JPS6215037A - 移動テ−ブル装置 - Google Patents
移動テ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS6215037A JPS6215037A JP15114985A JP15114985A JPS6215037A JP S6215037 A JPS6215037 A JP S6215037A JP 15114985 A JP15114985 A JP 15114985A JP 15114985 A JP15114985 A JP 15114985A JP S6215037 A JPS6215037 A JP S6215037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- oil
- plane
- fixed
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
「産業上の利用分野」
本発明は精密な移動精度を要する超精密加工機等の移動
テーブル装置に関するものである０「従来の技術」 従来、移動テーブル装置として多くはころがりあるいは
すべり直線軸受を用いるか静圧空気直線軸受を使用して
いた。
テーブル装置に関するものである０「従来の技術」 従来、移動テーブル装置として多くはころがりあるいは
すべり直線軸受を用いるか静圧空気直線軸受を使用して
いた。
ころがりあるいはすべり軸受の場合、移動面が金属接触
であるためにスティックスリップなどによる移動精度の
ばらつきの問題があった。
であるためにスティックスリップなどによる移動精度の
ばらつきの問題があった。
又、静圧空気軸受の場合は空気を介し非接触であるため
、摩擦が少なく円滑な動きをするが移動方向には拘束力
が働かないため移動体に外力が作用した場合や外部に振
動がある場合ｌとは移動方向に振動が発生し超精密を要
求される加工にとって無視できない。
、摩擦が少なく円滑な動きをするが移動方向には拘束力
が働かないため移動体に外力が作用した場合や外部に振
動がある場合ｌとは移動方向に振動が発生し超精密を要
求される加工にとって無視できない。
そこで特開昭１９−／ＩＪＪ／を号の発明は静圧空気軸
受の移動体に移動平面を設けて固定平面と隙間少く対向
させこの対向面間に油を介在させることにより前述した
問題点を解決している。
受の移動体に移動平面を設けて固定平面と隙間少く対向
させこの対向面間に油を介在させることにより前述した
問題点を解決している。
、「発明が解決しようとする問題点」
然し乍ら、この公知の発明では移動平面と固定平面間の
微小隙間へ油を満すが隙間が微小でくさび効果が期待で
きず、又油の保持が困難であり、更に又、移動平面と固
定平面のぬれ性、油の粘度変化によっても油の耐着がば
らつくことにより、ダンピング能の変化が大きいという
欠点があり、移動平面の位置によって移動テーブルの位
置決め精度がばらつくという欠点がある。尚又、単一で
大きな華行平面間に油中の不純物がくい込み長く介在し
て位置決め精度をばらつかせることがある。
微小隙間へ油を満すが隙間が微小でくさび効果が期待で
きず、又油の保持が困難であり、更に又、移動平面と固
定平面のぬれ性、油の粘度変化によっても油の耐着がば
らつくことにより、ダンピング能の変化が大きいという
欠点があり、移動平面の位置によって移動テーブルの位
置決め精度がばらつくという欠点がある。尚又、単一で
大きな華行平面間に油中の不純物がくい込み長く介在し
て位置決め精度をばらつかせることがある。
本発明の目的は上述従来例の欠点を除去する。
すなわち、振動ダンピング効果を持たせると同時に高精
度な移動精度を有する移動テーブル装置を提供するにあ
る。
度な移動精度を有する移動テーブル装置を提供するにあ
る。
「問題点を解決するための手段」
本発明は静圧空気軸受を用いた移動テーブル装置におい
て、テーブルの移動体に移動方向と平行な移動平面を有
し、更にこれらと対向させてかつ微小間隙を保持して固
定側に固定平面を設け、更に移動平面に溝を設け、前記
微小間隙及び溝に油を満したことを特徴とする移動テー
ブル装置である。
て、テーブルの移動体に移動方向と平行な移動平面を有
し、更にこれらと対向させてかつ微小間隙を保持して固
定側に固定平面を設け、更に移動平面に溝を設け、前記
微小間隙及び溝に油を満したことを特徴とする移動テー
ブル装置である。
「作用」
油の浸入を助長する溝があるために、油は峡湾に保持さ
れ、固定平面と移動平面が平行平置のみの摺擦の場合の
ように油が不均一に分布したり、油がはみ出されたりす
ることがない。
れ、固定平面と移動平面が平行平置のみの摺擦の場合の
ように油が不均一に分布したり、油がはみ出されたりす
ることがない。
「実施例」
゛以下、本発明の実施例を図面により説明する。
第１図は第一図のＡ−Ａ断面図、第一図は第１図のＢ−
Ｂ断面図である。移動テーブルｌと移動ガイトコは微小
間隙をもって係合しており、該間隙に静圧空気を導入す
ることにより、非接触でかつ高精度な静圧空気軸受とな
っている。
Ｂ断面図である。移動テーブルｌと移動ガイトコは微小
間隙をもって係合しており、該間隙に静圧空気を導入す
ることにより、非接触でかつ高精度な静圧空気軸受とな
っている。
移動ガイトコは定盤６と平行となるようにガイド固定部
３化より定盤乙に固定されている。移動平面板ダは移動
テーブルｌの下部にテーブル移動方向ｌと平行になる様
に固定され移動テーブルｌと同一運動をする。更に固定
平面板Ｓは移動平面板ダと平行に一定の微小な間隙りが
保持される様すなわち移動テーブル／が移動しても固体
接触がない様定盤乙に固定される。第３図、第ダ図は本
実施例に詔ける移動平面板ダの間隙り側の表面形状であ
り、テーブル移動方向ｔを横切って溝デが設けられてい
る。第３図は三＾鋸刃形、第ダ図は波形である。夫々の
溝デは一部進行方向に向って移動平面板ダの縁で切れ開
口９ａが設けられ、固定平面板！上に膜として存在する
油を該開口９ａから押込まれ浸入する。即ち、移動テー
ブルｌが移動することによる油の浸入を助長する溝形状
となっている。
３化より定盤乙に固定されている。移動平面板ダは移動
テーブルｌの下部にテーブル移動方向ｌと平行になる様
に固定され移動テーブルｌと同一運動をする。更に固定
平面板Ｓは移動平面板ダと平行に一定の微小な間隙りが
保持される様すなわち移動テーブル／が移動しても固体
接触がない様定盤乙に固定される。第３図、第ダ図は本
実施例に詔ける移動平面板ダの間隙り側の表面形状であ
り、テーブル移動方向ｔを横切って溝デが設けられてい
る。第３図は三＾鋸刃形、第ダ図は波形である。夫々の
溝デは一部進行方向に向って移動平面板ダの縁で切れ開
口９ａが設けられ、固定平面板！上に膜として存在する
油を該開口９ａから押込まれ浸入する。即ち、移動テー
ブルｌが移動することによる油の浸入を助長する溝形状
となっている。
溝９は他めて浅く、溝９中の油は溝デと固定平面板ｊに
粘着して自然状態では外部へ流出しないようになってい
る。
粘着して自然状態では外部へ流出しないようになってい
る。
移動平面板亭が移動すると溝デに油が圧送され、移動平
面板ダと固定平面板Ｓとの間に均一な油膜が構成され、
適正な振動ダンピング効果を持たせることが可能となる
。また均一な油膜が得られるため移動平面板ダと固定平
面板３は非接触状態が保持されるため、テーブル移動精
度を劣化させることがない。
面板ダと固定平面板Ｓとの間に均一な油膜が構成され、
適正な振動ダンピング効果を持たせることが可能となる
。また均一な油膜が得られるため移動平面板ダと固定平
面板３は非接触状態が保持されるため、テーブル移動精
度を劣化させることがない。
何故に均一な油膜が得られるかというに通常の軸受では
油溝は原則として一本であり、もれなく油膜が生成され
るならば、ない方がよいとされている。然し、この移動
テーブル装置では案内は空気静圧軸受によりなされ、移
動平面板ダと固定平面板３間には負荷は加わらない。そ
れ故に多条の溝を設けても負荷が加わらないために固体
接触を考える必要はなく、もっばら油の供給を考慮すれ
ばよく、油の保持と油の供給を考えればよいからである
。即ち、固定平面板ｊ側の耐着している油膜に不同があ
っても溝デに存在する油が移動するにつれて平面部に出
或は平面部から溝９に入りならされる。
油溝は原則として一本であり、もれなく油膜が生成され
るならば、ない方がよいとされている。然し、この移動
テーブル装置では案内は空気静圧軸受によりなされ、移
動平面板ダと固定平面板３間には負荷は加わらない。そ
れ故に多条の溝を設けても負荷が加わらないために固体
接触を考える必要はなく、もっばら油の供給を考慮すれ
ばよく、油の保持と油の供給を考えればよいからである
。即ち、固定平面板ｊ側の耐着している油膜に不同があ
っても溝デに存在する油が移動するにつれて平面部に出
或は平面部から溝９に入りならされる。
移動テーブルｌに取り付ける移動平面板ダは移動テーブ
ルｌの下部に限らず上部、横部あるいは複数個取り付け
ても良い。更に溝デの形状は第３図、第ダ図屹示す形状
に限らず効果的に油の浸入を助長する形状を選択するこ
とができる。
ルｌの下部に限らず上部、横部あるいは複数個取り付け
ても良い。更に溝デの形状は第３図、第ダ図屹示す形状
に限らず効果的に油の浸入を助長する形状を選択するこ
とができる。
更に、本発明は超精密加工機に限らず、半導体焼付装置
や測定機等の超精密な精度を要する移動テーブルに採用
できる。
や測定機等の超精密な精度を要する移動テーブルに採用
できる。
本発明は静圧空気軸受を用いた移動テーブル装置に詔い
て、テーブルの移動体に移動方向と平行な移動平面を有
し、更にこれらと対向させてかつ微小間隙を保持して固
定側に固定平面を設け、更に移動平面に溝を設け、前記
微小間隙及び溝に油を満したことを特徴とする移動テー
ブル装置としたから、テーブル移動時あるいは外部振動
により発生する移動方向振動をダンピングする効果があ
る。更に非接触であるが為にテーブル移動精度を劣化さ
せることがない。移動平面と固定平面間に油が入り易く
、油の分布を均一とし、油の保持を確実にする効果があ
る。
て、テーブルの移動体に移動方向と平行な移動平面を有
し、更にこれらと対向させてかつ微小間隙を保持して固
定側に固定平面を設け、更に移動平面に溝を設け、前記
微小間隙及び溝に油を満したことを特徴とする移動テー
ブル装置としたから、テーブル移動時あるいは外部振動
により発生する移動方向振動をダンピングする効果があ
る。更に非接触であるが為にテーブル移動精度を劣化さ
せることがない。移動平面と固定平面間に油が入り易く
、油の分布を均一とし、油の保持を確実にする効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例の移動テーブル装置で第一図
のＡ−Ａ断面図、第２図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第３
図、第ダ図は夫々移動平面板上の溝形状を示す平面図で
ある。 ／・・移動テーブル コ・拳移動ガイド ３・・ガイド
固定部 ダ・・移動平面板 ＆−・固定平面板 ６・・
定盤 り・・間隙 タ・・溝。
のＡ−Ａ断面図、第２図は第１図のＢ−Ｂ断面図、第３
図、第ダ図は夫々移動平面板上の溝形状を示す平面図で
ある。 ／・・移動テーブル コ・拳移動ガイド ３・・ガイド
固定部 ダ・・移動平面板 ＆−・固定平面板 ６・・
定盤 り・・間隙 タ・・溝。
Claims (1)
- １、静圧空気軸受を用いた移動テーブル装置において、
テーブルの移動体に移動方向と平行な移動平面を有し、
更にこれらと対向させてかつ微小間隙を保持して固定側
に固定平面を設け、更に移動平面に溝を設け、前記微小
間隙及び溝に油を満したことを特徴とする移動テーブル
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15114985A JPS6215037A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 移動テ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15114985A JPS6215037A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 移動テ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6215037A true JPS6215037A (ja) | 1987-01-23 |
Family
ID=15512434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15114985A Pending JPS6215037A (ja) | 1985-07-09 | 1985-07-09 | 移動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6215037A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6427527U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-16 |
-
1985
- 1985-07-09 JP JP15114985A patent/JPS6215037A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6427527U (ja) * | 1987-08-10 | 1989-02-16 |
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