JPS62167449A - Ｘ線測定装置 - Google Patents
Ｘ線測定装置Info
- Publication number
- JPS62167449A JPS62167449A JP60291757A JP29175785A JPS62167449A JP S62167449 A JPS62167449 A JP S62167449A JP 60291757 A JP60291757 A JP 60291757A JP 29175785 A JP29175785 A JP 29175785A JP S62167449 A JPS62167449 A JP S62167449A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- sample
- intensity
- rays
- counter
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- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明はＸ線吸収端微細構造を調へる場合等に適したＸ
線測定装置に関する。
線測定装置に関する。
口 従来の技術
Ｘ線吸収端微細構造の測定は試料ＧこよるＸ線の吸収を
測定するので、試料に入射する前のＸ線強度Ｉｏと試料
を透過したＸ線の強度Ｉを測定する必要があるが、従来
は試料（二人対する前のＸ ’１３強料なしでＸ線強度
を測定してＩＯとし、次に試料を置いて試料透過Ｘ線の
強度を測定していた。このため測定には長時間を要した
。
測定するので、試料に入射する前のＸ線強度Ｉｏと試料
を透過したＸ線の強度Ｉを測定する必要があるが、従来
は試料（二人対する前のＸ ’１３強料なしでＸ線強度
を測定してＩＯとし、次に試料を置いて試料透過Ｘ線の
強度を測定していた。このため測定には長時間を要した
。
ハ 発明が解決しようとする問題点
本発明は、試料入射前のＸ線強度Ｉｏと試料透過Ｘ線の
強度を同時に測ることができるＸ線測定装置を提供しよ
うとするものである。
強度を同時に測ることができるＸ線測定装置を提供しよ
うとするものである。
二 問題点解決のための手段
Ｘ線検出用計数管の前後両側面に夫々Ｘ線透過窓を設け
てＸ線が貫通透過できるようＱこし、このようなＸ線検
出器を試料の前面に配置し、試料の後側を二もＸ線検出
器を配置した。
てＸ線が貫通透過できるようＱこし、このようなＸ線検
出器を試料の前面に配置し、試料の後側を二もＸ線検出
器を配置した。
ホ 作用
計数管の前後両側面にＸ線透過窓を設けてＸ線が透過で
きるようにしｊこので、このような検出器をＸ線の進路
上に配置すれは同時※こ同れのＸ線検出器でもＸ線強度
が測定でき、従って試料入射前のＸ線強度ＩＯと試料透
過後のＸ線強度■が同時に計られる。
きるようにしｊこので、このような検出器をＸ線の進路
上に配置すれは同時※こ同れのＸ線検出器でもＸ線強度
が測定でき、従って試料入射前のＸ線強度ＩＯと試料透
過後のＸ線強度■が同時に計られる。
へ 実旌例
票１図は本発明の一実施例を示す。１〜４はＸ線検出用
計数管で、５が試料であり、６は計数管１〜４を保持し
ている検出装置本体であり、図外のＸ線分光器から出射
する単色Ｘ線が左方の窓８から入射するようになってい
る。計数管１〜４は全部同じ型の計数管である。これら
の計数管において、９は管壁であり、７は芯線である。
計数管で、５が試料であり、６は計数管１〜４を保持し
ている検出装置本体であり、図外のＸ線分光器から出射
する単色Ｘ線が左方の窓８から入射するようになってい
る。計数管１〜４は全部同じ型の計数管である。これら
の計数管において、９は管壁であり、７は芯線である。
管壁９には何れも前後両側面夫々Ｘ線透過窓１０．１０
’が設けてあり、これらの窓がＸ線の進路上に一直線Ｑ
こ並べられている。試料５は計数管１と２とのＸ線強度
Ｉｏを測定する計数管であり、計数管２゜３．４の三個
は試料透過Ｘ線の強度■を測定するもので、三個の計数
管の夫々の計数値を合計したものが透過Ｘ線強度Ｉであ
る。試料の後方に同型の３個の計数管２． ３． ４を
並へて配置するのは、計数管は一回計数動作を行うと、
その後一定時間は次のＸ線光子が飛込ルでも応答できな
い不感時間があり、この時間を短か（するには管内ガス
圧を低（印加電圧を高くする必要があるが、このように
すると同じＸ線強度に対して計数率が低くなるので、こ
の実施例では試料透過Ｘ線の強度を測定するのに三個の
計数管を用いて、それらの出力を合算することにより、
Ｘ線強度の広い範囲で感度良く測定ができるようにして
いるのである〇ト 効果 本発明によれば、Ｘ線の吸収を測定するに当って、試料
入射前のＸ線強度と試料透過後のＸ線の強度とが同時に
測定できるので、Ｘ線吸収の測定所要時間が大幅に短・
縮できる。
’が設けてあり、これらの窓がＸ線の進路上に一直線Ｑ
こ並べられている。試料５は計数管１と２とのＸ線強度
Ｉｏを測定する計数管であり、計数管２゜３．４の三個
は試料透過Ｘ線の強度■を測定するもので、三個の計数
管の夫々の計数値を合計したものが透過Ｘ線強度Ｉであ
る。試料の後方に同型の３個の計数管２． ３． ４を
並へて配置するのは、計数管は一回計数動作を行うと、
その後一定時間は次のＸ線光子が飛込ルでも応答できな
い不感時間があり、この時間を短か（するには管内ガス
圧を低（印加電圧を高くする必要があるが、このように
すると同じＸ線強度に対して計数率が低くなるので、こ
の実施例では試料透過Ｘ線の強度を測定するのに三個の
計数管を用いて、それらの出力を合算することにより、
Ｘ線強度の広い範囲で感度良く測定ができるようにして
いるのである〇ト 効果 本発明によれば、Ｘ線の吸収を測定するに当って、試料
入射前のＸ線強度と試料透過後のＸ線の強度とが同時に
測定できるので、Ｘ線吸収の測定所要時間が大幅に短・
縮できる。
図は本発明の一実施例装置の平面図である。
Claims (1)
- （１）前後両側面にＸ線透過窓を設けた計数管を試料の
前側に配置すると共に、試料の後側にＸ線検出手段を配
置し、上記計数管を透過したＸ線が試料を透過して上記
Ｘ線検出手段に入射するようにしたことを特徴とするＸ
線測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291757A JPS62167449A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | Ｘ線測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291757A JPS62167449A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | Ｘ線測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62167449A true JPS62167449A (ja) | 1987-07-23 |
Family
ID=17773024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60291757A Pending JPS62167449A (ja) | 1985-12-23 | 1985-12-23 | Ｘ線測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62167449A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008241313A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Fujitsu Ltd | Ｘ線吸収分析用検出器 |
-
1985
- 1985-12-23 JP JP60291757A patent/JPS62167449A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008241313A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Fujitsu Ltd | Ｘ線吸収分析用検出器 |
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