JPS6215541Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6215541Y2 JPS6215541Y2 JP1982169545U JP16954582U JPS6215541Y2 JP S6215541 Y2 JPS6215541 Y2 JP S6215541Y2 JP 1982169545 U JP1982169545 U JP 1982169545U JP 16954582 U JP16954582 U JP 16954582U JP S6215541 Y2 JPS6215541 Y2 JP S6215541Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bearing
- sliding
- air
- sliding shaft
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は摺動型静圧軸受に関するものであ
る。分光光度計におけるマイケルソン干渉計のよ
うに、精密な直線移動を必要とする場合、摺動型
静圧軸受が使用されている。第１図はマイケルソ
ン干渉計の移動鏡の摺動に使用されている従来の
静圧軸受を示す垂直断面図、第２図はその−
断面図である。図において、１は円筒状の軸受で
あつて、中央部に摺動孔２を有している。３はこ
の摺動孔２に摺動するように設けられた中空円筒
状の摺動軸であつて、内部に空気室４を有し、周
辺部にはこの空気室４から摺動間隙５へ空気を吹
出す２列の吹出口６が設けられている。７は摺動
軸３の張出部分、８は給気接続管、９は給気管で
ある。
る。分光光度計におけるマイケルソン干渉計のよ
うに、精密な直線移動を必要とする場合、摺動型
静圧軸受が使用されている。第１図はマイケルソ
ン干渉計の移動鏡の摺動に使用されている従来の
静圧軸受を示す垂直断面図、第２図はその−
断面図である。図において、１は円筒状の軸受で
あつて、中央部に摺動孔２を有している。３はこ
の摺動孔２に摺動するように設けられた中空円筒
状の摺動軸であつて、内部に空気室４を有し、周
辺部にはこの空気室４から摺動間隙５へ空気を吹
出す２列の吹出口６が設けられている。７は摺動
軸３の張出部分、８は給気接続管、９は給気管で
ある。
以上のように構成された静圧軸受においては、
給気管９から空気を供給すると、空気は空気室４
から吹出口６を通つて摺動間隙５に吹出し、ここ
でそれぞれ軸端部に向つてF1およびF2方向に流
れ、摺動軸３はこの空気の流れによつて軸受１中
に浮く。吹出口６は軸方向に間隔をおいて２列に
設けられているので、吹出した空気の流れはF1
およびF2方向のラインフローとなり、摺動間隙
５を一様に流れる。摺動軸３は、マイケルソン干
渉計では図の左側に移動鏡が接続しており、図の
右側に設けられたボイスコイル等の駆動装置（い
ずれも図示せず）により、浮いた状態で摺動孔２
内を左右に摺動する。
給気管９から空気を供給すると、空気は空気室４
から吹出口６を通つて摺動間隙５に吹出し、ここ
でそれぞれ軸端部に向つてF1およびF2方向に流
れ、摺動軸３はこの空気の流れによつて軸受１中
に浮く。吹出口６は軸方向に間隔をおいて２列に
設けられているので、吹出した空気の流れはF1
およびF2方向のラインフローとなり、摺動間隙
５を一様に流れる。摺動軸３は、マイケルソン干
渉計では図の左側に移動鏡が接続しており、図の
右側に設けられたボイスコイル等の駆動装置（い
ずれも図示せず）により、浮いた状態で摺動孔２
内を左右に摺動する。
上記のような構成の静圧軸受は円筒基調であ
り、精度必要部分（マイケルソン干渉計では移動
鏡）と摺動中心が一致しているため、温度変化、
振動等による外乱の摺動精度への影響が少なく、
軸受１のみの精度で摺動精度が決まるため、多数
の部品の精度を出す必要がないという利点を有す
るが、給気管９が摺動の邪魔をしないように、長
さＬの張出部分７を設ける必要があり、移動量を
α増加すると、Ｌは２αだけ伸びることになり、
また３列以上の多列吹出ができないなどの欠点が
あつた。
り、精度必要部分（マイケルソン干渉計では移動
鏡）と摺動中心が一致しているため、温度変化、
振動等による外乱の摺動精度への影響が少なく、
軸受１のみの精度で摺動精度が決まるため、多数
の部品の精度を出す必要がないという利点を有す
るが、給気管９が摺動の邪魔をしないように、長
さＬの張出部分７を設ける必要があり、移動量を
α増加すると、Ｌは２αだけ伸びることになり、
また３列以上の多列吹出ができないなどの欠点が
あつた。
この考案は上記のような従来の欠点を改善する
ためのもので、軸受および摺動軸の少なくとも一
方の摺動面に流体吹出口を避けるようにして流体
流出路を軸方向に、しかも軸受の軸心を中心に対
称な位置にそれぞれ設けることにより、給気管を
側壁に設けることができ、これにより張出部分を
省略して装置を小形化できるとともに、安定した
摺動を行うことができ、摺動精度の高い静圧軸受
を提供することを目的としている。
ためのもので、軸受および摺動軸の少なくとも一
方の摺動面に流体吹出口を避けるようにして流体
流出路を軸方向に、しかも軸受の軸心を中心に対
称な位置にそれぞれ設けることにより、給気管を
側壁に設けることができ、これにより張出部分を
省略して装置を小形化できるとともに、安定した
摺動を行うことができ、摺動精度の高い静圧軸受
を提供することを目的としている。
この考案は軸受と、この軸受の摺動孔に摺動可
能に設けられた中空円筒状の摺動軸と、前記軸受
および摺動軸の少なくとも一方の摺動面に軸方向
に沿つて形成され、かつ軸受の軸心を中心にして
対称な位置にそれぞれ形成された流体流出路と、
この流体流出路を避けるように前記摺動軸の外周
部に設けられ、かつ加圧流体を摺動間隙に向けて
噴出させる流体吹出口と、前記流体流出路に対応
する位置で前記摺動軸に接続され、かつ加圧流体
を摺動軸の内部に供給する流体供給管とを備えた
ことを特徴とする静圧軸受である。
能に設けられた中空円筒状の摺動軸と、前記軸受
および摺動軸の少なくとも一方の摺動面に軸方向
に沿つて形成され、かつ軸受の軸心を中心にして
対称な位置にそれぞれ形成された流体流出路と、
この流体流出路を避けるように前記摺動軸の外周
部に設けられ、かつ加圧流体を摺動間隙に向けて
噴出させる流体吹出口と、前記流体流出路に対応
する位置で前記摺動軸に接続され、かつ加圧流体
を摺動軸の内部に供給する流体供給管とを備えた
ことを特徴とする静圧軸受である。
以下、この考案を図示実施例により説明する。
第３図はこの考案をマイケルソン干渉計の移動鏡
の摺動に実施した実施例による静圧軸受を示す水
平断面図、第４図はその−断面図、第５図は
摺動軸の斜視図、第６図はその横断面図、第７図
は軸受の斜視図、第８図は組立状態を示す斜視図
であり、第１図および第２図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示している。各図は理解しやすい
ように切断面および方向を変えて図示されてい
る。
第３図はこの考案をマイケルソン干渉計の移動鏡
の摺動に実施した実施例による静圧軸受を示す水
平断面図、第４図はその−断面図、第５図は
摺動軸の斜視図、第６図はその横断面図、第７図
は軸受の斜視図、第８図は組立状態を示す斜視図
であり、第１図および第２図と同一符号は同一ま
たは相当部分を示している。各図は理解しやすい
ように切断面および方向を変えて図示されてい
る。
第３図ないし第８図において、軸受１および摺
動軸３は第１図および第２図のものとほぼ同様に
構成されているが、吹出口６は第４図に示すよう
に、摺動軸３のＹ方向の上側および下側に集中し
て放射方向に等間隔で設けられ、吹出口が設けら
れていない横方向、すなわちＹ方向と直角の方向
の摺動部分における摺動軸３の外周には、軸方向
に溝状の空気流出路１０が軸受１（および摺動軸
３）の軸心を挟んで対称にそれぞれ設けられてい
る。一方の空気流出路１０の中央に給気接続管８
を介して給気管９が接続しており、給気接続管８
は軸受１の側壁に設けられた長穴１１を貫通して
摺動可能に設けられている。
動軸３は第１図および第２図のものとほぼ同様に
構成されているが、吹出口６は第４図に示すよう
に、摺動軸３のＹ方向の上側および下側に集中し
て放射方向に等間隔で設けられ、吹出口が設けら
れていない横方向、すなわちＹ方向と直角の方向
の摺動部分における摺動軸３の外周には、軸方向
に溝状の空気流出路１０が軸受１（および摺動軸
３）の軸心を挟んで対称にそれぞれ設けられてい
る。一方の空気流出路１０の中央に給気接続管８
を介して給気管９が接続しており、給気接続管８
は軸受１の側壁に設けられた長穴１１を貫通して
摺動可能に設けられている。
上記のように構成された静圧軸受においては、
給気管９より空気を供給すると、空気は空気室４
から吹出口６を通つて、摺動間隙５に吹出し、
F1およびF2方向に流れ、摺動軸３はこの空気の
流れによつて軸受１中に浮く。この場合、空気流
出路１０近くの吹出口６から吹出す空気は第５図
に示すように空気流出路１０の方向に流れて、ラ
インフローではなくなる。吹出口６とＹ軸との角
度をθとすると、摺動軸３はＹ方向にはcosθ分
の浮力が生じ、Ｘ方向にはsinθ分の浮力が生ず
る。
給気管９より空気を供給すると、空気は空気室４
から吹出口６を通つて、摺動間隙５に吹出し、
F1およびF2方向に流れ、摺動軸３はこの空気の
流れによつて軸受１中に浮く。この場合、空気流
出路１０近くの吹出口６から吹出す空気は第５図
に示すように空気流出路１０の方向に流れて、ラ
インフローではなくなる。吹出口６とＹ軸との角
度をθとすると、摺動軸３はＹ方向にはcosθ分
の浮力が生じ、Ｘ方向にはsinθ分の浮力が生ず
る。
このように吹出口６をＹ方向に集中して放射状
に設けることにより、Ｘ方向にも浮力を生じるこ
とになる。そして空気流出路１０の部分に加工を
施しても軸受１の精度に及ぼす影響は少ないの
で、この部分に給気管９を接続することができ、
第１図および第２図における張出部分７を省略す
ることができる。また軸受１の空気流出路１０の
部分には長穴１１が設けられるので、種々の応用
が可能となる。
に設けることにより、Ｘ方向にも浮力を生じるこ
とになる。そして空気流出路１０の部分に加工を
施しても軸受１の精度に及ぼす影響は少ないの
で、この部分に給気管９を接続することができ、
第１図および第２図における張出部分７を省略す
ることができる。また軸受１の空気流出路１０の
部分には長穴１１が設けられるので、種々の応用
が可能となる。
また、大気に開放される空気流出路１０は軸受
１（および摺動軸３）の軸心を中心にして対称な
位置にそれぞれ形成してあるため、摺動軸３の移
動時にこの摺動軸が一方の空気流出路１０側に偏
ることなく、安定した状態で移動させることがで
きる。その結果、摺動をスムースにできるととも
に、摺動精度の低下を防止することができる。
１（および摺動軸３）の軸心を中心にして対称な
位置にそれぞれ形成してあるため、摺動軸３の移
動時にこの摺動軸が一方の空気流出路１０側に偏
ることなく、安定した状態で移動させることがで
きる。その結果、摺動をスムースにできるととも
に、摺動精度の低下を防止することができる。
第９図は他の実施例を示す水平断面図であり、
この実施例では摺動軸３の両側に設けられた空気
流出路１０に、それぞれ給気接続管８を介して給
気管９が接続しており、これらに対応して軸受１
の両側に長穴１１が形成されている。これにより
対称性が増し、バランスが良くなる。
この実施例では摺動軸３の両側に設けられた空気
流出路１０に、それぞれ給気接続管８を介して給
気管９が接続しており、これらに対応して軸受１
の両側に長穴１１が形成されている。これにより
対称性が増し、バランスが良くなる。
第１０図はさらに他の実施例を示す垂直横断面
図であり、給気管９は一方の空気流出路１０に接
続しているが、長穴１１は両側に設けられてお
り、対称性を増しており、加工時の歪を少なくし
ている。この場合、給気管９が設けられていない
長穴１１から摺動軸３の出力を取り出すことがで
きる。
図であり、給気管９は一方の空気流出路１０に接
続しているが、長穴１１は両側に設けられてお
り、対称性を増しており、加工時の歪を少なくし
ている。この場合、給気管９が設けられていない
長穴１１から摺動軸３の出力を取り出すことがで
きる。
第１１図は別の実施例を示す軸受の斜視図であ
り、この実施例では空気流出路１０は軸受１の内
壁の摺動部分に溝状に形成されており、摺動軸３
は図示しないが、完全な円筒状となつている。効
果は前記のものと同等である。
り、この実施例では空気流出路１０は軸受１の内
壁の摺動部分に溝状に形成されており、摺動軸３
は図示しないが、完全な円筒状となつている。効
果は前記のものと同等である。
第１２図はさらに別の実施例を示す分解斜視図
であり、この例ではＸ方向だけでなく、Ｙ方向の
上下にも空気流出路１０および長穴１１が設けら
れており、同様の効果を奏する。
であり、この例ではＸ方向だけでなく、Ｙ方向の
上下にも空気流出路１０および長穴１１が設けら
れており、同様の効果を奏する。
第１３図はさらに他の実施例を示す分解斜視図
であり、３列以上の吹出口６を有していて、軸受
剛性を増大している。従来の摺動軸受ではライン
フローであり、空気の逃げ場所がなくなるため多
列吹出は困難であつたが、空気流出路１０を設け
ることにより、回転軸受と同様な多列吹出が可能
となる。この場合空気流出路１０と直角方向に補
助流出路を設けてもよい。
であり、３列以上の吹出口６を有していて、軸受
剛性を増大している。従来の摺動軸受ではライン
フローであり、空気の逃げ場所がなくなるため多
列吹出は困難であつたが、空気流出路１０を設け
ることにより、回転軸受と同様な多列吹出が可能
となる。この場合空気流出路１０と直角方向に補
助流出路を設けてもよい。
なお、上記実施例では流体として空気を用いた
場合を示したが、空気以外のガスまたは液体でも
よい。また流体流出路は軸受、摺動軸のいずれに
設けてもよく、その構造も溝状に限らず、面取り
状その他の構造とすることができる。さらに流体
流出路を設ける場所Ｘ，Ｙ方向に限らず、他の方
向に設けてもよく、その数も制限されない。また
本考案はマイケルソン干渉計の移動鏡の移動に限
らず、他の直線運動を必要とする装置にも適用可
能である。
場合を示したが、空気以外のガスまたは液体でも
よい。また流体流出路は軸受、摺動軸のいずれに
設けてもよく、その構造も溝状に限らず、面取り
状その他の構造とすることができる。さらに流体
流出路を設ける場所Ｘ，Ｙ方向に限らず、他の方
向に設けてもよく、その数も制限されない。また
本考案はマイケルソン干渉計の移動鏡の移動に限
らず、他の直線運動を必要とする装置にも適用可
能である。
以上説明してきたように、この考案によれば、
流体吹出口を避けるようにして軸受および摺動軸
の少なくとも一方の摺動面に形成した流体流出路
を軸方向に、しかも軸受の軸心を中心にして対称
な位置にそれぞれ設けるように構成したので、ラ
インフローの制約がなくなり、これにより軸受設
計上の制約が少なくなるとともに、側面給気が可
能となり、軸方向の張出部分を省略して、装置を
小形化することができる。また多列吹出が可能と
なり、軸受剛性を増すことができるとともに、摺
動軸が一方の空気流出路側に偏ることなく、安定
した状態で摺動させることができ、その結果移動
をスムースにでき、かつ摺動精度の低下を防止で
きるなどの効果が得られる。
流体吹出口を避けるようにして軸受および摺動軸
の少なくとも一方の摺動面に形成した流体流出路
を軸方向に、しかも軸受の軸心を中心にして対称
な位置にそれぞれ設けるように構成したので、ラ
インフローの制約がなくなり、これにより軸受設
計上の制約が少なくなるとともに、側面給気が可
能となり、軸方向の張出部分を省略して、装置を
小形化することができる。また多列吹出が可能と
なり、軸受剛性を増すことができるとともに、摺
動軸が一方の空気流出路側に偏ることなく、安定
した状態で摺動させることができ、その結果移動
をスムースにでき、かつ摺動精度の低下を防止で
きるなどの効果が得られる。
第１図は従来の静圧軸受を示す垂直断面図、第
２図はその−断面図、第３図ないし第８図は
この考案の一実施例を示し、第３図は静圧軸受の
水平断面図、第４図はその−断面図、第５図
は摺動軸の斜視図、第６図はその横断面図、第７
図は軸受の斜視図、第８図は組立状態を示す斜視
図、第９図ないし第１３図はそれぞれ他の実施例
を示し、第９図は静圧軸受の水平断面図、第１０
図は静圧軸受の垂直断面図、第１１図は軸受の斜
視図、第１２図および第１３図は軸受の分解斜視
図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は軸受、３は摺動軸、４は空気室、６は吹
出口、９は給気管、１０は空気流出路、１１は長
穴である。
２図はその−断面図、第３図ないし第８図は
この考案の一実施例を示し、第３図は静圧軸受の
水平断面図、第４図はその−断面図、第５図
は摺動軸の斜視図、第６図はその横断面図、第７
図は軸受の斜視図、第８図は組立状態を示す斜視
図、第９図ないし第１３図はそれぞれ他の実施例
を示し、第９図は静圧軸受の水平断面図、第１０
図は静圧軸受の垂直断面図、第１１図は軸受の斜
視図、第１２図および第１３図は軸受の分解斜視
図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１は軸受、３は摺動軸、４は空気室、６は吹
出口、９は給気管、１０は空気流出路、１１は長
穴である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 軸受と、この軸受の摺動孔に摺動可能に設け
られた中空円筒状の摺動軸と、前記軸受および
摺動軸の少なくとも一方の摺動面に軸方向に沿
つて形成され、かつ軸受の軸心を中心にして対
称な位置にそれぞれ形成された流体流出路と、
この流体流出路を避けるように前記摺動軸の外
周部に設けられ、かつ加圧流体を摺動間隙に向
けて噴出させる流体吹出口と、前記流体流出路
に対応する位置で前記摺動軸に接続され、かつ
加圧流体を摺動軸の内部に供給する流体供給管
とを備えたことを特徴とする静圧軸受。 (2) 流体吹出口は２列以上設けられている実用新
案登録請求の範囲第１項記載の静圧軸受。 (3) 加圧流体は空気である実用新案登録請求の範
囲第１項または第２項記載の静圧軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954582U JPS5972316U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 静圧軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16954582U JPS5972316U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 静圧軸受 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5972316U JPS5972316U (ja) | 1984-05-16 |
| JPS6215541Y2 true JPS6215541Y2 (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=30370373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16954582U Granted JPS5972316U (ja) | 1982-11-09 | 1982-11-09 | 静圧軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5972316U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005331048A (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-02 | Imv Corp | 防振ｘ−ｙテーブル |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6210486Y2 (ja) * | 1978-01-13 | 1987-03-12 | ||
| JPS55126117A (en) * | 1979-03-22 | 1980-09-29 | Hitachi Ltd | Main rotary shaft unit |
-
1982
- 1982-11-09 JP JP16954582U patent/JPS5972316U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5972316U (ja) | 1984-05-16 |
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