JPS62149318A

JPS62149318A - 室内清浄化方法及び装置

Info

Publication number: JPS62149318A
Application number: JP60290889A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Izumi; 泉　正彦
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1985-12-25
Filing date: 1985-12-25
Publication date: 1987-07-03

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、空気１立方フィート当り２００万個以上、好
ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個
以上の超微細水滴を含有した空気によって室内を清浄化
する方法及び装置に関するものである。

従来の室内清浄化は、単に汚れた空気を吸引してフィル
ターで濾過するシステムを採用しており、これでは大き
な塵が除去されるにすぎず、菌類を除去することは不可
能であった。つまり、除塵、除菌を同時に行うことので
きる超クリーンな極めて衛生的な状態を作り出す室内清
浄化方法は知られていないのである。

本発明は上記した技術の現状に鑑みてなされたものであ
って、除塵のみでなく除菌も可能な従来未知の全く新し
いタイプの超高性能室内清浄化方法を提供するためにな
されたものである。

本発明は、室内の空気を吸引し、該空気を水噴射装置に
送り、該水噴射装置内では噴射管に多数設けられた直径
０．２〜８１、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルから
ゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｄ、好ましくは０．５〜
２．５ｋｇ／−で水を噴射させ、ノズルから１０〜１５
０ｃｍはなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細
水滴を発生させ１粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴
を１立方フィート当り２００万個以上。

好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気を得、得られた超微細水滴含有空気
を前記室内に送入することを特徴とする室内清浄化方法
である。

そして１本発明は、室内の空気吸引管、及び、水噴射装
置内の中心部に設置した噴射管の周囲に多数設けられた
直径０．２〜８■鵬、好ましくは０．５〜３ｍｎ＋のノ
ズルからゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ましく
は０．５〜２．５ｋｇ／ａｌｔで水を噴射させ、ノズル
がら１０〜１５０ｃ＋ａはなれた水噴射装置内部の側部
に衝突させてきわめて多数の超微細水滴を発生させ、こ
こに空気導入管より空気を送り、粒径０．５ミクロン以
下の超微細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、
好ましくは５００万個以上、より好ましくは１０００万
個以上含有する空気を得る超微細水滴製造装置、及び、
超微細水滴含有空気送出管からなる室内清浄化装置に関
するものである。

本発明においては、水噴射装置内の噴射管に多数設けら
れた直径０．２〜８−騰、好ましくは０．５〜３ｍｍの
ノズルからゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａ１、好まし
くｔｔ　ｏ、ｓ〜２．５ｋｇ／ｃｍ２で水を噴射させ、
ノズルがら１゜〜１５０ｃｍはなれた側部に衝突させて
きわめて多数の超微細水滴を発生させここに空気を送り
、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を空気１立方フ
ィート当り２００万個以上、好ましくは５００万個以上
、より好ましくは１０００万個以上含有する空気を得る
ことを必須要件としている。

すなわち、本発明においては、水噴射装置内の噴射管に
は多数の、例えば３０ケ〜１５００ケの直径０．２〜８
＋ｍｓ＋、好ましくは０．５〜３■−のノズルが設けら
れる。水は高い圧力でポンプによって送られ、ゲージ圧
０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ましくは０．５〜２．５
ｋｇ／ａ１１で水を各ノズルから噴射させるが水の量は
１ケのノズル当り１〜３７ｍ／分もの大量の水が噴射さ
れる。水はノズルから１０〜１５０ｃ園はなれた側壁に
衝突させてきわめて多数の超微細水滴を発生させるが、
ここに空気を風速１５〜５０ｍ／ｓｅｃ程度で風量３〜
３０００　ｒｒｒ／ｗｉｎの目安で送り込み１粒径０．
５ミクロン以下の超微細水滴を１立方フィート当り２０
０万個以上、好ましくは５００万個以上、より好ましく
は１０００万個以上含有する空気を得るものである。

次に、本発明方法を実施するための装置の数例を図示し
た図面を参照しながら１本発明方法を詳述する。

先ず第１図を参照されたい、この装置は、本発明を実施
するための最も基礎的なものであって、水噴射装置１の
壁近くに噴射管２を設け、これには多数の水噴射ノズル
３を設ける。これらのノズル３は、対向する側面に設け
たノズルの位置とは少しずらして交互に配置し、相対す
るノズルを直線上に配置しないようにするのがよい、ノ
ズルは３０ケ〜１５００ケ設けられ、直径は０．２〜８
ｍｍ、好ましくは０．５〜３＋ｕ＋で、水はゲージ圧０
．３〜５．５ｋｇ／ｃ１１゜好ましくは０．５〜２．５
ｋｇ／ｃｍ２で１０〜１５０ｃｍはなれた向うの壁に噴
射される。

噴射された水は、対向する側面に衝突して超微細水滴と
なり、水噴射装置１内はこの超微細水滴で充満される。

水噴射装置ｌｌ内には送入口４がら空気を風速１５〜５
０ｍ／ｓｅｅ程度、風量３〜３０００ｎ？／■ｉｎ程度
で送り込み、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を１
立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００万
個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する空気
とし、これを送出口５から取出す。

送出口５を出た超微細水滴を含む空気は大きな水滴を含
むことがあるので、サイクロン６の接線方向大ロアから
サイクロン６に送入し、大きな水滴を除去して送気管８
から取り出すものである。取り出された超微細水滴を含
む空気はそれぞれの室に送って、水噴射装置に帰し、循
環させるものである。

第４図乃至第９図は、更に効率よく、しかも温度コント
ロールした超微細水滴浮遊気体を製造するための装置で
ある。

水噴射装置４０の円筒部４１内には、冷凍装置の蒸発管
４７が配置されている。蒸発管４７とノズル４５との位
置関係は、相互に完全にずらしてもよいし。

また少しずらしてもよく、また噴射ノズル４５からの水
が蒸発管４７に対して垂直に噴射状態で吹き付けられる
ように配置されている。ノズルは３０ケ〜ｔｓｏｏケ程
度設けられ、直径は０．２〜８ｍｍ、好ましくは０．５
〜３■で、水はゲージ圧０．３〜５　、５ｋｇ／　ｃｔ
ｌ、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａＪで、水の量は
１ケのノズル当り１〜３Ｑ／分の量で噴射される。ノズ
ルから側壁までは１０〜１５０ｃｍはなして設けられる
。水噴射装置の円錐部５１の下端部には、濾過袋！４８
、水タンク４９、ポンプ５０が順次設けられている。従
って、冷水は矢印Ｂの方向、すなわちポンプ５０、循環
管４６、噴射管４４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５
１、濾過装置４８、水タンク４９、ポンプ５０、の順序
で循環させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃〜−５℃
）は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。空気は
、矢印Ａの方向にしたがって入口４２を通って水噴射装
置内に送り込まれ、水噴射装置内で超微細水滴を含有す
ると同時に冷却されて目的とする空気となり出口管４３
を通ってそれぞれの目的に使用される。噴射管４４に設
けたノズル４５からゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ１０Ｊ
、好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａｌで水を噴射させ
、ノズルから１０〜１５０ｃ＋ａはなれた冷凍装置の蒸
発管４７及び／又は円筒部４１の側壁に衝突せしめると
（Ｅ）、超微細水滴が発生しくそれとともに、蒸発管４
７と衝突した水流はこの管４７内を通る冷媒と熱交換を
行い、冷却される）、且つ水滴は冷却される。このよう
な雰囲気中空気を風速１５〜５０ｍ／ｓｅｅ程度で風量
３〜３０００ｍ／ｗｉｎの目安で矢印Ａにしたがって通
過せしめると、この空気は超微細水滴を含有するととも
に冷却された水滴と熱交換を行ってそれ自体は冷却され
、０．５ミクロン以下の超微細水滴を１立方フィート当
り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、より好
ましくは１０００万個以上含有する空気とするものであ
る。この際、空気の循環による遠心作用により実質的に
０．５ミクロンより大きいものは分離されている。必要
によっては、サイクロンで除水滴することもできる。

第７図は、本発明方法を６４キロビットＲＡＭ量産工場
に対して実際に適用するためのトータルシステムを示し
た模式図である。上述したところにしたがって、水噴射
器［４０で製造された超微細水滴浮遊空気は、矢印Ａに
したがって除滴サイクロン並に送り込まれる。すなわち
観から出てきた気体は、除滴サイクロン利の側壁に切線
方向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この中を
循環している間に余分の水滴、大きな水滴を除去して０
．５μ以下の超微細水滴を９０％以上浮遊せしめた気体
に調製して、サイクロン並の中央部に設けた出口管から
これを取り出す。

このようにして取り出された超微細水滴浮遊空気は、実
質的に０．５ミクロンより大きいものを除くためにフィ
ルターＦを有するパイプＰを通ってエアーシャワールー
ム並に送られて、更には隣接する超クリーンルームＵで
作業する人々の洗滌を行なう、また上記超微細水滴浮遊
空気の一部は、直接超クリーンルームＵに送に送られて
、室内に塵埃を含まない清浄化した空気を送入するとと
もにＬＳＩに用いるシリコン板の洗滌にもこれを使用す
る。超クリーンルームｎで使用された空気は、そこから
取り出し、パイプＰ、ファンＦを介して水噴射装置組へ
戻し、このサイクルをくり返すのである。この方法によ
れば、超クリーンルーム内には１立方フイートの空間に
０．５μ以上の塵はわずか１個未満しかないという超ク
リーンな状態に保たれていることが判明した。ちなみに
、通常の工場では数万個の塵埃が浮遊しており、このこ
とからも、本発明による方法がいかにすぐれているかが
判るはずである。

また、第８図及び第９図に示されるように、除滴サイク
ロン並の次に熱交換器里を設け、これに超微細水滴浮遊
気体を通すことによって、空気を最適温度に上昇させる
ことができるものである。

熱交換器１００は次に説明される。即ち、缶体１０１の
中心部には空気排出管１０５を上下方向に設けてあり、
管体１０１外に設けた空気導管１０５′と連通ずる。

従って、空気取入管１０４よりの空気は缶体１０１内を
旋回しながら下方に達し空気排出管１０５の下部より上
昇して矢印方向に移動することになる。又管体１０１の
内部には外側配管１０６及び内側配管１０７を設けてあ
り、各配管１０６．１０７の下端は缶体１０１外に設け
たポンプ１０８と連通し、温水又は冷水を流通させ上部
排水口１０９．１１０より排水せられる。管内１０１の
上部及び下部には洗滌木管１１１の水噴出口１１１ａ、
１ｌｌｂ・・・を多数設けてあり、配管１０６及び配管
１０７の上下列の上方又は下方に望ませ、配管１０６゜
１０７及び缶体１０１の内面、空気排出管１０５の外面
に向けて洗滌水を噴出できるようにしである。又コーン
部１０２の下方には、排水管１１２′が設けられており
１缶内の洗滌水又は気体泳動によるドレイン等が排水で
きるようにしである。従って空気取入口１０４よりの空
気は缶１０１内でサイクロン効果によりごみ等を分離し
、配管１０６．１０７により適温に加熱又は冷却され、
適温となった空気は空気排出管１０５より送出される。

又分離したごみ等は洗滌水管１１１に通水し、ノズル１
ｌｌａ、１ｌｌｂ・・・より噴水させることにより洗い
去ることができるものである。

このように処理された空気はほぼ完全に０．５ミクロン
以下の超微細水滴を多量浮遊した状態となっているので
、これを用いて室内を処理することによってあらゆる物
を清浄化することができるのである。

次に、本発明の別の実施態様を示す。

第１０図を参照されたい。図中２０１は、研究室、事務
所、実験室、オフィス等の室（図示省略）内。

の空気の清浄化装置を示す。２０８は空気吸引管である
。２０３は、水噴射装置すなわち熱交換用サイクロンで
あり、該サイクロン２０３内には、冷凍機の蒸発管２３
０が配置されており、その円筒部２３１上部に空気人口
２３２が接線方向に設けられている。

円筒部２３１の中央には上方から出口管２１１が下方に
伸長して設けられ、出口管２１１にはそれと同軸に冷水
噴射管２１２が出口管２１１を囲んで配置されている。

噴射管２１２には噴射ノズル２１３が多数設けられてい
る。蒸発管２３０と噴射ノズル２１３との位置関係は噴
射ノズル２１３からの水が蒸発管２３０及び／又は円筒
部内壁に対して噴射状態で吹き付けられて超微細な水滴
が形成されるように配置されている。

更に、出口管２１１の上方にはファン２０６が配置され
ており、出口管２１１内の空気を吸引し、空気の流れ、
を促進している。サイクロン２０３の円錐部２３３の・
下端部には水タンク２０５、ポンプ２１７が設けられて
いる。従って、冷水は矢印Ｂの方向、すなわち、ポンプ
２１７→給水管２１４→噴射管２１２→サイクロン２０
３の円筒部２３１→その円錐部２３３→水タンク２０５
→濾過装置２１６→ポンプ２１７の順序で循環させられ
る。

冷媒、特に高温冷媒（約１℃〜−５℃）は矢印Ｃの方向
、すなわち冷凍機（図示省略）→冷却供給管２０９→蒸
発管２３０→冷却排出管２１０→冷凍機の順序で循環さ
せられる。

２０４は加熱調湿チャンバであり、該チャンバ２０４は
熱交換用サイクロン２０３の外周に配置されている６図
面では、熱交換用サイクロン２０３の出口管２１１から
排出された空気を下方に送り出すための環状空気通路２
１５がチャンバ２０４とサイクロン２０３との間に配置
されている。更に、環状空気通路２１５と加熱調湿チャ
ンバ２０４との間は断熱筒状体２０２によって仕切られ
ており、熱交換用サイクロン２０３及び環状空気通路２
１５と加熱調湿チャンバ２０４との間での熱の伝導を阻
止している。加熱調湿チャンバ２０４には換気扇２３４
が設けられ、加熱調湿空気を別室に送ることができるよ
うになっている。加熱調湿チャンバ２′ｏ４及び熱交換
用サイクロン２０３には内部の洗浄のために洗浄管２０
７が設けられている。加熱調湿チャンバ２０４内には加
熱管２１８が配置されており、加熱管２１８は冷凍機（
図示省略）の放熱管、ヒータ等の適当な加熱源に加熱供
給管２１９及び加熱排出管２２０を介して連絡されてい
る。

図中、　２２５．２２７．２２８はバルブを示し、矢印
Ａは空気の流れ方向を示し、矢印Ｂは冷却水の流れ方向
を示し、矢印Ｃは冷媒の流れ方向を示し、矢印Ｄは加熱
流体の流れ方向を示す。

第１１図は、第１０図の清浄化装置を更に改良した装置
を図示したものであり、冷凍機Ｒをヒートポンプとして
利用し、その冷却及び加熱システムを有効利用するのみ
でなく、放熱管の少なくとも一部１例えば加熱供給管２
１９の少なくとも一部を室の壁部Ｗから外部へ出して加
熱媒体を効率よく冷却するようにしたものである。特に
夏期のように室内の温度が高い場合には、出口管２１１
から排出される過湿空気を加熱調湿チャンバ２０４で処
理するに際して、強く加熱する必要はなく、単に除湿す
るに足りるだけ加熱すれば充分であるので、加熱供給管
２１９の少なくとも一部を戸外に出して冷却して、室内
に排出される空気の温度上昇を抑え。

室温の上昇をくい止め、空調効率を高めるのである。冷
却効率を更に高めるために、ファンＳを設けてもよい。

次に、上記清浄化装置２０１の作用について説明する。

室の空気は空気吸引管２０８から入り入口２３２より水
噴射装置（熱交換用サイクロン）２０３内に吹き込まれ
る。吹き込まれた空気は冷水の噴射により飽和相対湿度
にされると共に冷凍機Ｒの蒸発管２３０に直接接触して
冷却され、それと同時に超微細水滴が含有させられる。

本発明においては、噴射ノズル２１３は直径０．２〜８
ｍｍ、好ましくは０．５〜３＠１で、３０〜１５００ケ
設けられ水をゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ａＪ、好ま
しくは０．５〜２．５ｋｇ／−で各ノズルから噴射させ
るが水の量は１ケのノズル当り１〜３Ｑ１分もの大量の
水が噴射される。水はノズルから１０〜１５０ｃ＋＋＋
はなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細水滴を
発生させるが、ここに空気導入管より空気を風速１５〜
５０ｍ／ｓｅｃ程度で風量３〜３ＱＯＱボ／ｍｉｎの目
安で送り込み、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴を
１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５００
万個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する空
気を得るものである。

このようにして超微細水滴を生成し、蒸発管によって冷
却されかつほぼ飽和相対湿度にされた空気（例えば、約
７℃、湿度約１００％）は出口管２１１より送り出され
る。送り出された空気はファン２０６の作用により空気
の流れを促進され、環状空気通路２１５に送込まれ、下
方に向って流される。

熱交換用サイクロン２０３において空気の温度、湿度は
蒸発管２３０すなわち冷却機能の螺旋管及び噴霧する水
の温度によって調節されることは勿論である。環状空気
通路２１５を通って下方に進んだ空気はその下部に設け
られた連絡路２２１を通って加熱調湿チャンバ２０４に
送込まれる。連絡路２２１は断熱筒状体２０２の下部が
切欠かれることによって形成されている。加熱調湿サイ
クロン２０４に吹き込まれた空気は螺旋状の加熱管２１
８によって加熱される（例えば、約２０℃、湿度約６０
％）、このようにして、所定の温度及び所定の湿度に調
温調湿され、かつ超微細水滴を含む空気は空気送出管２
２２を通って室内へと送り込まれる。上記のようにして
室内の空気は循環させられるのである。

また、夏期等気温が高い季節においては、加熱チャンバ
２０４の加熱管２１＆に高温の加熱流体を流すと、出口
管２１１から排出される多湿空気の除湿のみでなく空気
自体が加温されてしまい、室内の気温が過度に上昇する
。そこでこの点を解決するために、第１１図に示したよ
うに、冷凍機Ｒからの加熱供給管２１９の一部を戸外に
出して、その中を通る加熱流体の温度を低下せしめ、空
調効率を更に高めることに成功したのである。そして更
に必要ある場合には、ファンＳを回転させて更に冷却効
果を高めるようにしてもよい。

更に、本発明の別の実施態様を示す。

第１２１！ｌを参照されたい０図中３０１は清浄化装置
全体を表わしているが、以下掃除機として説明する。３
０８の汚れた空気の吸入管には、ホース３５０を連結す
る。ホース３５０には可撓部３５１、先端部３５２を設
けて、ホース先端部が自由に動けるようにしておく、ホ
ースの内部にはフィルター３５３を固着又は着脱自在に
取りつけるとともに、粗大な塵を収納する容器３５４を
固着又は着脱自在に設ける。

掃除機３０１　を自由に移動できるよう、キャスター３
５５を着脱自在に取り付ける。

３０３は、水を噴射して多量の微細水滴を形成せしめる
ための容器であって、水噴射装置をなすものである。こ
の水噴射装置３０３のサイクロン状の円筒部３３１上部
には汚れた空気入口３３２が接線方向に設けられている
。円筒部３３１の中央には上方から出口管３１１が下方
に伸長して設けられ、出口管３１１にはそれと同軸に水
噴射管３１２が出口管３１１を囲んで配置されている。

噴射管３１２には噴射ノズル３１３が多数設けられてい
る。

出口管３１１の上方にはファン３０６が配置されており
、出口管３１１内の空気を吸引し、空気の流れを促進し
ている。サイクロン３０３の円錐部３３３の下端部には
水タンク３０５、ポンプ３１７が設けられている。

したがって、水は矢印Ｂの方向、すなわち、ポンプ３１
７→給水管３１４→噴射管３１２→水噴射装［！３０３
の円筒部３３１→その円錐部３３３→水タンク３０５→
濾過装置３１６→ポンプ３１７の順序で循環させられる
。

３０４は空気流通チャンバであって、水噴射装置３０３
の外周に配置されている６図面では、水噴射装置（以下
、サイクロンとも示す）３０３の出口管１１から排出さ
れた空気を下方に送り出すための環状空気通路３１５が
チャンバ３０４とサイクロン３０３との間に配置されて
いる。更に、環状空気通路３１５とチャンバ３０４との
間は壁部３０２によって仕切られている。

チャンバ３０４にはファン３３４を必要に応じて取り付
け、清浄空気を室に送り出すのを手助している。

３２８は水タンク３０５内の水の取り換え用バルブであ
る。また必要ある場合には、水タンク３０５はカセット
式にして取外し自在にしてもよい。矢印Ａは空気の流れ
方向、及び矢印Ｂは水の流れ方向を示す。

次にこの掃除機３０１の作用効果について説明する。

ファン３０６（及び必要に応じて３３４）を回転せしめ
ることによって掃除機３０１の駆動を開始し、ホース先
端部３５２を汚れた個所に当接して、通常の掃除機と同
様に操作し、室内の空気及び／又は汚れた部分を空気と
共に吸引する。大型の塵のフィルタ３５３で捕捉され、
容器３５４に回収される。大きな塵を濾過された空気は
、矢印Ａにしたがってホース３５０を通り、入口管３０
８から入り入口３３２よりサイクロンからなる容器３０
３に吸引される。このようにして吸引された空気は、直
径０．２〜８醜園、好ましくは０．５〜３■園で、３０
〜１５００ケ設けられた水噴射ノズル３１３から、水を
ゲージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｓｆ。

好ましくは０．５〜２．５ｋｇ／ａＪで、水の量を１ケ
のノズル当り１〜ｂ噴射されて生成した微細水滴と接触、混合して、除塵、
除菌されて完全に清浄化され、清浄化と同時に空気中に
は０．５ミクロン以下の超微細水滴が１立方フィート当
り２００万個以上、好ましくは５００万個以上、より好
ましくは１０００万個以上含有せしめられる。

このように清浄化され、超微細水滴を含む空気（例えば
、約７℃、温度約１００％）は、出口管３１１より排出
される。このようにして送り出された空気はファン３０
６の作用はよって空気の流れが促進され、環状空気通路
３１５に送り込まれ、下方に向って流される。サイクロ
ン３０３において空気が清浄化されるだけでなく、噴霧
する水の温度によって温度コントロールされることは勿
論である。環状通気路３１５を通って下方へ進んだ空気
は、その下部に穿設された連絡路３２１を通ってチャン
バ３０４に入る。連絡路３２１は、筒状壁３０２の下端
部を切欠いて形成せしめる。チャンバ３０４に入った空
気は、空気送出管３２２を経て室内に排出される。この
ようにして、室内の汚れた空気、汚れた部分を強力に吸
引し、除塵のみならず除菌をも行ない、清浄化され、超
微細水滴を含む空気を室内に戻し、室内では超微細水滴
が小さな塵や細菌、ビールス等に付着し、重量を増して
物体から遊離し、空気の流れによって、掃除機内に吸込
まれて、室内が清浄化されることになる。

第１３図は本発明のもう１つのタイプの掃除機に・関す
るものであって、掃除と同時に室内の空調機能をも兼備
した高性能掃除機に関するものである。

第１３図を参照されたい、第１３図に示される掃除機は
第１２図との関連において示されている。冷凍機Ｒを付
設し、冷凍サイクルにおける加温、冷却システムを有効
に利用することによって、第１２図の装置において排出
される空気を除湿し、且つ温度コントロールも同時に行
なうことのできる改良型掃除機である。（なお第１３図
において、図面簡素化のために、第１２図と相違する部
分にのみ参照番号を付し、且つバルブ３２８は図示しな
かった。）容器、すなわちサイクロン３０３の円筒部３
３１の内壁には冷凍機Ｒの蒸発管３３０がラセン状その
他適宜の形態で配設されている。蒸発管３３０と噴射ノ
ズル３１３との位置関係は、噴射ノズル３１３からの水
が蒸発管３３０に対して噴霧又は噴射状態で吹き付けら
れるように、配置しておく、噴霧又は噴射された水は冷
媒を通した蒸発管３３０と接触して冷却され、入口３０
８から入ってきた空気も同じく蒸発管３３０に接し、あ
るいは上記によって熱交換された冷水と接して、結局冷
却されるので、サイクロン３０３は熱交換用サイクロン
の働きもすることになる。冷媒、特に高温冷媒（約１℃
〜−５℃）は矢印Ｃの方向、すなわち冷凍機Ｒ→冷却供
給管３０９→蒸発管３３０→冷却排出管３１０→冷凍機
の順序で循環させられる。

３０４は加熱調湿チャンバであり、該チャンバ３０４は
熱交換用サイクロン３０３の外周に配置されている０図
面では、熱交換用サイクロン３０３の出口管３１１から
排出された空気を下方に送り出すための環状空気通路３
１５がチャンバ３０４とサイクロン３０３との間に配置
されている。更に、環状空気通路３１５と加熱調湿チャ
ンバ３０４との間は断熱筒状体３０２によって仕切られ
ており、熱交換用サイクロン３０３及び環状空気通路３
１５と加熱調湿チャンバ３０４との間での熱の伝導を阻
止している。加熱調湿チャンバ３０４には換気扇３３４
が設けられ、加熱調湿空気を別室に送ることができるよ
うになっている。加熱調湿チャンバ３０４及び熱交換用
サイクロン３０３には内部の洗浄のために洗浄管を設け
てもよい、加熱調湿チャンバ３０４内には加熱管３１８
が配置されており、加熱管３１８は冷凍機Ｒ′の放熱管
からなる加熱源に加熱供給管３１９及び加熱排出管３２
０を介して連絡されている。矢印Ａは空気の流れ方向を
示し、矢印Ｂは冷却水の流れ方向を示し、矢印Ｃは冷媒
の流れ方向を示し、矢印りは加熱流体の流れ方向を示す
。

加熱管３１８の加熱源としては、電気ヒータ、ガスヒー
タ、スチーム等を別途適宜使用できるが、冷凍機Ｒ′の
放熱部を利用すれば、冷凍機１台で冷却と加熱とが同時
に実施でき、非常に経済的であるのみでなく、掃除機自
体をコンパクトにすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、水噴射装置の１実施例を図示したものであり
、第２図は第１図の装置の中央部を切断したときの断面
図であり、第３図は、除水滴のサイクロンであり、第４
図は、水噴射装置の別の装置を図示したものであり、第
５図は第４図の装置の上部横断面図であり、第６図は第
４図の装置の中央部を切断したときの断面図であり、そ
して第７図は、実際の半導体製造工場において適用した
場合のトータルシステムを模式的に図示したものである
。また、第８図は超微細水滴製造装置のあとにつけるこ
とのできる熱交換器を示す図で、第９図はその上部横断
面図である。１．４０・・・水噴射装置３．４５・・・ノズル４３・・・超微細水滴浮遊気体出口管５０・・・除滴サイクロン６０・・・エアーシャワールーム７０・・・超クリーンルーム１００・・・熱交換器第１Ｏ図は本発明による清浄化装置の概略図であり、第
１１図はこれを室内に取り付けたときの概略図である。２０１・・・除塵菌空調装置２０２・・・断熱筒状体２０３・・・熱交換用サイクロン（水噴射装置）２０４
・・・加熱調湿チャンバ２０６・・・ファン２１１・・・出口管２１３・・・噴射ノズル２１９・・・加熱供給管２３０・・・蒸発管Ｒ・・・ヒートポンプ第１２図は本発明による清浄化装置の一実施例を示す概
略図であり、第１３図はその改良実施例を図示したもの
である。３０１・・・清浄化装置３０２・・・壁ないし断熱筒状体３０３・・・（熱交換用）サイクロン３０４・・・（加熱調湿）チャンバ３０６・・・ファン３１１・・・出口管３１３・・・噴射ノズル３３０・・・蒸発管Ｒ′・・・冷凍機代理人　弁理士　戸　１）親　男第　　１　　　図窮　２［２１ ↑ 第４図第　７　３

Claims

【特許請求の範囲】

（１）室内の空気を吸引し、該空気を水噴射装置に送り
、該水噴射装置内では噴射管に多数設けられた直径０．
２〜８ｍｍ、好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルからゲ
ージ圧０．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは０．
５〜２．５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズルから
１０〜１５０ｃｍはなれた側部に衝突させてきわめて多
数の超微細水滴を発生させ、粒径０．５ミクロン以下の
超微細水滴を１立方フィート当り２００万個以上、好ま
しくは５００万個以上、より好ましくは１０００万個以
上含有する空気を得、得られた超微細水滴含有空気を前
記室内に送入することを特徴とする室内清浄化方法。
（２）室内の空気吸引管、及び水噴射装置内の中心部に
設置した噴射管の周囲に多数設けられた直径０．２〜８
ｍｍ好ましくは０．５〜３ｍｍのノズルからゲージ圧０
．３〜５．５ｋｇ／ｃｍ＾２、好ましくは０．５〜２．
５ｋｇ／ｃｍ＾２で水を噴射させ、ノズルから１０〜１
５０ｃｍはなれた水噴射装置内部の側部に衝突させてき
わめて多数の超微細水滴を発生させ、ここに空気導入管
より空気を送り、粒径０．５ミクロン以下の超微細水滴
を１立方フィート当り２００万個以上、好ましくは５０
０万個以上、より好ましくは１０００万個以上含有する
空気を得る超微細水滴製造装置、及び、超微細水滴含有
空気送出管からなる室内清浄化装置。