JPS6216377A - 乾燥フオトレジスト材料用のパツケ−ジ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ロールに巻かれているか又はシートの形で積
み重ねられている乾燥レジスト材料液又は有機溶剤で処
理することができ、フォトポリマ一層が支持フィルムと
保護フィルムとの間ニサンドインチ状にはさまれている
６層系から形成されているフォトレジストよりなる。使
用されてる支持フィルムは、屡々、例えば、ポリエチレ
ンテレフタレート製のポリエステルフィルムよりなり、
保護フィルムは、例えばポリエチレン製のポリオレフィ
ンフィルムよりなる。

販売、輸送及び貯蔵のために、このフォトレジストは、
一般にロールに巻かれ、不透明包装フィルム中に包まれ
、ボール紙箱内に入れられている。この包装フィルムに
使用されている材料は、屡々カーボンブラックで着色さ
れているポリエチレンよりなる。このロール、正方形又
は長方形の巻き芯の端面には、輸送及び取扱いの間の機
械的破損からロールを保護するだめの端板が付されてい
る。

公知のパッケージは、第１に、光特に紫外線、環境影響
、輸送時の機械的損傷及び汚染からフォトレジストを保
護する役割をしている。

実際に、比較的長距離の輸送及び／又は長い貯蔵時間の
後に、このように包装されたフォトレジストは、前端（
特にロールの巻き芯のそばの前端）で融合個所を形成す
る傾向がある。この場合に、少量のフォトレジストがロ
ールの前端から出て、ロールの個々の層が相互に固着す
る。このような融合個所は、この乾燥レジストの処理を
著るしく妨げる。それというのも、このフォトレジスト
をロールから解く際に、少量のレジスト粒子が引きはが
され、これがプレート例えば印刷版又はプリント回路板
（これにフォトレジストが積層される）を汚すからであ
る。

フォトレジストロールの前端でのこのような融合個所は
、長い貯蔵時間の結果としてのみ起るのではない。付加
的に、貯蔵条件そのものも、フォトレジストの処理特性
にかなシの影響を有することも判明した。例えば、１年
間貯蔵されたフォトレジストロールは、なお困難なく処
理できるが、他の場所で、異なる貯蔵条件下に貯蔵され
た同じバッチからのもう１つのフォトレジストロールは
、たった６ケ月後に処理に使用できなくなった。

同じバッチからの７オトレジスト材料のこの異なる特性
は、貯蔵条件及び輸送方式が、このフォトレジスト材料
の処理性にかなりの影響を有することを明らかに示して
いる。詳細な研究は、フォトレジストの前端での融合個
所が、フォトレジスト材料のフォトポリマ一層の流れに
帰因しうろことを示している。

”Ａ”）％”、　ｈ　Ｑ　’％　＋７）Ｚ　Ｉｎ’：’
１”、　’ＩＪ＠　ｈ　’ｌｔ、’ｆｌｋ　ｌ／　Ｓ’
　２ト材料の処理の間の時間経過及び貯蔵時間及び条件
に無関係に、貯蔵された乾燥レジスト材料スト材料のパ
ッケージが、実質的に水蒸気不浸透性の材斜即ち、湿度
９７チ及び２３℃の環境温度で１　ｍ２及び１日当りの
水蒸気ｏ、ｏ　ｉ　、ｙより低い水蒸気浸透性を有する
材料よりなる方法で達成される。

更に本発明の展開は特許請求の範囲第２項から第９項の
特徴部分に示されている。

もちろん、本発明によるパッケージは、シートの形で積
重ねられた乾燥レジスト材料に対して使用することもで
きる。

本発明は、フォトレジストを非常に長時間貯蔵する際に
も水分に対し完全に不浸透性であるパッケージ中に閉じ
られたフォトレジスト材料とは、大気中の水蒸気の浸透
性が現在の最も敏感な測定装置でも検出できない程度に
低いパッケージに関する。検出の限界は現在では約０．
００１９層ｍ２・ｄであるに の結果は、通常包装に使用されるポリエチレンフィルム
は一般に水蒸気に対して不浸透性であると考えられてい
るので、極めて意想外である。

次に添付図面につき本発明を詳述する。第１図及び第２
図は、フォトレジストの水分吸収速度を示しており、第
３図は水分含有率の関数としての２種の異なるフォトレ
ジストの粘度を示しており、第４図は、本発明によるパ
ッケージ中で長時間貯蔵されたフォトレジストロールの
前端を斜視図で示した図であり、第５図は、慣用のパッ
ケージ中で貯蔵されたフォトレジストロールの前端を斜
視図で示した図であシ、第３図は、パッケージの製造に
使用するための膜管材料の断面図である。

第１図〜第４図に基づき、フォトレジスト材料上で実施
された研究の結果は、その評価は、本発明によるパッケ
ージに至ることを示している。

水の吸収及びネガチブ作用フォトレジストの粘度の系統
的研究は、製造後に乾燥状態で供給されるフォトレジス
トの粘度が、貯蔵の間に大気からの湿気の吸収に基すき
、かなり低下することを示している。この粘度の低下の
結果として、高流動性になるフォトレジストは、次いで
巻き張力の影響下にフォトレジストロールの前端から流
出することができる。フォトレジストによる水分の吸収
に基づく前端でのフォトレジストの流出を増大するなお
２つの付加的作用がある。これが水を吸収する際にフォ
トレジストは膨張し、この膨張圧は、このフォトポリマ
一層の端部で高流動性フォトレジストを絞り出す。

巻き芯が吸水性材料製例えばボール紙製である場合に、
これらは、大気水分から膨潤しはじめてその加圧作用は
上昇し、その押し付は作用は上昇し、前に列記した作用
に寄与する。

フォトレジストが大気から水を吸収する速度は、もちろ
ん外部条件に依る。第１図は、フォトレジストが支持フ
ィルム及びカバーフィルムなしに大気中の湿気に露呈さ
れた６層のフォトレジストよりなる試料の吸水性を示し
ている。

急 このフォトレジスト試料をまず五酸化慎重で態速 発に乾燥させ、次いで、相対湿度５６％の環境に露呈す
る。室温で、１．５時間後に、試料の飽和状態に達した
。

第２図は、両側がフィルムで被われた６層よりなり正確
に前記の試料よりなるフォトレゾスト試料における吸水
性を示している。この試料も、まず五酸化慎重でＵに乾
燥させ、次いで、５３％の相対湿度に露呈した。２０時
間後にも平衡は達成されなかった。

空気中に貯蔵されたフォトレジストロールにプロセス よる吸水性のＸ＆に関（−て、この研究は、湿気が、フ
ィルムで保護されたフォトレジスト材料の層を通るより
もこのロールの前端から、より迅速に浸入することを示
している。

第３図中では、２種の異なるフォトレジスト材料の粘度
が、フォトレジスト材料の水含分の係数としてプロット
されている。個々のフォトレジストの水含有率は、概算
で、大気湿度に比例している。この粘度曲線は、製造後
実質的に乾燥されていて、高い初期粘度を有するフォト
レジストは、空気（これは一般に常に特定の大気湿度を
有する）中で貯蔵される際に、水を吸収し、高流動性に
なり、言いかえれば、その粘度を低めることを示してい
る。

各々の周囲の温度は、フォトレジストの粘度に影響を有
し、そのかぎりにおいて、粘度は温度上昇に伴ない低下
する。

水の吸収は、フォトレジストを膨張させ、これは、２６
℃の温度で空気の相対湿度を０％から９７ｔＩ）に高め
る際に、厚さ及び容積をそれぞれ４．６チ又は１３．８
　％増大させる。

前記のことから、周囲の空気の相対的湿度により生ぜし
められるフォトレジスト材料による吸水性は、ロールの
前端からのフォトレジスト材料の流出に有利であること
が理解される。結果として、理想的なパッケージは、フ
ォトレジスト材料の製造に合わされている材料の低い湿
度が使用の瞬間まで保持され、貯蔵時の温度が上昇する
際にも、このフォトレジスト材料が高すぎる流動性にな
らないように、完全に水密であるべきである。本発明に
よるパッケージ（これは、確かに、長時間にわたりフォ
トレジスト材料の品質を保護する）は、異なる構成であ
ってもよい。

第４図の斜視断面図に示すように、フォトレジストロー
ル２は水蒸気に対して不浸透性の材料の膜管よりなるパ
ッケージ１中に封入されている。２端で、この膜管は溶
接又は膠着により閉じられている。フォトレジストロー
ル２の巻芯の端部は図示されていない被い端板により閉
じられている。巻かれたフォトレジストロール２の上方
前端からフォトレジスト材料は絞り出されていない。こ
の包装法では、フォトレジストロール２が膜管よりなる
パッケージ１内に直接溶接されるか又はフォトレジスト
ロール２にまず被い端板を付し、次いで包装するかは問
題でない。必要条件は、パッケージ１が水蒸気を放出す
る物質例えば、ポール紙製の巻芯を有しないことである
。それというのも、これは、自然に、水蒸気密パッケー
ジ１の作用を限定するからである。

この不浸透性パッケージの作用は、更に、パッケージ１
が溶接又は膠着により閉じられる直前に、膜管の内部に
存在する空気を吸い出すか又は、乾燥空気又は乾燥がス
で代えるような方法により更に改良することができる。

膜管中にフォトレジストロール２を包装する際に、膜管
の損傷をさけるように注意すべきである。殊に、温度変
動の場合には、常に一定の環境水分を有する空気が小孔
又は破れからパッケージ１中に入って、このパッケージ
の作用は部分的に中和されうる。破損パッケージ１の空
気侵入により導入された水蒸気は、乾燥剤１０を有する
レセプタクル（ｒｅｃｅｐｔ、ａｃｌｅ　）　６により
、ある程度制御できる。このレセプタクル６は種々の方
法でパッケージ１中に配置させることができる。これは
、フォトレジストロール２と共に包装されているか又は
、パッケージ１の内部に備えられたつり具（Ｓｌｉｎｇ
　）又はポケット中にすべり込まされているか又は、フ
ォトレジストロールの巻き芯の内部に導入されている。

レセプタクル６内に存在する乾燥剤は、僅かに破損され
たパッケージ１の場合にのみ保護作用をし、パッケージ
そのものの代替物にはなり得ない。好適な乾燥剤は、例
えば市販のシリカデル型のものよりなる。

本発明に上れば、錫プレート製めげラムが、１個又は数
個のフォトレジストロール２に対するもう１つのパッケ
ージとして得られる。この錫プレートドラムは、個々の
ロール又は多数のフォトレジストロールを収容し、はん
だ付けにより閉じられて、このパッケージの内部にもは
や大気中の湿気は浸入しない。

第５図は、黒色に着色されたポリエチレン膜管１１内で
９７チの相対湿度で１１日間貯蔵されたフォトレジスト
ロール２の斜視図である。

９７−の相対湿度を保持するように飽和硫酸カリウム溶
液上で貯蔵されたフォトレジストロール２は、このよう
な貯蔵の後に、図示されているように、パッケージとし
ての役目をし、一般に水蒸気に対する浸透性（これは、
８５チの相対湿度及び２３℃め環境温度で１ｇ／ｍ２・
ｄよりかなり高い）を有するポリエチレン膜管１１内へ
の湿った空気の浸入の結果としての、前端でのフォトレ
ジスト流出５を示す。

第３図は、パッケージ１に使用される膜材料の断面図で
ある。この材料は、支持フィルムとしての、２軸延伸さ
れたポリエステルフィルム７例えばカレ社（Ｋａｌｌｅ
　、　Ｈｏｅｃｈｓｔ　ＡＧの子会社）製の、ポリエチ
レンテレフタレートフィルム〔ホスタフアン（■ＨＯ８
ＴＡＰＨＡＮ　）　）より成シ、これはアルミニウム箔
８でラミネートされているか又は、アルミニウムで真空
メタライズされ、ポリエチレンフィルム９でラミネート
されているポリエステル−アルミニウム複合材よりなる
。

このポリエチレンフィルム９は、押出−コーテイングに
より施与されていてもよい。ポリエステルフィルムＴは
、厚さ約１２μｍを有し、アルミニウム箔８は、７〜１
２μｍを有し、ポリエチレンフィルム９は、厚さ７０〜
１００μｍを有する。最初に記載の材料層即ち、この複
合構造のポリエステルフィルム７は、常にパッケージ１
の外側を成し、最後に記載の層は、包装された材料に対
面する。この複合フィルムのシーリング温度は、１６０
８Ｃ〜１８０℃の範囲である。

水蒸気に対する浸透性は、０．００１ｇ／ｒｒＬ２・ｄ
より低く、従って、極めて不適当な条件下でもフォトレ
ジストロールの貯蔵に対する適当な水密性を提供する。

フォトレジスト流出を阻止するパッケージの有効性を試
験するために、次の例に記載の比較研究を実施した。

例１ フォトレジスト材料オデテック（■０ｚａｔｅｃ　）Ｔ
　１３８　（Ｋａｌｌｅ社製）よりなる長さ１００ｍ及
ヒ幅４００　ｍｍのフォトレジストロールヲ、製造直後
に、円筒状錫プレートコンテナ中に入れ、これを蓋で閉
じ、次いではんだ付けにより封じた。同じフォトレジス
ト材料よりなる第２のフォトレジストロールを黒色に着
色されたポリエチレンフィルム中に包装した。このフィ
ルムの両端を弛る〈巻き、フォトレジストロールの中空
巻芯内に押込んだ。この２種の異なる包装をしたフォト
レジストロールを、２６℃の環境温度で、プラスチック
コンテナ内の格子上に置いて４週間貯蔵した。この期間
の間、プラスチックコンテナの底の水を約２ｃｒＩＬの
高さに保持して、このプラスチックコンテナ内の環境湿
気を常に非常に高くした。４週間貯蔵の後に、この２種
のフォトレジストロールをこのプラスチックコンテナか
ら取り出し、そのパッケージを取り除き、眼で検査した
。錫プレートコンテナ内に包装したフォトレジストロー
ルは、その前端で変化を示さず、まったく傷がなく、フ
ォトレジスト流出がなかった。

他方、ポリエチレンフィルム中に包装されたフォトレジ
ストロールは、前端でのフォトレジスト材料の著るしい
流出を示し、経験上公知であるようなこのフォトレジス
ト材料の処理性を著るしく妨げるその流出分により形成
された融合個所を示した。

例２ 錫プレートドラムの代シに、カレ社（Ｋａｌｌｅ）製の
前記ポリエステル−アルミニウム複合材よりなる膜管を
用いて、例１の方法を繰り返し、自由管端をフォトレジ
ストロールの包装直後に溶接により閉じた。４週間の貯
蔵の後に、このように包装されたフォトレジストロール
は、その前端で何の変化も示さなく、まったく無傷であ
った。必然的に、この結果は、何の制限もなしに、例１
によるはんだ付けによりシールされた錫プレートｒラム
中に包装されたフォトレジストロールの場合に得られた
結果と匹敵しうる。

他方、ポリエチレンフィルム中に弛ろく包装されたフォ
トレジストロールは、前端でフォトレジストの著るしい
流出を示し、相対する融合個所が例１におけると同様に
形成された。

例３ この試験は、例１のそれと同じであった。例１と同じ型
の７オトレジストロールをポリエステル−アルミニウム
複合材より成る膜管内に包装し、後者を溶接により閉じ
た。この膜管を繰り返し折り曲げることにより故意に損
傷させ、この方法で、アルミニウム膜だけが破れ、支持
フィルム及びその上にラミネートされたポリエチレンフ
ィルムは、眼による検査で判断できるかぎり無傷のｉま
残った。同じ型の第２のフォトレジストロールを、前記
方法で処理された他の膜管内に溶接導入した。この第２
のフォトレジストロールと共に、シリカゾル顆粒１００
ｇを有する袋を包装した。２個の包装されたフォトレジ
ストロールを例１におけると同様に水の上で２週間貯蔵
した。この期間の後のフォトレジストロールの検査によ
れば、乾燥剤なしで包装されたフォトレジストロールの
１前端では僅かな流出が認められ、乾燥剤と共に包装さ
れたフォトレジストロールは、まったく完全な状態であ
った。

【図面の簡単な説明】

第１図はフォトレジストが支持フィルム及びカバーフィ
ルムなしで、大気中の湿気に露呈された６層のフォトレ
ジストよりなる試料の吸水性を示す曲線であり、第２図
は、両側がフィルムで被われた３層よりなるフォトレジ
スト試料の吸水性を示す曲線であり、第３図は、２種の
異なるフォトレジスト材料の粘度と水含分との関係を示
す曲線であり、第４図は、本発明によるパッケージ中に
長時間貯蔵されたフォトレジストロールを示す図であり
、第５図は、慣用のパッケージ中で貯蔵されたフォトレ
ジストロールを示す図であり、第３図は、パッケージの
製造に用いられる膜材料の断面図である。 １・・・パッケージ、２・・・フォトレジストロール、
５・・・フォトレジスト流出物、６・・・レセプタクル
、７・・・ホリエステルフイルム、８・・・アルミニウ
ム箔、９・・・ポリエチレンフィルム、１０・・・乾燥
剤、１１・・・膜管 代理人　弁理士　矢　野　敏　雄 粘度（ＭＰａｓ） （％ン ２　フォトレジストロール ＦＩＧｔ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ロールに巻かれているか又はシートの形で積み重ね
   られたフォトレジスト材料用のパッケージにおいて、こ
   のパッケージ（１）は、実質的に水蒸気不浸透性の、即
   ち湿度９７％及び環境温度２３℃での水蒸気に対する浸
   透性が１ｍ＾２及び１日当り水蒸気０．０１ｇより低い
   材料よりなつていることを特徴とする、フォトレジスト
   材料用のパッケージ。 ２、水蒸気に対する浸透性は、１ｍ＾２及び１日当り水
   蒸気０．００１ｇより低い、特許請求の範囲第１項記載
   のパッケージ。 ３、パッケージ（１）は、その２端で閉じられている膜
   管より成つている、特許請求の範 囲第１項記載のパッケージ。 ４、膜管は、アルミニウムで真空金属被覆されているか
   又は積層又は押出しコーティングにより施与されたアル
   ミニウム箔（８）及びポリエチレン膜（９）でラミネー
   トされているポリエステル膜（７）から形成されている
   複合材料より成る、特許請求の範囲第３項記載のパッケ
   ージ。 ５、膜管の内部には、この膜管が閉じられる前に乾燥空
   気又は乾燥ガスが充填されている、特許請求の範囲第３
   項記載のパッケージ。 ６、膜管の内部の空気は、この膜管の閉鎖の前に排除さ
   れている、特許請求の範囲第３項記載のパッケージ。 ７、膜管の両端部は、膠着又は溶接により密封されてい
   る、特許請求の範囲第３項記載のパッケージ。 ８、パッケージは、円筒形又は長方形底面の平行六面体
   を有し、その端部がはんだ付けにより閉じられている錫
   プレートドラムより成つている、特許請求の範囲第１項
   記載のパッケージ。 ９、パッケージ（１）の内部に、レセプタクル（６）内
   に包装された乾燥剤（１０）が存在する、特許請求の範
   囲第５項記載のパッケージ。