JPS62160004A

JPS62160004A - 磁気浮上搬送装置

Info

Publication number: JPS62160004A
Application number: JP85986A
Authority: JP
Inventors: Toshiro Higuchi; 俊郎樋口; Shigeki Kamei; 亀井　茂樹; Makoto Yamamura; 誠山村; Kojiro Kawaguchi; 浩二郎川口
Original assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Current assignee: Hitachi Kiden Kogyo Ltd
Priority date: 1986-01-06
Filing date: 1986-01-06
Publication date: 1987-07-16

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】、産１」２■利ＪＬｔ「本発明は磁気浮上ｌ股送装置に係り、特にクリーン工場
内において使用されうる磁気浮上１１１送装置に関する
。

従未朶鼓血半導体工場のような微細化技術が要請される工場におい
ては、部品の搬送にあたって防塵対策を施した搬送技術
が必要となってきている。

かかる観点から、搬送車の案内方法として、例えば磁気
浮上型が注目されているが、従来使用されている磁気浮
上搬送装置は、移動体に電磁石を取りつけるようになっ
ている。

■が１ンしよ゛と−る。　占前記従来の磁気浮上搬送装置では、電磁石を移動体即ち
、台軍側に設置していたので、電磁石を給電乃至コント
ロールするためのケーブルが必要である。また、これら
のケーブルは多数本にのぼるので、どうしても相互のケ
ーブルは接触するかたちとなる。また、ケーブルハンガ
ーの摺動が避けられず、そのため、発塵の可能性が高く
、本来の目的である防塵に対しては却って不充分となる
傾向があった。

本発明と上記事情にかんがみてなされたもので、防塵対
策の優れた磁気浮上搬送装置を提供することを目的とし
ている。

０′ｒ占を”ンするための−４この発明に係る磁気浮上搬送装置は搬送路側に複数個の
電磁石を吸引面を下側にして、左右交互に進行方向にあ
る一定の間隔をもって並べて配置してあり、かつ移動体
の前記吸引面に対応する位置には磁性材料からなるプレ
ートがあり、かつ前記電磁石の吸引面と前記プレートの
被吸引面には移動体の進行方向に沿って溝が設けられて
いる。

１蓋± 第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の磁
気浮上搬送装置の平面図、正面図および側面図である。

図において、１０は地上側に設けた搬送路であって、こ
の搬送路１０はベース１１、リニアモータのステータ１
２、電磁石１３、ギャップ検出センサ１４および移動体
位置検出センサ１５を含んでいる。

２０は移動体であり、この移動体２０は前記搬送路ｌＯ
に跨るように配置されてあり、かつ前記電磁石１３と移
動体の下部に設けられるプレート２０１間の吸引力と移
動体の自重とがバランスした状態におかれている。

なお、本実施例においては、リニアモータにはインダク
ションタイプを用いてあり、移動体２０はアルミニュウ
ム材を使用してあり、リニアインダクションモータ用２
次側プレートを不要とし直接移動体２０を加速・減速す
るように構成しである。

ベース１１は進行方向からみて、断面路コの字形状に形
成されてあり、その上面は移動体２０が通過可能な状態
に一部のフランジ１６を残して開口している。そして、
左右のフランジ１６には進行方向の長さがｄである電磁
石１３が間隔りを保って移動体２０の進行方向に沿うよ
うに吊設されている。そして電磁石１３の左右の設置位
置の関係は第１図（ａ）に示すようにちょうど半ピツチ
（Ｌ　／２　”）づつ位置をずらして配置している。な
お１３１は電磁石１３を直流励磁するためのコイルであ
る。

移動体２０の進行方向の長さは、電磁石の設置間隔りの
２倍に電磁石の長さｄを加えた（２Ｌ＋ｄ　）に設定さ
れている。したがって移動体２０は搬送路上どの位置に
あっても常に左右２個づつの電磁石１３でもって下向き
に吸引される結果、安定して浮上する状態になっている
。

ギャップ検出センサ１４および移動体位置検出センサ１
５は前記電磁石１３の位置に対応するように、各電磁石
の真下であってベース１１の底面に固定されている。

第２図は電磁石１３とプレート２０１の詳細斜視図であ
る。即ち、図においてプレート２０１の被吸引面は断面
路長Ｅ字形状に形成されてあり、したがって３本の小山
２０２でもって進行方向に沿う溝が形成されている。一
方、電磁石１３のプレート２０１に対向する面（吸引面
）には前記小山２０２に対応した小歯１３２が形成され
ている。このため、プレー）２０１が横方向へずれた場
合、プレート２０１の小山２０２と電磁石１３の小歯１
３２が重なるような方向に保持力が発生し、プレート２
０１は常に正しい位置にガイドされている。

第３図は浮上制御の方法の一実施例を示すフローチャー
ト、第４図は浮上制御方法の他の実施例を示すフローチ
ャートである。

即ち、第３図においては、単にギャップ検出センサ１４
のみで移動体２０と電磁石１３とのギャップを一定に維
持するようにそれぞれの電磁石１３が独立して制御され
るものであり、以下にそのフローチャートについて説明
する。

■移動体位置検出センサ１５の上に移動体２０があると
、移動体位置検出センサ１５はそれを検知する。

（ステップ３０１）。

■移動体位置検出センサ１５が移動体２０を検知すると
、同一場所に配置したギャップ検出センサ１４が作動し
、移動体２０とギャップ検出センサ１４とのギャップを
検出する（ステップ３０２〜３０３）。

■予め設定した基準ギャップ量ＧＯに対して前記検出し
たギャップ量Ｇが大きいとき（Ｇ＞Ｇｏ）には、電磁石
１３と移動体２０間のギャップは小さくなっているので
、電磁石１３に流す励磁電流を減らす方向に制御する。

逆にＧ＜ＧＯのときには、電磁石１３と移動体２０との
ギャップは大きくなっているので励磁電流を増やす方向
に制御する。以上のようにギャップ量に応じて励磁電流
の値を決定する（ステップ３０４）。

■励磁電流値が決定されると、その信号を直流電流増幅
器へ入力し、その信号に見合った励磁電流を電磁石１３
に供給する（ステップ３０５）。

■移動体位置検出センサ１５上に移動体２０がない場合
、ギャップ検出センサ１４は動作させていないため、電
磁石１３への励磁は行っていない（ステップ３０５）。

つぎに第４図の説明をする。

■移動体位置検出センサ１５の上に移動体２０があると
、移動体位置検出センサ１５は作動する（ステップ４０
１）。

■移動体２０が移動すると移動体２０と電磁石１３との
重なり点は第１図から判るように常に４〜５点となる。

またその重なり点も認識することができる（ステップ４
０２）。

■移動体位置検出センサ１５が動作すると、同一場所に
配置されであるギャップ検出センサ１４が動作し、移動
体２０とギャップ検出センサ１４とのギャップを検出す
る（ステップ４０３）。

■基準ギヤツブ量Ｇｏに対して現在のギャップＧがＧ＞
ＧＯの関係にあるときは、電磁石１３と移動体２０間の
ギャップは小さくなっているので、励磁電流を減らす方
向に制御する。逆にＧ＜Ｇｏのときには、電磁石１３と
移動体２０とのギャップは大きくなっているので励磁電
流を増やす方向に制御する（ステップ４０４）。

■励磁電流が決定されると、その信号を見合った直流電
流増幅器へ入力し、その信号に見合った励磁電流を電磁
石１３に供給する（ステップ４０５）。

■各ギャップ検出センサ１４のギャップ量が等しければ
、移動体２０は水平であるとみなす（ステップ４０６）
。

■各ギャップ検出センサ１４のギャップ量が異なる場合
、そのデータに基づいて移動体２０の傾きを認識し、ギ
ャップ量の小さい方を大きくするように励磁電流をさら
に増加させる制御方法とする（ステップ４０７　）　。

■移動体位置検出センサ１５上に移動体２０がない場合
、ギヤツブ検出センサ１４は動作させてないため、電磁
石１３への励磁は行っていない（ステップ４０８）。

即ち、第４図の場合は、移動体２０と電磁石１３とのギ
ャップを一定に維持するとともに移動体２ｏの水平度を
も制御する方法である。位置姿勢の制御は移動体位置検
出センサ１５により移動体２ｏが検出された位置に配置
しであるギャップ検出センサ１４で移動体２０の水平度
を検出し、その信号に基づいて移動体２０の姿勢を演算
し、電磁石１３の励磁電流を制御して移動体２０の水平
度も制御する方法である。

なお電磁石の構造は第２図により説明したが、本発明は
これに限定されず、例えば第５図に図示するようなもの
であってもよい。即ち、第５図（ａ）は、Ｅ型鉄心１３
３を使用しており、その中足に主コイル１３４と副コイ
ル１３５を配置している。

また、同図（ｂ）ではコの字形状の鉄心１３６の両足に
それぞれ主コイル１３４と副コイル１３５を配置してい
る。同図（ｃ）では永久磁石１３７の両端にＩ型鉄心１
３８を設けこの鉄心１３８にコイル１３５を配置してい
る。このように電磁石１３を構成することにより、主コ
イルは移動体をつり上げるための吸引力を発するような
励磁電流を流し、副コイルには微少なギャップ調整用の
励磁電流を流すようにすることができる。

発皿勿立１本発明による磁気浮上搬送装置を採用すれば、搬送路側
に電磁石を配置することにより、移動体側には２次側プ
レートのみを取りつけているので、移動体側には給電す
る必要がなく、完全に両者を非接触とした搬送装置を実
現するとこが可能である。そのため、従来使用していた
ケーブル等を使用することがないので、ケーブル相互の
接触やケーブルハンガーの擦れ等に基づく発塵の余地が
なく、極めて防塵効果の優れた磁気浮上搬送装置を提供
することが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）はそれぞれ、本発明の磁
気浮上ｌ股送装置の平面図、正面図および側面図、第２
図は電磁石とプレートの詳細斜視図、第３図は浮上制御
の方法の一実施例を示すフローチャート、第４図は浮上
制御方法の他の実施例を示すフローチャート、第５図は
電磁石の他の実施例を示す。１０・・・搬送路、１２・・・ステータ、１３・・・電
磁石、１４・・・ギヤツブ検出センサ、１５・・・移動
体位置検出センサ、２０・・・移動体。特許出願人　　日立機電工業株式会社同　　　樋口俊部代理人　弁理士　大　西　孝　治（ａ）（ｂ）（Ｃ）第１図第３図（ａ）（ｂ）（Ｃ）第５図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）搬送路側に複数個の電磁石を設け、その吸引面を
下側にして、左右交互に進行方向にある一定の間隔をも
って並べて配置してあり、かつ移動体の前記吸引面に対
応する位置には磁性材料からなるプレートがあり、かつ
前記電磁石の吸引面と前記プレートの被吸引面には移動
体の進行方向に沿って溝が設けられていることを特徴と
する磁気浮上搬送装置。