JPS62157334A - 光学式ピツクアツプの位置検出装置 - Google Patents

光学式ピツクアツプの位置検出装置

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JPS62157334A
JPS62157334A JP18082585A JP18082585A JPS62157334A JP S62157334 A JPS62157334 A JP S62157334A JP 18082585 A JP18082585 A JP 18082585A JP 18082585 A JP18082585 A JP 18082585A JP S62157334 A JPS62157334 A JP S62157334A
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JP
Japan
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light
light receiving
optical pickup
reflecting plate
position detection
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Application number
JP18082585A
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English (en)
Inventor
Tetsuo Ikegame
哲夫 池亀
Haruo Maeda
前田 春雄
Shuji Fujisawa
藤沢 修二
Tadao Karasawa
忠夫 唐沢
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Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野1 本発明は、光ディスクの信号の記録、再生等に使用する
光学式ピックアップの位置検出装置に関する。
[従来の技術及び発明が解決しようとする問題点]従来
、オーディオ・ディスク、ビデオ・ディスク、データ・
ディスク等の光ディスクの信号の記録、再生のために種
々のピックアップが提案されている。
このような光学式ピックアップにおいては、光ディスク
の情報記録面に光スポットを照射し、情報の記録又は読
み取りをするものである。この光学式ピックアップによ
る情報の記録又は再生を正確に行なうために光ディスク
の情報記録面に常に光の焦点が合致するように対物レン
ズを光の光軸方向に駆動するフォーカシングサーボと光
の焦点が常に光ディスクのトラック又はガイド溝に追従
走査するように対物レンズを光ディスクの半径方向に駆
動制御するトラッキングサーボをかける必要がある。
尚、例えば特開昭56−130840号公報には前記構
造等に係る光学式ピックアップに関する従来の技術が開
示されている。
しかしながら、前記構造の光学式ピックアップでは、例
えば、トラッキングサーボ殿構が、通常の記録再生動作
時のみにしかトラン4−ングエラー信号がフィードバッ
クされない構成になっている。
そのため、例えば高速アクセス時には、ピックアップキ
ャリッジを動かすが、このキャリッジの加減速のとぎに
該キャリッジの駆動方向に平行力が生じ、対物レンズを
トラッキング方向に移動可能に支持するばね笠に不要振
動が発生する。この不要振動が、位置決め精度を劣化さ
せたり、サーボ制御を不能としたり、またアクセス時間
を遅らせる等の問題点を生じさせることがあった。
尚、前記問題点を解決するために特開昭58−2633
 ’1号公報には、対物レンズ位置を静電容惜型非接触
式微少変位検出プローグを用いて検出しトラッキングの
追従制御を常にクローズトループ制御できるよう構成し
た光ヘッドに関する従来の技術が提案されている。
しかしながら、この従来の技術では、静電8出式の検出
センサを用いているため、出力信号を線形化するのにリ
ニアアナライザが必要になるとともに、センサ径が大き
いため光学式ピックアップの小型軽量化に適さなかった
。又、外部からの電磁気的なノイズの影響を受けるおそ
れがあった。
また、例えば特開昭57−94942号公報に開示され
ているような、光源からの光束を対物レンズの方向へ反
射させるミラーをアクチュエータにて所定角回動させる
ことでトラッキング制御を行うタイプの光学式ピックア
ップでは、高速アクセス時のミラーに発生する不要振動
を除くため、角度位置検出装置を用いて、アクセス時の
ミラーの傾斜角度を補正動作させるようになっている。
しかしながら、この従来技術の位置検出装置に設けられ
た位置検出用光源と、上記ミラーとの間にはある程度の
距離を開けておく必要がある。ざらに、この光源からの
光束によってミラーの傾斜角度を検出づためには、この
ミラーに比較的大ぎな光スポットを照射する必要があり
、この光スポッ[・が大きくなると、その反射光を受け
る受光素子の受光領域も大きくしなければならなくなる
その結果、装置が全体的に大型化し、構造も複雑になっ
た。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたちので、高速アク
セス時等に生ずる対物レンズ等の光学系の変位を検出す
るセンサの出力信号が線形で制御に適し、かつ小型11
 fd化が図れる光学式ピックアップの位置検出装置を
提供することを目的とするしのである。
[問題点を解決するための手段及び作用コ上記問題点を
解決するために、本発明は、光源から出射される光を記
録媒体に照rJ4する光学系と、この光学系を移動自在
に支持したアクチュエータとを備えた光学式ピックアッ
プにおいて、前記光学系あるいは該光学系と一体的に移
動する支持部材に設けた反射部に光を出射する発光素子
と、この発光素子からの光が前記反射部により反射され
てその反射光を受光する受光素子とを固定部分に設ける
ように構成し、出力信号の線形化をと小型軽量化を図る
ようにしている。
[実施例] 以下図面を参照して本発明による実施例を具体的に説明
する。
第1図乃至第6図は本発明の第一実施例に係り、第1図
は光学式ピックアップの対物レンズアクチュエータ部分
の分解斜視図、第2図は第1図の平面図、第3図は第1
図の側面図、第4図は位置検出装置部分の拡大図、第5
図は第4図のA矢視図、第5図は出力信号処理を示す図
である。
これらの図において、光ディスクのような記録媒体上に
光スポットを照射する対物レンズ1は支持部材2に嵌合
装着されている。この支持部材2を対物レンズ1の光軸
と平行なフォーカシング方尚Fに変位させて光スポット
を記録媒体上に収束させると共に記録媒体上の情報1〜
ラツクおよび光軸と直交するトラッキング方向下に変位
させて光スポットが情報トラックを追従するようにする
ために、対物レンズ支持部材2は支持!1!構を介して
ベース3に連結されている。この支持機構は一対のフォ
ーカシング用板ぽね4aおよび4bと、中継部材5と、
一対のトラッキング用板ばね6aおよび6bとを以って
構成されている。一対のフォーカシング用板ばね4a、
4bはフォーカシング方向Fに見て互いに平行に対向し
ながらフォーカシング方向Fおよびトラッキング方向T
に対して直交する方向に延在するようにそれぞれの一端
を支持部材2の側壁にあけたR 2 a d3よび2b
内に嵌合装着されると共に他端を中継部材5に形成した
上下の溝5aおよび5b内に嵌合装着されている。また
、一対のトラッキング用板ばね6aおよび6bは、トラ
ッキング方向Tに見である角度αを以って対向しながら
フォーカシング方向Fおよびトラッキング方向Tとほぼ
直交する方向に延在するようにそれぞれの一端を中継部
材5に形成した左右方向の溝5Cおよび5dに嵌合装着
されると共に他端をベース3と一体に形成したボスト7
および8に形成した溝7aおよび8aに嵌合装着されて
いる。上述した一対のトラッキング用板ばね6aおよび
6bの、中継部材5における一端間の距離はボスト7お
よび8における他端間の距離よりも長くなっており、こ
れらの板ばね6aおよび6bが成ず角度αは、例えば約
30°とするのが好適である。このようにして対物レン
ズ1はフォーカシング方向Fおよびトラッキング方向T
に移動可能に支持されている。前記支持部材2のトラッ
キング方向Tに対向する側面には一対のフォーカシング
コイル9bおよび9bが固着されると共にこれらフォー
カシングコイル9a、9bの外側には一対のトラッキン
グコイル10aJ5よび1obが一体的に装着されてい
る。フォーカシングコイル9aおよび9bはフォーカシ
ング方向Fに見て「口の字」の形状をしているのに対し
ドラッギングコイル10aおよび10bはフォーカシン
グ方向Fに見て「コの字」の形状をしている。これらの
フォーカシングコイル9a、9bおよび1−ラッキング
コイル10a、10bと協働する磁界を発生する磁界発
生部材は、磁性材料より成る一対のヨーク11および1
2と、一方のヨーク11の両側の脚部11aおよび11
bに沿って装着した永久磁石13aJ3よび13bと、
他方のヨーク12の両側の脚部12aおよび12bに沿
って装着した永久磁石14aおよび14bとを以って構
成されている。これらヨーク11および12は、それら
の中央の脚部11cおよび12cがそれぞれフを一カシ
ングコイル9aおよび9bの中に挿入されるにうにベー
ス3に固定されている。フォーカシングコイル9a、9
bおよびトラッキングコイル10a、19bに接続した
リード線(第1図ではその一木のみを示す)は支持部材
2の側面に設けた端子に接続した後板ばね4a、4b、
6a、6bにほぼ沿って延在させ、中継部材5にあけた
孔5eを貫通さぜ、ベース3に固着したプリント基板1
5の端子に接続され、さらにここから回路へ接続されて
いる。
一方、前記支持部材2に対峙する部分には、一端部側を
ベース3端部に固着された保持部材16が設けられてい
る。この保持部材16は板状に形成されており、その前
記支持部材2に対峙する部分に発光素子17と受光素子
18とが固定されている。前記受光素子17はトラッキ
ング方向に2分割された受光領域18a、18bを有し
ている。
そして、前記発光素子17と受光素子18とに対峙する
支持部材2の側面には、反射板19が固着されている。
この反射板19は、はぼ円形に形成されており、前記発
光索子17より出射された光を反射し、前記受光素子1
7の受光領域18a。
18bに円形の照射スポット20を形成するようになっ
ている。尚、前記受光素子18の受光領域18a、18
bで検出される受光母の出力差信号に比例した電流がト
ラッキングコイル10aおよび10bに流れるようにな
っている。
このような構成では、通常の記録再生時には、フォーカ
シングコイル9aおよび9bにフォーカシング駆動電流
を流すとこれらのコイル9a、9bを通る磁界との相互
作用によりフォーカシングコイル9a、9bがフォーカ
シング方向Fに力を受け、支持部材2および対物レンズ
1は、一対のフォーカシング用板ばね4aおよび4bの
たわみににつてフォーカシング方向Fに変位Jる。又、
トラッキングコイル10aおよび10bにトラッキング
駆動電流を流すと、同様に作用して、支持部材2および
対物レンズ1はトラッキング方向Tに変位する。
次に高速アクセス動作等のために、支持部材2および対
物レンズ1がトラッキング方向Tに移動した場合には、
その移動とともに反射板19が変位し、発光素子17か
ら拡散光が出射され受光素子18に受光される光1分布
を変化させる。対物レンズ1が変位しない場合において
、発光索子17からの照射スポット20が受光領域is
a、i8bに同面積になるように位置させておけば出力
電圧差はOとなる。又、対物レンズが変位した場合には
、その変位に比例した位置における照射スポット20=
を形成し、変位に比例した光量分布となり受光領域18
a、18bの出力電圧差は第6図に示すように該対物レ
ンズ1の位置の変位に比例する。この出力電圧差に比例
した電流がトラッキングコイル10a、10bに流れる
ようフィードバックして号−ボ系のクローズトループを
形成し、対物レンズ1のトラッキング方向Tの変位0の
位置に保持制御される。従って、高速アクセス時等に生
じる対物レンズ1の不要振動を防止することができる。
この実施例では、対物レンズ1とともに動く反射板1つ
を設けるとともに、この反射板1つに対峙する固定部分
に発光素子17と受光素子18とを設りるようにしてい
るため、その検出υる出力信gを線形にすることができ
、又、小型軽量化することができる。
尚、前記第1実施例において、第7図に示すよ。
うに発光素子17と反射板19との間にコリメリータレ
ンズ21を配設して、平行光束を得るようにしても同様
の効果が得られる。又反(ト)板19(よ第8図の示す
ように対物レンズ1とともに動くよう取付けられてあれ
ばよく、例えば偏心した位置で動く対物レンズを配設し
た対物レンズアクチュエータ22の外枠に取付けられて
いても同様の効果が得られる。
第9図は本発明の第2実施例に係り、第9図(a)は位
置検出装置部分の説明図、第9図(b)は同図(a)の
A矢視図である。尚、第1実施例と同−又は対応づる部
分あるいは部材は同一の符号を記し説明を省略する。以
後の実施例の説明も同様とする。
この実施例では、X方向に図示しない対物レンズととも
に移動する矩形状の反q1阪31の光軸方向の幅J21
より乙大きい幅12の平行光束が該反射板31に入射さ
れ、その反射光の一部が受光素子32にて受光され照射
スポット33を形成するJ:うになっている。
このような構成では、反射板31がX方向に移動すると
反射光もX方向に移動し、その結果受光素子32の受光
面での照射スポット33の大きさが変化する。従って、
反射板31の移動岱に応じた出力信qが15tられる。
この実施例て・【よ、反射板31がX方向と直角方向の
Y方向に移動した場合にも、同様の効果が1qられる。
又、受光素子32は分割された受光領域を必要としない
。ざらにX方向あるいはY方向はトラッキング方向T、
フォーカシング方向Fのいずれでへしよい。
第10図は本発明の第3実施例に係り、第10図(a)
は位置検出装置の説明図、第10図(b)は同図(a)
のA矢81図である。
この実施例では、第2実施例と同様にX方向に移動Jる
反射板41に入射づる平行光束の一部を遮光板42によ
り遮光し、該反射板31の一端に光が当たらないにうに
される。そして、反射光はX方向に2分割した受光領域
43a、43bを有する受光素子43上に照射スポット
44を形成するよう入射される。
このような構成では、反+3−1仮41がX方向に移動
すると照04スポッl−44は、その大ぎさは変化せず
に、x7ノ向に移動する。従って、受光素子43の受光
領域43a、43bに出力電圧差が反射板41の移動量
に応じた出力信号が得られる。
第11図は本発明の第4実施例に係り、第11図(a)
は位置検出装置の説明図、第11図(b)は同図(a)
 A矢視図、第11図(C)は発光素子の出射光分布を
示ず図である。
この実施例では、Y方向に移動する反射板51に入射す
る平行光束の一部を回礼状に形成して光を遮光する遮光
板52を設け、該反射板51の中央に光が当たるように
する。そしC1その反射光は、Y方向と直角方向に2分
割した受光領域53a、53bを有する受光素子53F
に円形の照射スポット54を形成するよう入射される。
このような構成では、反射板51がY方向に移動すると
照射スポット54は、その大きさを変化せずに、Y方向
と直角方向に移動する。従って、受光素子53の受光領
域53a、53bの出力電圧差が反射板51の移動量に
応じた出力信号が得られる。出射光分布が第11図(C
)に示すように中心部が最も強く周辺に行くほど弱い分
布の発光素子を用いれば遮光板52がなくても同様の効
果が得られる。
第12図は本発明の第5実施例に係り、第12図(a)
は位置検出装置の説明図、第12図(b)は同図(a)
のΔ矢視図である。
この実施例では、Y方向に移動する角度を持った2つの
反用面61a、61bを右づる反射板61に、遮光板6
2により一部の光を遮光された光が該反則板61の中央
に当るようにする。そして、その反則光は、反q4面6
1a、61bに反射され、それぞれY方向と直角方向に
分割された2つの受光素子63.63−に照射スポット
64.64′を形成するよう入用される。
このような構成では、それぞれの受光素子63゜63′
の2分割した受光領域63 a 、 63 b 、 6
3=a、63′bの出力電圧の差の和をとれば、反射板
61の移動用に応じた出力信号が得られる。
この場合は出力電圧が2倍となり検出感度が上がる。
第13図は本発明の第6実施例に係り、第13図(a)
は位置検出装置の説明図、第13図(b)は同図(a)
のA矢視図である。
この実施例では、第5実施例と同様に形成された反射板
61に、遮光板62に遮光された光が入射し、その反射
光が2つの受光素子71.71′にそれぞれ照射スポッ
ト72.72”を形成するにう当るようになっている。
このような構成では、反射板61がX方向に移動すれば
、受光素子71.71−の2つの出力電圧の差が反射板
61の移動量に応じた出力信号が1qられる。
第14図は本発明の第7実施例に係り、第14図(a)
は位置検出装置の説明図、1n14図(b)は同図(a
)のB矢視図である。
この実施例では、遮光板81に11;り遮光された光が
プリズム状に形成された反射板82に入射し、その反射
光が直角方向に向番ノられC受光素子83に照射され照
射スポット84を形成するようになっている。この受光
素子83は反射板82のX方向に2分割された受光領域
83a、83bを有し。
ている。
このような構成では、反則板82のX方向あるいはY方
向への移動61に応じた出力信号が得られる。
尚、第15図に示すように、第7実施例において、遮光
板81を設けずに平行光束を照射するようにしても同様
にX方向への移flllffiに応じ7.−出力信りが
得られる。
第16図は本発明の第8実施例に係り、第16図(a)
は位置検出装置の説明図、第16図(blは同図(a)
のB矢視図である。
この実施例では、第7実施例と同様にプリズム状に形成
されl〔反射板82に入用した平行光束が直角方向に向
けられて受光素子91の照射され、照射スポット92を
形成するようになっている。
この受光素子91は入射光と直角なZ方向(紙面に垂直
な方向)に2分割された受光領域91a。
91bをイ1している。
このような構成では、Z方向の反射板82の移動量に応
じた出力信号が1qられる。
第17図は本発明の第9実施例に係り、第17図(a)
は位置検出装置の説明図、第17図(b)は同図(a)
のB矢視図である。
この実施例では、第7実施例と同様に形成された反射板
82に入射した平行光束が直角方向に向【プられて受光
素子101に入射され照射スポット102を形成するよ
うになっている。この受光素子101はX方向およびZ
方向にそれぞれ分割された受光領域101a、101b
、101c、101dを有している。
このような構成では(101a+101 b) −(1
01c −+ 101 d )の演算処理により反射板
82のX方向の移動H1が、<1018+1016)−
(10’l b+101 c)により反射板82の2方
向の移?lJ faが検出される。
第18図は本発明の第10実施例に係り、第18図(a
)は位置検出装置の反射板の斜視図、第18図(b)は
受光素子を示ず図である。
この実施例は、第13図の第6実施例と同様の平行光束
が4つの反射面111a、111b、111c、111
dを右Jる反射板111に入射され、その反射光が4辺
形の外側に各辺を共通にした4つの受光素子112a、
112b、112(:。
112dに照射スポットを形成するようになっている。
このような構成rは、第6実施例と同様に作用し反射板
111のX方向およびZ方向の移動量が検出される。
尚、前記実施例において、反射板19,31゜41.5
1,61,82.11.受光索子18゜32.43,5
2,63.63=、71.71 +。
83.91,101,112および入用光の形状等は実
施例のものに限定されない3.又、位置を検出するもの
は、第1実施例のように対物レンズ1だけでなく、他の
光学素子、例えばプリズム、発光素子等であってもよい
。さらに、反射板【よ光が反1)J−するものであれば
、位置を検出しようとづ゛る部品又はぞの支持部材その
ものであってもよく、部材にメッキ等により反射率を上
げるようにした反射部であればよい。ざらに又、反射部
の一部(−反l1)I率の低いコーティング又は反04
防止膜等をつけることにより特定の部分のみ反射させる
ようにしてもよい。
[発明の効果] 以上説明したJ:うに本発明によれば、光学式ピックア
ップの移動自在に支持された光学系あるいは該光学系と
一体に移動する支持部材に設けた反aI部に光出射する
発光素子と、この発光素子からの光が発光部により反射
されその反射光を受光する受光素子とを固定部分に設け
るようにしているため、出力信号が線形で制御に適し、
かつ小型軽量化を図ることができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第6図は本発明の第゛1実施例に係り、第1
図は対物レンズアクチュエータ部分の分解斜視図、第2
図は第1図の平面図、第3図は第1図の側面図、第4図
は位置検出装置部分の拡大図、第5図は第4図のA矢視
図、第5図は出力信丹処理を示ず図、第7図は他の位置
検出装置を示す図、第8図は他の位置検出装置を示1図
、第9図は本発明の第2実施例に係り、第9図(a)は
位置検出装置部分の説明図、第9図(b)は同図(a)
のΔ矢視図、第10図は本発明の第3実施例に係り、第
10図(a)は位置検出装置の説明図、第10図(b)
は同図(a)のA矢視図、第11図は本発明の第4実施
例に係り、第11図(a)は位置検出装置の説明図、第
11図(b)は同図(a)のA矢視図、第11図(C)
は発光素子の出a4光分布を示す図、第12図は本発明
の第5実施例に係り、第12図(a)は位置検出装置の
説明図、第12図(b)は同図(a)のA矢視図、第1
3図は本発明の第6実施例に係り、第13図(a)は位
置検出装置の説明図、第13図(b)は同図(a)のA
矢視図、第14図は本発明の第7実施例に係り、第14
図(a)は位置検出装置の説明図、第14図(b)はl
lil図(a)の8方向矢視図、第15図(a)は位置
検出装置の説明図、第15図(b) ハ同図(a)のB
矢視図、第1G図は本発明の第8実施例に係り、第16
図(a)は位置検出装置の説明図、第16図(b)は同
図(a)のB矢視図、第17図は本発明の第9実施例に
係リ、第17図(a)は位置検出装置の説明図、第17
図(b)は同図(a)のB矢視図、第18図は本発明の
第10実施例に係り、第18図(a)は位置検出装置の
反射板の斜視図、第18図(b)は受光素子を示す図で
ある。 1・・・対物レンズ    2・・・支持部材16・・
・保持部材    17・・・発光素子18.32.4
3.52,63.63−.71゜71 ′、83.91
・・・受光素子 19.31,41.51,61.82・・・反射板第1
図 第2図 第3図 第15図 (a)              (b)第16図 (a)(bl 第17図 (a)              (b)第18図 (a)            (b)+1Zc 手M、′4ril正芯t(自発) 昭和60年12月19日 1、事件の表示   昭和60年特許願第180825
号2、発明の名称   光学式ピックアップの位置検出
装置3、補正をする者 事件との関係   特許出願人 代表化  下  111   敏  部5、補正命令の
日イ=1    (自 発)1、明細書第11ページ第
18行にr8bに同面積に・・・」どあるをr8bに同
光量に・・・」と補正しょげ。 2、明細書第14ページ第19行〜同第20行に[・・
・その大ぎざは変化せずに、X方向に移動する。 ・・・]とあるを[・・・、受光領域43a上は変化l
ず、受光領域/13b上のみ変化する。・・・」と補正
します。 3、明細書第21ページ第3行に「してもよい。」どあ
るを「しでもよい。又、第11図(C)に示寸ような素
子を使用すれば各実施例に用いている遮光板を省略する
ことが可能である。」4、明i出第23ページ第8行に
r18.32゜/1.3.52,63.63=、71.
Jとあるをr18.32.43.53.63.63−.
71゜」と補正しまず。 5、明細書第23ページ第9行にr71 +、83゜9
1、・・・受光素子」とあるをr71−.83.91.
101.112・・・受光素子」と補正します。 6、明細書第23ページ第10行にN9,31゜41.
51,61,82.・・・反射板」とあるをr19.3
1.41.51,61.82.111・・・反(ト)板
」と補正します。 以  上 第1図 第4図 r 第11図 (b) 手続ネ「n止歯(方式) 昭和62年1月、30日   9 1、事件の表示   昭和60年特訂願第180825
号2、発明の名称   光学式ピックアップの位置検出
装置3、補正をJる者 事件との関係  特許出願人 代表者  下  山  敏  部 5、補正命令の日付   昭和62年1月27日6、補
正の対象   図面の簡単な説明の欄1、明細書第21
ページ第19行に[理を示1図、17図は他の・・・]
とあるのを「埋を示す図、第64は出力処理を示す図、
第7図は他の・・・」と補正まず。 以  上

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源から出射される光を記録媒体に照射する光学
    系と、この光学系を移動自在に支持したアクチュエータ
    とを備えた光学式ピックアップにおいて、前記光学系あ
    るいは該光学系と一体的に移動する支持部材に設けた反
    射部に光を出射する発光素子と、この発光素子からの光
    が前記反射部により反射されてその反射光を受光する受
    光素子とを固定部分に設けたことを特徴とする光学式ピ
    ックアップの位置検出装置。
  2. (2)前記反射部は、対物レンズの支持部材に固着され
    た反射板であることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の光学式ピックアップの位置検出装置。
  3. (3)前記受光素子は、トラッキング方向、フォーカシ
    ング方向に分割された受光領域を有することを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の光学式ピックアップの位
    置検出装置。
  4. (4)前記反射部は入射光を直角方向に反射する反射板
    であることを特徴とする特許請求範囲第1項記載の光学
    式ピックアップの位置検出装置。
JP18082585A 1985-08-16 1985-08-16 光学式ピツクアツプの位置検出装置 Pending JPS62157334A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294124A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Nec Corp 対物レンズ駆動装置
JPH02185724A (ja) * 1989-01-12 1990-07-20 Nec Corp 対物レンズ駆動装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0294124A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Nec Corp 対物レンズ駆動装置
JPH02185724A (ja) * 1989-01-12 1990-07-20 Nec Corp 対物レンズ駆動装置

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