JPS62158979A - 窒素発生方法 - Google Patents
窒素発生方法Info
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- JPS62158979A JPS62158979A JP29746485A JP29746485A JPS62158979A JP S62158979 A JPS62158979 A JP S62158979A JP 29746485 A JP29746485 A JP 29746485A JP 29746485 A JP29746485 A JP 29746485A JP S62158979 A JPS62158979 A JP S62158979A
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Landscapes
- Separation By Low-Temperature Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体工場などにおいて必要とされる窒素ガ
スを発生する方法に関する。
スを発生する方法に関する。
背景技術
従来では、空気などの原料ガスを活性炭などの吸着剤に
よって、脱水、脱炭酸〃スを行ない、次にこの原料ガス
を液化精留することにより高純度の窒素ガスを得るよう
にしていた。
よって、脱水、脱炭酸〃スを行ない、次にこの原料ガス
を液化精留することにより高純度の窒素ガスを得るよう
にしていた。
発明が解決しようとする問題点
このような先行技術では、空気中の酸素を除去していな
いので、精留塔や冷却器が大きくなったり、また寒冷剤
の消費量が大きくなる欠点を有していた。
いので、精留塔や冷却器が大きくなったり、また寒冷剤
の消費量が大きくなる欠点を有していた。
本発明の目的は、−に述の技術的課題を解決し、装置を
コンパクト化し、また寒冷剤としての液化窒素を使用す
る場合には液化窒素の消費量を節減して、高純度の窒素
を得る窒素発生方法を提ｆノ（することである。
コンパクト化し、また寒冷剤としての液化窒素を使用す
る場合には液化窒素の消費量を節減して、高純度の窒素
を得る窒素発生方法を提ｆノ（することである。
問題点を解決するための手段
本発明は、原料ガスを圧送して吸着塔で一部の酸素を除
去し、同時に脱水、脱炭酸ガスを行ない、次に残存する
酸素を含む原料〃スを液化精留して高純度の窒素ガスを
得るようにしたことを特徴とする窒素発生方法である。
去し、同時に脱水、脱炭酸ガスを行ない、次に残存する
酸素を含む原料〃スを液化精留して高純度の窒素ガスを
得るようにしたことを特徴とする窒素発生方法である。
作 用
本発明に従えば、窒素ガスを含む原料ガスを吸着塔に圧
送して、一部の酸素を除去し、同時に脱水、脱炭酸ガス
を行なっているので、精留塔に供給される原料ガス量が
減少し、同時に窒素濃度が高くなっているので精留塔・
冷却器などが小さくなり、また寒冷剤の消費量の節減が
可能となる。
送して、一部の酸素を除去し、同時に脱水、脱炭酸ガス
を行なっているので、精留塔に供給される原料ガス量が
減少し、同時に窒素濃度が高くなっているので精留塔・
冷却器などが小さくなり、また寒冷剤の消費量の節減が
可能となる。
実施例
以下図面を参照して、本発明の一実施例を説明する。本
発明に従う窒素発生方法は、複数個（本実施例では２個
）の吸着塔１，２において、原料ガスとしての空気Ｇ１
から窒素ガス以外の一部の酸素、水分、および炭酸がス
などを除去する第１ステツプと、吸着塔１，２がらの高
純度の窒素ガスを含むガスＧ２を熱交換器３によって除
去する第２ステツプと、冷却されたガスＧ２を精留塔５
に導き、液化精留して、残存する酸素を除去し、高純度
の窒素を取得する第３ステツプを含む。
発明に従う窒素発生方法は、複数個（本実施例では２個
）の吸着塔１，２において、原料ガスとしての空気Ｇ１
から窒素ガス以外の一部の酸素、水分、および炭酸がス
などを除去する第１ステツプと、吸着塔１，２がらの高
純度の窒素ガスを含むガスＧ２を熱交換器３によって除
去する第２ステツプと、冷却されたガスＧ２を精留塔５
に導き、液化精留して、残存する酸素を除去し、高純度
の窒素を取得する第３ステツプを含む。
空気Ｇ１は、圧縮機１０によって６ ｋｇ／ ａｍ２程
度で圧送され、吸着塔１．２に供給される。吸着塔１．
２にはたとえばゼオライトなどの吸着剤９が充填されて
いて、この吸着剤９によって空気中６１に含まれる窒素
ガス以外の一部の酸素、水分および炭酸ガスなどが吸着
される。これによって、空気Ｇ１に含まれる窒素ガスの
濃度よりも高い濃度の窒素ガスを含むガスを管路ノ３に
供給することができる。また酸素の減量により、ガス量
も減少することができる。
度で圧送され、吸着塔１．２に供給される。吸着塔１．
２にはたとえばゼオライトなどの吸着剤９が充填されて
いて、この吸着剤９によって空気中６１に含まれる窒素
ガス以外の一部の酸素、水分および炭酸ガスなどが吸着
される。これによって、空気Ｇ１に含まれる窒素ガスの
濃度よりも高い濃度の窒素ガスを含むガスを管路ノ３に
供給することができる。また酸素の減量により、ガス量
も減少することができる。
吸着塔１，２は、複数個（本実施例では２個）設置され
、バルブＶ１〜ｖ６によって一定周期で切換え吸脱着を
行なうが、脱着には圧力スイング方式を用いる。常用さ
れている操作力法なので説明は省略する。
、バルブＶ１〜ｖ６によって一定周期で切換え吸脱着を
行なうが、脱着には圧力スイング方式を用いる。常用さ
れている操作力法なので説明は省略する。
吸着塔１または２からの高濃度の窒素ガスを含むガスＧ
２は、管路！３を介して熱交換器３に導かれる。熱交換
器３はガスＧ２を液化温度近くまで冷却する働トをする
。その後、管路Ｊ？４と膨張弁４を介して、精留塔５に
供給される。膨張弁４により、ガスＧ２はさらに冷却さ
れ、精留塔５に供給される。精留塔内では、塔頂がら純
度の高い窒素ガスＧ３が得られる。窒素ガスＧ３は、ラ
イン！６から熱交換器３に供給され、そこでガスＧ２を
冷却し、窒素ガスＧ３は昇温し、圧縮機８によって加圧
され、使用に供される。
２は、管路！３を介して熱交換器３に導かれる。熱交換
器３はガスＧ２を液化温度近くまで冷却する働トをする
。その後、管路Ｊ？４と膨張弁４を介して、精留塔５に
供給される。膨張弁４により、ガスＧ２はさらに冷却さ
れ、精留塔５に供給される。精留塔内では、塔頂がら純
度の高い窒素ガスＧ３が得られる。窒素ガスＧ３は、ラ
イン！６から熱交換器３に供給され、そこでガスＧ２を
冷却し、窒素ガスＧ３は昇温し、圧縮機８によって加圧
され、使用に供される。
精留塔の塔底側には、酸素に富んだ液化空気が得られ、
ライン！５を介して凝縮器６に供給される。凝縮器６に
て、ガスＧ４はガスＧ３よりの窒素ガスを凝縮させ、液
化させる。その窒素液は、精留塔５にラインノアを介し
て還流釘る。
ライン！５を介して凝縮器６に供給される。凝縮器６に
て、ガスＧ４はガスＧ３よりの窒素ガスを凝縮させ、液
化させる。その窒素液は、精留塔５にラインノアを介し
て還流釘る。
酸素に富んだガスＧ４は、ラインＪ？８から熱交換器３
に供給され、そこでガスＧ２を冷却し、ガスＧ４は昇温
する。ガスＧ４は、膨張タービン７で冷却され、再び熱
交換器３でガスＧ２を冷却する。熱交換器３を出たガス
Ｇ４は、ラインノ９を介して廃棄される。
に供給され、そこでガスＧ２を冷却し、ガスＧ４は昇温
する。ガスＧ４は、膨張タービン７で冷却され、再び熱
交換器３でガスＧ２を冷却する。熱交換器３を出たガス
Ｇ４は、ラインノ９を介して廃棄される。
このようにまず吸着塔１または吸着塔２で空気Ｇ１に含
まれる窒素ガス以外の酸素、水分および炭酸ガスを吸着
し、ガスＧ２を減量し、窒素濃度を高めて、次に熱交換
器３、精留塔５で残存する酸素を除去し、高純度の窒素
ガスを得るようにしたので、酸素を除去しない従来法よ
りも熱交換器３、精留塔５のコンパクト化が可能となっ
た。
まれる窒素ガス以外の酸素、水分および炭酸ガスを吸着
し、ガスＧ２を減量し、窒素濃度を高めて、次に熱交換
器３、精留塔５で残存する酸素を除去し、高純度の窒素
ガスを得るようにしたので、酸素を除去しない従来法よ
りも熱交換器３、精留塔５のコンパクト化が可能となっ
た。
本発明者の実験によれば１．０００ Ｎ ｍ３／ ＩＩ
の製品ガス量を得るために、ラインノ３に供給する
ガス量は、従来では２．３６０ ＮＩｏ”／ Ｈを要し
たものが本発明の方法（９０％の窒素濃度まで酸素を除
去した場合）では、２ 、０００ Ｎ Ｉｎ”／ Ｈに
減量できた。このため、ライソノ３以降の熱交換器、精
留塔などのコンパクト化が可能となり、同時に液化精留
に必要な寒冷剤も少なくて済んだ。
の製品ガス量を得るために、ラインノ３に供給する
ガス量は、従来では２．３６０ ＮＩｏ”／ Ｈを要し
たものが本発明の方法（９０％の窒素濃度まで酸素を除
去した場合）では、２ 、０００ Ｎ Ｉｎ”／ Ｈに
減量できた。このため、ライソノ３以降の熱交換器、精
留塔などのコンパクト化が可能となり、同時に液化精留
に必要な寒冷剤も少なくて済んだ。
効 果
以上のように本発明によれば、窒素ガスを含む原料ガス
を吸着塔に圧送して脱酸素、脱水分、脱炭酸ガスを行な
って、熱交換器、精留塔へ供給するガス量を減少したの
で、熱交換器、精留塔などのコンパクト化と、液化に必
要な寒冷剤の減少が達成できる。
を吸着塔に圧送して脱酸素、脱水分、脱炭酸ガスを行な
って、熱交換器、精留塔へ供給するガス量を減少したの
で、熱交換器、精留塔などのコンパクト化と、液化に必
要な寒冷剤の減少が達成できる。
図面は本発明の一実施例の系統図である。
１．２・・・吸着塔、３・・・熱交換器、５・・・精留
塔、９・・・吸着剤
塔、９・・・吸着剤
Claims (1)
- 原料ガスを圧送して吸着塔で一部の酸素を除去し、同
時に脱水、脱炭酸ガスを行ない、次に残存する酸素を含
む原料ガスを液化精留して、高純度の窒素ガスを得るよ
うにしたことを特徴とする窒素発生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60297464A JPH0792330B2 (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 窒素発生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60297464A JPH0792330B2 (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 窒素発生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158979A true JPS62158979A (ja) | 1987-07-14 |
| JPH0792330B2 JPH0792330B2 (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=17846829
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60297464A Expired - Lifetime JPH0792330B2 (ja) | 1985-12-28 | 1985-12-28 | 窒素発生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0792330B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147086A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-02 | 大同酸素株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
-
1985
- 1985-12-28 JP JP60297464A patent/JPH0792330B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60147086A (ja) * | 1984-01-11 | 1985-08-02 | 大同酸素株式会社 | 高純度窒素ガス製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0792330B2 (ja) | 1995-10-09 |
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