JPS62169949A - フイルタ−装置 - Google Patents
フイルタ−装置Info
- Publication number
- JPS62169949A JPS62169949A JP61010608A JP1060886A JPS62169949A JP S62169949 A JPS62169949 A JP S62169949A JP 61010608 A JP61010608 A JP 61010608A JP 1060886 A JP1060886 A JP 1060886A JP S62169949 A JPS62169949 A JP S62169949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- air
- filters
- holes
- plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004887 air purification Methods 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Duct Arrangements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は空気清浄室のフィルター装置、特に垂直層流式
空気清浄室の天井部分に設置するフィルター装置。
空気清浄室の天井部分に設置するフィルター装置。
垂直層流式空気清浄室内において、部分的に高清浄度作
業空間を確保する場合、該当するエリアの天井１（ＥＰ
Ａフィルターの吹出風量を基準風量より上げることによ
り周囲からのゴミの巻き込みを防ぎ、又ゴミの迅速な回
収を図る方法がとられている。従来、この種のＨＥＰＡ
フィルターの吹出風量（風速） 調Ｍはブロック毎のダ
クトタンパ−操作成いは、固有的に圧力損失の異なるＨ
ＥＰＡフィルターの配置によるものであった。
業空間を確保する場合、該当するエリアの天井１（ＥＰ
Ａフィルターの吹出風量を基準風量より上げることによ
り周囲からのゴミの巻き込みを防ぎ、又ゴミの迅速な回
収を図る方法がとられている。従来、この種のＨＥＰＡ
フィルターの吹出風量（風速） 調Ｍはブロック毎のダ
クトタンパ−操作成いは、固有的に圧力損失の異なるＨ
ＥＰＡフィルターの配置によるものであった。
前述した従来の風量（風速）調整方法のうち、固定化さ
れたダクト・タンパーによる方法では、フィルタ一単位
の細かな部分的気流調整、即ち任意な高清浄度の設定が
困難であり、また圧力損失の異なるＨＥＰＡフィルター
の配置による方法では、変更並びに気流調整が容易にで
きないという欠点があった。又、圧力損失の異なるＨＥ
ＰＡフィルターを安価に製作するには技術的制約があっ
た。
れたダクト・タンパーによる方法では、フィルタ一単位
の細かな部分的気流調整、即ち任意な高清浄度の設定が
困難であり、また圧力損失の異なるＨＥＰＡフィルター
の配置による方法では、変更並びに気流調整が容易にで
きないという欠点があった。又、圧力損失の異なるＨＥ
ＰＡフィルターを安価に製作するには技術的制約があっ
た。
本発明の目的はフィルタ一単位の細かな部分的気流調整
が可能なフィルター装置を提供することにある。
が可能なフィルター装置を提供することにある。
本発明は空気清浄室の天井吹出口に複数のフィルターユ
ニットを敷設し、各フィルターユニット毎に、吹出風量
を変化させる風量調整器をそれぞれ個別に設置したこと
を特徴とするフィルター装置である。
ニットを敷設し、各フィルターユニット毎に、吹出風量
を変化させる風量調整器をそれぞれ個別に設置したこと
を特徴とするフィルター装置である。
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第２図に示すように、ＨＥＰＡフィルター６をユニット
化し、その上面に通気孔７ａを存する通気板７を設置し
、かつ通気孔８ａを有する通気板８を通気板７に対して
スライド可能に設置し、操作杆５により通気板８をスラ
イドして両通気孔７，８の通気孔８ａ、７ａ相互による
開口面積を変化させる。第１図に示すように、このユニ
ット化された）ＩＥＰＡフィルター６．６・・・を空気
清浄室１の天井吹出口に多数敷設する。
化し、その上面に通気孔７ａを存する通気板７を設置し
、かつ通気孔８ａを有する通気板８を通気板７に対して
スライド可能に設置し、操作杆５により通気板８をスラ
イドして両通気孔７，８の通気孔８ａ、７ａ相互による
開口面積を変化させる。第１図に示すように、このユニ
ット化された）ＩＥＰＡフィルター６．６・・・を空気
清浄室１の天井吹出口に多数敷設する。
実施例において、風量連続可変式ＨＥＰＡフィルター６
を通して生産設備３並びに周辺作業域を多風量（高速）
にて吹き出し、その他を基準風速（低速）で吹き出す場
合には、生産設備３及び周辺作業域真上のフィルター６
の通気板８をスライドさせて開口面積を大きくし、一方
低速の基準風速で吹き出し領域真上のフィルター６につ
いては通気板８をスライドさせて開口面積で上記領域の
ものより小さく設定する。これによりフィルタ一単位で
部分的気流の調整が可能となる。尚操作杆５を空気清浄
室ｌの作業領域側に配置することにより、運転時での風
量調整が可能になる。ＩＩ Ｅ Ｐ Ａフィルター６を
通過して吹き出された空気は、パンチング床２より床下
へ還気され、空調器４により再循環される。風量調整の
操作は操作杆５により空気清浄室側から行ない、ＨＥＰ
Ａフィルター６の上に取り付けられた２枚の通気板７，
８を相対的にスライドさせることにより開度調整が行な
われる。
を通して生産設備３並びに周辺作業域を多風量（高速）
にて吹き出し、その他を基準風速（低速）で吹き出す場
合には、生産設備３及び周辺作業域真上のフィルター６
の通気板８をスライドさせて開口面積を大きくし、一方
低速の基準風速で吹き出し領域真上のフィルター６につ
いては通気板８をスライドさせて開口面積で上記領域の
ものより小さく設定する。これによりフィルタ一単位で
部分的気流の調整が可能となる。尚操作杆５を空気清浄
室ｌの作業領域側に配置することにより、運転時での風
量調整が可能になる。ＩＩ Ｅ Ｐ Ａフィルター６を
通過して吹き出された空気は、パンチング床２より床下
へ還気され、空調器４により再循環される。風量調整の
操作は操作杆５により空気清浄室側から行ない、ＨＥＰ
Ａフィルター６の上に取り付けられた２枚の通気板７，
８を相対的にスライドさせることにより開度調整が行な
われる。
以上説明したように本発明は、複数のフィルターユニッ
トを吹出口に敷設し、各フィルターユニット単位で通過
風量を変化するようにしたので、ユニット単位で部分的
な気流の調整を行うことができ、作業内容、設備レイア
ウトの変化に応じた高清浄度作業空間を確保できる効果
がある。
トを吹出口に敷設し、各フィルターユニット単位で通過
風量を変化するようにしたので、ユニット単位で部分的
な気流の調整を行うことができ、作業内容、設備レイア
ウトの変化に応じた高清浄度作業空間を確保できる効果
がある。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は本発
明のフィルターユニットの構成図である１・・・空気清
浄室、２・・・パンチング床、３・・・生産設備、４・
・・空調器、５・・・操作杆、６・・・）ＩＥＰＡフィ
ルター、７．８・・・通気板。 第２図
明のフィルターユニットの構成図である１・・・空気清
浄室、２・・・パンチング床、３・・・生産設備、４・
・・空調器、５・・・操作杆、６・・・）ＩＥＰＡフィ
ルター、７．８・・・通気板。 第２図
Claims (1)
- （１）空気清浄室の天井吹出口に複数のフィルターユニ
ットを敷設し、各フィルターユニット毎に、吹出風量を
変化させる風量調整器をそれぞれ個別に設置したことを
特徴とするフィルター装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61010608A JPS62169949A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | フイルタ−装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61010608A JPS62169949A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | フイルタ−装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62169949A true JPS62169949A (ja) | 1987-07-27 |
Family
ID=11754953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61010608A Pending JPS62169949A (ja) | 1986-01-21 | 1986-01-21 | フイルタ−装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62169949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10141723A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Shin Nippon Kucho Kk | クリーンルーム構造 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5183277A (en) * | 1974-12-05 | 1976-07-21 | Flanders Filters | Ea fuirutano ryuryoseigyosochi |
-
1986
- 1986-01-21 JP JP61010608A patent/JPS62169949A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5183277A (en) * | 1974-12-05 | 1976-07-21 | Flanders Filters | Ea fuirutano ryuryoseigyosochi |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10141723A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-05-29 | Shin Nippon Kucho Kk | クリーンルーム構造 |
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