JPS62161209A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS62161209A JPS62161209A JP390886A JP390886A JPS62161209A JP S62161209 A JPS62161209 A JP S62161209A JP 390886 A JP390886 A JP 390886A JP 390886 A JP390886 A JP 390886A JP S62161209 A JPS62161209 A JP S62161209A
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- surface acoustic
- acoustic wave
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- splits
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- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910003327 LiNbO3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、濾波器、遅延素子等の弾性表面波装置に関し
、特に圧電体基板の無用な反射波の除去装置に関する。
、特に圧電体基板の無用な反射波の除去装置に関する。
〈従来の技術〉
圧電体基板上に櫛型電極を設けてその電極を励起すると
弾性表面波が所定方向に進行する。この弾性表面波が素
子の端面で反射されてその反射波が電極に再入力すると
素子の特性に悪影響を及ぼす。
弾性表面波が所定方向に進行する。この弾性表面波が素
子の端面で反射されてその反射波が電極に再入力すると
素子の特性に悪影響を及ぼす。
そこで従来は、圧電体基板の上面の基板端面近傍に接着
剤等の吸音物質を塗布することにより反射波を吸収する
方法が用いられていた。
剤等の吸音物質を塗布することにより反射波を吸収する
方法が用いられていた。
〈発明が解決しようとする問題点〉
しかし、この方法では吸音物質を塗布する工程が必要で
あり、この工程は自動化が困難である。
あり、この工程は自動化が困難である。
また、吸音物質がもし電極へ付着すれば素子が不良品と
なるという問題があり、更に、吸音物質から発生するガ
スがエージング特性の劣化の要因となるなどの問題があ
った。
なるという問題があり、更に、吸音物質から発生するガ
スがエージング特性の劣化の要因となるなどの問題があ
った。
そこで本発明の目的は、吸音物質を用いることなく反射
波を除去する装置を提供することである。
波を除去する装置を提供することである。
く問題点を解決する為の手段〉
本発明の弾性表面波装置は、圧電体基（反の端部に、弾
性表面波電極により生じた第一次弾性表面波が一つのス
プリントの端を通過したとき隣接するスプリントに当る
ような傾斜角と長さと間隔をもって、多数個のスプリン
トが配設されていることを特徴としている。
性表面波電極により生じた第一次弾性表面波が一つのス
プリントの端を通過したとき隣接するスプリントに当る
ような傾斜角と長さと間隔をもって、多数個のスプリン
トが配設されていることを特徴としている。
〈作用〉
弾性表面波電極により生じた第一次弾性表面波は、基板
端部に達して最初のスプリットにより例えば９０゛反射
され、この第二次弾性表面波は隣接するスプリットによ
り再反射され、このように互に隣接するスプリットの間
で反射を繰り返すことにより急速に減衰する。また、ス
プリントによる第二次反射波が弾性表面波電極に向って
反射されることがない。
端部に達して最初のスプリットにより例えば９０゛反射
され、この第二次弾性表面波は隣接するスプリットによ
り再反射され、このように互に隣接するスプリットの間
で反射を繰り返すことにより急速に減衰する。また、ス
プリントによる第二次反射波が弾性表面波電極に向って
反射されることがない。
〈実施例〉
第１図に本発明を実施した弾性表面波遅延素子の斜視図
を示し、第２図にその要部を拡大した平面図を示す。
を示し、第２図にその要部を拡大した平面図を示す。
圧電体基板１は例えばＬｉＮｂＯ３より成る長方形の薄
片であって、その表面上に励振用電極２と受信用電極３
が形成されている。これらの弾性表面波電極２．３は例
えばＡβ等の軽金属を櫛形に茎着形成したものである。
片であって、その表面上に励振用電極２と受信用電極３
が形成されている。これらの弾性表面波電極２．３は例
えばＡβ等の軽金属を櫛形に茎着形成したものである。
圧電体基板１の両端部にはそれぞれ本発明の吸収装置４
．４が設けられている。これは第２図に拡大図で示すよ
うに、第一次弾性表面波の進行方向に対し傾斜角θをも
ち、長さしのスプリット５−５が所定の間隔ｄをもって
互に平行に配設されている。このスプリット５−５の傾
斜角θ、長さし１間隔ｄの関係は、第一次弾性表面波Ａ
が一つのスプリノ１〜の端を通過したときこの表面波Ａ
が隣接するスプリットに必ず当るような関係になってい
る。このスプリット５を、電極２，３と同一材料、同一
工程で形成することができ、その場合は製造工程が合理
化される。
．４が設けられている。これは第２図に拡大図で示すよ
うに、第一次弾性表面波の進行方向に対し傾斜角θをも
ち、長さしのスプリット５−５が所定の間隔ｄをもって
互に平行に配設されている。このスプリット５−５の傾
斜角θ、長さし１間隔ｄの関係は、第一次弾性表面波Ａ
が一つのスプリノ１〜の端を通過したときこの表面波Ａ
が隣接するスプリットに必ず当るような関係になってい
る。このスプリット５を、電極２，３と同一材料、同一
工程で形成することができ、その場合は製造工程が合理
化される。
また、電極２，３の形成材料よりも重い材料例えばＰｂ
、Ｓｎ、Ｃｕ等を用いると、Ａ１等の軽金属よりも吸収
効果が向上する。同様に、スプリット５を電極２，３と
同一材料、同一工程で形成する場合は、当然に同一厚さ
となるが、別工程で形成する場合は厚みが大きくなるほ
ど吸収効果が向上する。
、Ｓｎ、Ｃｕ等を用いると、Ａ１等の軽金属よりも吸収
効果が向上する。同様に、スプリット５を電極２，３と
同一材料、同一工程で形成する場合は、当然に同一厚さ
となるが、別工程で形成する場合は厚みが大きくなるほ
ど吸収効果が向上する。
第２図に示した直線形のスプリットの場合、傾斜角度θ
は４５゛又はややそれよりも小さいものが好ましい。長
さしが大きいときは間隔ｄも大きくとることができ、反
対に長さＬが小さいときは間隔ｄも小さくなる。実施例
を示せば基板としてＬｉＮｂＯ３の１２８°Ｙカツト基
板を使用し、周波数を１００ＭＨｚとしたとき、波長は
約４０μｍとなり、スプリットの大きさはθ＝４５°、
Ｌ＃５６５μｍ、ｄ＝１４μｍである。
は４５゛又はややそれよりも小さいものが好ましい。長
さしが大きいときは間隔ｄも大きくとることができ、反
対に長さＬが小さいときは間隔ｄも小さくなる。実施例
を示せば基板としてＬｉＮｂＯ３の１２８°Ｙカツト基
板を使用し、周波数を１００ＭＨｚとしたとき、波長は
約４０μｍとなり、スプリットの大きさはθ＝４５°、
Ｌ＃５６５μｍ、ｄ＝１４μｍである。
このような吸収装置において、弾性表面波電極２又は３
より発生した第一次弾性表面波が到来すると、第２図に
示すように、隣接する２本のスプリットの間で階段状の
軌跡を画く反射を繰り返しながら急速に減衰し実施的に
消滅する。
より発生した第一次弾性表面波が到来すると、第２図に
示すように、隣接する２本のスプリットの間で階段状の
軌跡を画く反射を繰り返しながら急速に減衰し実施的に
消滅する。
本発明のスブリソ１−の形状は種々な変形により実施す
ることができる。第３図に示すもの５Ａは傾仝・１角θ
が中間で変化する中間屈折形である。傾斜角θは基板中
央部に近い前段ではθ−４５°であるが、後段では４５
°より増大している。従って間隔ｄ１が後段で縮まり、
それだけ反射回数が増大する。第４図に示すもの５Ｂは
第３図と同様中間屈折形である後段での傾斜角がθく−
４５゜になっている。第５図に示すもの５０は曲線形で
あって、前端での傾斜角がθ≦４５°であるが後端へ近
づくほどθが増大している。第６図に示すものは第２図
に示した直線形の後後を１本のスプリソ）５Ｄで連結し
たものである。
ることができる。第３図に示すもの５Ａは傾仝・１角θ
が中間で変化する中間屈折形である。傾斜角θは基板中
央部に近い前段ではθ−４５°であるが、後段では４５
°より増大している。従って間隔ｄ１が後段で縮まり、
それだけ反射回数が増大する。第４図に示すもの５Ｂは
第３図と同様中間屈折形である後段での傾斜角がθく−
４５゜になっている。第５図に示すもの５０は曲線形で
あって、前端での傾斜角がθ≦４５°であるが後端へ近
づくほどθが増大している。第６図に示すものは第２図
に示した直線形の後後を１本のスプリソ）５Ｄで連結し
たものである。
〈発明の効果〉
本発明によれば、従来のように吸音物質を塗布する必要
がないのでそれに伴う種々な問題点が解消する。また、
弾性表面波電極と同一材料で形成する場合は同一工程で
同時に形成することができるので工程が合理化され製造
コストが低減する。
がないのでそれに伴う種々な問題点が解消する。また、
弾性表面波電極と同一材料で形成する場合は同一工程で
同時に形成することができるので工程が合理化され製造
コストが低減する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図の要部を示す正面図、第３図、第４図第５図及び第６
図は本発明の変形実施例を示す正面図である。 １−圧電体基板 ２．３・−弾性表面波電極 ４−吸収装置 ５−スプリット
図の要部を示す正面図、第３図、第４図第５図及び第６
図は本発明の変形実施例を示す正面図である。 １−圧電体基板 ２．３・−弾性表面波電極 ４−吸収装置 ５−スプリット
Claims (2)
- （１）圧電体基板の端部に、弾性表面波電極により生じ
た第一次弾性表面波が一つのスプリットの端を通過した
とき隣接するスプリットに当るような傾斜角と長さと間
隔をもって、多数個のスプリットが配設されていること
を特徴とする弾性表面波装置。 - （２）上記スプリットが上記弾性表面波電極と同じ材料
により形成されている特許請求の範囲第１項記載の弾性
表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP390886A JPS62161209A (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP390886A JPS62161209A (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62161209A true JPS62161209A (ja) | 1987-07-17 |
Family
ID=11570285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP390886A Pending JPS62161209A (ja) | 1986-01-10 | 1986-01-10 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62161209A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06334466A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| US5436011A (en) * | 1993-04-16 | 1995-07-25 | Bristol-Myers Squibb Company | Solid pharmaceutical dosage form and a method for reducing abrasion |
| JP2006301362A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Canon Inc | レンズ鏡筒及び該レンズ鏡筒を備える撮像装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260547A (en) * | 1975-11-14 | 1977-05-19 | Toshiba Corp | Elastic surface wave absorber |
| JPS61156912A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-16 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPS61171211A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-08-01 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 音波により作動する電気フイルタ |
-
1986
- 1986-01-10 JP JP390886A patent/JPS62161209A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5260547A (en) * | 1975-11-14 | 1977-05-19 | Toshiba Corp | Elastic surface wave absorber |
| JPS61156912A (ja) * | 1984-12-27 | 1986-07-16 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JPS61171211A (ja) * | 1985-01-22 | 1986-08-01 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | 音波により作動する電気フイルタ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5436011A (en) * | 1993-04-16 | 1995-07-25 | Bristol-Myers Squibb Company | Solid pharmaceutical dosage form and a method for reducing abrasion |
| JPH06334466A (ja) * | 1993-05-25 | 1994-12-02 | Nec Corp | 弾性表面波装置 |
| JP2006301362A (ja) * | 2005-04-21 | 2006-11-02 | Canon Inc | レンズ鏡筒及び該レンズ鏡筒を備える撮像装置 |
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