JPS62169027A - 温度計導出用真空ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、核融合炉用中性粒子入射装置や、スペースチ
ャンバーなどの真空装置の温度計導出用真空ノズルに関
する。

（従来の技術） 」二連例の真空装置にあっては、該装置内の機器の温度
を測定するため、該装置の超高真空状態を破ることなく
、外部（大気中）へ温度計の補償導線等を内蔵したシー
ス線を導出する必要があり、この導出部に導出ノズルが
用いられる。そして、温度計がシース熱電対、シース抵
抗温度計などである場合の導出用ノズルとしては、第４
図に例示するように従来は、シース径よりも０．１〜０
゜２　ｌｌ１１大きい径の穴を開けたスリーブ（１）を
真空用フランジ（２）の大気側に溶接（３）　ｔ、、こ
のスリーブ（１）にシース温度計のシース部（４）を挿
入した後、銀ロウ付け（５）にて真空シールされたもの
が使用されてきた。尚、第４図において、（６）は真空
装置の外壁を示す。

（発明が解決しようとする問題点） しかるに上記従来技術によれば、真空装置側のシース部
は一度取付けが行われると、外力が加わることがないた
め、銀ロウ付は部に無理な力が作用して折損することは
ないが、人気側の補償導線には取付は後の配線とか、配
線修理などを行う場合に外力が作用し易く、その力はシ
ース部（４）を銀ロウイ・１け（５）シている部分に直
接的な曲げカヤ働く結果、シース部（４）が曲がったり
、折れやすい問題があった。

また、シース温度計を１本ずつ真空装置から第４図構造
によ、っ−Ｃ導出しているので、温度計の本数か多くな
ると、該１一度計導出部構造、即ちフシンジ（２）が人
１−１径化し漏れが発生し易いと共に、スリーブ（１）
の相互間隔が小さくなって、漏れの補修が困Ｎて゛ある
といった問題を生じた。

本発明は以ヒの従来の問題を解消する温度計導出用真空
ノズルの提供を目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、多数本のシース温度計を束ねて保護パイプ内
に挿嵌し、これらシース温度計のシース部と補償導線と
の接続部集合体の外径と、Ｌ記保護パイプの内径とがほ
ぼ等しいようにすると共に、該保護パイプの真空装置側
端部の鏡板部に、これを貫通するシース線を銀ロウ付け
して真空シールし、かつ上記補償導線を保護パイプの他
端から人気中に導出し、この導出側で保護パイプを真空
装置に固定したｌ証度計導出用１１空ノズルを特徴とす
る。

（作用） −１−配本発明によれば、シース温度計におけるシース
部と補償導線の接続ｆｆｌ＜を東ねた集合体の最外径ど
ほぼ等しい内径の保護パイプ内に、シース温度計群を入
れであるため、大気側から補償導線に力が加わっても、
シース部の耐真空ロウ付は部には引張り以外の曲げ、捻
れのような荷重が作用しない、３ （実施例） 以下、本発明の一実施例を図面によって説明する。

第１図において、多数本のシース温度計はそれらのシー
ス部（７）と補償導線（またはリード線）（８）の接続
部（９）　、および補償導線（またはり一ト線）（８）
を束ねて保護パイプ（１０）に挿嵌し、ｆｔ空装置の内
部に突入する部位で鏡板（１１）を保護パイプ（１０）
の−・端に溶接（１２）して閉１［・、する。この鏡板
（１１）にはシース温度計のシース径よりも０．１１程
度人きい穴（１３）が複数個開設され、この穴（１３）
にシース温度計のシース部（１７）が差し込まれており
、銀ロウ付け（１４）にてシールされる。また、保護パ
イプ（１０）の他端は、該パイプを真空装置内に突入さ
せた状態で真空装置外壁（１５）に溶接（１６）して固
定するためのラッパ状のつば部（１７）が溶接接続（＋
８）により一体形成されている。゛かく構成すれば、第
２図に示す如くシース部（７）と補償導線（８）との接
続部（９）を束ねた最外径と、保護パイプ（ｌＯ）の内
径とをほぼ等しくすることにより、補償導線（８）に加
わる力を、シース部（７）の耐真空ロウ付は部（銀ロウ
付は部）　（１４）に曲げ力や捻れ力として作用させる
ことがなくなる特に温度計導出完了後に、保護パイプ（
１０）内の、シース部（７）と補償導線（８）との接続
部（９）を、合成樹脂等で充１ｎ固定すれば、捻れ力を
完全になくすことができると共に補償導線（８）からの
外力は引張り力も１−記耐ｒＬ空ロウ付は部（１４）に
作用しな（なるので、１１空シールの信頼性が向上する
また、保護パイプ（１０）の補償導線導出部を前述のよ
うにラッパ状つば部（１７）に成形すれば、該つばｉ％
（１７）の曲面形状故に、これに摺接する補償導線（８
）に無理な曲げ力が作用しな（なる。

さらに、保護パイプ（ｌＯ）の真空装置外壁（１５）に
対する溶接部位がラッパ状つば部（１７）であって、シ
ース部（７）の銀ロウ付けｍ（ｔｔ）から離れた保護パ
イプ端部であるために、溶接（１６）時の熱影響が銀ロ
ウ付は部（１４）に及ばない。

さらに本発明の使用例を第３図を用いて説明すると、シ
ース径が１．６１の熱電対（温度計）をそれぞれ束ねて
収容する導出用の真空ノズル（Ａ）が３箇所、ｆＬ空装
置の外壁（１５）に前記ラッパ状つば部（１７）を用い
て溶接部めされる。各真空ノズル（Ａ）では、６０°ピ
ツチで、径１．７ｆｆｉ、の６個の穴（＋３）を開けた
ステンレス鋼製の鏡板（＋１）と、シース部・補償導線
接続部（９）′を６本束ねた時の最外径よりも０．５〜
１１程度大きい内径を有したステンレス鋼製保護パイプ
（［ｆｉ＋　）とをｒ　Ｉ　Ｇ溶接し、鏡板（１１）の
穴（１３）にシー・−ス部（７）を６本挿嵌し。

、１′〔空側Ｊ、り銀「口′１１イーＨ１（１４）にて
Ｊ’［空シールする。尚、銀ロウ（＝Ｊけする前に、真
空装置中で使用するシース部（７）の長さは適宜調整し
ておくことは２茨である。

その後、計測しようとする機Ｚ（（＋９）＋、’熱電対
のシース部（））を取付ける前に、導出用真空ノズル（
Ａ、）のヘリウムリークテストを実施し、漏れがあイ）
場合には補修しＣ１おく。ヘリウムリーク試験機によ−
ｉ　９７．ｈ結果では、導出ノズル全体のもれ晴はＩ　
Ｘ：　１０　　Ｔｏｒｒ、１／ｓｅｅ以下である。。

計ＷＩ　Ｌ、、ようとする機器（１９）にシース熱電対
を取りつける。計測しようとする機器（１９）の取り付
はフし・−ノ、（２０）を使って熱電対のシース部（７
）を配線し、＋１め金Ｍ（２１）によりフ１ノー・ム（
２０）に固定する。フレーム（２０）に取り付けた状態
の機ｉ（＋９）を真空装置に絹み込み、導出用真空、ノ
ズル（Ａ）を真空容器の外壁（【５）に溶接止めする。

（発明の効果） 以−１−詳述したように本発明によれば、補償電線に人
気側から外力が作用しても、シース部の１エ１空ロウ付
は部には曲げ荷重などを加えることがないので、耐真空
ロウ付は部のシース線の折損事故が生ぜず、安定かつ堅
牢な真空シニル状態を保持できる。

シース温度計を多数本導出する場合でも、保護パイプ内
にこれを収容し、かつ束ねたシース部・補償導線接続部
の外径と保護パイプ内径とをほぼ一致させることにより
、従来のような真空フランジの大口径化をなくシ、漏れ
の発生を抑止できると共に、漏れ補修を簡便に行えるよ
うにできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかる温度計導出用真空ノズルの一実
施例を示す断面図、第２図は第１図に示す真空ノズルの
ｎ−ｎ’力方向断面図、第３図は本発明の真空装置への
使用例を示す概略図である。第４図は従来の温度計導出
用真空ノズルの構造を示す断面図である。 （７）・・・シース部、（８）・・・補償導線（または
ＩＪ−電線）　、（９）・・・接続Ｌ（ｔｏ）・・・保
護パイプ、（１＋）・・・鏡板、（＋４）・・・銀ロウ
付け、（１５）・・・真空装置外壁第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空装置の温度計導出用真空ノズルであって、多数本の
   シース温度計を束ねて保護パイプ内に挿嵌し、これらシ
   ース温度計のシース部と補償導線との接続部集合体の外
   径と、上記保護パイプの内径とがほぼ等しいようにする
   と共に、該保護パイプの真空装置側端部の鏡板部に、こ
   れを貫通するシース線を銀ロウ付けして真空シールし、
   かつ上記補償導線を保護パイプの他端から大気中に導出
   し、この導出側で保護パイプを真空装置に固定した温度
   計導出用真空ノズル。