JPS62160138A - 放電洗浄装置 - Google Patents
放電洗浄装置Info
- Publication number
- JPS62160138A JPS62160138A JP57486A JP57486A JPS62160138A JP S62160138 A JPS62160138 A JP S62160138A JP 57486 A JP57486 A JP 57486A JP 57486 A JP57486 A JP 57486A JP S62160138 A JPS62160138 A JP S62160138A
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- Japan
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- controller
- current
- gas
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は放電洗浄装置に係り、特に、放電の開始、停止
の操作と、放電中の電流、成圧、圧力あるいはガス流量
の制御を自動で行う際に好適な放電洗浄装置に関する。
の操作と、放電中の電流、成圧、圧力あるいはガス流量
の制御を自動で行う際に好適な放電洗浄装置に関する。
従来の放電洗浄装置（例えば特公昭５８−３３００９
）では、放電の開始の際、ガスの導入。
）では、放電の開始の際、ガスの導入。
陰極の加熱、各電極へ電圧投下の操作が必要であり、放
電停止時には、これらの逆の操作が必要であった。また
、放電中には、電流、電圧、圧力が変動し、時には、洗
浄する容器などを損傷することもあるため、これらを常
に監視し、微調整を行わなければならないという問題点
があった。
電停止時には、これらの逆の操作が必要であった。また
、放電中には、電流、電圧、圧力が変動し、時には、洗
浄する容器などを損傷することもあるため、これらを常
に監視し、微調整を行わなければならないという問題点
があった。
本発明の目的は、上記のような従来装置の有する欠点を
除去し、放電の開始と停止の操作と、放・成牛の′ＪＬ
流、′亀圧、圧力（あるいはガス流量）の制御を自動で
行うことのできる放電洗浄装置を提供することにある。
除去し、放電の開始と停止の操作と、放・成牛の′ＪＬ
流、′亀圧、圧力（あるいはガス流量）の制御を自動で
行うことのできる放電洗浄装置を提供することにある。
上記目的は各電極へ電圧を印加する手順に対応する１個
もしくは２個以上のリレーを用いた電気制御回路と、放
電中の磁流と電圧の調整機能を有する電流電圧調整器と
、圧力あるいは流量の調整機能を有するガス導入機構 〔作用〕 上記曙禰肯ｉ設定された手順と条件で、ガスの導入、陰
極の加熱、各電極への電圧の投下を行なって放電を生ぜ
しめ、設定時間になると放電を終了させ和鱗碑藷暑辿、
放成牛の電流、電圧、圧力（あるいはガス流りを監視し
、変動を調整する。
もしくは２個以上のリレーを用いた電気制御回路と、放
電中の磁流と電圧の調整機能を有する電流電圧調整器と
、圧力あるいは流量の調整機能を有するガス導入機構 〔作用〕 上記曙禰肯ｉ設定された手順と条件で、ガスの導入、陰
極の加熱、各電極への電圧の投下を行なって放電を生ぜ
しめ、設定時間になると放電を終了させ和鱗碑藷暑辿、
放成牛の電流、電圧、圧力（あるいはガス流りを監視し
、変動を調整する。
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以下、本発明の詳細な説明する。第１図に構成を示す。
放電洗浄を行うステンレス製真空容器１は真空ポンプ２
で排気され、圧力は真空計３で測定される。放電のため
の成極は、ダンゲステン線の熱陰極４とステンレス鋼網
の陽極５から成る。
で排気され、圧力は真空計３で測定される。放電のため
の成極は、ダンゲステン線の熱陰極４とステンレス鋼網
の陽極５から成る。
この熱陰極４はｔ源１１により加熱され、電源１２によ
って負の電位となる。前記陽極５は電源１３によって正
の電位となる。これらの電源１１゜１２．１３は、ｇｉ
電圧調整器９とコントローラ１０によって制御される。
って負の電位となる。前記陽極５は電源１３によって正
の電位となる。これらの電源１１゜１２．１３は、ｇｉ
電圧調整器９とコントローラ１０によって制御される。
放電ガス７にはアルゴンガスを用いており、流量調整器
８とパルプ６を通って真空容器１に流入する。この流量
調整器８はコントローラ１０によって制御する。
８とパルプ６を通って真空容器１に流入する。この流量
調整器８はコントローラ１０によって制御する。
第２図にはコントローラ１０の成気回路例を示す。先ず
真空ポンプ２を作動させ所定の圧力に到達した後、スイ
ッチ２１を押すとリレーＲＯが作動して接点ａ、、、Ｒ
ｏｂが閉じる。スイッチＲｏ。
真空ポンプ２を作動させ所定の圧力に到達した後、スイ
ッチ２１を押すとリレーＲＯが作動して接点ａ、、、Ｒ
ｏｂが閉じる。スイッチＲｏ。
が閉じると流量調整器８を制御する回路Ａ−Ａ’がつな
がって流量調整器８はＯＮとなり、設定しておいた流量
でガス７が真空容器１へ流入する。
がって流量調整器８はＯＮとなり、設定しておいた流量
でガス７が真空容器１へ流入する。
また、放電洗浄時間を設定するタイマＴ３の回路Ｆ−Ｆ
’が通電し作動する。容器１内の圧力が真空計３の設定
値になると接点２２が閉じ、リレー几１が作動して、接
点Ｒ１，、几１ｂ、Ｒ１ｇ が閉じる。これＫよって
回路Ｂ−Ｂ’がつながって１流電圧調整器９が作動、さ
らに熱陰極４の電源１１を制御する回路Ｃ−Ｃ’がつな
がり、電源１２゜１３をＯＮする時間を設定したタイマ
ＴＩ、Ｔ４が作動を始める。タイマＴｔの設定時間１１
が経過すると熱陰極４の電源１２を制御する回路Ｄ −
Ｄ′がつながり、タイマＴ４の設定時間ｔ４が経過する
と陽極５の電源１３を制御する回路Ｅ−Ｅ’がつながっ
てそれぞれの電源がＯＮになり、放電が始まる。放電中
の電流、電圧は電流電圧調整器９によって制御する。タ
イマＴ３の設定時間がｔ３になるとリレーＲ２が作動し
て接点Ｒ２ｍが閉じ、接点几ｚｂｍ’ＰＬ２ｍは開いて
放′電は終了する。リレーＲ２作動後ｔ！時間経過する
とタイマＴ２が作動して接点Ｔｔ” ｅ Ｔｕｂ ｅ
Ｔｓｓが開き、電流電圧調整器９と電源１１はＯＦＦと
なり、ガス流量調整器８は閉じる。
’が通電し作動する。容器１内の圧力が真空計３の設定
値になると接点２２が閉じ、リレー几１が作動して、接
点Ｒ１，、几１ｂ、Ｒ１ｇ が閉じる。これＫよって
回路Ｂ−Ｂ’がつながって１流電圧調整器９が作動、さ
らに熱陰極４の電源１１を制御する回路Ｃ−Ｃ’がつな
がり、電源１２゜１３をＯＮする時間を設定したタイマ
ＴＩ、Ｔ４が作動を始める。タイマＴｔの設定時間１１
が経過すると熱陰極４の電源１２を制御する回路Ｄ −
Ｄ′がつながり、タイマＴ４の設定時間ｔ４が経過する
と陽極５の電源１３を制御する回路Ｅ−Ｅ’がつながっ
てそれぞれの電源がＯＮになり、放電が始まる。放電中
の電流、電圧は電流電圧調整器９によって制御する。タ
イマＴ３の設定時間がｔ３になるとリレーＲ２が作動し
て接点Ｒ２ｍが閉じ、接点几ｚｂｍ’ＰＬ２ｍは開いて
放′電は終了する。リレーＲ２作動後ｔ！時間経過する
とタイマＴ２が作動して接点Ｔｔ” ｅ Ｔｕｂ ｅ
Ｔｓｓが開き、電流電圧調整器９と電源１１はＯＦＦと
なり、ガス流量調整器８は閉じる。
タイマＴ３に設定した放電時間ｔ３が経過する以前に放
電を切る必要が生じた場合には、スイッチ２１を再度押
す。すると、リレーＲ２が作動。
電を切る必要が生じた場合には、スイッチ２１を再度押
す。すると、リレーＲ２が作動。
【２時間後にはタイマＴ、が作動して、放電が終了する
。
。
本実施例では、真空容器内の圧力が２Ｘ１０−５ＴＯｒ
ｒ以下になってから放電洗浄を開始し、放電中ノ圧力は
２ Ｘ １０−”ｌ’ｏｒｒ、タイマ’ｒｔ ｌ Ｔ
２の設定値は共に１分、タイマＴ３は３時間、タイマＴ
４は２分に設定している。
ｒ以下になってから放電洗浄を開始し、放電中ノ圧力は
２ Ｘ １０−”ｌ’ｏｒｒ、タイマ’ｒｔ ｌ Ｔ
２の設定値は共に１分、タイマＴ３は３時間、タイマＴ
４は２分に設定している。
このように本実施例によれば、コントローラ１０のスイ
ッチ２１を入れるだけで、あらかじめ設定しておいた条
件の放電洗浄を、自動的に行なうことができる。
ッチ２１を入れるだけで、あらかじめ設定しておいた条
件の放電洗浄を、自動的に行なうことができる。
本発明による装置を用いて放電洗浄を行うことによって
、下記の効果がある。
、下記の効果がある。
（１） スタートのスイッチ操作のみで放電洗浄が行
え、放電条件は自動装置により監視されるので。
え、放電条件は自動装置により監視されるので。
操作者の労力が大幅に軽減できる。
（２） 放電中の電圧の上昇や電流の流れすぎによる容
器の損傷が防止できる。
器の損傷が防止できる。
第１図は本発明の放電洗浄装置の構成図、第２図は本発
明の放電洗浄装置のコントローラの回路例である。 ４・・・陰極、５・・・陽極、７・・・放電ガス、８・
・・流量調整器、９・・・電流電圧調整器、１０・・・
放電洗浄コントローラ、１１〜１３・・・ば源、２１・
・・スイッチ。
明の放電洗浄装置のコントローラの回路例である。 ４・・・陰極、５・・・陽極、７・・・放電ガス、８・
・・流量調整器、９・・・電流電圧調整器、１０・・・
放電洗浄コントローラ、１１〜１３・・・ば源、２１・
・・スイッチ。
Claims (1)
- １、陰極と、該陰極を加熱する装置と、前記陰極を覆う
ように配置され、複数個の貫通孔のある陽極と、該陽極
に電圧を印加するための電源と、ガス導入装置から成る
グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄装置において
、各電極へ電圧を印加する手順に対応する１個もしくは
２個以上のリレーを用いた電気制御回路と、放電中の電
流と電圧の調整機能を有する電流電圧調整器と、圧力あ
るいは流量の調整機能を有するガス導入機構とからなる
ことを特徴とする放電洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000574A JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000574A JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62160138A true JPS62160138A (ja) | 1987-07-16 |
| JPH0777609B2 JPH0777609B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=11477480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61000574A Expired - Lifetime JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777609B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01218626A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Hitachi Ltd | 放電洗浄装置 |
| JPH0290933A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Hitachi Ltd | 放電洗浄装置および放電洗浄方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833009A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-26 | Babcock Hitachi Kk | 触媒燃焼装置 |
| JPS59230035A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-24 | Toyota Motor Corp | プラズマ処理方法 |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP61000574A patent/JPH0777609B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833009A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-26 | Babcock Hitachi Kk | 触媒燃焼装置 |
| JPS59230035A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-24 | Toyota Motor Corp | プラズマ処理方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01218626A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Hitachi Ltd | 放電洗浄装置 |
| JPH0290933A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Hitachi Ltd | 放電洗浄装置および放電洗浄方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0777609B2 (ja) | 1995-08-23 |
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