JPS62167893A - 扉をシ−ルされた接近口を有するチヤンバ−内で物品を化学的に処理するための方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、実質的に密閉されたチャンバーを通して送
られている物品にエツチング液その他日種類のもののよ
うな腐食性流体を適用する腐食性環境において、物品を
化学的に処理するための方法及び装置に関する。

〔従来の技術及び発明が解決しようとする問題点〕プリ
ント基板、プリント回路エレメント、及び同様な物品の
製造、並びにそれらに関する処理工程においては、プリ
ント基板のような物品をチャンバーを通して連続的に送
り出しながら、エツチング液のような適当な処理流体を
それらの物品に吹付けて処理することは平凡なものにな
った。適当なキレート剤又は錯化剤と一緒の水酸化アン
モニウム及び塩化アンモニウムのようなエツチング液は
、他のエツチング液又は処理流体を利用することもでき
ようが、−ｉ的に腐食性である。例えば米国特許第４２
３３１０６号を参照されたい。これの開示は、参照によ
りここに組み入れられる。

最も詳しく述べるならば、処理流体が腐食性であって、
装置を取扱う作業員にとって、特にそのような作業員の
皮膚、目等にとって危険であり、またその上特に近くの
装置に対して危険である場合、そのような作業員がこの
ような処理流体に接近するのを防ぐことが望ましい。

そのような接近を防ぐ過程において、処理チャンバーへ
の入口及び出口のスリット状の制限された接近口（ａｃ
ｃｅｓｓ）を使用してチャンバー内における様々な処理
を行なうことは公知である。例えば米国特許第３７７６
８００号及び同第４０１５７０６号を参照されたい。こ
れらの開示全体は、参照によりここに組み入れられる。

多くのこのような操作においては、補修、？Ｗ掃、何ら
かの故障の修正の目的のために、あるいはチャンバー内
部への接近口のあることを望ましいものとするようなあ
らゆる理由のために、扉又はその種の他のものを開ける
か又は取りはずせば節単に得ることができるチャンバー
内部への接近口を作業員の手元に用意するのが望ましい
。

本発明は、チャンバーの外部に関して密１・Ｉされた（
物品がチャンバーに出入りするための入口及び出口の接
近口に関しては除外する）装置で行なうことができるの
と同じようなやり方で、及び主としてその接近口の扉が
あるチャンバーの壁に対するその扉のシールを果すよう
なやり方で物品の処理を成し遂げることを直接自差し、
また特に、シールが流体の漏れないものであり、且つ、
閉じられた接近口の扉を通してチャンバー内部からの流
体がチャンバー外部の作業環境を汚染するのを該シール
が防止することができるようなやり方でそのように物品
の処理を果すことを目差すものである。

〔問題点を解決するための手段、実施例、及び作用効果〕

従って、本発明は、壁を貫通する扉によるチャンバーへ
の接近口を確実に設けることができ、一方チャンバー内
部への接近を容易にすることが要望される場合にはそれ
を取りはずすことができる、実質的に密閉されたチャン
バー内で物品を化学的に処理することに向けられる。

それゆえに、物品の処理をしているチャンバー内部への
新しい管理された接近口の条件下で物品を処理する方法
を提供することが、この発明の根本の目的である。

上述の目的を達成するのに、チャンバー内部への接近口
の扉を流体圧により作動するシールによって効果的にシ
ールすることができ、チャンバー内部へ接近するために
はその扉を取りはずすことが可能なように作動を解除す
ることができることが、この発明の別の目的である。

実質的に密閉されたチャンバー内で物品を処理するため
の装置であって、チャンバーへ接近する要望の有無に応
じて選択的にシールしあるいはシールを解除することが
できる接近口の扉がチャンバーに設けられた装置を提供
するのが、この発明の別の目的である。

チャンバー内部への接近を制限し又はチャンバー内部へ
の接近が要望されるのに応じて選択的に作動し又は作動
を解除することができる、膨張性の流体により作動する
シールを前記扉に設けて前述の目的を達成することが、
この発明の別の目的である。

本発明の他の目的及び利点は、以下の好ましい態様の説
明及び図面の簡単な説明を通読することにより、また特
許請求の範囲の記載によって、当該技術の熟練者には容
易に明らかとなろう。

図面を詳細に参照して説明を行なう。まず最初に第１図
を参照して、前面壁１２及び背面壁１３、上方壁１４及
び下方壁１５、並びに、第１図には数字１７によって片
方のものだけが示された相対する側壁により定められた
内部１１を有する、数字１０により一般的に示されたチ
ャンバーを説明する。

処理されるプリント基板（ＰＣＢ）又は他の物品は、米
国特許第４０１５７０６号に示されたのと同様な駆動機
構によってチャンバー１０の中を運ばれ、図に示したよ
うにチャンバー１０の中を紙面に垂直な方向に通過する
。米国特許第４０１５７０６号の開示は、参照によって
ここに組み入れられる。簡潔に述べるならば、物品はロ
ッド２０により支えられた回転輪１８によって運ばれ、
前記ロッド２０は適当な歯車駆動装置２１によって回転
できるようにそれらの末端で駆動され、歯車駆動装置２
１は、この発明の特有部分を構成するものではない適当
なモーター（図示せず）により駆動される。

エツチング液又は他の処理流体は、第１図に図解される
ように、適当な内部配管２８から好ましくは上方スプレ
ーヘッダー２２及び下方スプレーヘッダー２３に送られ
て、複数のスプレーノズル又はその種の他のもの２４を
通して処理流体を処理されている物品の上面及び下面に
放出する。ここでは、処理されている物品は、−ｉ的に
、それらが装置の一端から他の側１７へ移動する時、米
国特許第４０１５７０６号に更に詳しく記載されたよう
に第１図に図解されたのと同様な多くのスプレー処理を
受ける、と言えば十分である。処理流体は、再使用する
ためチャンバー１１の下Ｑ２５にｆｆｌめられる。この
処理流体の再使用は、処理流体を再循環するため図に示
すように流体を好ましくはろ過器２６を通してポンプ２
７に送り、配管２８を８＋出シてスプレーヘッダー２２
　、２３に戻すことによって果すことができよう。

前述のように、処理流体は、−最的には工ンチングｌＸ
ｉ体又は酸化／ｉフ元流体、すなわちそのようなエツチ
ング又は同様な化学的処理操作に関係する処理流体であ
り、それゆえに、処理流体がチャンバーの外部環境及び
／又はチャンバー外部の作業員を汚染しないように、処
理操作の間処理流体がチャンバーの壁を通してチャンバ
ーの外側に通り抜けるのを防止することが要望される。

壁３０の上部に取りはずし可能な１３９１３１を設ける
。扉３１には、フレーム部３４の切込み付き開口部３３
に位置し且つ適当な結合手段によって密封して止められ
た、好ましくは透明な長方形のプレー１−３２を用意す
る。フレーム部３４は、扉の周縁部３８を全体的に定め
る、弧状の部分３７によりつながれた平らな周縁部３５
　、３６によって定められる。フレーム部３４は、チャ
ンバー１０の外側からｆａ３１を壁３０に取付けたとき
、第５図に図解するように突起型リップ４１が壁部３０
の隣接面４２に対して掛かるようなフランジ＋ｆｆ１４
０を、そのフレーム部３４に固定して支える。このよう
に、ｌ１３１の周縁面３８が、壁３０の末端に形成され
た面４５に面し、フランジ仮４０が閉じる時に扉を密閉
するのを容易にする手段を含んでなることは、明らかで
あろう。

扉の周縁面３８には、［３１によって支持されるべき中
空の管状シール５０を受は止める、弧状の、一般的には
半円状（横断面が）の溝４６がある。シール５０は、扉
の周縁を連続して取巻き、好ましくは第３図に示された
４９において扉の周縁面３８に′ａ４６のおのおのの末
端で適当に結合され、そして、ホース状の構造の相対す
る端を一？打にし、シールして（図示せず）ループを完
成することによって、流体を含をする閉じたループを形
成する。シール５０は、圧縮ガスのような圧縮流体を受
は入れ、第３図及び第５図に見られるようにシール５０
を速やかに外側へ効果的に膨張させ、壁部３０の面４５
に対してしっかりとＰ？！擦力によって接合させて、壁
部３０に関して取りはずし可能な１７ａ３１を密封して
接合するのに応用される。

シール５０は、それが操作される環境に適当し、一般的
に柔軟であり且つその内部５３に供給される空気又は他
の流体を受は入れたときに膨張可能である、適当なプラ
スチック又はその種の他の材料のようなホース状の耐食
性材料で構成される、という事が注目される。同様に、
壁のようなチャンバーの他の構造部材は、好ましくは、
ポリプロピレン、ステンレス鋼、又は腐食環境に耐える
ことができる他の適当な材料で製作される。

好ましくは、シール５０には、扉の周縁面３８の弧状の
くぼみ又は溝４６の底部から行き止りの穴（ｂｌｉｎｄ
　ｂｏｒｅ）すなわら２厚管５５内へ伸びる突起型ニッ
プル５４の形をして前記導管内に収容された適当な人口
部が設けられ、そしてこの導管５５は、第５図に図解さ
れるように扉のフレーム３４を通ってそれにより支えら
れたフランジ部４０へと伸びる縦方向の穴すなわら導管
５６に’＋ＦＢし、次に、連絡する横方向の穴すなわち
導管５７に接続し、その導管５７は、今度はフレーム４
０の別の縦方向の穴すなわち導管５８に通じる。第５図
に示すように、壁３０の部分に縦方向の穴ずなわち導管
６０を配置し、そしてこれは、図に示すように流体用の
継手６２、カップリング６３、及び流体入口ホース６４
を壁３０の部分の内側に支える取付はブロック６１に通
ずる。

第５図に示すように壁３０の部分の外面のくぼみに配置
されてそれにより支えられ、同図に示すようにそこを貫
通して導管６０の一部分を形成する開口部を有するシー
ルグロメット６５が用意される。シールグロメット６５
は、第５図に示すように、壁３０の部分の開口部に扉３
１を配置する際のように壁３０の部分に対してフランジ
４０の一部を配置する際、シールグロメット６５が導管
６０及び５８の部分から流体が漏れ出るのに備え゛ζ接
触面をシールする一方、導管５８及び６０の部分間で流
体が一方から他方へと通じるのを可能にするようにして
、フランジ部の縦方向の導管５８が璧３０の導管６０の
部分に正しく合わさり目、つ連絡するように配置される
。

本発明に従って操作するには、前述のように、閉しられ
た、柔軟で中空のシール５０を有する扉３１を、チャン
バーの壁３０の一部に設ける。次に、圧縮ガス又はその
種の他のもののようなシール膨張流体が、図面には示さ
れていない手段により配管７０に送り出され、好ましく
は手動のハンドル７４により都合よく作動されて開かれ
、配管７０からの流体を通過させる好ましくは手動のボ
ール弁又はその種の他のもの７１を通して、弁のハンド
ル７４が第５図に示す実線の位置にされたとき弁７１を
通り、手動操作可能な圧力調整器７９を通り、絞りオリ
フィス７２を通って配管７５に送り出されて柔軟なホー
ス又はその種の他のもの６４に供給され、結局は導管６
０　、５７　、５６　。

５５を通ってシールの入口部分の５４に至り、そしてそ
の後シールの内部５３に入ってシールを膨張させ、壁３
０の面４５に対する接触を摩擦による漏れのないものに
し、シール５０内の圧力を抜くまでは扉を手動で取りは
ずすことができないように、その接触を漏れのない十分
なものにする。好ましくは変換器式の、圧力検出器７３
を設置して配管７５の圧力低下（これは扉３１の漏れの
ないシールが不十分になったことを表わす）を検出して
、線路７７を経由してポンプ２７に接続された制御装置
７６を作動させてポンプ２７を停止させ、そして扉のシ
ールが適当に昇圧され、又は故障が適当に直されるまで
チャンバーでの処理作業を中止させる。それゆえに、シ
ール５０への圧力は、チャンバー内で処理されている物
品に処理流体が適用されている間は維持される。

扉を開けることを希望する場合は、手動の操作器又はハ
ンドル７４を用い、これを第５図の仮想線で示されるお
およその位置を仮定して矢印７８の方向に動かしてボー
ル弁７１を閉じることができよう。それによって、もは
やボール弁を通って圧力が配管７５に加えられることは
なく、そして流体が空気である場合、放出式の調整器７
９を通して流体を大気に放出して（図示せず）シール５
０内の圧力を抜くことができよう。チャンバー１０の内
部のどんな所に接近することでも要望される緊急時等の
場合には、説明したようにレバアームやハンドル７４そ
の地固種類のものによって制御機構を作動させてシール
から流体を放出させることができるであろう、というこ
とも明らかであろう。

本発明の好ましい態様を使用し且つ操作するのはもちろ
ん、特許請求の範囲に明らかにされた本発明のあらゆる
精神及び範囲内で構成の細部を様々に変更することがで
きるであろうということは、前記のことから明らかであ
ろう。この発明の装置の扉はこのように記載されてはい
るが、同じ用語が、シールされた密閉装置が要望される
窓又は他のどんな点検パネルもしくは構造をも適切に説
明する、ということは明らかであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、チャンバーを通る物品の流れの進路を紙面に
向かうものとして示し、且つ主としてチャンバー内にお
ける作業の種々の機能部品を説明する、この発明の方法
を実施するために設計されたチャンバーの垂直断面図で
ある。 第２図は、チャンバーの壁の開放可能な扉の一般的な設
計を説明する、おおよそ第１図の■−■線に沿って見た
前記扉の一部の拡大立面図である。 第３図は、おおよそ第２図のＩＩＩ−Ｉ［１線に沿って
第２図の扉と壁を通して示した、膨張可能なシールをよ
りはっきりと説明するより大きく拡大した垂直断面図で
ある。 第４図は、おおよそ第１図のＩＶ　−ＩＶ線に沿って示
した、チャンバーの扉と壁の配置を説明するこの発明の
装置のチャンバーの壁の立面図である。 第５図は、チャンバーの扉部分とチャンバーの壁との接
合を、流体によって扉のシールを膨張させるための装置
及び手法とともに図式的に示す部分拡大断面図である。 図中、１０はチャンバー、３０は壁、３１は扉、３８は
扉の周縁面、４０はフランジ板、４６は溝、５０はシー
ル、５５　、５６　、５７　、５８　、６０は導管、６
５はシールグロメット、７６は制御装置である。 以下余白

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、チャンバーの壁に開放可能な扉がある実質的に密閉
   されたチャンバーを通して送られている物品に腐食性物
   質を通用する、エッチング液又は同様な化学処理剤によ
   り腐食性環境で物品を化学的に処理する方法において、
   下記の工程、すなわち、 （ａ）前記チャンバーの壁に開放可能な扉を用意し、 （ｂ）前記壁及び前記扉の周縁を取巻いて、前記壁と前
   記扉の密閉接合箇所に、流体を受入れる柔軟で膨張可能
   な中空シールを用意し、 （ｃ）前記チャンバーの壁に関して前記扉を閉じ、 （ｄ）加圧下でシール膨張流体を前記中空シールに供給
   して前記シールを前記扉との接合箇所で膨張させ、そし
   て、前記チャンバー内の腐食性物質が前記扉と壁との接
   合箇所を通って外方に通過するのに備えて前記壁に関し
   て前記扉の周縁をシールし、 （ｅ）前記チャンバー内で物品を処理している間前記流
   体の扉をシールする圧力を維持し、 （ｆ）前記扉が閉じられ、シールされた状態にある間前
   記チャンバー内の物品を腐食性物質で処理し、そして （ｇ）前記物品を前記チャンバー内で処理した後、前記
   中空シールへの流体圧力を抜いて前記扉と壁との接合箇
   所のシールを解除する工程、によって、前記扉を取はず
   し可能ではあるが前記扉と壁との密閉接合箇所でシール
   された状態にして前記処理を行なう方法。 ２、前記扉及び前記壁の一方に部分的にはめ込まれ、そ
   してそこから前記扉及び前記壁の他方に向って部分的に
   突き出し、且つ、前記扉と壁との前記接合箇所を実質上
   完全に取巻くシールを設けることが、前記シールを用意
   する工程に含まれる、特許請求の範囲第１項記載の方法
   。 ３、前記流体を十分な圧力下で供給し、前記シールを膨
   張させて前記扉及び前記壁の他方と十分に接合させ、前
   記流体の圧力を抜くより前に前記扉が手動で容易に開放
   されるのを防止することが、前記シール膨張流体を供給
   する工程に含まれる、特許請求の範囲第２項記載の方法
   。 ４、前記扉及び前記壁の両方を通って伸びる流体供給導
   管部分を通して前記扉のシールに加圧流体を供給するこ
   とが、前記シール膨張流体を供給する工程に含まれる、
   特許請求の範囲第２項記載の方法。 ５、前記扉の導管部分及び前記壁の導管部分をそれらの
   間を連絡して流体を供給するために十分整合させること
   が、前記扉を閉じる工程に含まれる、特許請求の範囲第
   ４項記載の方法。 ６、加圧流体が前記扉及び壁の前記流体供給導管部分の
   片方からもう一方へ供給されるのではなく両方の導管部
   分から漏れ出るのに備えて、前記導管部分が整合するよ
   うに前記扉及び壁の前記流体供給導管部分をシールする
   ことが、前記扉を閉じる工程に含まれる、特許請求の範
   囲第５項記載の方法。 ７、制御機構を手動式に作動させて前記シールから流体
   を放出させ、それにより前記シール内の圧力を抜き、そ
   して前記扉の開放を可能にすることが、前記シールを解
   除する工程に含まれる、特許請求の範囲第３項記載の方
   法。 ８、流体加圧下における前記シールの膨張が、前記壁及
   び扉の他方との摩擦により漏れなしに接合する膨張であ
   る、特許請求の範囲第３項記載の方法。 ９、前記扉及び前記壁の両方を通って伸びる流体供給導
   管部分を通って前記扉のシールに加圧流体を供給するこ
   とが前記シール膨張流体を供給する工程に含まれ、前記
   扉の導管部分及び前記壁の導管部分をそれらの間を連絡
   して流体を供給するために十分整合させることが前記扉
   を閉じる工程に含まれ、加圧流体が前記扉及び壁の前記
   流体供給導管部分の片方からもう一方へ供給されずに前
   記導管部分の両方から漏れ出るのに備えて、前記導管部
   分が整合するように前記扉及び前記壁の前記流体供給導
   管部分をシールすることが前記扉を閉じる工程に含まれ
   、制御機構を手動式に作動させて前記シールから流体を
   放出させ、それにより前記シールの圧力を抜き、そして
   前記扉の開放を可能にすることが前記シールを解除する
   工程に含まれ、そして、流体加圧下における前記シール
   の膨張が前記シール及び扉の他方との摩擦により漏れな
   しに接合する膨張である、特許請求の範囲第３項記載の
   方法。 １０、チャンバーの壁に開放可能な扉がある実質的に密
   閉されたチャンバーを通して送られている物品に腐食性
   物質を適用する、エッチング液又は同様な化学処理剤に
   より腐食性環境で物品を化学的に処理するための装置（
   ａｐｐａｒａｔｕｓ）において、取りはずし可能ではあ
   るが前記扉と壁との密閉接合箇所でシールされ密閉され
   た状態で前記処理を行なうための、 （ａ）前記チャンバーの壁の開放可能な扉、 （ｂ）前記壁及び前記扉の密閉接合箇所で前記扉の周縁
   を取巻き、流体を受入れる柔軟で膨張可能な中空シール
   手段、 （ｃ）前記チャンバーの前記壁に関して前記扉を密閉す
   るのを容易にする手段、 （ｄ）前記中空シール手段に加圧下でシール膨張流体を
   供給して前記中空シール手段と前記扉との接合箇所で前
   記中空シール手段を膨張させ、そして、前記扉と壁との
   接合箇所を通ってチャンバー内の腐食性物質が外方に通
   過するのに備えて前記扉の周縁を前記壁に関してシール
   するための手段、 （ｅ）前記チャンバー内で物品を処理している間前記流
   体の扉をシールする圧力を維持するための手段、 （ｆ）前記扉が閉じられ、シールされた状態にある間前
   記チャンバー内の物品を腐食性物質で処理するための手
   段、及び、 （ｇ）前記物品を前記チャンバー内で処理した後、前記
   中空シール手段への流体圧力を抜いて、前記扉及び壁と
   の接合箇所の前記シール手段をはずすための手段、 を含む機構（ｄｅｖｉｃｅ）を有する装置。 １１、前記扉及び前記壁の一方に部分的にはめ込まれ、
   そしてそこから前記扉及び前記壁の他方に向って部分的
   に突き出し、且つ、前記扉と壁との前記接合箇所を実質
   上完全に取巻くシールが、前記シール手段に含まれる、
   特許請求の範囲第１０項記載の装置。 １２、十分な圧力下で前記流体を供給し、前記シールを
   膨張させて前記扉及び前記壁の他方と十分に接合させ、
   前記流体の圧力を抜くより前に前記扉が手動で容易に開
   けられるのを防止するための手段が、前記シール膨張流
   体を供給する手段に含まれる、特許請求の範囲第１１項
   記載の装置。 １３、前記扉及び前記壁の両方を通って伸びる流体供給
   導管部分を通して前記扉のシールに加圧流体を供給する
   ための手段が、前記シール膨張流体を供給するための手
   段に含まれる、特許請求の範囲第１２項記載の装置。 １４、前記扉を閉じた状態で扉の導管部分及び壁の導管
   部分の間を連絡して流体を供給するために十分整合させ
   た扉の導管部分及び壁の導管部分が、前記扉を密閉する
   のを容易にする手段に含まれる、特許請求の範囲第１３
   項記載の装置。 １５、加圧流体が前記扉及び壁の前記流体供給導管部分
   の片方からもう一方へ供給されるのではなく両方の導管
   部分から漏れ出るのに備えて、前記導管部分が整合する
   ように前記扉及び前記壁の流体供給導管部分をシールす
   るための手段が、前記扉を密閉するのを容易にする手段
   に含まれる、特許請求の範囲第１４項記載の装置。 １６、制御機構を手動式に作動させて前記シールから流
   体を放出させ、それにより前記シール内の圧力を抜き、
   そして前記扉の開放を可能にするための手段が、前記シ
   ール手段をはずすための手段に含まれる、特許請求の範
   囲第１２項記載の装置。 １７、扉を閉じた状態で前記シールが膨張して前記璧及
   び扉の他方を摩擦により漏れなしに接合させる、特許請
   求の範囲第１２項記載の装置。 １８、前記扉及び前記壁の両方を通って伸びる流体供給
   導管部分を通して前記扉のシールに加圧流体を供給する
   ための手段が前記シール膨張流体を供給するための手段
   に含まれ、前記扉を閉じた状態で扉の導管部分及び壁の
   導管部分の間を連絡して流体を供給するために十分整合
   させた扉の導管部分及び壁の導管部分が前記扉を密閉す
   るのを容易にする手段に含まれ、加圧流体が前記扉及び
   壁の前記流体供給導管部分の片方からもう一方へ供給さ
   れるのではなく両方の導管部分から漏れ出るのに備えて
   、前記導管部分が整合するように前記扉及び前記壁の流
   体供給導管部分をシールするための手段が前記扉を密閉
   するのを容易にする手段に含まれ、制御機構を手動式に
   作動させて前記シールから流体を放出させ、それにより
   前記シール内の圧力を抜き、そして前記扉の開放を可能
   にするための手段が前記シール手段をはずすための手段
   に含まれ、前記扉を閉じた状態で前記シールが膨張して
   前記壁及び扉の他方を摩擦により漏れなしに接合させる
   、特許請求の範囲第１２項記載の装置。 １９、実質的に密閉されたチャンバー内でエッチング液
   又は同様な化学処理剤による操作の一部として物品を処
   理するための装置であって、 （ａ）扉の周縁の周りにおいて扉と壁との密閉接合箇所
   を定める開放可能な扉をその壁に有する実質的に密閉さ
   れたチャンバー、 （ｂ）前記扉の周縁の周りの、前記壁と前記扉の前記密
   閉接合箇所における、流体を受入れる柔軟で膨張可能な
   中空シール手段、 （ｃ）前記チャンバーの壁に関して前記扉を閉じるのを
   容易にする手段、 （ｄ）加圧下で前記中空シール手段にシール膨張流体を
   供給し、前記シール手段を前記扉との接合箇所で膨張さ
   せて前記壁に関して前記扉の周縁をシールするための手
   段、 （ｅ）前記チャンバー内で物品を処理している間前記流
   体の扉をシールする圧力を維持するための手段、 （ｆ）前記扉が閉じられ、シールされた状態にある間前
   記チャンバー内の物品を処理するための手段、及び、 （ｇ）前記物品を前記チャンバー内で処理した後、前記
   中空シール手段への流体圧力を抜いて、前記扉及び壁と
   の接合箇所における前記シール手段をはずすための手段
   、 を含んでなる装置。 ２０、前記扉及び前記壁の一方に部分的にはめ込まれ、
   そしてそこから前記扉及び前記壁の他方に向って部分的
   に突き出し、且つ、前記扉と壁との前記接合箇所を実質
   上完全に取巻くシールが、前記シール手段に含まれる、
   特許請求の範囲第１９項記載の装置。 ２１、十分な圧力下で前記流体を供給し、前記シールを
   膨張させて前記扉及び前記壁の他方と十分に接合させ、
   前記流体の圧力を抜くより前に前記扉が手動で容易に開
   けられるのを防止するための手段が、前記シール膨張流
   体を供給する手段に含まれる、特許請求の範囲第２０項
   記載の装置。 ２２、前記扉及び前記壁の両方を通って伸びる流体供給
   導管部分を通して前記扉のシールに加圧流体を供給する
   ための手段が、前記シール膨張流体を供給するための手
   段に含まれる、特許請求の範囲第２１項記載の装置。 ２３、前記扉を閉じた状態で扉の導管部分及び壁の導管
   部分の間を連絡して流体を供給するために十分整合させ
   た扉の導管部分及び壁の導管部分が、前記扉を閉じた位
   置に固定するための手段に含まれる、特許請求の範囲第
   ２２項記載の装置。 ２４、制御機構を手動式に作動させて前記シールから流
   体を放出させ、それにより前記シール内の圧力を抜き、
   そして前記扉の開放を可能にするための手段が、前記シ
   ール手段をはずすための手段に含まれる、特許請求の範
   囲第２１項記載の装置。