加熱
用の熱媒体１１と同種のものである。

３２は、液状カーテンによってはんだ付け部材１３を予
熱するにともなって低温となった熱媒体液を受ける搬入
側液溜り、３３は冷却用循環ポンプである。

なお、２８は、循環ポンプ２７を備えた熱媒体循環路に
係る配管で、搬出側液溜り２６と搬入側の上方液ノズル
３０．下方液ノズル３２とを接続する配管、２９は、冷
却用循環ポンプ３３を備えた熱媒体循環路に係る配管で
、搬入側液溜り３２と搬出側の上方液ノズル２４．下方
液ノズル２５とを接続する配管である。

はんだ付け部材１３の冷却と蒸気槽１からの飽和蒸気に
より加熱された搬出側液溜り２６に溜った高温の熱媒体
は、循環ポンプ２７により配管２８を介して搬入側搬送
路２に設けた上方液ノズル３０．下方液ノズル３１に送
られ、搬入側搬送路２内に噴出した液状カーテンを形成
する。

液状のカーテンによりはんだ付け部材１３を予熱して温
度が低くなった低温熱媒体液は搬入側液溜り３２に溜ま
り、冷却用循環ポンプ３３により配管２９を介して搬出
側搬送路に設けた上方液ノズル２４．下方液ノズル２５
に送られ、以下循環を繰り返す。

第３図の実施例によれば、先の第１，２図の実施例で述
べたと同様の効果が期待されるほか、はんだ付け部材１
３の予熱および冷却は、いずれも搬送路の土壁、下壁か
ら同時に行われるので、温度差によるはんだ付け部材の
熱変形を最小限にでき、はんだ付け部材１３の信頼性を
高めることができる。

次に、本発明のさらに他の実施例を第４図を参照して説
明する。

ここに第４図は、本発明のさらに他の実施例に係るベー
パーリフロー式はんだ付け装置の構成図で、図中、第３
図と同一符号のものは、第３図の実施例と同等部分であ
るから、その説明を省略する。

第４図の実施例は、搬出側に温度の異なる２段の液状カ
ーテンを設け、搬入側の２段の液状カーテンにより異な
る温度で熱回収する例を示したものである。

第５図において、３４は、搬出側搬送路３の土壁に設け
た噴霧ノズルに係る上方液ノズル、３５は、搬出側搬送
路３の下壁に設けた噴震ノズルに係る下方液ノズルで、
これらで低温熱媒体の第２の散霧発生手段を構成してい
る。すなわち、第１の液霧発生手段を構成する上方液ノ
ズル２４．下方液ノズル２５から噴出する液状カーテン
とは温度の異なる第２の液状カーテンを形成するように
なっている。

３６は搬出側液溜り、３７は第２の循環ポンプ、３８は
、熱媒体循環路に係る配管である。

一方、３９は、搬入側搬送路２の上壁に設けた噴霧ノズ
ルに係る上方液ノズル、４０は、搬入側搬送路３の下壁
に設けた噴霧ノズルに係る下方液ノズルで、これらで高
温熱媒体の第２の液霧発生手段を構成している。すなわ
ち、被処理物の第１の予熱手段を構成する上方液ノズル
３０．下方液ノズル３１から噴出される液状カーテンと
は温度の異なる第２の予熱手段を形成するようになって
いる。

４１は搬入側液溜り、４２は第２の冷却用循環ポンプ、
４３は、熱媒体循環路に係る配管である。

第４図の実施例の装置は、第３図に示した装置の搬出側
９ｍ入側に、それぞれ第２の液状カーテンを設けたもの
で、その作用２機能は特に説明するまでもない。

第４図の実施例によれば、前述の各実施例と同様の効果
が期待されるほか、温度レベルの異なる２段の液状カー
テンを採用することによって、はんだ付け部材１３に対
して、予熱、冷却の両面で理想的な温度変化を与えるこ
とが可能となり、はんだ付けの品質と、はんだ付け部材
の信頼性向上を図ることができる。

なお、液状カーテンをさらに多段に設けることは容易に
考えられ、装置の構成２機能も同様であり、液状カーテ
ンの段数は設計上の問題であるから、３段以上の多段に
ついては図示説明を省略する。

次に５本発明のさらに他の実施例を第５図および第６図
を参照して説明する。

ここに第５図は、本発明のさらに他の実施例に係るベー
パーリフロー式はんだ付け装置の構成図、第６図は第５
図のＢ−Ｂ矢視断面図で、図中、第１図ないし第３図と
同一符号のものは、それら各実施例と同等部分であるか
ら、その説明を省略する。

第５，６図の実施例は、第３図に示した実施例の搬送路
の出入口となる開口部にエアカーテン装置１５′を装備
した例を示すものである。

エアカーテン装置１５′は、第６図に詳細に示すように
、吐出ノズル１６．吸込みノズル１７゜電動機付きファ
ン１８．熱媒体冷却器２０．ダクト２１．２２から構成
されている。

電動機付きファン１８で加速、加圧された空気は、第６
図に矢印で示すように、熱媒体冷却器２０、ダクト２１
を通って吐出ノズル１６に達し、ここでさらに整流加速
されて開口部１４の前面を流れてエアカーテンを形成す
る。

このエアカーテンによって、蒸発槽１から搬送路（図で
は搬入側搬送路２）の開口部１４へ流動してきた熱媒体
の飽和蒸気１２は開口部１４から外気に漏洩することを
遮断され、一部の飽和蒸気はエアカーテンの循環空気流
に混入する。

吸込みノズル１７に吸い込まれた熱媒体の飽和蒸気を含
んだ空気はダクト２２を通って、再び電動機付きファン
１８に加速、加圧され、熱媒体冷却器１９で冷却された
のちダクト２１に送られ以下循環を繰り返す。

熱媒体冷却器２０で冷却される際、空気中に含まれた熱
媒体の飽和蒸気は凝縮液化して熱媒体溜り２３に溜まる
。熱媒体溜まり２：３に溜まった液化熱媒体は、その量
を適宜監視し、ある程度溜まったところで、特ら図示し
ないが戻り配管を介して蒸気発生槽１ａの熱媒体貯溜部
に回収する。

なお、第６図では、搬入側搬送路２の開口部１４におけ
るエアカーテン装置について説明したが、搬出側搬送路
３側の開口部についても全く同様である。

第５，６図の実施例によれば、第１図ないし第３図の各
実施例で説明したと同様の効果が期待されるほか、搬送
路の開口部に、熱媒体回収手段を備えたエアカーテン装
置１５′を装備したので、搬送路の開口部から大気への
熱媒体の漏洩はほとんど無くなり、ランニングコストの
低減と安全性向上を図ることができる。

前述の各実施例では、液状カーテン発生のための熱媒体
は、蒸気槽１内ではんだ付けを行うための熱媒体１１と
同種のものである場合を説明したが１両者の熱媒体が異
なる場合の実施例を、第７図を参照して説明する。

ここに第７図は、本発明のさらに他の実施例に係るベー
パーリフロー式はんだ付け装置の構成図であり、図中、
第３図と同一符号のものは、第３図の実施例と同等部分
であるから、その説明を省略する。

第７図において、４４は、液状カーテン発生のための熱
媒体とはんだ加熱用の熱媒体とを分離するための分離装
置、４５は、分離したはんだ加熱用の熱媒体を蒸気発生
槽１ａへ回収する戻り配管である。

蒸気槽１で使用される熱媒体１１の飽和蒸気１２は、対
空気比重の大きい非常に高価なものである。そこで、液
状カーテンを発生させるための熱媒体をはんだ加熱用熱
媒体より安く、比重差の異なるものを使用してランニン
グコストの低減を図るようにしたのが、第７図の実施例
である。

搬出側搬送路３で液状カーテンを形成し、はんだ付け部
材１３を冷却し、搬出側液溜り２６に溜まった熱媒体４
６には、はんだ加熱用熱媒体の飽和蒸気１２が液化混入
している。この熱媒体４６は、循環ポンプ２７を有する
配管２８を介して搬入側搬送路２の上方液ノズル３０．
下方液ノズル３１に送られるが、分離袋Ｗｔ４４におい
て、熱媒体の比重差を利用して液状カーテンを発生させ
るための熱媒体とはんだ加熱用熱媒体とを分離し、はん
だ加熱用熱媒体を戻り配管４５を介して蒸気発生槽１ａ
の熱媒体貯溜部に戻す。

第７図の実施例によれば、先の第１図ないし第３図の各
実施例で述べたと同様の効果が期待されるほか、液状カ
ーテンを発生させるための熱媒体を、はんだ加熱用熱媒
体より廉価なものを採用できるので、ランニングコスト
の低減を図ることができる。

また、液状カーテンを発生させるための熱媒体として、
はんだ加熱用熱媒体を溶解するものを選定すれば、はん
だ付け部材１３に付いた液状の熱媒体を溶解して取り除
くことができ、熱媒体液が着いたままはんだ付け部材が
搬出されることがなく、高価なはんだ加熱用の熱媒体１
１の消耗を防ぎ、ランニングコストの低減を図ることが
できる。

なお、第７図以外の他の各実施例についても、分離装置
を設けて、液状カーテンを発生させるための熱媒体とは
んだ加熱用熱媒体とを異なるものを適用できることはい
うまでもない。

また、前述の各実施例では、搬出、ｍ人各搬送路に設け
る液霧発生手段を、上方、下方液ノズルとし、液状カー
テンを形成する例について説明したが、本発明は、液状
カーテンの形成に限るものではなく、噴震ノズルにより
熱媒体のミストを発生させても全く同様の効果をあげる
ことができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、被処理物のはんだ
付け後の冷却を効率よく行い、そのはんだ付け部の冷却
に用いて温度上昇した熱媒体の熱量を、被処理物の予熱
に熱回収するとともに、熱媒体の飽和蒸気の漏洩を少な
くした、ランニングコストが低く、信頼性の高いベーパ
ーリフロー式はんだ付け装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係るベーパーリフロー式
はんだ付け装置の構成図、第２図は、第１図のＡ−Ａ矢
視断面図、第３図は、本発明の他ノ実施例に係るベーパ
ーリフロー式はんだ付け装置の構成図、第４図および第
５図は、いずれも本発明のさらに他の実施例に係るベー
パーリフロー式はんだ付け装置の構成図、第６図は、第
５図のＢ−Ｂ矢視断面図、第７図は、本発明のさらに他
ノ実施例に係るベーパーリフロー式はんだ付け装置の構
成図、第８図は、従来のベーパーリフロー式はんだ付け
装置の構成図である。 １・・・蒸気槽、１ａ・・・蒸気発生槽、２・・・搬入
側搬送路、３・・・搬出側搬送路、４・・・コンベア、
１１・・・熱媒体、１２・・・飽和蒸気、１３・・・は
んだ付け部材、１４・・・開口部、１５．１’５’・・
・エアカーテン装！。 １９・・・熱交換器、２０・・・熱媒体冷却器、２４゜
３０．３４．３９・・・上方液ノズル、２５，３１．。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被処理物に熱媒体の飽和蒸気を接触させ被処理物の
   はんだを加熱溶融させてはんだ付けを行うべき蒸気槽と
   、この蒸気槽に被処理物を搬入、搬出するための搬送路
   とを備えたベーパーリフロー式はんだ付け装置において
   、搬出側搬送路に、はんだ付けを終つた被処理物を冷却
   するための低温熱媒体の液霧発生手段を設け、前記被処
   理物の冷却にともなつて加熱され高温となつた高温熱媒
   体を、搬入側搬送路における被処理物の予熱手段として
   熱回収するように構成したことを特徴とするベーパーリ
   フロー式はんだ付け装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、搬入側
   搬送路における被処理物の予熱手段として、搬入側搬送
   路の入口となる開口部にエアカーテン装置を装備し、こ
   のエアカーテンの循環空気流と搬出側搬送路における熱
   媒体の液霧発生により生じた高温熱媒体とを熱交換させ
   るように、熱媒体循環路を設けたことを特徴とするベー
   パーリフロー式はんだ付け装置。 ３、特許請求の範囲第１項記載のものにおいて、搬入側
   搬送路における被処理物の予熱手段として、搬入側搬送
   路に高温液媒体の液霧発生手段を設け、被処理物を予熱
   して冷却された低温熱媒体を、搬出側搬送路における低
   温熱媒体の液霧発生手段に還流するように熱媒体循環路
   を設けたものであるベーパーリフロー式はんだ付け装置
   。 ４、特許請求の範囲第３項記載のものにおいて、搬出側
   搬送路における低温熱媒体の液霧発生手段と搬入側搬送
   路における高温熱媒体の液霧発生手段とを、それぞれ複
   数段設けたものであるベーパーリフロー式はんだ付け装
   置。 ５、特許請求の範囲第３項記載のものにおいて、搬送路
   の出入口となる開口部に、熱媒体回収手段を備えたエア
   カーテン装置を装備したものであるベーパーリフロー式
   はんだ付け装置。 ６、特許請求の範囲第１項ないし第５項記載のものにお
   いて、熱媒体の液霧発生手段は、蒸気槽におけるはんだ
   加熱用熱媒体と同じ熱媒体によるミストまたは液状カー
   テンを発生させる噴霧ノズルを備えたものであるベーパ
   ーリフロー式はんだ付け装置。 ７、特許請求の範囲第１項ないし第５項記載のものにお
   いて、熱媒体の液霧発生手段に用いる熱媒体は、はんだ
   加熱用熱媒体と異なるものとし、搬出側搬送路における
   液霧発生手段と搬送側搬送路における液霧発生手段とを
   接続する熱媒体循環路に、前記の両熱媒体を分離する熱
   媒体分離装置を設け、分離したはんだ加熱用熱媒体を蒸
   気槽に回収するように構成したものであるベーパーリフ
   ロー式はんだ付け装置。