JPS62167882A - 移動電極式コ−テイング方法 - Google Patents
移動電極式コ−テイング方法Info
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- JPS62167882A JPS62167882A JP809986A JP809986A JPS62167882A JP S62167882 A JPS62167882 A JP S62167882A JP 809986 A JP809986 A JP 809986A JP 809986 A JP809986 A JP 809986A JP S62167882 A JPS62167882 A JP S62167882A
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- Japan
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- gas
- coating
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔よ梁上の利用分野〕
この発明は列えば訓青の内面に化学的気相析出反応（Ｃ
ＶＩ） ）によってＴｉＮ 、 Ｔｉｃなどの層全コ
ーティングする方法に関する、 〔従来の投書〕 従来、−ＪＡａ又はその池の管の内面をコーティングす
る装置としては、長いノズルの先端から管内面に回って
４料を吹き付は焼成する方法又は看の内径の中心軸に合
せて金属製の電極を設け、この［極と管の間に′ＷＬ解
液を導入すると共に、上記゛電極と管の間に電流を流し
て、電極の材料を管内面に析出させる電気化学的方法又
は・管の内径にそって薄肉の他のバイブを挿入して密着
させる方法、更に管内にガスを導入し、♂の中心線方向
にレーザを４光して化学的気相析出反応によってコーテ
ィングする方法（第２図参照）があった。
ＶＩ） ）によってＴｉＮ 、 Ｔｉｃなどの層全コ
ーティングする方法に関する、 〔従来の投書〕 従来、−ＪＡａ又はその池の管の内面をコーティングす
る装置としては、長いノズルの先端から管内面に回って
４料を吹き付は焼成する方法又は看の内径の中心軸に合
せて金属製の電極を設け、この［極と管の間に′ＷＬ解
液を導入すると共に、上記゛電極と管の間に電流を流し
て、電極の材料を管内面に析出させる電気化学的方法又
は・管の内径にそって薄肉の他のバイブを挿入して密着
させる方法、更に管内にガスを導入し、♂の中心線方向
にレーザを４光して化学的気相析出反応によってコーテ
ィングする方法（第２図参照）があった。
第２図は従来のレーザＣ’ＶＤによるコーティング方法
の説明図である□図において、１に鋼管、１ａはコーテ
ィング加工をしようとする鋼管の内面、６０はホルダー
２，２ｂに設けた窓５０．５０ｍを通り抜けているレー
ザ、１７は化学的気相析出反応を起すガス、１７ｂは鋼
・ｇ１円から排気されたガスである。
の説明図である□図において、１に鋼管、１ａはコーテ
ィング加工をしようとする鋼管の内面、６０はホルダー
２，２ｂに設けた窓５０．５０ｍを通り抜けているレー
ザ、１７は化学的気相析出反応を起すガス、１７ｂは鋼
・ｇ１円から排気されたガスである。
このような溝成の従来の装置によって例えばＴｉｃ。
ＴＩＮなどのコーティング加工を行うと、鋼ｇ１に対し
てレーザ６０の入口ｆｉｌｌ（同って右側）と出口側（
窓５０ ａ １ｆｌｌｌ ）ではレーザの強度が異る（
レーザのエネルギーがガス１７に吸収される）ｆｃめに
＠管の内１ｆｉ１ｍに析出するコーティング層の厚さが
場所によって異ると言う問題があった。
てレーザ６０の入口ｆｉｌｌ（同って右側）と出口側（
窓５０ ａ １ｆｌｌｌ ）ではレーザの強度が異る（
レーザのエネルギーがガス１７に吸収される）ｆｃめに
＠管の内１ｆｉ１ｍに析出するコーティング層の厚さが
場所によって異ると言う問題があった。
従来、鋼管の内面をコーティングする方法としては、塗
料を吹付けて焼付乾燥する塗装方法、電気メツキ方法、
プラズマ溶射方法、又は薄肉・ｇを挿入して密着させる
２重成形方法、あるいはレーザＣＶＤ法などがあるが、
塗装方法は耐熱性、耐ＷＩ耗性に、ＩＥ電気メツキ方法
ピンホールの発生に、プラズマ溶射方法は密着性に、又
薄肉管を挿入する２重成形方法においては密着性、コー
ティング材料の撰択において問題があった。又レーザＣ
ＶＤ法においてはコーテイング面の層のＭ−さの不均一
などの問題があった〇 〔問題点を解決するための手段〕 この発明においてに上記の問題ｔ−解決するために、管
の内面をコーティングする方法において、この管の内面
にそってガスを導入すると共に回転・移動できる′電極
を挿入して、上記管と上記電極との間に恵方を供給して
プラズマを発生させ上記ガスに化学的気相析出反応を起
こさせ、上記管の内面にコーティングするようにした。
料を吹付けて焼付乾燥する塗装方法、電気メツキ方法、
プラズマ溶射方法、又は薄肉・ｇを挿入して密着させる
２重成形方法、あるいはレーザＣＶＤ法などがあるが、
塗装方法は耐熱性、耐ＷＩ耗性に、ＩＥ電気メツキ方法
ピンホールの発生に、プラズマ溶射方法は密着性に、又
薄肉管を挿入する２重成形方法においては密着性、コー
ティング材料の撰択において問題があった。又レーザＣ
ＶＤ法においてはコーテイング面の層のＭ−さの不均一
などの問題があった〇 〔問題点を解決するための手段〕 この発明においてに上記の問題ｔ−解決するために、管
の内面をコーティングする方法において、この管の内面
にそってガスを導入すると共に回転・移動できる′電極
を挿入して、上記管と上記電極との間に恵方を供給して
プラズマを発生させ上記ガスに化学的気相析出反応を起
こさせ、上記管の内面にコーティングするようにした。
この発明においては、被加工物である・管の内面に化学
的気相析出反応？起すガス全導入すると共にこの・管の
内側に上記のガスをその外周から噴出するノズル金偏え
た回転軸を挿入して軸方向に移動しながらこのノズルと
上記の・ｇとの間にプラズマ七発生させて管の内１ｆｉ
ｉコーティングする。
的気相析出反応？起すガス全導入すると共にこの・管の
内側に上記のガスをその外周から噴出するノズル金偏え
た回転軸を挿入して軸方向に移動しながらこのノズルと
上記の・ｇとの間にプラズマ七発生させて管の内１ｆｉ
ｉコーティングする。
第１図（ａ）、 （ｂ）はこの発明の一実施例を示す移
動［極式コーティング装置の説明図、（ａ）はこの正面
図、（ｂ）はこのＡ−Ａ断面図である。
動［極式コーティング装置の説明図、（ａ）はこの正面
図、（ｂ）はこのＡ−Ａ断面図である。
図において、１は被加工物である鋼管、１ａはこの鋼・
ｇｏ内面、２，２ｂはこの鋼−ｇ ｋ部上するとき両端
から挾むようにして密封して支えているホルダー、２ａ
はこのホルダー２ｂに設けた電気的絶縁体からなる軸承
、６に鋼管１内の気体全吸引するポンプ５の入口に設け
たパルプ、４は鋼・ａ１内のガス全排出するためのバル
ブ、１７ｂ、１７ｃ。
ｇｏ内面、２，２ｂはこの鋼−ｇ ｋ部上するとき両端
から挾むようにして密封して支えているホルダー、２ａ
はこのホルダー２ｂに設けた電気的絶縁体からなる軸承
、６に鋼管１内の気体全吸引するポンプ５の入口に設け
たパルプ、４は鋼・ａ１内のガス全排出するためのバル
ブ、１７ｂ、１７ｃ。
１７ｄは排出されるガス、６は先端に複数のＶ字状のノ
ズル奢有する電極ノズル７七設けた回転軸、１７ｍはこ
のノズルから噴出される化学的気相摘出反応を起すこと
のできるガス、１１ＨＨ，ガスの入いっているボンベ、
１２＃：ＣＣＨ４の入いっているボンベ、１３にＴｌＣ
６４の入いっている槽、１４゜１５はそれぞれのボンベ
の出口側に設けたバルブ、１７は２つのボンベ１１〜１
３より出て来て槽１３を通過して′１極ノズル７から噴
出する５１混合のガス、２１はこのガス１７を回転軸６
内に導入するためのカップリング、２２は回転′Ｍａ６
の一端に設けられプラズマ発生装置３１の一方の１ｉＬ
極３２と接触している電極、６６にプラズマ発生装置６
１の他方の電極であってホルダー２ｂｌＣ接触している
０４１に回転軸６に設けたプーリ、４４は他のプーリ４
６、ベルト４２ｔ−介してプーリ４１ｔ−回転させるモ
ータであって、回転軸６、プラズマ発生装置３１などと
共にＮ４１ｆ１の軸方向にも左右に４）動できるように
なっている。
ズル奢有する電極ノズル７七設けた回転軸、１７ｍはこ
のノズルから噴出される化学的気相摘出反応を起すこと
のできるガス、１１ＨＨ，ガスの入いっているボンベ、
１２＃：ＣＣＨ４の入いっているボンベ、１３にＴｌＣ
６４の入いっている槽、１４゜１５はそれぞれのボンベ
の出口側に設けたバルブ、１７は２つのボンベ１１〜１
３より出て来て槽１３を通過して′１極ノズル７から噴
出する５１混合のガス、２１はこのガス１７を回転軸６
内に導入するためのカップリング、２２は回転′Ｍａ６
の一端に設けられプラズマ発生装置３１の一方の１ｉＬ
極３２と接触している電極、６６にプラズマ発生装置６
１の他方の電極であってホルダー２ｂｌＣ接触している
０４１に回転軸６に設けたプーリ、４４は他のプーリ４
６、ベルト４２ｔ−介してプーリ４１ｔ−回転させるモ
ータであって、回転軸６、プラズマ発生装置３１などと
共にＮ４１ｆ１の軸方向にも左右に４）動できるように
なっている。
次にこの動作について説明する。先づ、鋼・ｇｌ及びそ
の他の装置を図のように組立てる。鋼Ｈの内面１＆にＴ
ｉｅ ’ｉミコーティングようとすれば、ボンベ１１に
はＮ２ガスを、ボンベ１２にはＣＨ４のガスを、槽１３
にはＴｉＣ２４の液を用意する。続いてパルプ３を開き
真空ポンプ５を始ｆｆｈさせ鋼・ｇｌの内１１ｊｌｌ’
に真空にする。次にボンベ１１．１２に設けたパルプ１
４．ｌ５ｔ−除々に開きガス１７（ＴｉＣ２４： ＣＨ
４： Ｈ２＝６： ２２ ： ７５ ） ｋ ’Ｊ４’
ｔｔ １ （Ｄ内ＩｆＪ １１１１１１に導入（２Ｔｏ
ｒｒ ）する。１隠ノズル７を定位置に移動させプラズ
マ発生装＃６１？始劫すｎば、１菅の内面１ａと−＜
＝ノズル７との間にプラズマが発生する。
の他の装置を図のように組立てる。鋼Ｈの内面１＆にＴ
ｉｅ ’ｉミコーティングようとすれば、ボンベ１１に
はＮ２ガスを、ボンベ１２にはＣＨ４のガスを、槽１３
にはＴｉＣ２４の液を用意する。続いてパルプ３を開き
真空ポンプ５を始ｆｆｈさせ鋼・ｇｌの内１１ｊｌｌ’
に真空にする。次にボンベ１１．１２に設けたパルプ１
４．ｌ５ｔ−除々に開きガス１７（ＴｉＣ２４： ＣＨ
４： Ｈ２＝６： ２２ ： ７５ ） ｋ ’Ｊ４’
ｔｔ １ （Ｄ内ＩｆＪ １１１１１１に導入（２Ｔｏ
ｒｒ ）する。１隠ノズル７を定位置に移動させプラズ
マ発生装＃６１？始劫すｎば、１菅の内面１ａと−＜
＝ノズル７との間にプラズマが発生する。
いまＶ字状のノズルを設けた電極ノズルを回転させなが
ら軸方向に移動させれば鋼管の内面１ａにＴＩＣの層を
形成できる。なは析出反応中のｇ内の圧力は、真空ポン
プ５により排気することにより２Ｔｏｒｒ ｉｃ保持す
る。
ら軸方向に移動させれば鋼管の内面１ａにＴＩＣの層を
形成できる。なは析出反応中のｇ内の圧力は、真空ポン
プ５により排気することにより２Ｔｏｒｒ ｉｃ保持す
る。
コーティング加工が完了したならば、各々のバルブ１４
．１５勿閉じ別に設け７′Ｃ４１（図示せず）によって
Ｎ２ガスなど’ｋｍ＃１内に導入して前記のガス１７と
置換したのち被加工物を取り出すようにする。
．１５勿閉じ別に設け７′Ｃ４１（図示せず）によって
Ｎ２ガスなど’ｋｍ＃１内に導入して前記のガス１７と
置換したのち被加工物を取り出すようにする。
以上のようにこの発明においては、管の内面にそってガ
ス音導き、この管の内面にそって回転しながら移動でき
る電極ノズルを設けこの電極ノズルと管の内面との間に
プラズマを発生させ化学的気相析出反応によって管の内
面全コーティングするようにしたので、均一で密着力の
強いコーティング加工をすることが出来る。
ス音導き、この管の内面にそって回転しながら移動でき
る電極ノズルを設けこの電極ノズルと管の内面との間に
プラズマを発生させ化学的気相析出反応によって管の内
面全コーティングするようにしたので、均一で密着力の
強いコーティング加工をすることが出来る。
第１図（ａ）、 （ｂ）はこの発明の一実施例を示す装
置の、説明図、ｒａ）は正面図、（ｂ）はこのＡ−Ａ断
面図、第２図は従来のレーザ式コーティング装置の説明
図である。 図において、１は鋼＃、Ｉｍは鋼Ｒの内面、２゜２ｂに
ホルダー、５は真空ポンプ、７は電極ノズル、６は回転
軸、１１．１２はボンベ、６１はプラズマ発生装置、４
４はモータである。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 ＋：４１！１層 １（ｌ舖１司内面 ６０゛ レーザ １７、力゛°ス
置の、説明図、ｒａ）は正面図、（ｂ）はこのＡ−Ａ断
面図、第２図は従来のレーザ式コーティング装置の説明
図である。 図において、１は鋼＃、Ｉｍは鋼Ｒの内面、２゜２ｂに
ホルダー、５は真空ポンプ、７は電極ノズル、６は回転
軸、１１．１２はボンベ、６１はプラズマ発生装置、４
４はモータである。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第２図 ＋：４１！１層 １（ｌ舖１司内面 ６０゛ レーザ １７、力゛°ス
Claims (1)
- 管の内面をコーティングする方法において、この管の内
面にそつてガスを導入すると共に回転・移動できる電極
を挿入して、上記管と上記電極との間に電力を供給して
プラズマを発生させ上記ガスに化学的気相析出反応を起
こさせ、上記管の内面にコーティングすることを特徴と
する移動電極式コーティング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP809986A JPS62167882A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 移動電極式コ−テイング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP809986A JPS62167882A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 移動電極式コ−テイング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62167882A true JPS62167882A (ja) | 1987-07-24 |
Family
ID=11683856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP809986A Pending JPS62167882A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 移動電極式コ−テイング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62167882A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355846U (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-29 | ||
| WO1998007895A1 (en) * | 1996-08-19 | 1998-02-26 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of forming hard carbon film on inner circumferential surface of guide bush |
| WO1998011270A1 (de) * | 1996-09-13 | 1998-03-19 | Euromat Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum innenbeschichten metallischer bauteile |
| US6129856A (en) * | 1997-06-23 | 2000-10-10 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Process for surface-finishing inner surfaces of hollow bodies and apparatus for carrying out the process |
| JP2002180238A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-06-26 | Nikon Corp | 成膜装置，成膜方法，光学部材，照明光学系，露光装置 |
| EP1900493A1 (de) * | 2006-09-13 | 2008-03-19 | LeadX Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Modifizierung von Innenoberflächen rohrförmiger Hohlkörper mittels Plasma |
| JP2011513593A (ja) * | 2008-03-12 | 2011-04-28 | アリタス コーポレーション エス．エー． | プラズマシステム |
| JP2015175019A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 三井造船株式会社 | 皮膜形成装置、皮膜形成方法、及び皮膜付筒部材 |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP809986A patent/JPS62167882A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0355846U (ja) * | 1989-10-05 | 1991-05-29 | ||
| WO1998007895A1 (en) * | 1996-08-19 | 1998-02-26 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of forming hard carbon film on inner circumferential surface of guide bush |
| CN1111616C (zh) * | 1996-08-19 | 2003-06-18 | 时至准钟表股份有限公司 | 在导衬内周面上形成硬质碳膜的方法 |
| WO1998011270A1 (de) * | 1996-09-13 | 1998-03-19 | Euromat Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum innenbeschichten metallischer bauteile |
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| EP1900493A1 (de) * | 2006-09-13 | 2008-03-19 | LeadX Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur Modifizierung von Innenoberflächen rohrförmiger Hohlkörper mittels Plasma |
| DE102006043036A1 (de) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Leadx Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Modifizierung von Innenoberflächen |
| DE102006043036B4 (de) * | 2006-09-13 | 2009-04-02 | Leadx Ag | Verfahren zur Modifizierung von Innenoberflächen |
| JP2011513593A (ja) * | 2008-03-12 | 2011-04-28 | アリタス コーポレーション エス．エー． | プラズマシステム |
| JP2015175019A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | 三井造船株式会社 | 皮膜形成装置、皮膜形成方法、及び皮膜付筒部材 |
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