JPH0577466B2 - - Google Patents
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- JPH0577466B2 JPH0577466B2 JP60207767A JP20776785A JPH0577466B2 JP H0577466 B2 JPH0577466 B2 JP H0577466B2 JP 60207767 A JP60207767 A JP 60207767A JP 20776785 A JP20776785 A JP 20776785A JP H0577466 B2 JPH0577466 B2 JP H0577466B2
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- Japan
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- air
- water
- water droplets
- million
- ultra
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
- F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B9/00—Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B9/08—Cleaning containers, e.g. tanks
- B08B9/093—Cleaning containers, e.g. tanks by the force of jets or sprays
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F8/00—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying
- F24F8/10—Treatment, e.g. purification, of air supplied to human living or working spaces otherwise than by heating, cooling, humidifying or drying by separation, e.g. by filtering
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/54—Free-cooling systems
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
- Nozzles (AREA)
- Air Humidification (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Disinfection, Sterilisation Or Deodorisation Of Air (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
- Glanulating (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、空気１立方メートル当り7063万個以
上、好ましくは17657万個以上、より好ましくは
35314万個以上含有させる超微細水滴の製造方法
に関するものでる。
上、好ましくは17657万個以上、より好ましくは
35314万個以上含有させる超微細水滴の製造方法
に関するものでる。
病院、薬品製造工場、食品製造工場、食品冷蔵
室、研究所、実験室等では塵埃や微生物を含まな
い清浄気体が必要であり、そのためにはエアーフ
イルターを用いて清浄化した空気を送気したり、
出入口部にエアーカーテンを設置したりする方策
が採られている。
室、研究所、実験室等では塵埃や微生物を含まな
い清浄気体が必要であり、そのためにはエアーフ
イルターを用いて清浄化した空気を送気したり、
出入口部にエアーカーテンを設置したりする方策
が採られている。
しかしながら、上記のような方法は充分に清浄
化された気体を得ることはできないし、エアーシ
ヤワールームを利用しても充分に目的を達成する
ことはできない。更に、LSI、超LSI製造工場、
生物製剤製造工場、手術室、精密機械の洗浄工
場、無菌食品製造工場、冷蔵室等のように、細菌
やウイルスの混入はおろか0.5μ以下の塵埃の混入
も許されない厳格な条件のもとで、超クリーンな
清浄気体を工業的規模で送入することは、現在で
は不可能とされている。
化された気体を得ることはできないし、エアーシ
ヤワールームを利用しても充分に目的を達成する
ことはできない。更に、LSI、超LSI製造工場、
生物製剤製造工場、手術室、精密機械の洗浄工
場、無菌食品製造工場、冷蔵室等のように、細菌
やウイルスの混入はおろか0.5μ以下の塵埃の混入
も許されない厳格な条件のもとで、超クリーンな
清浄気体を工業的規模で送入することは、現在で
は不可能とされている。
そこで、このような高度に清浄化された冷蔵室
や、室や工場を得ることは各種の業界において広
く切望されており、本発明はこのような時代の要
請に応えるべくなされたものである。
や、室や工場を得ることは各種の業界において広
く切望されており、本発明はこのような時代の要
請に応えるべくなされたものである。
本出願人は、超クリーンな清浄気体を工業的規
模で得ることに関し、鋭意研究を行なつたとこ
ろ、空気に混入した水滴が空気中に混在する塵埃
を吸着して空気を清浄化するという現象に着目
し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に0.5ミ
クロン以下の超微細水滴にして空気１立方メート
ル当り7063万個以上、好ましくは17657万個以上、
より好ましくは35314万個以上含有させて送気す
れば、空気中の微細な塵埃はもちろんこと細菌、
糸状菌、胞子類はおろかウイルスまでもこれらを
付着して清浄化、除菌することができることが判
明した。そして、このような超微細水滴を浮遊せ
しめた気体雰囲気では、該雰囲気を清浄化できる
のみでなく、全く予期せざることに、超微細水滴
の場合は水滴が存在するにもかかわらず物体がぬ
れるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた。そして更に検討した結
果、微細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通
したところ、該通常気体が超クリーンな状態にま
で高度に清浄化され、このように高度に清浄化さ
れた気体をそれぞれの部屋、部署、その他関係個
所に直接適用できることも見出した。
模で得ることに関し、鋭意研究を行なつたとこ
ろ、空気に混入した水滴が空気中に混在する塵埃
を吸着して空気を清浄化するという現象に着目
し、更に水滴の粒子を小さくして実質的に0.5ミ
クロン以下の超微細水滴にして空気１立方メート
ル当り7063万個以上、好ましくは17657万個以上、
より好ましくは35314万個以上含有させて送気す
れば、空気中の微細な塵埃はもちろんこと細菌、
糸状菌、胞子類はおろかウイルスまでもこれらを
付着して清浄化、除菌することができることが判
明した。そして、このような超微細水滴を浮遊せ
しめた気体雰囲気では、該雰囲気を清浄化できる
のみでなく、全く予期せざることに、超微細水滴
の場合は水滴が存在するにもかかわらず物体がぬ
れるという現象が生じないという顕著な効果が奏
されることをつきとめた。そして更に検討した結
果、微細水滴浮遊気体雰囲気中に通常の気体を通
したところ、該通常気体が超クリーンな状態にま
で高度に清浄化され、このように高度に清浄化さ
れた気体をそれぞれの部屋、部署、その他関係個
所に直接適用できることも見出した。
本発明は、水噴射装置内の噴射管に多数設けら
れた直径0.2〜８mm、好ましくは0.5〜３mmのノズ
ルからゲージ圧0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜
2.5Kg／cm2で水を噴射させ、ノズルから10〜150cm
はなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細
水滴を発生させ、ここに空気を風速15〜50m／
sec、風量３〜3000m3／minの条件で送り、粒径
0.5ミクロン以下の超微細水滴を１立方メートル
当り7063万個以上、好ましくは17657万個以上、
より好ましくは35314万個以上含有する空気を得
ることを特徴とする超微細水滴の製造方法であ
る。
れた直径0.2〜８mm、好ましくは0.5〜３mmのノズ
ルからゲージ圧0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜
2.5Kg／cm2で水を噴射させ、ノズルから10〜150cm
はなれた側部に衝突させてきわめて多数の超微細
水滴を発生させ、ここに空気を風速15〜50m／
sec、風量３〜3000m3／minの条件で送り、粒径
0.5ミクロン以下の超微細水滴を１立方メートル
当り7063万個以上、好ましくは17657万個以上、
より好ましくは35314万個以上含有する空気を得
ることを特徴とする超微細水滴の製造方法であ
る。
本発明においては、水噴射装置内の噴射管には
多数の、例えば30ケ〜1500ケの直径0.2〜８mm、
好ましくは0.5〜３mmのノズルが設けられる。水
は高い圧力でポンプによつて送られ、ゲージ圧
0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2..5Kg／cm2で水
を各ノズルから噴射させるが水の量は１ケのノズ
ル当り１〜３／分もの大量の水が噴射される。
水はノズルから10〜150cmはなれた側壁に衝突さ
せてきわめて多数の超微細水滴を発生させるが、
ここに空気を風速15〜50m／sec程度で風量３〜
3000m3／minの目安で送り込み、粒径0.5ミクロ
ン以下の超微細水滴を１立方メートル当り7063万
個以上、好ましくは17657万個以上、より好まし
くは35314万個以上含有する空気を得るものであ
る。
多数の、例えば30ケ〜1500ケの直径0.2〜８mm、
好ましくは0.5〜３mmのノズルが設けられる。水
は高い圧力でポンプによつて送られ、ゲージ圧
0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2..5Kg／cm2で水
を各ノズルから噴射させるが水の量は１ケのノズ
ル当り１〜３／分もの大量の水が噴射される。
水はノズルから10〜150cmはなれた側壁に衝突さ
せてきわめて多数の超微細水滴を発生させるが、
ここに空気を風速15〜50m／sec程度で風量３〜
3000m3／minの目安で送り込み、粒径0.5ミクロ
ン以下の超微細水滴を１立方メートル当り7063万
個以上、好ましくは17657万個以上、より好まし
くは35314万個以上含有する空気を得るものであ
る。
次に、本発明方法を実施するための装置の数例
を図示した図面を参照しながら、本発明方法を詳
述する。
を図示した図面を参照しながら、本発明方法を詳
述する。
先ず第１図を参照されたい。この装置は、本発
明を実施するための最も基礎的なものであつて、
水噴射装置１の壁近くに噴射管２を設け、これに
は多数の水噴射ノズル３を設ける。これらのノズ
ル３は、対向する側面に設けたノズルの位置とは
少しずらして交互に配置し、相対するノズルを直
線上に配置しないようにするのが良い。ノズルは
30ケ〜1500ケ設けられ、直径は0.2〜８mm、好ま
しくは0.5〜３mmで、水はゲージ圧0.3〜5.5Kg／
cm2、好ましくは0.5〜2.5Kg／cm2で10〜150cmはな
れた向うの壁に噴射される。
明を実施するための最も基礎的なものであつて、
水噴射装置１の壁近くに噴射管２を設け、これに
は多数の水噴射ノズル３を設ける。これらのノズ
ル３は、対向する側面に設けたノズルの位置とは
少しずらして交互に配置し、相対するノズルを直
線上に配置しないようにするのが良い。ノズルは
30ケ〜1500ケ設けられ、直径は0.2〜８mm、好ま
しくは0.5〜３mmで、水はゲージ圧0.3〜5.5Kg／
cm2、好ましくは0.5〜2.5Kg／cm2で10〜150cmはな
れた向うの壁に噴射される。
噴射された水は、対向する側面に衝突して超微
細水滴となり、水噴射装置１内はこの超微細水滴
で充満される。水噴射装置１内には送入口４から
空気を風速15〜50m／sec程度で、風量３〜3000
m3／min程度で送り込み、粒径0.5ミクロン以下
の超微細水滴を１立方メートル当り7063万個以
上、好ましくは17657万個以上、より好ましくは
35314万個以上含有する空気とし、これを送出口
５から取出す。送出口５を出た超微細水滴を含む
空気は大きな水滴を含むことがあるので、サイク
ロン６の接線方向入口７からサイクロン６に送入
し、大きな水滴を除去して送気管８から取り出す
ものである。取り出された超微細水滴を含む空気
はそれぞれの室に送つて、水噴射装置に帰し、循
環させるものである。
細水滴となり、水噴射装置１内はこの超微細水滴
で充満される。水噴射装置１内には送入口４から
空気を風速15〜50m／sec程度で、風量３〜3000
m3／min程度で送り込み、粒径0.5ミクロン以下
の超微細水滴を１立方メートル当り7063万個以
上、好ましくは17657万個以上、より好ましくは
35314万個以上含有する空気とし、これを送出口
５から取出す。送出口５を出た超微細水滴を含む
空気は大きな水滴を含むことがあるので、サイク
ロン６の接線方向入口７からサイクロン６に送入
し、大きな水滴を除去して送気管８から取り出す
ものである。取り出された超微細水滴を含む空気
はそれぞれの室に送つて、水噴射装置に帰し、循
環させるものである。
第４図乃至第９図は、更に効率よく、しかも温
度コントロールした超微細水滴浮遊気体を製造す
るための装置である。
度コントロールした超微細水滴浮遊気体を製造す
るための装置である。
水噴射装置４０の円筒部４１内には、冷凍装置
の蒸発管４７が配置されている。蒸発管４７とノ
ズル４５の位置関係は、相互に完全にずらしても
よいし、また少しずらしてもよく、また噴射ノズ
ル４５からの水が蒸発管４７に対して垂直に噴射
状態で吹き付けられるように配置されている。ノ
ズルは30ケ〜1500ケ程度設けられ、直径は0.2〜
８mm、好ましくは0.5〜３mmで、水はゲージ圧0.3
〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2.5Kg／cm2で、水の
量は１ケのノズル当り１〜３／分の量で噴射さ
れる。ノズルから側壁までは10〜150cmはなして
設けられる。水噴射装置の円錐部５１の下端部に
は、濾過装置４８、水タンク４８、ポンプ５０が
順次設けられている。従つて、冷水は矢印Ｂの方
向、すなわちポンプ５０、循環管４５、噴射管４
４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５１、濾過装
置４８、水タンク４９、ポンプ５０の順序で循環
させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃−５℃）
は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。空
気は、矢印Ａの方向にしたがつて入口４２を通つ
て水噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微
細水滴を含有すると同時に冷却されて目的とする
空気となり、出口管４３を通つてそれぞれの目的
に使用される。噴射管４４に設けたノズル４５か
らゲージ圧0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2.5
Kg／cm2で水を噴射させ、ノズルから10〜150cmは
なれた冷凍装置の蒸発管４７及び／又は円筒部４
１の側壁に衝突せしめると（Ｅ）、超微細水滴が
発生し（それとともに、蒸発管４７と衝突した水
流はこの管４７内を通る冷媒と熱交換を行い、冷
却される）、且つ水滴は冷却される。このような
雰囲気中空気を風速15〜50m／sec程度で風量３
〜3000m3／minの目安で矢印Ａにしたがつて通過
せしめると、この空気は超微細水滴を含有すると
ともに冷却された水滴と熱交換を行つてそれ自体
は冷却され、0.5ミクロン以下の超微細水滴を１
立方メートル当り7063万個以上、好ましくは
17657万個以上、より好ましくは35314万個以上含
有する空気とするものである。この際、空気の循
環による遠心作用により実質的に0.5ミクロンよ
り大きいものは分離されている。必要によつて
は、サイクロンで除水滴することもできる。
の蒸発管４７が配置されている。蒸発管４７とノ
ズル４５の位置関係は、相互に完全にずらしても
よいし、また少しずらしてもよく、また噴射ノズ
ル４５からの水が蒸発管４７に対して垂直に噴射
状態で吹き付けられるように配置されている。ノ
ズルは30ケ〜1500ケ程度設けられ、直径は0.2〜
８mm、好ましくは0.5〜３mmで、水はゲージ圧0.3
〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2.5Kg／cm2で、水の
量は１ケのノズル当り１〜３／分の量で噴射さ
れる。ノズルから側壁までは10〜150cmはなして
設けられる。水噴射装置の円錐部５１の下端部に
は、濾過装置４８、水タンク４８、ポンプ５０が
順次設けられている。従つて、冷水は矢印Ｂの方
向、すなわちポンプ５０、循環管４５、噴射管４
４、水噴射器の円筒部４１、円錐部５１、濾過装
置４８、水タンク４９、ポンプ５０の順序で循環
させられる。冷媒、特に高温冷媒（１℃−５℃）
は、矢印Ｃの方向に蒸発管４７内を循環する。空
気は、矢印Ａの方向にしたがつて入口４２を通つ
て水噴射装置内に送り込まれ、水噴射装置内で微
細水滴を含有すると同時に冷却されて目的とする
空気となり、出口管４３を通つてそれぞれの目的
に使用される。噴射管４４に設けたノズル４５か
らゲージ圧0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2.5
Kg／cm2で水を噴射させ、ノズルから10〜150cmは
なれた冷凍装置の蒸発管４７及び／又は円筒部４
１の側壁に衝突せしめると（Ｅ）、超微細水滴が
発生し（それとともに、蒸発管４７と衝突した水
流はこの管４７内を通る冷媒と熱交換を行い、冷
却される）、且つ水滴は冷却される。このような
雰囲気中空気を風速15〜50m／sec程度で風量３
〜3000m3／minの目安で矢印Ａにしたがつて通過
せしめると、この空気は超微細水滴を含有すると
ともに冷却された水滴と熱交換を行つてそれ自体
は冷却され、0.5ミクロン以下の超微細水滴を１
立方メートル当り7063万個以上、好ましくは
17657万個以上、より好ましくは35314万個以上含
有する空気とするものである。この際、空気の循
環による遠心作用により実質的に0.5ミクロンよ
り大きいものは分離されている。必要によつて
は、サイクロンで除水滴することもできる。
第７図は、本発明方法を64キロビツトRAM量
産工場に対して実際に適用するためのトータルシ
ステムを示した模式図である。上述したところに
したがつて、水噴射装置４０で製造された超微細
水滴浮遊空気は、矢印Ａにしたがつて除滴サイク
ロン５０に送り込まれる。すなわち４０から出て
きた気体は、除滴サイクロン５０の側壁に接線方
向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この
中を循環している間に余分の水滴、大きな水滴を
除去して0.5μ以下の超微細水滴を90％以上浮遊せ
しめた気体に調製して、サイクロン５０の中央部
に設けた出口管からこれを取り出す。
産工場に対して実際に適用するためのトータルシ
ステムを示した模式図である。上述したところに
したがつて、水噴射装置４０で製造された超微細
水滴浮遊空気は、矢印Ａにしたがつて除滴サイク
ロン５０に送り込まれる。すなわち４０から出て
きた気体は、除滴サイクロン５０の側壁に接線方
向に設けた入口からサイクロン内部に入り、この
中を循環している間に余分の水滴、大きな水滴を
除去して0.5μ以下の超微細水滴を90％以上浮遊せ
しめた気体に調製して、サイクロン５０の中央部
に設けた出口管からこれを取り出す。
このようにして取り出された超微細水滴浮遊空
気は、実質的に0.5ミクロンより大きいものを除
くためにフイルターＦを有するパイプＰを通つて
エアーシヤワールーム６０に送られて、更には隣
接する超クリーンルーム７０で作業をする人々の
洗浄を行う。また上記超微細水滴浮遊空気の一部
は、直接超クリーンルーム７０に送られて、室内
に塵埃を含まない清浄化した空気を送入するとと
もにLSIに用いるシリコン板の洗浄にもこれを使
用する。超クリーンルーム７０で使用された空気
は、そこから取り出し、パイプＰ、フアンＦを介
して水噴射装置４０へ戻し、このサイクルをくり
返すのである。この方法によれば、超クリーンル
ーム内には１立方メートルの空間に0.5μ以上の塵
はわずか35個未満しかないという超クリーンな状
態に保たれていることが判明した。ちなみに、通
常の工場では数万個の塵埃が浮遊しており、この
ことからも、本発明による方法がいかにすぐれて
いるかが判るはずである。
気は、実質的に0.5ミクロンより大きいものを除
くためにフイルターＦを有するパイプＰを通つて
エアーシヤワールーム６０に送られて、更には隣
接する超クリーンルーム７０で作業をする人々の
洗浄を行う。また上記超微細水滴浮遊空気の一部
は、直接超クリーンルーム７０に送られて、室内
に塵埃を含まない清浄化した空気を送入するとと
もにLSIに用いるシリコン板の洗浄にもこれを使
用する。超クリーンルーム７０で使用された空気
は、そこから取り出し、パイプＰ、フアンＦを介
して水噴射装置４０へ戻し、このサイクルをくり
返すのである。この方法によれば、超クリーンル
ーム内には１立方メートルの空間に0.5μ以上の塵
はわずか35個未満しかないという超クリーンな状
態に保たれていることが判明した。ちなみに、通
常の工場では数万個の塵埃が浮遊しており、この
ことからも、本発明による方法がいかにすぐれて
いるかが判るはずである。
また、第８図及び第９図に示されるように、除
滴サイクロン５０の次に熱交換器１００を設け、
これに超微細水滴浮遊気体を通すことによつて、
空気を最適温度させることができるものである。
熱交換器１００は次に説明される。即ち、缶体１
０１の中心部には空気排出管１０５を上下方向に
設けてあり、管体１０１外に設けた空気導管１０
５′と連通する。従つて、空気取入管１０４より
の空気は缶体１０１内を旋回しながら下方に達し
空気排出管１０５の下部より上昇して矢印方向に
移動することになる。又缶体１０１の内部には外
側配管１０６及び内側配管１０７を設けてあり、
各配管１０６，１０７の下端は缶体１０１外に設
けたポンプ１０８と連通し、温水又は冷水を流通
させ上部排水口１０９，１１０より排水させられ
る。缶体１０１の上部及び下部には洗浄水管１１
１の水噴射出口１１１ａ，１１１ｂ……を多数設
けてあり、配管１０６及び配管１０７の上下列の
上方又は下方に望ませ、配管１０６，１０７及び
缶体１０１の内面、空気排出管１０５の外面に向
けて洗浄水を噴出できるようにしてある。またコ
ーン部１０２の下方には、排水管１１２′が設け
られており、缶内の洗浄水又は気体冷却によるド
レイン等が排出できるようにしてある。従つて空
気取入口１０４より空気は缶体１０１内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管１０６，１
０７により適温に加熱又は冷却され、適温となつ
た空気は空気排出管１０５により送出される。又
分離したごみ等は洗浄水管１１１に通水し、ノズ
ル１１１ａ，１１１ｂ……より噴水させることに
よりより洗い去ることができるものである。
滴サイクロン５０の次に熱交換器１００を設け、
これに超微細水滴浮遊気体を通すことによつて、
空気を最適温度させることができるものである。
熱交換器１００は次に説明される。即ち、缶体１
０１の中心部には空気排出管１０５を上下方向に
設けてあり、管体１０１外に設けた空気導管１０
５′と連通する。従つて、空気取入管１０４より
の空気は缶体１０１内を旋回しながら下方に達し
空気排出管１０５の下部より上昇して矢印方向に
移動することになる。又缶体１０１の内部には外
側配管１０６及び内側配管１０７を設けてあり、
各配管１０６，１０７の下端は缶体１０１外に設
けたポンプ１０８と連通し、温水又は冷水を流通
させ上部排水口１０９，１１０より排水させられ
る。缶体１０１の上部及び下部には洗浄水管１１
１の水噴射出口１１１ａ，１１１ｂ……を多数設
けてあり、配管１０６及び配管１０７の上下列の
上方又は下方に望ませ、配管１０６，１０７及び
缶体１０１の内面、空気排出管１０５の外面に向
けて洗浄水を噴出できるようにしてある。またコ
ーン部１０２の下方には、排水管１１２′が設け
られており、缶内の洗浄水又は気体冷却によるド
レイン等が排出できるようにしてある。従つて空
気取入口１０４より空気は缶体１０１内でサイク
ロン効果によりごみ等を分離し、配管１０６，１
０７により適温に加熱又は冷却され、適温となつ
た空気は空気排出管１０５により送出される。又
分離したごみ等は洗浄水管１１１に通水し、ノズ
ル１１１ａ，１１１ｂ……より噴水させることに
よりより洗い去ることができるものである。
このように処理された空気はほぼ完全に0.5ミ
クロン以下の超微細水滴を多量浮遊した状態とな
つているので、これを用いて室内を処理すること
によつてあらゆる物を清浄化することができるの
である。
クロン以下の超微細水滴を多量浮遊した状態とな
つているので、これを用いて室内を処理すること
によつてあらゆる物を清浄化することができるの
である。
本発明方法において使用する0.5ミクロン以下
の超微細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に
附着したり、空中に浮遊している塵埃に超微細水
滴が容易に付着し、更にこの超微細水滴が互いに
集合し、大きくなり顕著に質量がふえ送風ととも
に塵埃は除去される。特に、本法によれば超微細
水滴を使用するために、非常に微細な塵埃のみで
はなく、細菌やウイルスまでも除去することがで
き、物理的にも生物的にも室内は清浄化されると
いう著効が奏される。ウイルスは、従来エアーフ
イルタ等で除去していたのであるが、ウイルスは
ずか0.5μ〜0.01μの大きさしかないため、エアー
フイルタでは充分除去することが不可能であつ
た。したがつて、本発明で室内を清浄化すれば現
実に風をひくといつたことも非常に少なくなり、
病院、薬局、研究室、産院等に使用するのに極め
て好適である。
の超微細水滴は表面張力がきわめて低く、物体に
附着したり、空中に浮遊している塵埃に超微細水
滴が容易に付着し、更にこの超微細水滴が互いに
集合し、大きくなり顕著に質量がふえ送風ととも
に塵埃は除去される。特に、本法によれば超微細
水滴を使用するために、非常に微細な塵埃のみで
はなく、細菌やウイルスまでも除去することがで
き、物理的にも生物的にも室内は清浄化されると
いう著効が奏される。ウイルスは、従来エアーフ
イルタ等で除去していたのであるが、ウイルスは
ずか0.5μ〜0.01μの大きさしかないため、エアー
フイルタでは充分除去することが不可能であつ
た。したがつて、本発明で室内を清浄化すれば現
実に風をひくといつたことも非常に少なくなり、
病院、薬局、研究室、産院等に使用するのに極め
て好適である。
また、本発明方法は雑菌を含まなくすることが
できる特色の故に、食品製造工場において、食品
の洗浄、装置の洗浄に使用することができ、例え
ば冷凍肉に解凍、サラダや野菜、鮮魚、精肉の保
存等食料品店、スーパーマーケツトその他で使用
するものにも極めて好適であるし、特に雑菌混入
の危険性があるためにその製造に制約があつた生
ハムも自由に製造することができる。
できる特色の故に、食品製造工場において、食品
の洗浄、装置の洗浄に使用することができ、例え
ば冷凍肉に解凍、サラダや野菜、鮮魚、精肉の保
存等食料品店、スーパーマーケツトその他で使用
するものにも極めて好適であるし、特に雑菌混入
の危険性があるためにその製造に制約があつた生
ハムも自由に製造することができる。
第１図は、超微細水滴の製造装置の１実施例を
図示したものであり、第２図は第１図の装置の中
央部を切断したときの断面図であり、第３図は、
除水滴のサイクロンであり、第４図は、超微細水
滴製造装置の別の装置を図示したものであり、第
５図は第４図の装置の上部横断面図であり、第６
図は第４図の装置の中央部を切断したときの断面
図であり、そして第７図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模
式的に図示したものである。また、第８図は超微
細水滴製造装置のあとにつけることのできる熱交
換器を示す図で、第９図はその上部横断面図であ
る。 １，４０……水噴射装置、３，４５……ノズ
ル、４３……超微細水滴浮遊気体出口管、５０…
…除滴サイクロン、６０……エアーシヤワールー
ム、７０……超クリーンルーム、１００……熱交
換器。
図示したものであり、第２図は第１図の装置の中
央部を切断したときの断面図であり、第３図は、
除水滴のサイクロンであり、第４図は、超微細水
滴製造装置の別の装置を図示したものであり、第
５図は第４図の装置の上部横断面図であり、第６
図は第４図の装置の中央部を切断したときの断面
図であり、そして第７図は、実際の半導体製造工
場において適用した場合のトータルシステムを模
式的に図示したものである。また、第８図は超微
細水滴製造装置のあとにつけることのできる熱交
換器を示す図で、第９図はその上部横断面図であ
る。 １，４０……水噴射装置、３，４５……ノズ
ル、４３……超微細水滴浮遊気体出口管、５０…
…除滴サイクロン、６０……エアーシヤワールー
ム、７０……超クリーンルーム、１００……熱交
換器。
Claims (1)
- １ 水噴射装置内の噴射管に多数設けられた直径
0.2〜８mm、好ましくは0.5〜３mmのノズルからゲ
ージ圧0.3〜5.5Kg／cm2、好ましくは0.5〜2.5Kg／
cm2で水を噴射させ、ノズルから10〜150cmはなれ
た側部に衝突させてきわめて多数の超微細水滴を
発生させ、ここに空気を風速15〜50m／sec、風
量３〜3000m3／minの条件で送り、粒径0.5ミク
ロン以下の超微細水滴を１立方メートル当り7063
万個以上、好ましくは17657万個以上、より好ま
しくは35314万個以上含有する空気を得ることを
特徴とする超微細水滴の製造方法。
Priority Applications (16)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
| SE8603728A SE8603728L (sv) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Sett for framstellning av en suspension i luft av ultrafina dimpartiklar |
| DK426086A DK426086A (da) | 1985-09-21 | 1986-09-05 | Fremgangsmaade til at holde ultrafine taagepartikler svaevende i luft |
| IN723/MAS/86A IN168582B (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | |
| AU62505/86A AU577203B2 (en) | 1985-09-21 | 1986-09-09 | Producing suspension of ultra-fine mist particles |
| CA000517874A CA1265435A (en) | 1985-09-21 | 1986-09-10 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
| IT48442/86A IT1196617B (it) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Metodo per produrre una sospensione in aria di particelle ultrafini di nebbia,in particolare per pulire un ambiente |
| FR868612689A FR2587628B1 (fr) | 1985-09-21 | 1986-09-11 | Procede pour la production d'une suspension de particules d'eau ultrafines dans l'air |
| NL8602323A NL8602323A (nl) | 1985-09-21 | 1986-09-15 | Werkwijze voor het bereiden van een suspensie van ultra-fijne, waterige microdruppels in lucht en werkwijze voor het reinigen van het inwendige van een ruimte. |
| GB8622410A GB2180776B (en) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Method for producing suspension in air of ultra-fine mist particles |
| KR1019860007837A KR910005982B1 (ko) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | 초미세소적 부유공기의 제조방법 및 실내 청정방법 |
| BR8604462A BR8604462A (pt) | 1985-09-21 | 1986-09-17 | Processos para produzir uma suspensao em ar de micro-goticulas ultra-finas de agua e para limpar o interior de um recinto |
| ES8602023A ES2002360A6 (es) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Procedimiento para producir la suspension en el aire de particulas ultra-finas de micro-gotitas de agua y metodo de limpieza del interior de una habitacion utilizando dicho procedimiento |
| DE19863631926 DE3631926A1 (de) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | Verfahren zum herstellen eines nebels von sehr feinen feuchtigkeitsteilchen in luft |
| CH3764/86A CH669834A5 (ja) | 1985-09-21 | 1986-09-19 | |
| CN86106342.2A CN1004860B (zh) | 1985-09-21 | 1986-09-20 | 悬浮在空气中的超细雾的生成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60207767A JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6268515A JPS6268515A (ja) | 1987-03-28 |
| JPH0577466B2 true JPH0577466B2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=16545195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60207767A Granted JPS6268515A (ja) | 1985-09-21 | 1985-09-21 | 超微細水滴の製造方法 |
Country Status (15)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6268515A (ja) |
| KR (1) | KR910005982B1 (ja) |
| CN (1) | CN1004860B (ja) |
| AU (1) | AU577203B2 (ja) |
| BR (1) | BR8604462A (ja) |
| CA (1) | CA1265435A (ja) |
| CH (1) | CH669834A5 (ja) |
| DE (1) | DE3631926A1 (ja) |
| DK (1) | DK426086A (ja) |
| FR (1) | FR2587628B1 (ja) |
| GB (1) | GB2180776B (ja) |
| IN (1) | IN168582B (ja) |
| IT (1) | IT1196617B (ja) |
| NL (1) | NL8602323A (ja) |
| SE (1) | SE8603728L (ja) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2698160B1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-12-23 | France Grignotage | Procédé et dispositif pour le traitement des atmosphères de travail utilisant un échangeur cyclonique. |
| DE29821687U1 (de) * | 1998-12-05 | 2000-04-06 | GEA Finnah GmbH, 48683 Ahaus | Vorrichtung zum Erzeugen eines Aerosols |
| IT1303661B1 (it) * | 1998-12-24 | 2001-02-21 | Tecmeco S R L | Lavatore d'aria a nebulizzazione d'acqua |
| DE10024889B4 (de) * | 2000-05-16 | 2008-09-04 | Gea Wtt Gmbh | Plattenwärmeübertrager mit Zerstäuber |
| US7008535B1 (en) * | 2000-08-04 | 2006-03-07 | Wayne State University | Apparatus for oxygenating wastewater |
| DE10062630A1 (de) * | 2000-12-15 | 2002-08-29 | Bartels Mikrotechnik Gmbh | Beduftungsverfahren |
| KR100509012B1 (ko) * | 2002-12-13 | 2005-08-19 | 조인섭 | 분무식 공기 정화기 및 공기 정화 방법 |
| KR101445703B1 (ko) * | 2012-06-18 | 2014-09-29 | 주식회사 포스코 | 가스 처리 장치 |
| CN104096432B (zh) * | 2013-04-12 | 2016-12-28 | 张灵样 | 水雾除尘器 |
| CN104368465A (zh) * | 2013-08-13 | 2015-02-25 | 宁夏嘉翔自控技术有限公司 | 一种沥青熔化文丘里喷雾除尘喷嘴 |
| KR101565761B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2015-11-04 | 오홍근 | 집진 시스템 |
| DE102016200894A1 (de) * | 2016-01-22 | 2017-07-27 | Olympus Winter & Ibe Gmbh | Medizinische Rauchgasreinigungsvorrichtung und Verfahren zum Reinigen medizinischer Rauchgase |
| CN107314449B (zh) * | 2017-08-18 | 2023-07-28 | 广东美的制冷设备有限公司 | 空气处理模块和空调器 |
| KR102054253B1 (ko) * | 2019-04-16 | 2019-12-10 | 주식회사 넥스트이엔씨 | 미세먼지 저감 시스템 |
| FR3102682B1 (fr) | 2019-11-03 | 2021-09-24 | Weber Jean Charles | Dispositif de filtration de gaz pollués par absorption |
| CN111735150A (zh) * | 2020-07-27 | 2020-10-02 | 王新 | 一种空气净化器 |
| DE102021114987A1 (de) | 2021-06-10 | 2022-12-15 | Topas Gmbh Technologieorientierte Partikel-, Analysen- Und Sensortechnik | Einrichtung zur Erzeugung eines konditionierten Aerosols |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE151261C (ja) * | ||||
| CH368916A (de) * | 1959-05-28 | 1963-04-30 | Wera Apparatebau Ag | Luftbefeuchtungssystem, insbesondere für Ventilations- und Klimaanlagen |
| IL45916A (en) * | 1974-10-23 | 1976-11-30 | Rosenberg Peretz | Spray-nozzle |
| AU531724B2 (en) * | 1980-03-06 | 1983-09-01 | Masahiko Izumi | Microbe removing + air-conditioning apparatus |
| JPS5998714A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-07 | Masahiko Izumi | 微細水滴浮遊気体の製造方法 |
| JPS6058255A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 噴霧装置 |
-
1985
- 1985-09-21 JP JP60207767A patent/JPS6268515A/ja active Granted
-
1986
- 1986-09-05 DK DK426086A patent/DK426086A/da not_active Application Discontinuation
- 1986-09-05 SE SE8603728A patent/SE8603728L/xx not_active Application Discontinuation
- 1986-09-09 IN IN723/MAS/86A patent/IN168582B/en unknown
- 1986-09-09 AU AU62505/86A patent/AU577203B2/en not_active Ceased
- 1986-09-10 CA CA000517874A patent/CA1265435A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-09-11 FR FR868612689A patent/FR2587628B1/fr not_active Expired
- 1986-09-11 IT IT48442/86A patent/IT1196617B/it active
- 1986-09-15 NL NL8602323A patent/NL8602323A/nl not_active Application Discontinuation
- 1986-09-17 KR KR1019860007837A patent/KR910005982B1/ko not_active Expired
- 1986-09-17 GB GB8622410A patent/GB2180776B/en not_active Expired
- 1986-09-17 BR BR8604462A patent/BR8604462A/pt unknown
- 1986-09-19 CH CH3764/86A patent/CH669834A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1986-09-19 DE DE19863631926 patent/DE3631926A1/de not_active Withdrawn
- 1986-09-20 CN CN86106342.2A patent/CN1004860B/zh not_active Expired
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| Publication number | Publication date |
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| AU577203B2 (en) | 1988-09-15 |
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| IN168582B (ja) | 1991-05-04 |
| SE8603728L (sv) | 1987-03-22 |
| CN86106342A (zh) | 1987-04-08 |
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| CA1265435A (en) | 1990-02-06 |
| IT8648442A0 (it) | 1986-09-11 |
| GB2180776B (en) | 1989-09-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |