JPH0777609B2 - 放電洗浄装置 - Google Patents
放電洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0777609B2 JPH0777609B2 JP61000574A JP57486A JPH0777609B2 JP H0777609 B2 JPH0777609 B2 JP H0777609B2 JP 61000574 A JP61000574 A JP 61000574A JP 57486 A JP57486 A JP 57486A JP H0777609 B2 JPH0777609 B2 JP H0777609B2
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- Japan
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- discharge
- cathode
- power source
- anode
- container
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/087—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy
- B01J19/088—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electric or magnetic energy giving rise to electric discharges
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は放電洗浄装置に係り、特に、放電の開始，停止
の操作と、放電中の電流，電圧，圧力あるいはガス流量
の制御を自動で行う際に好適な放電洗浄装置に関する。
の操作と、放電中の電流，電圧，圧力あるいはガス流量
の制御を自動で行う際に好適な放電洗浄装置に関する。
例えば特公昭58−33009号公報に記載の従来の放電洗浄
装置では、放電の開始の際、ガスの導入，陰極の加熱，
各電極へ電圧投下の調整操作が必要であり、放電停止時
には、これらの逆の操作が必要であった。そして、安定
して放電を行わせるため、放電中には、各電極の電流，
電圧および容器内圧力を常に監視し、調整する必要があ
った。さらに、容器壁面でのスパッタ現象を防止するた
め、陽極電極と容器壁面間の電位差をできるだけ小さく
する構造となっていた。
装置では、放電の開始の際、ガスの導入，陰極の加熱，
各電極へ電圧投下の調整操作が必要であり、放電停止時
には、これらの逆の操作が必要であった。そして、安定
して放電を行わせるため、放電中には、各電極の電流，
電圧および容器内圧力を常に監視し、調整する必要があ
った。さらに、容器壁面でのスパッタ現象を防止するた
め、陽極電極と容器壁面間の電位差をできるだけ小さく
する構造となっていた。
上記従来の放電洗浄装置においては、放電を安定して行
わせるための手順を全部人手に頼るため、操作が繁雑
で、かつ常に人間が装置を監視する必要があり、多大の
労力を要するものであった。また、陽極電極と容器間で
スパッタが起きないように配慮されているため、容器を
損傷することがない代わりに、容器壁面に付着したガス
分子も十分に取れず、結局容器壁面を加熱する必要が生
ずる。
わせるための手順を全部人手に頼るため、操作が繁雑
で、かつ常に人間が装置を監視する必要があり、多大の
労力を要するものであった。また、陽極電極と容器間で
スパッタが起きないように配慮されているため、容器を
損傷することがない代わりに、容器壁面に付着したガス
分子も十分に取れず、結局容器壁面を加熱する必要が生
ずる。
本発明の目的は、上記従来技術の不具合を解消し、放電
の開始と停止の操作と、放電中の電流，電圧，圧力（あ
るいはガス流量）の制御を自動で行うことのできる放電
洗浄装置を提供することにある。また、放電により生じ
たイオンを積極的に容器壁面に衝突することにより効果
的に容器壁面を洗浄できる放電洗浄装置を提供すること
にある。
の開始と停止の操作と、放電中の電流，電圧，圧力（あ
るいはガス流量）の制御を自動で行うことのできる放電
洗浄装置を提供することにある。また、放電により生じ
たイオンを積極的に容器壁面に衝突することにより効果
的に容器壁面を洗浄できる放電洗浄装置を提供すること
にある。
上記目的を達成するために、本発明は、陰極と、該陰極
を覆うように配置され複数個の貫通孔のある陽極と、を
真空容器内に収容し、前記陰極を加熱する第１の電源
と、前記真空容器にガスを導入するガス導入装置とを備
えた放電洗浄装置において、前記陽極を正の電位とする
第２の電源を前記陽極に、前記陰極を負の電位とする第
３の電源を前記陰極にそれぞれ接続し、この第２の電源
のマイナス側と第３の電源のプラス側と前記真空容器と
を接続するとともに、放電洗浄の開始から終了までの手
順に対応して前記第１ないし第３の電源および前記ガス
導入装置をシーケンス制御する制御装置と、放電中の電
流と電圧を調整する電流電圧調整器とを設けたものであ
る。
を覆うように配置され複数個の貫通孔のある陽極と、を
真空容器内に収容し、前記陰極を加熱する第１の電源
と、前記真空容器にガスを導入するガス導入装置とを備
えた放電洗浄装置において、前記陽極を正の電位とする
第２の電源を前記陽極に、前記陰極を負の電位とする第
３の電源を前記陰極にそれぞれ接続し、この第２の電源
のマイナス側と第３の電源のプラス側と前記真空容器と
を接続するとともに、放電洗浄の開始から終了までの手
順に対応して前記第１ないし第３の電源および前記ガス
導入装置をシーケンス制御する制御装置と、放電中の電
流と電圧を調整する電流電圧調整器とを設けたものであ
る。
放電を安定して継続させるための条件に基づいた、ガス
の導入、陰極の加熱、各電極への電圧の投入条件および
タイミングをシーケンサで構成し、このシーケンサを起
動することにより、設定条件に達すると自動的に放電が
開始され、陰極加熱電源を放電中自動的に調整すること
により、放電が安定して継続される。そして、設定時間
が経過すると、放電を自動的に停止するので、放電洗浄
を起動すれば自動的に放電洗浄が行われる。また、陽極
電極の電源のマイナス側と陰極電源のプラス側および容
器を接続したので、陽極と容器間にも陰極から発生した
電気が飛来し、容器壁面に衝突して容器壁面に付着した
ガス分子を効果的に壁面から取り去る。そして、陽極と
陰極間の電位差および陽極と容器間の電位差は電流電圧
調整器および制御装置により制御できるので、容器への
過度のスパッタリングを防止でき、容器を損傷すること
がない。
の導入、陰極の加熱、各電極への電圧の投入条件および
タイミングをシーケンサで構成し、このシーケンサを起
動することにより、設定条件に達すると自動的に放電が
開始され、陰極加熱電源を放電中自動的に調整すること
により、放電が安定して継続される。そして、設定時間
が経過すると、放電を自動的に停止するので、放電洗浄
を起動すれば自動的に放電洗浄が行われる。また、陽極
電極の電源のマイナス側と陰極電源のプラス側および容
器を接続したので、陽極と容器間にも陰極から発生した
電気が飛来し、容器壁面に衝突して容器壁面に付着した
ガス分子を効果的に壁面から取り去る。そして、陽極と
陰極間の電位差および陽極と容器間の電位差は電流電圧
調整器および制御装置により制御できるので、容器への
過度のスパッタリングを防止でき、容器を損傷すること
がない。
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第１
図は構成を示す。放電洗浄を行うステンレス製真空容器
１は真空ポンプ２で排気され、圧力は真空計３で測定さ
れる。放電のための電極は、タングステン線の熱陰極４
とステンレス鋼網の陽極５から成る。この熱陰極４は電
源11により加熱され、電源12によって負の電位となる。
前記陽極５は電源13によって正の電位となる。そして、
電源13のマイナス側、電源12のプラス側および容器１が
等電位になるように接続されており、この共通電位はア
ースに接地されている。これにより、陰極４は常に該電
位に、陽極５は正電位に保たれる。これらの電源11,12,
13は、電流電圧調整器９とコントローラ10によって制御
される。放電ガス７にはアルゴンガスを用いており、流
量調整器８とバルブ６を通って真空容器１に流入する。
この流量調整器８をコントローラ10によって制御する。
図は構成を示す。放電洗浄を行うステンレス製真空容器
１は真空ポンプ２で排気され、圧力は真空計３で測定さ
れる。放電のための電極は、タングステン線の熱陰極４
とステンレス鋼網の陽極５から成る。この熱陰極４は電
源11により加熱され、電源12によって負の電位となる。
前記陽極５は電源13によって正の電位となる。そして、
電源13のマイナス側、電源12のプラス側および容器１が
等電位になるように接続されており、この共通電位はア
ースに接地されている。これにより、陰極４は常に該電
位に、陽極５は正電位に保たれる。これらの電源11,12,
13は、電流電圧調整器９とコントローラ10によって制御
される。放電ガス７にはアルゴンガスを用いており、流
量調整器８とバルブ６を通って真空容器１に流入する。
この流量調整器８をコントローラ10によって制御する。
第２図にはコントローラ10の電気回路例を示す。先ず真
空ポンプ２を作動させ所定の圧力に到達した後、スイッ
チ21を押すとリレーR0が作動して接点R0a,R0dが閉じ
る。スイッチR0aが閉じると流量調整器８を制御する回
路Ａ−Ａ′がつながって流量調整器８はONとなり、設定
したおいた流量でガス７が真空容器１へ流入する。ま
た、放電洗浄時間を設定するタイマT3の回路Ｆ−Ｆ′が
通電し作動する。容器１内の圧力が真空計３の設定値に
なると接点22が閉じ、リレーR1が作動して、接点R1a,R
1b,R1cが閉じる。これによって回路Ｂ−Ｂ′がつながっ
て電流電圧調整器９が作動、さらに熱陰極４の電源11を
制御する回路Ｃ−Ｃ′がつながり、電源12,13のONする
時間を設定したタイマT1,T4が作動を始める。タイマT1
の設定時間t1が経過すると熱陰極４の電源12を制御する
回路Ｄ−Ｄ′がつながり、タイマT4の設定時間t4が経過
すると陽極５の電源13を制御する回路Ｅ−Ｅ′がつなが
ってそれぞれの電源がONになり、放電が始まる。放電中
の電流，電圧は電流電圧調整器９によって制御する。タ
イマT3の設定時間がt3になるリレーR2が作動して接点R
2aが閉じ、接点R2b,R2cは開いて放電は終了する。リレ
ーR2作動と同時にタイマT2が作動し、t2時間経過すると
接点T2a,T2b,T2cが開き、電流電圧調整器９と電源11はO
FFとなり、ガス流量調整器８は閉じる。
空ポンプ２を作動させ所定の圧力に到達した後、スイッ
チ21を押すとリレーR0が作動して接点R0a,R0dが閉じ
る。スイッチR0aが閉じると流量調整器８を制御する回
路Ａ−Ａ′がつながって流量調整器８はONとなり、設定
したおいた流量でガス７が真空容器１へ流入する。ま
た、放電洗浄時間を設定するタイマT3の回路Ｆ−Ｆ′が
通電し作動する。容器１内の圧力が真空計３の設定値に
なると接点22が閉じ、リレーR1が作動して、接点R1a,R
1b,R1cが閉じる。これによって回路Ｂ−Ｂ′がつながっ
て電流電圧調整器９が作動、さらに熱陰極４の電源11を
制御する回路Ｃ−Ｃ′がつながり、電源12,13のONする
時間を設定したタイマT1,T4が作動を始める。タイマT1
の設定時間t1が経過すると熱陰極４の電源12を制御する
回路Ｄ−Ｄ′がつながり、タイマT4の設定時間t4が経過
すると陽極５の電源13を制御する回路Ｅ−Ｅ′がつなが
ってそれぞれの電源がONになり、放電が始まる。放電中
の電流，電圧は電流電圧調整器９によって制御する。タ
イマT3の設定時間がt3になるリレーR2が作動して接点R
2aが閉じ、接点R2b,R2cは開いて放電は終了する。リレ
ーR2作動と同時にタイマT2が作動し、t2時間経過すると
接点T2a,T2b,T2cが開き、電流電圧調整器９と電源11はO
FFとなり、ガス流量調整器８は閉じる。
タイマT3に設定した放電時間t3が経過する以前に放電を
切る必要が生じた場合には、スイッチ21を再度押す。す
ると、リレーR2が作動、t2時間後にはタイマT2が作動し
て、放電が終了する。
切る必要が生じた場合には、スイッチ21を再度押す。す
ると、リレーR2が作動、t2時間後にはタイマT2が作動し
て、放電が終了する。
本実施例では、真空容器内の圧力が２×10-5Torr以下に
なってから放電洗浄を開始し、放電中の圧力は２×10-3
Torr、タイマT1,T2の設定値は共に１分、タイマT3は３
時間、タイマT4は２分に設定している。
なってから放電洗浄を開始し、放電中の圧力は２×10-3
Torr、タイマT1,T2の設定値は共に１分、タイマT3は３
時間、タイマT4は２分に設定している。
このように本実施例によれば、コントローラ10のスイッ
チ21を入れるだけで、あらかじめ設定しておいた条件の
放電洗浄を、自動的に行うことができる。
チ21を入れるだけで、あらかじめ設定しておいた条件の
放電洗浄を、自動的に行うことができる。
本発明により装置を用いて放電洗浄を行うことによっ
て、下記の効果がある。
て、下記の効果がある。
（１）スタートのスイッチ操作のみで放電洗浄が行え、
放電条件は自動装置により監視されるので、操作者の労
力が大幅に軽減できる。
放電条件は自動装置により監視されるので、操作者の労
力が大幅に軽減できる。
（２）放電中の電圧の上昇や電流の流れすぎによる容器
の損傷が防止できる。
の損傷が防止できる。
（３）陰極で発生した電子が、陽極で加速され容器壁面
に付着したガス分子に衝突するので、壁面からガス分子
を追い出し清浄壁面を容易に得られる。
に付着したガス分子に衝突するので、壁面からガス分子
を追い出し清浄壁面を容易に得られる。
第１図は本発明の放電洗浄装置の構成図、第２図は本発
明の放電洗浄装置のコントローラの回路例である。 ４……陰極、５……陽極、７……放電ガス、８……流量
調整器、９……電流電圧調整器、10……放電洗浄コント
ローラ、11〜13……電源、21……スイッチ。
明の放電洗浄装置のコントローラの回路例である。 ４……陰極、５……陽極、７……放電ガス、８……流量
調整器、９……電流電圧調整器、10……放電洗浄コント
ローラ、11〜13……電源、21……スイッチ。
Claims (1)
- 【請求項１】陰極（４）と、該陰極を覆うように配置さ
れ複数個の貫通孔のある陽極（５）と、を真空容器
（１）内に収容し、前記陰極を加熱する第１の電源（1
1）と、前記真空容器にガスを導入するガス導入装置
（８）とを備えた放電洗浄装置において、 前記陽極を正の電位とする第２の電源（13）を前記陽極
に、前記陰極を負の電位とする第３の電源（12）を前記
陰極にそれぞれ接続し、この第２の電源のマイナス側と
第３の電源のプラス側と前記真空容器とを接続するとと
もに、放電洗浄の開始から終了までの手順に対応して前
記第１ないし第３の電源および前記ガス導入装置をシー
ケンス制御する制御装置（10）と、放電中の電流と電圧
を調整する電流電圧調整器（９）とを設けたことを特徴
とする放電洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000574A JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61000574A JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62160138A JPS62160138A (ja) | 1987-07-16 |
| JPH0777609B2 true JPH0777609B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=11477480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61000574A Expired - Lifetime JPH0777609B2 (ja) | 1986-01-08 | 1986-01-08 | 放電洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0777609B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2574852B2 (ja) * | 1988-02-29 | 1997-01-22 | 株式会社日立製作所 | 放電洗浄装置 |
| JPH088983B2 (ja) * | 1988-09-28 | 1996-01-31 | 株式会社日立製作所 | 放電洗浄装置および放電洗浄方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5833009A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-26 | Babcock Hitachi Kk | 触媒燃焼装置 |
| JPS59230035A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-24 | Toyota Motor Corp | プラズマ処理方法 |
-
1986
- 1986-01-08 JP JP61000574A patent/JPH0777609B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62160138A (ja) | 1987-07-16 |
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