JPS6216151A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付＠させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに関する。

〔従来の技術〕

インク等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙など
の被記録材に付＠させて記録を行なう液体噴射記録方式
は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めて小ざ
く、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着な
どの特別な処理を必要とせずに記録を行なうことのでき
る記録方式として注目され、最近種々のタイプのものが
活発に研寛されている。

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
液体吐出口）と、該第１ノフイスに連通し、記録用液体
を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部
分を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液
体を貯留するための液室とを有して構成されでいる。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位置
に配設された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエツチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルギー発生素
子の配置された基板上に硬化した感光性樹脂の溝壁をフ
ォトリソグラフィ一工程によって形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝付
き板に、他の平板（覆しりを接合して液体通路を形成す
る工程を含む方法が知られでいる（例えば特開昭５７−
４３８７６号）。

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光性樹脂を使用した後者の方法は、前者の方法に対して
、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加工で
き、しかも量産化が容易であるので、品質が良く、より
安価な液体噴射記録ヘッドを提供することができるとい
う利点を有している。

このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるいはガラス、金属、セラ
ミックス等に用いる光硬化型の塗料や接着剤として知ら
れているものが用いられており、また作業能率などの面
からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用されできた
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

感光性樹脂の硬化膜を用いた記録ヘッドにおいては、高
度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れた特性を得る
ために、記録ヘッドに用いる感光性樹脂には、 （ｉ）特に、硬化膜としての基板との接着性に優れでい
る、 （ｉｉ）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れて
いる、 （３）パターン露光を用いたパターン形成用の際の感度
及び解像度に優れている などの特性を有していることが要求される。

ところが、これまでに知られている液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられる感光性樹脂としては、上記の要求特
性を全て満足したものが見当たらないのか現状である。

すなわち、記録ヘッド用の感光性樹脂として、印刷版、
プリント配線等におけるパターン形成用として用いられ
でいるものは、感度及び解像度においては優れているが
、基板として用いられるガラス、セラミックス、プラス
チックフィルムなどに対する接着牲や密着性に劣り、し
かも硬化した際の機械的強度や耐久性か十分でない。そ
のため、記録ヘッドの製造段階においで、または使用に
ともなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを明
答したつ、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなどし
て記録特性を低下させる等、記録ヘッドの信頼性を著し
く損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥離
、損傷などが起き易いという欠点を有している。

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られでいるものは、これらの材
質かうなる基板に対する配着牲や撞＠性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性か得られるという
利点を有しているものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装置や長時間の露光操作が必要とさ
れ、また、その特性上、解像度良く精密な高密度パター
ンを得ることができないために、特に微細な精密加工か
要求される記録ヘッド用としては向いでいないという問
題点を有している。

本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり
、前述したような諸要求特性を全て満足した樹脂硬化膜
からなる液体通路壁を有し、安価で精ヱであり、信頼荘
か高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを提供する
ことを目的とする。

本発明の他の目的は、液体通路か精度良くかつ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘッドを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼′ｉか高く、耐久注に優れた液体噴射記録ヘッド
を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 上記の目的は以下の本発明によって達成することができ
る。

本発明は、基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する
液体通路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組
成物からなる層に、該活性エネルギー線を用いた所定の
パターン露光を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成
し、該層から未硬化領域を除去して形成されている液体
ｌｌｓ射記録ヘッドであって、前記樹脂組成物が （ｉ）ガラス転移温度か５０°Ｃ以上で、且つ重量平均
分子量か約３．Ｏｘ　１０×１０４以上である線状高分
子と、 （ｉ１）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉ
自）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物の少な
くとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポキ
シ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化して
なる樹脂 とを有してなる活嘗エネルキー線硬化型樹脂組成物であ
ることを特徴とする液体噴射記録ヘッドである。

すなわち本発明の記録ヘッドは、基板と、少なくとも液
体通路となる溝を形成する樹脂硬化膜層とを有してなり
、記録ヘッドを構成する各部材の耐久性及び各部材間で
の接＠牲に優れ、しかも樹脂硬化膜層か精度良く微細加
工されでおり、優れた記録特性を有し、信頼性も高く、
使用に際しての耐久′ｉにも優れた記録ヘッドである。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドを詳細
に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のｃ−ｃ　′線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板１と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターン露光グされた樹
脂硬化膜３Ｈと、該樹脂硬化股上（こ積層された覆い７
とを有してなり、これらの部材によって、記録用液体を
吐出するためのオリフィス９、該オリフィスに連通し、
記録用液体を吐出するためのエネルギーが記録用液体に
作用する部分を有する液体通路６−２及び該液体通路に
供給する記録用液体を貯留するための液室６−１が形成
されでいる。更に、覆いに設けられた貫通孔８には、記
録ヘッド外部から液室６−１に記録用液体を供給するた
めの供給管１′０が接合されでいる。尚、第１図（ａ）
には、供給管１０は省略してある。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギーを作用させる部分の所定の位＝に配設された発
熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐出エネルギー発
生素子２に、これら素子に接続してある配線（不図示）
を介して吐出信号を所望に応して印加することにより発
生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板］は、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２か所望の個数所定位百に配設される。なお、第１
図の例においては発生素子か２個設けられているが、発
熱素子の個数及び配雷は記録ヘッドの所定の構成に応し
て適宜決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を
用いた接着方法により樹脂硬化膜３日上に接合されでお
り、また所定の位置に供給管１０を接続するための貫通
孔８が設けられでいる。

本発明の記録ヘッドにあいで、液体通路６−２及び液室
６−１の壁を構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜３日は、基板１上に、あるいは覆い７上に
設けた以下に説明する組成の樹脂組成物からなる層をフ
ォトリソグラフィ一工程によってパターンニングして得
られたものである。

尚、この樹脂硬化膜３日は、該樹脂組成物で形成した覆
い７と一体化してパターンニングされたものてあっても
よい。

このような少なくとも液体通路となる部分を構成するた
めに基板上に設けられた樹脂硬化膜を形成するために用
いる樹脂組成物は、 （ｉ）ガラス転移温度が５０°Ｃ以上で、且つ重量平均
分子量が約３．ＯＸ　１０×１０４以上である線状高分
子と、 （ｉｉ）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉ
ｉｉ）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物の少
なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポ
キシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化し
てなる樹脂 とを有してなる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物であ
り、特に硬化膜とした際にガラス、プラスチック、セラ
ミックス等からなる基板に対して良好な接着性を有し、
かつインク等の記録用液体に対する耐性及び機械的強度
にも優れ、しかも活性エネルギー線によるバターニング
によって精密で高解像度のパターンを形成することがで
きるという液体噴射記録ヘッドの構成部材として優れた
特′注を有するものである。更に、この樹脂組成物は、
ドライフィルムとして用いることができ、その際にも上
記の優れた特性が発揮される。

以下、この本発明の記録ヘッドの形成に用いる活性エネ
ルギー硬化型樹脂組成物の組成についで詳細に説明する
。

本発明に用いる活性エネルギー硬化型樹脂組成物は、例
えば該組成物をドライフィルムとして用いる際に、該組
成物を固形のフィルム状で維持するための適性を与え、
且つ硬化形成されたパターンに優れた機械的強度を付与
するための（ｉ）ガラス転移温度か５０°Ｃ以上で、且
つ重量平均分子量か約３．ＯＸ　１０４以上である線状
高分子を必須成分として含有する。

上記線状高分子のガラス転移温度および重量平均分子量
か上記偵に満たない場合には、例えばドライフィルムを
製造する際に、プラスチックフィルム等のフィルム基材
上に固゛体樹脂層として形成される該組成物が、保存中
に徐々に流動してシワを発生したつ、あるいは層厚の不
均一化等の現象を生じ、良好なドライフィルムを得るこ
とができない。

このような線状高分子を具体的に示せば、例えばそのホ
モポリマーが比較的剛直な性状を有し、上記のようなガ
ラス転移温度を与え得るモノマー（Ａ）を主成分とし、
必要に応じて第２の成分として、例えば親木件を有し、
本発明に用いる樹脂組成物に更に優れた密着性を付与し
得る（８）水酸基含有アクリルモノマー、（Ｃ）アミン
もしくはアルキルアミノ基含有アクリルモノマー、（０
）カルボキシル基含有アクリルもしくはビニルモノマー
、（Ｅ）　Ｎ−ビニルピロリドンもしくはその誘導体、
ＣＦ）ビニルピリジンもしくはその誘導体などのモノマ
ーや、ＣＧ）該樹脂組成物に高い凝集強度を与え、該組
成物の機械的強度を向上させ得る下記一般式■ Ｃ）（７＝ＣＯ−−−（Ｉ） ｌ　　　　　　　　　ｌｌ ０＝Ｃ−０−Ｒ２−０−Ｃ−ＮＨ−Ｒ３（ただし、Ｒ１
は水素または炭素原子数が１〜３のアルキル基、Ｒ２は
その内部にエーテル結合を有してもよく、且つハロゲン
原子でＭ損されでもよい２価の炭化水素基、Ｒ３は炭素
原子数が３〜１２のアルキルもしくはフェニルアルキル
基またはフェニル基を表わす。） で示されるモノマー等８４０モル％以内の節目で共重合
の成分として用いて得られる熱可塑性の共重合高分子な
どが挙げられる。

成分（Ａ）として用いられるモノマーを具体的に示せば
、メチルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、
イソブチルメタアクリレート、ｔ−ブチルメタアクリレ
ートなどのアルキル基の炭素数か１〜４のアルキルメタ
アクリレート、アウワロニトリルおよびスチレンが琴げ
られる。これらモノマーは、線状共重合高分子に上記の
ガラス転移温度を付与するため、６０モル％以上含有さ
れることか好ましい。

第２の成分として用いられる上記（Ｂ）〜（Ｇ）のモノ
マーを具体的に示せば、ＣＢ）の水酸基含有アクリルモ
ノマーとしては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリ
レート（以下、（メタ）アクリレートと記す場合、アク
リレートおよびメタアクリレートの双方を含むこと意味
するものとする。）、２−ヒドロキシプロピル（メタ）
アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（
メタ）アク１ル−ト、４−ヒドロキシブチル（メタ）ア
クリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレー
ト、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６
−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、あるいは１
，４−シクロヘキサンジメタツールとアクリル酸または
メタアクリル酸とのモノエステルなどが挙げられ、商品
名アロニツクスＭ５７００（東亜合成化学■製）　、　
ＴＯＮＥ　Ｍｌｏｏ（カプロラクトンアクリレート、ユ
ニオンカーバイド■製）、ライトエステルＨＯ−ｍｐｐ
　（共栄社油脂化学工業■製）、ライトエステルＭ−６
０ＯＡ（ｉｉ−ヒドロキシ−３−フェノキシプロビルア
クリレートの商品名、共栄社油脂化学工業■製）として
知られているものや、二価アルコール類、例えばｌ、１
０−デカンジオール、ネオペンチルグリコール、ビス（
ｉｉ−ヒドロキシエチル）テレフタレート、ビスフェノ
ールへとエチレンオキシドまたはプロピレンオキシドと
の付加反応物等と（メタ）アクリル酸とのモノエステル
等を使用することができる。

（Ｃ）のアミンもしくはアルキルアミノ基含有アクリル
モノマーとしては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ−
ジメチルアミンエチル（メタ）アクリルアミド、Ｉ’ｒ
、Ｎ−ジメチル（メタ）アクリルアミド、ｌ’ｒ、Ｎ−
ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｉ’
ｆ、　Ｎ−ジｔ−ブチルアミノエチル（メタ）アクリル
アミドなどが挙げられる。

（Ｄ）のカルボキシル基含有アクリルもしくはビニルモ
ノマーとしては（メタ）アクリル酸、フマール酸、イタ
コン酸あるいは東亜合成化学＠製品の商品名アロニツク
スＭ−５４００、アロニックスＭ−５５００等で知られ
るものか挙げられる。

（Ｆ）のビニルピリジンもしくはその誘導体としては、
２−ビニルピリジン、４−ビニルピリジン、２−ビニル
−６−メチルピリジン、４−ビニル−１−メチルビリジ
ン、２−ビニル−５−エチルピリジン及び４−（４−ビ
ペニリノエチル）ピリジン等を挙げることかできる。

上記（Ｂ）〜（Ｆ）のモノマーは、その何れもが親木牲
を有するものであり、本発明に用いる樹脂組成物かガラ
ス、セラミックス、プラスチックなどの基板に接着する
際に、強固な密着性を付与するものである。

（Ｇ）の一般式■て表わされるモノマーを具体的に示せ
ば、１分子中に水酸基を１個含有する（α−アルキル）
アクリル酸エステルにモノイソシアナート化合物を反応
させて成る、１分子中にウレタン結合を１個以上有する
（α−アルキル）アクリル酸エステルか挙げられる。尚
、一般式Ｉで表わされるモノマーにおけるＲ２は、その
内部にエーテル結合を有してもよく、且つハロゲン原子
で置換されでもよい２価の任意の炭化水素基とすること
ができるが、好ましいＲ２としては、炭素原子数が２〜
１２のハロゲン原子で置換されてもよいアルキレン基、
１．４−ビスメチレンシクロヘキサンのような脂環式炭
化水素基、ビスフェニルジメチルメタンのような芳香環
を含む炭化水素基等を挙げることができる。

一般式１で表わされるモノマーを製造するに際し用いら
れる１分子中に水酸基を少なくとも１個含有する（メタ
）アクリル酸エステルとしては、２−ヒドロキシエチル
（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ
）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル
（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）
アクリレート、３−ヒドロ主ジブチル（メタ）アクリレ
ート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、
６−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートあるいはラ
イトエステルＨＯ−ｍｌ）り（共末社油脂化学工業■製
）などが挙げられる。

１分子中に水酸基を１個含有する（α−アルキル）アク
リル酸エステルとしは、上記以外に（ａ）脂肪族または
芳香族の二価アルコールと（メタ）アクリル酸とのエス
テルや（ｂ）モノエポキシ化合物の（メタ）アクリル酸
エステルを同様に使用することができる。

上記（ａ）に用いられる二価アルコールとしては、１．
４−シクロヘキサンジメタノール、１．１０−デカンジ
オール、ネオペンチルグリコール、ビス（ｉｉ−ヒドロ
キシエチル）テレフタレート、ビスフェノールＡへのエ
チレンオキシドまたはプロピレンオキシドの２〜１０モ
ル付加反応物などが挙げられる。また、上記（ｂ）に用
いられるモノエポキシ化合物としては、エポライトＭ−
１２３０（商品名、共栄社油脂化学工業■製）、フェニ
ルグリシジルエーテル、クレシルグリシジルエーテル、
ブチルグリシジルエーテル、オクチレンオキサイド、ｎ
−ブチルフェノールグリシジルエーテルなどが挙げられ
る。

また、一般式Ｉで表わされるモノマーを製造するに際し
用いられるモノイソシアナート化合物としては、炭素原
子数が３〜１２のアルキル基に１個のインシアナート基
を付与してなるアルキルモノイソシアナート、およびフ
ェニルイソシアナート、クレジルモノイソシアナートな
どが挙げられる。

一般式１で表わされるモノマーは、４０モル％迄の範囲
で線状共重合高分子に含有されることが好ましい。含有
量が５０モル％を越えると、得られる組成物の軟化点の
低下が顕著になり、該組成物を硬化して得られるパター
ンの表面硬度の低下や、膨潤による耐薬品性の劣化等の
問題を土じる。

本発明の記録ヘッドの形成に用いる樹脂組成物は、記録
ヘッドの形成に際して溶液状あるいは固形のフィルム状
等の種々の形状で使用されるが、ドライフィルムの態様
で用いるのが扱い易く、また膜厚の管理も容易であり、
特に有利である。もちるん、溶液状で用いることは一向
に差しつかえない。

以上、主として熱可塑性の線状高分子を用いる場合を説
明してきたが、本発明においては熱架橋性あるいは光架
橋′ｌｃ１．を有する線状高分子を用いることもできる
。

熱架橋性の線状高分子は、例えば上記熱可塑性の線状高
分子に、下記一般式ＩＩ ■ ＣＨ２＝Ｃ−−−（ＩＩ） Ｏ＝ＣＮＨＣＨ２０Ｒ’ （ただし、Ｒ４は水素または炭素原子数が１〜３のアル
キルもしくはヒドロキシアルキル基、Ｒ′−は水素また
は炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を有してもよいア
ルキルもしくはアシル基を表わす、） で示されるような熱架橋性のモノマーを共重合の第２成
分として導入することにより得ることかできる。上記一
般式■で表わされるモノマーは、熱架橋注であるばかり
が、親木性も有しており、該熱架橋性によって本発明に
おける樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に構造材料として
の優れた′注状、例えば耐熱性、耐薬品性、あるいは機
械的強度等を、また親水性によって基板への優れたと着
性を発揮させるものである。

一般式ＩＩで示されるモノマーを具体的に示せば、Ｎ−
メチロール（メタ）アクリルアミド（以下、（メタ）ア
クリルアミドと記す場合、アウリアミトおよびメタアク
リアミドの双方を含むこと意口未するものとする。）、
Ｎ−プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ｎ
−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、β−ヒドロ
キシエト千ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−エト
キシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メトキシメチ
ル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−アセトキシメチル（メ
タ）アクリルアミド、α−ヒドロキシメチル−Ｎ−メチ
ロールアクリルアミド、α−ヒドロキシエチル−Ｎ−ブ
トキシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキシプロピル
−Ｎ−プロポキシメチルアクリルアミド、α−エチル−
Ｎ−メチロールアクリルアミド、α−プロピル−Ｎ−メ
チロールアクリルアミド等のアクリルアミド誘導体が挙
げられる。

これら一般式ＩＩで表わされるモノマーは、上記の如く
親水荘はもとより加熱による縮合架橋性を有しており、
一般には１００℃以上の温度で水分子あるいはアルコー
ルか脱離し架橋結合を形成して硬化後に線状高分子自体
にも網目構造を形成させ、硬化して得られるパターンに
優れた耐薬品性および機械的強度を付与するものである
。

線状高分子として熱硬化性を有するものを使用する場合
には、これら一般式ＩＩで表わされるモノマーは、５〜
３０モル％が線状高分子に含有されることか好ましい。

含有量が上記範囲内であると、熱硬化に基づく十分な耐
薬品性が付与される。これに対して、含有量が３０モル
％を越えると、硬化して得られるパターンか脆くなる等
の問題を生じる。

上記一般式Ｈて表わされるモノマーの他、熱によって開
環し、架橋するモノマー、例えばグリシジル（メタ）ア
クリレート等を適宜共重合の成分として用いることによ
って、上記一般式ＩＩの場合におけると同様の効果を得
ることができる。

光架橋′１の線状高分子は、例えば以下に例示するよう
な方法によって、光重合性のモノマーを線状高分子に導
入する等の方法によって得ることかできる。そのような
方法を示せば、例えば■（メタ）アクリル酸等に代表さ
れるカルボキシル基含有モノマー、またはアミノ基もし
くは三級アミン基含有モノマーを共重合させ、しかる後
にグリシジル（メタ）アクリレート等と反応させる方法
、 ■１分子内に１個のイソシアネート基と１個以上のアク
リルエステル基を持つポリイソシアネートの部分ウレタ
ン化合物と、枝鎖の水酸基、アミノ基あるいはカルボキ
シル基とを反応させる方法、 ■枝鎖の水酸基にアクリル酸クロライドを反応させる方
法、 ■枝鎖の水酸基に酸無水物を反応させ、しかる後にグリ
シジル（メタ）アクリレートを反応させる方法、 ［相］枝鎖の水酸基と（Ｆ）に例示した縮合架橋性モノ
マーとを縮合させ、側鎖にアクリルアミド基を残す方法
、 ■枝鎖の水酸基にグリシジル（メタ）アクリレートを反
応させる方法、 等の方法が挙げられる。

線状高分子か熱架橋′ｉである場合には、活性エネルギ
ー線の照射によりパターンを形成した後に加熱を行なう
ことが好ましい。一方、光重合性の線状高分子の場合に
も、基板の耐熱性の面で許容され得る範囲内で加熱を行
なうことは何ら問題はなく、むしろより好ましい結果を
与える。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いら
れる線状高分子は、上記の如く硬化性を有しないもの、
光架橋粧のもの、および熱架橋′ｉのものに大別される
が、何れにしても該組成物の硬化工程（すなわち、活性
エネルギー線照射によるパターンの形成および必要に応
しての熱硬化）において、該組成物に形態保持性を付与
して精密なバターニングを可能にするとともに、硬化し
て得られるパターンに対しては優れた密着性、耐薬品性
ならびに高い機械的強度を与えるものである。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いる
エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）とは、後
に説明する樹脂成分（ｉｉｉ）とともに、該組成物に活
性エネルギー線による硬化性を発揮させ、とりわけ該組
成物に活性エネルギー線に対する優れた感度を付与する
ための成分であり、好ましくは大気圧下で１００°Ｃ以
上の沸点を有し、また好ましくはエチレン性不飽和結合
を２個以上有するものであって、活性エネルギー線の照
射で硬化する公知の種々の単量体を用いることかできる
。

そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を有する単
量体を具体的に示せば、例えば■１分子中に２個以上の
エポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂のアクリル酸エ
ステルまたはメタアクリル酸エステル、■多価アルコー
ルのアルキレンオキシド付加物のアクリル酸エステルま
たはメタアクリル酸エステル、■二塩基酸と二価アルコ
ールから成る分子量５００〜３０００のポリエステルの
分子鎖末端にアクリル酸エステル基を持つポリエステル
アクリレート、■多価イソシアネートと水酸基を有する
アクリル酸モノマーとの反応物が挙げられる。上記■〜
■の単量体は、分子内にウレタン結合を有するウレタン
変性物であってもよい。

■に属する単量体としては、後述する本発明の樹脂組成
物の（ｉｉｉ）の成分（ハーフェステル化エポキシ樹脂
）の生成に用いられる多官能エポキシ樹脂のアクリル酸
またはメタクリル酸エステルなどが挙げられる。

■に属する単量体としては、エチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）ア
クリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、　１．６ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート
、ペンタエリストールトリ（メタ）アクリレートなどが
挙げられ、商品名ＫＡＹＡＲＡＤ　　ＨＸ−２２０、Ｈ
Ｘ−６２０、Ｄ−３１０、Ｄ−３２０、Ｄ−３３０、Ｄ
ＰＨＡ、　Ｒ−６０４、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３
０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０（以上、日本化
薬■製）、商品名ＮＫエステルＢＰＥ−２００、ＢＰＥ
−５００，８ＰＥ−１３００、Ａ−ＢＰＥ−４（以上、
新中村化学■製）等で知られるものを使用できる。

■に属する単量体としては、商品名アロニツクスＭ−６
１００、Ｍ−６２００、Ｍ−６２５０、Ｍ−６３００、
ｌ１ｌ−６４００、Ｍ−７１００、Ｍ−８０３０、Ｍ−
８０６０、Ｍ−８１００（以上、東亜合成化学■製）な
どが挙げられる。■に属し、ポリエステルのウレタン結
合含有するものとしては、商品名アロニツクスＭ−１１
００、アロニツクスＭ−１２００（以上、東亜合成化学
■製）等として知られるものが挙げられる。

■に居する単量体としては、トリレンジイソシアナート
、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソ
シアナート、トリメチルへキサメチレンジインシアナー
ト、リジンジインシアナート、ジフェニルメタンジイソ
シアナートなどのポリイソシアナートと水酸基含有アク
リルモノマーとの反応物が挙げられ、商品名スミジュー
ルＮ（ヘキサメチレンジイソシアナートのビユレット誘
導体）、スミジュールしくトリレンジイソシアナートの
トリメチロールプロパン変さ体）（以上、住友バイエル
ウレタン■製）等で知られるポリイソシアナート化合物
に水酸基含有の（メタ）アクリル酸エステルを付加した
反応物などを使用できる。ここで言う水酸基含有アクリ
ルモノマーとしては（メタ）アクリル酸エステルが代表
的なもので、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、
ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートが好ましい。

また、先に線状高分子の式１１で表わされるモノマーを
製造するためのものとして挙げた水酸基含有の他のアク
リルモノマーも使用することができる。

上記したような２個以上のエチレン性不飽和結合を有す
る単量体の他、これ等と共に例えば以下に列挙するよう
なエチレン性不飽和結合を１個だけ有する単量体も用い
ることかできる。そのような１個の゛エチレン″ｉ不飽
和結合を有する単量体を例示すれば、例えばアクリル酸
、メタアクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モノ
マー：グリシジルアクリレート、グリシジルメタアクリ
レートなどのグワシジル基含有不飽和モノマー：ヒドロ
キシエチルアウリレート、ヒドロキシエチルメタアクリ
レート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシ
プロピルメタアクリレート等のアクリル酸またはメタク
リル酸のＣ２〜Ｃ８ヒドロキシアルキルエステル：ポリ
エチレングリコールモノアクリレート、ポリエチレング
リコールモノメタアク１ル−ト、ポリプロピレングリコ
ールモノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノ
メタアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸と
ポリエチレングリコールまたはポリプロピレングリコー
ルとのモノエステル：アクリル酸メチル、アクリル酸エ
チル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、
アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アク１ノル酸
オクチル、アクツル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキ
シル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタ
クリル酸プロピル、メタク１ノル酸イソプロピル、メタ
クリル酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸
オクチル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸シクロ
ヘキシル等のアクリル酸またはメタクリル酸のＣ０〜Ｃ
１２アルキルまたはシクロアルキルエステル：その他の
モノマーとして、例えばスチレン、ビニルトルエン、メ
チルスチレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニルイソブ
チルエーテル、アク１ノロニトリル、アクリルアミド、
メタクリルアミド、アル中ルグリシジルニーテルのアク
！ノル酸またはメタクリル酸付加物、ビニルピロリドン
、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレー
ト、ε−カプロラクトン変性ヒドロキシアルキル（メタ
）アクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート
、フェノキシエチルアクリレートなど：が挙げられる。

何れにしても、上記エチレン牲不飽和結合を有する単量
体を使用することにより、本発明における樹脂硬化膜形
成用の樹脂１組成物（こ活憔エネルキ〜線に対する高感
度で十分な硬化性か付与される。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いる
１分子内にエポキシ基を２個以上含む化合物の］種以上
からなるエポキシ樹脂に存在するエポキシ基の一部を、
不飽和カルボン酸によってエステル化して得られる樹脂
（ｉｉｉ）　　（以後、ハーフェステル化エポキシ樹脂
と略称する）は、該組成物に前述したエチレン牲不飽和
結合を有する単量体（ｉ１）とともに活゛ｉエネルギー
線による硬化性を発揮させ、これに加えて該組成物を、
ガラス、プラスチックス、セラミックス等の基板上に液
体状で塗布してからこれを硬化させて硬化膜として形成
した際に、あるいはドライフィルムの形で基板上に接着
して用いた際に、該組成物からなる硬化膜に、より良好
な基板との密着性、耐水性、耐薬品性、寸法安定牲等を
付与するための成分である。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物（こ含有
させるハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）は、エ
ポキシ樹脂に、所定量の不飽和カルボン酸を、付加触媒
及び重合禁止剤の共存下で、溶媒の存在下若しくは不存
在下において、８０〜１２０°Ｃの温度条件によって反
応させて、エポキシ樹脂に存在するエポキシ基の一部を
カルボン酸でエステル化（ハーフェステル化）するなど
の方法によって得ることかできる。

ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の形成に用い
ることのできる１分子内にエポキシ基を２個以上含む化
合物の１種以上を含んでなるエポキシ樹脂としては、ビ
スフェノールＡ型、ノボラック型、脂環型に代表される
エポキシ樹脂、あるいは、ビスフェノールＳ、ビスフェ
ノールＦ、テトラヒドロキシフェニルメタンテトラグリ
シジルエーテル、レゾルシノールジグリシジルエーテル
、グリセリントリグリシジルエーテル、ペシタエリスト
ールトリグリシジルエーテル、インシアヌール酸トリグ
リシジルエーテルおよび下記一般弐■ （ただし、Ｒはアルキル基またはオキシアルキルキル基
を表わす） で表わされるエポキシウレタン樹脂等の多官能性のエポ
キシ樹脂及びこれらの一種以上の混合物などを挙げるこ
とができる。

なお、これら多官能′ユニポキシ樹脂の具体例としては
以下のようなものを挙（プることができる。

すなわち、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂としては、
例えばエピコート８２８．８３４．８７１．１００１、
＋００４　（商品名、シェル化学社製）　、ＤＥＲ３３
１−Ｊ　、３３７−Ｊ　、６６１−Ｊ　、６６４−Ｊ　
、６６７−Ｊ　　（ダウケミカル社製）及びエビクロン
８００（商品名、大日本インキ化学工業■社製）など二
ノボラック型エポキシ樹脂としては、例えばエピコート
１５２．１５４　、１７２、（商品名、シェル化学社製
）、アラルダイトＥＰＮ　１１３８　（商品名、チバガ
イギー社製）、ＤＥＲ４３１、４３８及び４３９（商品
名、ダウケミカル社製）など：脂環式エポキシ樹脂とし
ては、例えばアラルダイトＣＹ−１７５、−１７６、−
１７９、−１８２、−１８４、−１９２（商品名、チバ
ガイギー社製）、チッンノックス０９０．０９１．０９
２．３０１．３１３（商品名、チッソ■社製）、シラキ
ュアー（ＣＹＲＡＣＵＲＥ）６１００．６１１０．６２
００及びＥＲＬ　４０９０．４６１７．２２５６．５４
＋１　（商品名、ユニオシカーバイド社製）など：脂肪
族多価アルコールの多価グリシジルエーテル類としては
、例えばエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポ
リエチレングリコールジグリシジルエーテル、プロピレ
ングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレング
リコールジグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコー
ルジグリシジルエーテル、１．６−ヘキサンシオールジ
グリシジルエーテル、グ１ノセリンジグリシジルエーテ
ル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、
水素添加ビスフェノールＡのジグリシジルエーテル、２
，２−ジブロモネオペンチルグリコールジグリシジルエ
ーテル等：芳香族多価アルコールから誘導された多価グ
リシジルエーテルとしては、ビスフェノールへのアルキ
レンオキシドの２〜１６モル付加体のジグリシジルエー
テル、ビスフェノールＦのアルキレンオキシドの２〜１
６モル付加体のジグリシジルエーテル、ビスフェノール
Ｓのアルキレンオキシドの２〜１６モル付加体のジグリ
シジルエーテルなどかある。

エポキシ樹脂のハーフェステル化に用いることのできる
不飽和カルボン酸としては、種々のものを用いることか
できるが、本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成
物に、より良好な活性化エネルギーによる硬化膜を付与
するためには、少なくとも分子の一方の末端にアクリル
性若しくはメタアクリル性ビニル基を有し、他方の末端
にカルボキシル基を有したー塩基牲の不飽和カルボン酸
を好適なものとして用いることができる。

そのような不飽和カルボン酸の代表例としては、アクリ
ル酸及びメタアクリル酸か挙げられるが、ジカルボン酸
と１個のヒドロキシル基を有する（メタ）アクリル酸エ
ステルとを反応させて得られるモノエステル化合物も使
用することができる。

上記のジカルボン酸としてはフタル酸、イソフタル酸、
テレフタル酸、シュウ酸、マロン酸、こはく酸、グルタ
ル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スペリン酸、アゼライ
ン酸、セバシン酸、インセバシン酸、テトラヒドロフタ
ル酸及びこれらの無水物などを挙げることができる。

また、上記の１個のヒドロキシル基を有する（メタ）ア
クリル酸エステルとしては、２．−ヒドロ主ジプロピル
（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプ
ロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（
メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）ア
クリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレ
ート及び６−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート等
を挙げることができる。

エポキシ樹脂のハーフェステル化反応に用いることので
きる付加反応触媒としては、例えば塩化亜鉛、塩化リチ
ウムなどの金属ハロゲン化物、例えばジメチルサルファ
イド、メチルフェニルサルファイドなどのサルファイド
類の化合物、例えばジメチルスルホキシド、メチルエチ
ルスルホキシドなどのスルホキト類の化合物、例えばＮ
、　Ｎ−ジメチルアニリン、ピリジン、トリエチルアミ
ン、ヘンシルジメチルアミンなどの第３級アミン頚の化
合物及びその塩酸塩若しくは臭酸塩、例えばテトラメチ
ルアンモニウムクロライド、トリメチルドデシルヘンシ
ルアンモニウムクロライド、トリエチルヘンシルアンモ
ニウムクロライドなどの第４級アンモニウム塩、例えば
パラトルエンスルホン酸すとのスルホン酸類の化合物及
び例えばエチルメルカプタン、プロピルメルカプタンな
どのメルカプタン類の化合物などを挙げることかできる
。

更に、ハーフェステル化に用いることのできる重合禁止
剤としては、例えばハイドロキノン、アルキル若しくは
アリール言換ハイドロキノン、第３ブチルカテコール、
ピロガロール、ナフチルアミン、β−ナフトール、塩化
第一銅、２．６−ジ第３ブチル−ｐ−クレゾール、フェ
ノチアジン、ビＩノジン、Ｎ−ニトロソジフェニルアミ
ン及び二トロヘンゼンなどを挙げることかできる。

また、ハーフェステル化を溶媒の存在下で行なう場合に
使用することのできる溶媒としては、トルエン、キシレ
ン、メチルインブチルケトン、メチルエチルケトン、酢
酸エチル、酢酸ブチル及び酢酸イソブチルなどを挙げる
ことができる。

ハーフェステル化の際のエポキシ樹脂と不飽和カルボン
酸の使用量は、エポキシ樹脂のエポキシ基と不飽和カル
ボン酸のカルボキシル基との比率が、好ましくはＩ　：
０．２〜　Ｉ　：０．７　、より好ましくは１０．２〜
　Ｉ　：０．５５となるように適宜選択される。

すなわち、ハーフェステル化エポキシ樹脂における不飽
和カルボン酸によるエポキシ基のエステル化率が、上記
の節回よりも高いと、エポキシ樹脂に由来する良好な耐
薬品性や寸法安定性等を本発明に用いる樹脂組成物に有
効に活すことかできない。また、このエステル化率が上
記の節回よりも低いと、パターン形成性か悪くなる。更
に詳しく説明すると前出のエチレン性不飽和結合を有す
る単量体を硬化膜の特性をそこなわない程度、いいかえ
れば本発明で示す範囲内で可能なだけ量を増やして使用
しても、パターン露光による重合における重合率か低く
、現像液に対する溶解度のコントラストか低いものしか
得られず、その結果パターンの輪郭部に鮮明性が得られ
ず、また鮮明なパターンを得るための作業条件か雇めで
狭くなる。

このように、本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エ
ネルギー線硬化型樹脂組成物は、必須成分として含有さ
れるエチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）及び
ハーフェステル化エポキシ樹脂の（ｉｉｉ）の有する不
飽和二重結合に基づく活性エネルギー線に対する高感度
で十分な硬化性に加え、ハーフェステル化エポキシ樹脂
の（ｉｉｉ）の有するエポキシ基に基づく熱硬化性とを
有しておつ、例えば該樹脂組成物に活性エネルギー線を
照射させて硬化ざぜた後、８０°Ｃ以上で、１０分〜３
時間程度加熱して更に熱硬化させで得た硬化膜には、エ
ポキシ樹脂に由来する良好な基板とのと着′ｉ、耐薬品
゛ｉ、寸法安定性等か更に有効に付与される。

本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物は、活性エネルギー線として波長２５０
ｎｍ〜４５０ｎｍの活性エネルギー線か用いられる場合
には、活性エネルギー線の作用によつ賦活化し得る有機
遊離ラジカル生成′注のラジカル重合開始剤を該樹脂組
成物中に添加しておくことが好ましい。このラジカル重
合開始剤としては、活性エネルギー線によって賦活化し
、有機遊離ラジカルを生成して、ラジカル重合を開始さ
せる性質を何する公知の物質を特に限定することなく使
用できる。

そのようなラジカル重合開始剤を具体的に示せば、ヘン
シル、ヘンジインアルキルエーテル頚：ヘンゾインイン
ブチルエーテル、ヘンゾインイソプロピルエーテル、ヘ
ンジイン−ｎ−ブチルエーテル、ヘンジインエチルエー
テル、ヘンジインメチルエーテルなど、ヘンシフエノン
類・ヘンシフエノン、４．４′−ビス（Ｎ、Ｎ−ジエチ
ルアミノ）ヘンシフエノン、ヘンシフエノンメチルエー
テルなど、アントラキノン頚：２−エチルアントラキノ
ン、２−ｔブチルアントラキノンなど、キサントン％：
２，４−ジメチルチオキサフトン、２，４−ジインプロ
ピルチオキサントンなど、アセトフエノシ頚・２．２−
ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、α、α−ジ
クロロー４−フェノキシアセトフェノン、ｐ　−ｔｅｒ
ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、ｐ　−ｔｅｒｔ
−ブチルジクロロアセトフェノン、２．２−ジェトキシ
アセトフェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノンな
ど、あるいはヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン
（イルガキュア１８４　　チバ・ガイキー−製）、１−
（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−
メチルプロパン−１−オン（ダロキュア１１１６　　メ
ルク（Ｖ　Ｅ　ＲＣＫ　）■製）、２−ヒドロキシ−２
−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン（ダロキ
ュア１１７３　　メルク■製）等が好適に用いられるも
のとして挙げられる。これらのラジカル重合開始剤に加
えて、光重合促進剤としてアミン化合物を添加してもよ
い。

光重合促進剤に用いられるアミン化合物としては、エタ
ノールアミン、ヱチルー４−ジメチルアミノへンゾエー
ト、２−（ジメチルアミノ）エチルヘンシェード、ｐ−
ジメチルアミノ安息香酸ｎ−アミルエステル、ｐ−ジメ
チルアミノ安息香酸イソアミルエステル等か挙げられる
。

更に、本発明に用いる活性エネルギー線硬化型樹脂組成
物には、ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の有
するエポキシ基についでも、活性エネルギー線の作用に
より光重合か行なわれるように、特公昭５２−１４２７
８号公報に示されている第Ｖｉａ族に属する元素を含む
光感知性を有する芳香族オニウム塩化合物、または特公
昭５２−１４２７９号公報に示されでいる第Ｖａ族に属
する元素を含む光感知性を有する芳香族オニウム塩化合
物を配合することかできる。

第Ｖｉａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素の光感知性の
芳香族オニウム塩化合物には、代表的には下記一般式■
： ［ＣＲら）ａ　（Ｒ７）ｂ　ＣＲ８）ｃＸ］＋　［ＭＱ
ｅド１６−４１・・・（ＩＶ） （上記式中、Ｒ６は一価の有機芳香族基、Ｒ７はアルキ
ル基、ジシクロアルキル基及び置換アルキル基から選ら
ばれる一価の有機脂肪族基、３日は脂肪族基及び芳香族
基から選らばれる複素環若しくは縮合環構造を構成する
多価有機基、Ｘはイオウ、セレン及びテルルから選らば
れる第Ｖｌａ族または窒素、リン、ヒ素、アンチモン及
びビスマスから選らばれる第Ｖａ族に居する元素、Ｍは
金属または半金属及びＱはハロゲン基をそれぞれ表し、
ａはＸが第Ｖｉａ族に属する元素である場合にはＯ〜３
の整数、Ｘか第Ｖａ族に属する元素である場合には０〜
４の整数、ｂはＯ〜２の整数、ＣはＸが第Ｖｉａ族に属
する元素である場合にはＯまたは］の整数、Ｘか第Ｖａ
族に属する元素である場合には○〜２の整数、ｆはＭの
価数で２〜７の整数、ｅはｆより大で８以下の整数であ
り、かつａとｂとＣの和はＸか第Ｖｌａ族に嵐する元素
である場合には３（Ｘの価数）、Ｘか第Ｖａ族に属する
元素である場合には４（Ｘの価数）、ｄ＝ｅ−ｆである
）で表される化合物があり、これらに光を照射するとオ
ニウム塩がルイス酸を故出し、これがエポキシ樹脂を硬
化させるという特性を有する。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に配合す
ることのできる第Ｖｌａ族若しくは第Ｖａ族に属する元
素を含む光感知性の芳香族オニウム塩化合物の具体例と
しては、例えば などの第Ｖｉａ族に属する元素の光感知性の芳香族オニ
ウム塩、及び例えば などの第Ｖａ族に属する元素の光感知性の芳香族オニウ
ム塩などを挙げることができる。

本発明における樹脂硬化膜形成用の活性二ネルギー線硬
化型樹脂組成物を構成する前記材料の構成比率は、線状
高分子（ｉ）　２０〜８０重量部、好ましくは２０〜５
０重量部、エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ
）とハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の合計８
０〜２０重量部、好ましくは５０〜８０重量部とされる
［（ｉ）◆（ｉｉ）・（ｉｉｉ）・１００重量部］。

また、エチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉｉ）と
ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）との★有圧が
、３０：７０　：　３０となるように該樹脂組成物にこ
れらの成分を含有させるのが各々の成分の特徴をともに
有効（こ発揮させるために好ましい。

すなわち、ハーフェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）は
基板との密着性、耐薬品性、寸法安定性等の硬化膜の物
性を、エポキシ樹脂硬化膜のその優れた物性に近づける
ために、またエチレン性不飽和結合を有する単量体（ｉ
ｉ）は、活嘗化エネルギーに対する高い感度を樹脂組成
物に付与するためにそれぞれ有効であり、成分（ｉｉ）
と（ｉｉｉ）の含有比が上記のような範囲内にあれば、
両者の佐賀をともに具備した樹脂組成物及び該組成物か
らの硬化膜を得ることができる。これに対して、ハーフ
ェステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の含有率が上記の範
囲よりも高いと、樹脂組成物中に活性エネルギー線に対
する硬化膜に直＋！関与する成分の十分な含有量が得ら
れず、例えばパターンを形成する場合に、パターン露光
による重合における重合率が低くなり、その結果パター
ンの輪郭部に鮮明性が得られず、また鮮明なパターンを
得るための作業条件が極めで狭くなる。更に、ハーフェ
ステル化エポキシ樹脂（ｉｉｉ）の含有率が上記の範囲
よりも低いと、樹脂組成物中てのエポキシ基の含有量が
少なくなり、その結果露光後の加熱による重合反応が起
りにくくなり、優れた支持体との密着性、耐薬品性、寸
法安定性等の特性が十分に発現しないので好ましくない
。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に、活性
化エネルギー線の作用により賦活化するラジカル重合開
始剤を用いる場合の該重合開始剤は、線状高分子、エチ
レン性不飽和結合を有する単量体及びハーフェステル化
エポキシ樹脂より成る樹脂成分［（ｉ）・（ｉｉ）・（
ｉｉｉ）］　１１００重量に対して０．１〜２０重量％
、好ましくは１〜１０重量％の範囲である。

また、第Ｖｌａ族若しくは第Ｖａ族に屈する元素を含む
光感知性の芳香族オムニラム塩を用いる場合の該化合物
の含有量は、線状高分子、エチレン性不飽和結合を有す
る単量体およびハーフェステル化エポキシ樹脂［（ｉ）
＋（ｉｉ）◆（ｉｉｉ）］より成る樹脂成分１００重量
部に対して０．２〜１５重量％、好ましくは０．５〜１
０重量％の範囲である。

本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、あるいはドライフ
ィルムとする際のフィルム基材であるプラスチックフィ
ルム上に塗布する場合などに用いる溶剤としては、アル
コール類、グリコールエステル類、グリコールエステル
類等の親水性溶剤などが挙げられる。もちろん、これら
親水性溶剤を主体とし、それらに必要に応じてメチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢
酸エチル、酢酸インブチル等のエステル類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、
塩化メチレン、１．１．　ｉ−トリクロルエタン等の塩
素含有の脂肪族溶剤等を適宜；見合したものを用いるこ
ともできる。尚、これら溶剤は、パターン露光後の樹脂
組成物の現像液として用いることもてきる。

尚、本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー
線硬化型樹脂組成物には、上記光重合開始剤あるいは溶
剤の他、例えば縮合架橋の触媒、熱重合禁止剤、着色剤
（染料及び顔料）、微粒子状充填剤、凹着促進剤、可塑
剤等の添加物を必要に応じて含有させることができる。

縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン酸に代表
されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が挙げられ
る。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンおよびその
誘導体、バラメトキシフェノール、フェノチアジン等が
挙げられる０着色剤としては、油溶性染料及び顔料が活
性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲で添加さ
れ得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、密着性、機
械的強度上昇のために、塗料一般で使用される体質顔料
、プラスチック微粒子等が用いられる。

田着促進剤としては、無機質表面改質剤としてのシラン
カップリング剤、低分子界面活゛注剤が有効である。

また、本発明における硬化樹脂膜形成用の活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物には、エポキシ樹脂の硬化剤を必
要に応じＣ添加してもさしつかえない。該樹脂組成物に
添加することのできるエポキシ樹脂の硬化剤としては、
例えばポリアミン、ポリアミド、酸無水物、三フッ化ホ
ウ素−アミンコンプレックス、ジシアンジアミド、イミ
ダゾール類、イミダゾールと金属塩のコンプレックスな
どを挙げることかできる。

以上のような組成からなる樹脂組成物を活性エネルギー
線によって硬化させて、本発明の記録ヘッドの有する樹
脂硬化膜３Ｈが形成される。

以下、樹脂硬化膜３Ｈ形成用の樹脂組成物としてドライ
フィルムタイプのもそ用いた場合を一例として、図面を
用いて本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法を詳細に
説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板１上に発熱素子やピエゾ素子等の
吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配置される。尚
、必要に応して記録用液体に対する耐件、電気絶縁性等
を基板１表面に付与する目的で、該表面に５ｉ０２、Ｔ
ａ２０５、ガラス等の保護層を被覆してもよい。また、
吐出エネルギー発生素子２には、図示されでいないが、
記録信号入力用電極が接続してある。

次に、第２図の工程を経て得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィ
ルムタイプ（膜厚、約２５ｕ＋〜１００μ、）の前述し
た活性エネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１５
０℃程度に加温して、例えば０．５〜０．４　ｆ／ｍｉ
ｎ、の速度、１〜３　Ｋｇ／　ｃｒｎ３の加圧条件下で
基板面ＩＡ上にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板面ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３上に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク４を重
ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行
なう。

なお、フォトマスク４と基板１との位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経で、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分が
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶′ｉの
ままであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
既に広く実用化されている紫外線あるいは電子線などが
挙げられる。紫外線光源としては、波長２５０ｎｍ〜４
５０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メ
タルハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容される
ランブー被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の
光の強度が１　ｍＷ／ｃｍ’〜Ｉ００ｍＷ／　ｃｍ’程
度のものが好ましい。電子線照射製画としては、特に限
定はないが、０．５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の線ｔを
有する製雪が実用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム３を、例えば１．　ｌ、　
１−　トリクロルエタン等の揮発゛注有機溶剤中に浸漬
するなどして現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィ
ルム層３の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除
去し、第５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基
板］上に残存した樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１となる溝を形成する。

次に、活性エネルギー線硬化型樹脂組成物に熱硬化性の
線状高分子を用いた場合等、基板１上の硬化樹脂膜３Ｈ
を必要に応じて、例えば１００℃で５〜１０分程度更に
加熱して熱重合させる。

なお、本例の記録ヘッドにおいては、液体通路６−２及
び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムタイプ
の樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につい
て説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際して
使用できる活性エネルギー線硬化型樹脂組成物としては
、固体状のもののみに限られるものではなく、液状のも
のももちろん使用可能である。

基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高さの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることができる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、ｌ００ｃｐ〜３０００ｃｐが適当である。また、
基板の周囲に薗く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含有
する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定する必要
がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等が好適である。

しかしなから、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確（
こできる点に於いで、固体状の２イルムタイブのものが
便利である。

このようにして、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１ヲ構成する溝を形成した後、
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すよう１こ、溝の覆
いとなる平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に接合し、接合体を
形成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いて、
覆い７を付設する具体的な方法としては、例えばガラス
、セラミック、全屈、プラスチック等の平板７にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４μｍにスピンコードした後
、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化させ
、これを硬化したドライフィルム３Ｈ上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑′
注樹脂の平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に、直接、熱融着さ
せる等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３日と熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。

尚、第６図に於いて、６−１は液室、６−２は液体通路
、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内部へ
記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連結す
るための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜３日
と平板７どの接合が完了した後、この接合体を第６図（
ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路６−２の下流側
にあたるＣ−Ｃ−に添って切削して、切削面に於ける液
体通路の開口部である、記録用−液体を吐出するための
オリフィスを形成する。

この工程は、吐出エネルギー発生素子２とオリフィス９
との間隔を適正化するために行なうものてあり、ここで
切削する領域は連室選択される。

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘッドを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向（
こ於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素
子２の設置位首よつ下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管１０ヲ取付けて第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上に説明した記録ヘッドに於いては、液体通路
６−２と液室６−１が樹脂硬化膜３Ｈによって一体成形
されているが、本発明の記録ヘッドはこのような構造に
限定されるものではなく、液体通路と液室を別々に成形
したものでもよい。しかしながら、何れの構造を取る場
合（こおいでも、本発明の記録ヘッドは、液体通路を形
成する樹脂の少なくとも一部が、先に挙げた活性エネル
ギー線硬化型樹脂組成物を用いて形成されたものである
。

（発明の効果〕 本発明の液体噴射記録ヘッドは、該ヘッドの構成部材で
ある活性エネルキー線硬化型樹脂組成物として、該組成
物に必須成分として含有されるエチレン牲不飽和結合を
有する単量体とハーフェステル化エポキシ樹脂とによっ
て主に付与されるパターン形成材料としての優れた感度
と解像度を有するものを用いたものであり、該樹脂組成
物を用いることによつ、寸法精度に優れた液体噴射記録
ヘッドを歩留り良く得ることが可能になった。

しかも本発明に用いる樹脂組成物には、必須成分として
の線状高分子及びハーフェステル化エポキシ樹脂の特性
か有効に活されてあり、すなわち本発明に用いる樹脂組
成物は、主に、線状高分子によって付与される優れた基
板との密＠牲及び機械的強度に加えて、主に、ハーフェ
ステル化エポキシ樹脂によって付与される優れた耐薬品
性・及び寸法安定性とを有してあり、該組成物を用いる
ことによって長期の耐久′Ｉ！を有する記録ヘッドを得
ることも可能になった。− また、硬化性を有する線状高分子を用いる場合には、上
記と着さ、機械的強度あるいは耐薬品性か特に優れた液
体噴射記録ヘッドを得ることが可能である。

〔実施例） 以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。

合成例 メチルメタクリレートとｔ−ブチルメタアクリレートと
ジメチルアミノエチルメタアクリレート（＝　７０／２
０／１０モル比）とをトルエン中で溶液重合し、重量平
均分子量７．８　Ｘ　１０’　、ガラス転移温度８９°
Ｃの線状高分子化合物（これをＬＰ−１とする）を得た
。

またエポキシ当量か１８３〜１９３でビスフェノールＡ
型の工どクロン８５５（大日本インキ化学工業（株）製
）　２００９と触媒としてのトリエチルヘンシルアンモ
ニウムクロライド４９及び熱重合禁止剤としてのハイド
ロキノン０．５９の混合物を８０℃に昇温し、存在する
エポキシ基１当量に対して０．５当量のアクリル酸を滴
下しながら反応させた。アクリル酸を滴下し終ってから
ざらに４時間攪伴を続け、反応を終了させた。このよう
にしてエポキシ基を部分的にアクリル酸エステル化した
エポキシハーフェステル（これ％ＨＥ−１と称す）を得
た。

上記のようにして得られた線状高分子化合物ＬＰ−１と
エポキシハーフェステルＨＥ−１％用いて、下記組成の
活性エネルギー線硬化型樹脂組成物を調整した。

ＬＰ−１１００重量部 ＨＥ−１８Ｑｕ アロニ・ンクＭ８０６０本１１２０　　　ツノイルガキ
ュア６５１　　　　　　　　　ＩＱ　　ツノクリスタル
バイオレット　　　　　０．５〃ｔ−ブチルハイドロキ
ノン　　　　　０．５〃ＭＩＢＫ／　トルエン（７）Ｉ
：Ｉ混合物　　３００　　ｕ本トポリエステルアクリレ
ート（東亜合成化学（株）製） 次いで、上記樹脂組成物ヲ１６μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルムにワイアーバーで塗布し１００℃で
２０分乾燥することにより、膜厚７５μ思の樹脂組成物
層を有する本発明に係わるドライフィルムを作成した。

実施例 合成例で製造したドライフィルムを用い、先に明細書中
で説明したＭ１図〜第６図の工程に従って、吐出エネル
ギー発生素子として発熱素子［ハフニウムポライド（Ｈ
ｆ８７）　］　１０個のオリフィス（オリフィス寸法ニ
ア５μｍ×５０μ、ピッチ０．１２５ｍｍ）　＠有する
オンデマンド型液体噴射記録ヘッドの作成を以下のよう
にして実施した。尚、記録ヘッドは、同形状のものを各
３０個宛試作した。

まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所定
の位置に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続し
た。

次に、発熱素子が配設された基板面上に保護膜としての
８１０２層（厚ざ１．Ｏｕ）を設け、保護層の表面を清
浄化すると共に乾燥させた後、保護層に重ねて、８０℃
に加温された合成例に示した膜厚７５μ思のドライフィ
ルムを０．４　ｆ　／ｍｉｎ、の速度、１に９／ｃｍ３
の加圧条件下でラミネートした。

続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したパターンを有するフォトマ
スクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中に上
記素子が設けられるように位置合せを行なった後、この
フォトマスクの上部から１２　ｍＷ／ｃｍ２の強度の紫
外線を用いて６０秒間ドライフィルムを露光した。

次に、露光済みのドライフィルムを、ｌ、　ｌ、　１−
トリクロルエタン中に浸漬して現像処理し、ドライフィ
ルムの未重合（未硬化）部分を基板上から溶解除去して
、基板上に残存した硬化ドライフィルム膜によって最終
的に液体通路及び液室となる溝を形成した。

現像処理を終了した後、基板上の硬化ドライフィルム膜
を、１５０℃で１時間加熱し、更に、これに５０　ｍＷ
／ｃｍ２の強度の紫外線を２分間照射して更１こ硬化さ
せた。

このようにして、硬化ドライフィルム膜によって液体通
路及び液室となる溝を基板よに形成した後、形成した溝
の覆いとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板にエポキシ系樹脂接着剤を厚さ３−にスピンコード
した後、予備加熱してＢステージ化させ、これを硬化し
たドライフィルム上に貼り合わせ、更に、Ｗｉ着剤を本
硬化させて接着固定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出エネ
ルギー発生素子の設置位置から下流側へ０、ｌ５０ｍｍ
のところを液体通路に対して垂直に、市販のダイシング
・ソー（商品名：　ＤＡｏ　２Ｈ／６型、ＤＩＳＣＯ社
製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するためのオリ
フィスを形成した。

最債に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オ直 リフイス寸法は、５０±５−、オリフィスピッチは、　
１２５±５μの範囲にあった。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久′ｌ！を以下のようにして試験した。

まず、得られた記録ヘッドについて、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０℃で１０００時間浸漬処理（記
録ヘッドの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久試
験を実施した。

記録用液体成分 １）Ｈ２０／ジエチレングリコール／ポリエチレングリ
コ−）ＶＯＯ／スルホラン／Ｃ，１，ダイレクトブルー
８６８１ （・６０／＋５／１０７１０１５重量部）　　　ｐＨ＝
８．０２））１２０　／ジエチレングリコール／ポリエ
チレングリコーノＬＰ３００／プロピレングリコール／
Ｃ，１，ダイレクトブルー８６ （＝　６２／＋５／１５１５／３重量部）　　　ｐＨ＝
９．０３）Ｈ２Ｏ／　トリエチレングリコール／グリセ
リン／Ｃ，１，フードブラック２′２／エマルゲ：／９
３１　”　／ＰＶＰ　Ｋ−３０”　’（・８０／＋５／
２／３１０．　Ｉｌｏ、　１重量部）ｐＨ＝７．０４）
Ｈ２Ｏ／エチレングリコール／−ジエチレングリコール
／ブＯピレングリコール／Ｃ，Ｉ。

ダイレクトブラック＋５４　”　／エマルケン９３１ （＝　６４／２０１５１５／６１０．２重量部）　　ｐ
Ｈ＝１０．０尚、注）′１〜　′３は水溶性染料、′４
は花王石鹸■製のポリオキシエチレンノニルフェニルエ
ーテル、′５米国ＧＡＦ製のポリビニルビ０リドンであ
り、ｐＨの調整にはカセイソーダを用いた。

各記録用液体について、それぞれ記録ヘッド各５個を耐
久試験に供した。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態を観察した結果
、すべでの記録ヘッドにおいで剥離や損傷は全く認めら
れず、良好な密着性を示していた。

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの１０個につ
いて、各ヘッドを記録装置に取付け、前記の記録用液体
を用いて１０８パルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッド（こ開しても、印字開始直後と１４時
間経過後において、記録用液体の吐出性能及び印字状態
共に性能の低下が殆ど認められず、耐久惟に優れた記録
ヘッドであった。

比較例 膜厚７５間の市販のドライフィルムＶａｃｒｅｌ　（ド
ライフィルムソルダーマスクの商品名、デュポンド・ネ
モアース■製）、および膜厚５０μの市販のドライフィ
ルムＰｈｏｔｅｃ　５Ｒ−３０００（商品名、日立化成
工業■製）を用いる以外は実施例と同様にして、記録ヘ
ッドを作成した。

これらの記録ヘッドについで、実施例と同様の耐久試験
を実施した。

耐久試験の経過中、ドライフィルムとしてＶａｃｒｅｌ
を用いた場合は、１００時間で２）および４）の記録用
液体で剥離が認められた。また、３００時間で、１）お
よび３）の記録用液体で剥離が認められた。

一′方、ドライフィルムとしてＰｈｏｔｅｃ　５Ｒ−３
０００％用いた場゛合は、１）〜４）の各記録用液体ｒ
　３００時間で剥離が認められた。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体Ｉ＊肘記録ヘッドならび
にその製造方法を説明するための模式図である。 １・基板 ２：吐出エネルギー発生素子 ３、樹脂層 ３日、樹脂硬化膜 ４：フォトマスク ４Ｐ：マスクパターン ６−１・液室 ６−２液体通路 ７、覆い ８：貫通孔 ９、オリフィス １０：供給管 （ａ） （ｂ） 南１図 第２図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する液体通
   路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物の
   層に、該活性エネルギー線を用いた所定のパターン露光
   を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成し、該層から
   未硬化領域を除去して形成されている液体噴射記録ヘッ
   ドであって、前記樹脂組成物が （ｉ）ガラス転移温度が５０℃以上で、且つ重量平均分
   子量が約３．０×１０＾４以上である線状高分子と、 （ｉｉ）エチレン性不飽和結合を有する単量体と、（ｉ
   ｉｉ）分子内にエポキシ基を２個以上有する化合物の少
   なくとも１種を含んでなるエポキシ樹脂に存在するエポ
   キシ基の一部を不飽和カルボン酸によってエステル化し
   てなる樹脂 とを有してなるものであることを特徴とする液体噴射記
   録ヘッド。 ２）前記樹脂組成物が前記（ｉ）の線状高分子２０〜８
   ０重量部と、前記（ｉｉ）の単量体と前記（ｉｉｉ）の
   樹脂との合計量８０〜２０重量部を含有するものである
   特許請求の範囲第１項に記載の液体噴射記録ヘッド。 ３）前記樹脂組成物の前記（ｉｉ）の単量体と前記（ｉ
   ｉｉ）の樹脂の含有比が３０：７０〜７０：３０である
   特許請求の範囲第１項または第２項に記載の液体噴射記
   録ヘッド。 ４）前記樹脂組成物が前記（ｉ）の線状高分子、前記（
   ｉｉ）の単量体及び前記（ｉｉｉ）の樹脂の合計量１０
   ０重量部に対して、０．１〜２０重量％の活性エネルギ
   ー線の作用により賦活化し得るラジカル重合開始剤を配
   合して成るものである特許請求の範囲第１項〜第３項の
   いずれかに記載の液体噴射記録ヘッド。 ５）前記樹脂組成物が前記（ｉ）の線状高分子、前記（
   ｉｉ）の単量体及び前記（ｉｉｉ）の樹脂の合計量１０
   ０重量部に対して、０．２〜１５重量％の周期率表第V
   Iａ族若しくは第Ｖａ族に属する元素を含む光感知性を
   有する芳香族オニウム塩化合物を配合して成るものであ
   る特許請求の範囲 第１項〜第４項のいずれかに記載の液体噴射記録ヘッド
   。