JPH0355846U - - Google Patents
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- JPH0355846U JPH0355846U JP11785789U JP11785789U JPH0355846U JP H0355846 U JPH0355846 U JP H0355846U JP 11785789 U JP11785789 U JP 11785789U JP 11785789 U JP11785789 U JP 11785789U JP H0355846 U JPH0355846 U JP H0355846U
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- JP
- Japan
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- tube
- electrode member
- displacing
- film
- wall surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
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Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のコーテイング装
置の一部の構成を拡大して示す断面図、第２図は
その全体の構成を示す概念図である。 １……管、２……高周波電源、３……電極部材
、４……摺動片、５……棒状体、１７……窒化シ
リコン膜、２０……プラズマ。
置の一部の構成を拡大して示す断面図、第２図は
その全体の構成を示す概念図である。 １……管、２……高周波電源、３……電極部材
、４……摺動片、５……棒状体、１７……窒化シ
リコン膜、２０……プラズマ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 金属製の管の内壁面に成膜を施すコーテイング
装置であつて、 前記管との間に放電用の電力が与えられる電極
部材と、 この電極部材と前記管との間を絶縁しつつ、前
記電極部材を前記管内でその長手方向に沿つて変
位させる搬送手段とを備え、 前記管内に原料ガスを導入して、この原料ガス
を前記電極部材近傍の前記管内で放電させて分解
させ、前記管の内壁面に膜を形成させるようにし
たことを特徴とするコーテイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11785789U JPH0355846U (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11785789U JPH0355846U (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355846U true JPH0355846U (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=31666056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11785789U Pending JPH0355846U (ja) | 1989-10-05 | 1989-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355846U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015045039A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 株式会社ユーテック | プラズマｃｖｄ装置、成膜方法及びｄｌｃコーティング配管 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62167882A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 移動電極式コ−テイング方法 |
-
1989
- 1989-10-05 JP JP11785789U patent/JPH0355846U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62167882A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-07-24 | Nippon Kokan Kk <Nkk> | 移動電極式コ−テイング方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015045039A (ja) * | 2013-08-27 | 2015-03-12 | 株式会社ユーテック | プラズマｃｖｄ装置、成膜方法及びｄｌｃコーティング配管 |
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