JPH07310941A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
- Publication number
- JPH07310941A JPH07310941A JP12822194A JP12822194A JPH07310941A JP H07310941 A JPH07310941 A JP H07310941A JP 12822194 A JP12822194 A JP 12822194A JP 12822194 A JP12822194 A JP 12822194A JP H07310941 A JPH07310941 A JP H07310941A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- clean
- air
- ceiling
- boundary
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】作業性が良好で、設備費が安く、製造装置のラ
イン変更への対応が容易で、しかも作業・通路域で発生
した塵埃が高清浄域に流入することのないクリーンルー
ムを提供する。 【構成】室内に空気ゾーンにより高清浄域Ａと低清浄域
Ｂを形成すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口
２ａ、２ｂをそれぞれ天井に備え、かつ前記高清浄域と
低清浄域との境界部の天井に、境界用空気吹出口２ｃを
設け、この境界用空気吹出口からは、高清浄域への吹出
し空気流よりも速度の速い空気流で清浄空気が吹き出さ
れるようにした。
イン変更への対応が容易で、しかも作業・通路域で発生
した塵埃が高清浄域に流入することのないクリーンルー
ムを提供する。 【構成】室内に空気ゾーンにより高清浄域Ａと低清浄域
Ｂを形成すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口
２ａ、２ｂをそれぞれ天井に備え、かつ前記高清浄域と
低清浄域との境界部の天井に、境界用空気吹出口２ｃを
設け、この境界用空気吹出口からは、高清浄域への吹出
し空気流よりも速度の速い空気流で清浄空気が吹き出さ
れるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場、精密機械
工場、薬品工場、食品工場などの製造・検査工程などで
用いられるクリーンルームに関し、特に高清浄空間に他
の領域から塵埃が流入するのを防止したクリーンルーム
に関する。
工場、薬品工場、食品工場などの製造・検査工程などで
用いられるクリーンルームに関し、特に高清浄空間に他
の領域から塵埃が流入するのを防止したクリーンルーム
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種の産業においてクリーンルー
ムの要求が高まっているが、室内で局所的に高い清浄度
が要求され、その清浄度を維持するには以下に述べるよ
うな手段が採用されている。
ムの要求が高まっているが、室内で局所的に高い清浄度
が要求され、その清浄度を維持するには以下に述べるよ
うな手段が採用されている。
【０００３】第一の方法は、室内全体を要求される最も
高い清浄度に合わせたクリーンルームとする。第二の方
法は、室内の高清浄域を壁で仕切って区画する。第三の
方法は、室内の高清浄域の天井部にクリーンフードを設
置したクリーントンネル方式とする。第四の方法は、室
内の高清浄域にクリーンブースまたはクリーンベンチを
設置する。第五の方法は、特公平５−７９８８７号に記
載されるように通路域のダウンフロー気流を強くする。
高い清浄度に合わせたクリーンルームとする。第二の方
法は、室内の高清浄域を壁で仕切って区画する。第三の
方法は、室内の高清浄域の天井部にクリーンフードを設
置したクリーントンネル方式とする。第四の方法は、室
内の高清浄域にクリーンブースまたはクリーンベンチを
設置する。第五の方法は、特公平５−７９８８７号に記
載されるように通路域のダウンフロー気流を強くする。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術では以下のような問題点がある。まず、第一
の方法では、クリーンルーム全体の清浄循環空気量が多
くなり、設備費、運転費とも高価となる。また、第二の
方法では、作業性、メンテナンス性が悪く、製造装置の
ライン変更への対応が容易でない。
た従来技術では以下のような問題点がある。まず、第一
の方法では、クリーンルーム全体の清浄循環空気量が多
くなり、設備費、運転費とも高価となる。また、第二の
方法では、作業性、メンテナンス性が悪く、製造装置の
ライン変更への対応が容易でない。
【０００５】第三の方法では、第二の方法同様に製造装
置のライン変更への対応が容易でないという問題があ
る。また、第四の方法では、設備費が高価となるととも
に、製造装置のライン変更への対応が容易でない。
置のライン変更への対応が容易でないという問題があ
る。また、第四の方法では、設備費が高価となるととも
に、製造装置のライン変更への対応が容易でない。
【０００６】第五の方法では、一般に現実のクリーンル
ームでは作業領域よりも通路面積の方が広いので、通路
域全面の吹出し風速を速くすると、運転費が高価とな
る。また、作業者および作業台が同風速域内（作業域）
に位置することから、作業者の動作により発塵の拡散が
防止できないという問題がある。
ームでは作業領域よりも通路面積の方が広いので、通路
域全面の吹出し風速を速くすると、運転費が高価とな
る。また、作業者および作業台が同風速域内（作業域）
に位置することから、作業者の動作により発塵の拡散が
防止できないという問題がある。
【０００７】本発明は、作業性が良好であり、設備費が
安価となるとともに、製造装置のライン変更への対応が
容易であり、しかも作業・通路域で発生した塵埃が高清
浄域に流入することのないクリーンルームを提供するこ
とを目的としている。
安価となるとともに、製造装置のライン変更への対応が
容易であり、しかも作業・通路域で発生した塵埃が高清
浄域に流入することのないクリーンルームを提供するこ
とを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
は、室内に空気ゾーンにより高清浄域と低清浄域を形成
すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口をそれぞ
れ天井に備え、また床には床下の排気風路へ空気を吸い
込む吸入孔を形成し、かつ前記高清浄域と低清浄域との
境界部の天井に、境界用空気吹出口を設け、この境界用
空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流よりも速
度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるようにしたも
のとしてある。
は、室内に空気ゾーンにより高清浄域と低清浄域を形成
すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口をそれぞ
れ天井に備え、また床には床下の排気風路へ空気を吸い
込む吸入孔を形成し、かつ前記高清浄域と低清浄域との
境界部の天井に、境界用空気吹出口を設け、この境界用
空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流よりも速
度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるようにしたも
のとしてある。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。図１の構成図に、本発明によるクリーンルー
ムの一実施例を示す。また、図２はフィルタが設置され
た天井部の平面図である。
説明する。図１の構成図に、本発明によるクリーンルー
ムの一実施例を示す。また、図２はフィルタが設置され
た天井部の平面図である。
【００１０】これらの図で、クリーンルーム内には、プ
ロセスエリアＡ、作業・通路域（ワーキングエリア）Ｂ
が空気ゾーンにて形成され、プロセスエリアＡと作業・
通路域Ｂ間には境界域Ｃが設けられている。これら３つ
の領域に対応する天井１はシステム天井となっており、
床３は吸入口を有するグレーチングのレイズドフロアと
してあり、清浄空気は天井１から吹き出され、床下風路
３ａに吸い込まれて、適宜排気されるクリームルーム方
式となっている。
ロセスエリアＡ、作業・通路域（ワーキングエリア）Ｂ
が空気ゾーンにて形成され、プロセスエリアＡと作業・
通路域Ｂ間には境界域Ｃが設けられている。これら３つ
の領域に対応する天井１はシステム天井となっており、
床３は吸入口を有するグレーチングのレイズドフロアと
してあり、清浄空気は天井１から吹き出され、床下風路
３ａに吸い込まれて、適宜排気されるクリームルーム方
式となっている。
【００１１】プロセスエリアＡは、高清浄域であり、こ
のプロセスエリアＡに対応する天井１には高性能フィル
タ２ａが全面に装着されている。このプロセスエリアＡ
の天井面からは、清浄空気を矢印のように下向きに層流
状に吹き出しており、清浄度は例えばクラス１００
（０．１μの塵）に保持されており、符号４は製造装置
を示す。
のプロセスエリアＡに対応する天井１には高性能フィル
タ２ａが全面に装着されている。このプロセスエリアＡ
の天井面からは、清浄空気を矢印のように下向きに層流
状に吹き出しており、清浄度は例えばクラス１００
（０．１μの塵）に保持されており、符号４は製造装置
を示す。
【００１２】作業・通路域Ｂは、作業員５が作業をした
り、歩行したり、資材を搬送したり、ロボット６が作業
する低清浄域であり、この作業・通路域Ｂに対応する天
井１には標準の高性能フィルタ２ｂが例えば５０％装着
されている。この領域の清浄度は例えばクラス１０００
（０．１μの塵）に保持されており、符号２ｄは盲パネ
ルを示す。
り、歩行したり、資材を搬送したり、ロボット６が作業
する低清浄域であり、この作業・通路域Ｂに対応する天
井１には標準の高性能フィルタ２ｂが例えば５０％装着
されている。この領域の清浄度は例えばクラス１０００
（０．１μの塵）に保持されており、符号２ｄは盲パネ
ルを示す。
【００１３】また、プロセスエリアＡに近接する境界域
Ｃには、天井１から例えば３００ｍｍ〜５００ｍｍの長
さの垂れ壁７が設けられている。この境界域Ｃに対応し
て天井１に装着される高性能フィルタ２ｃは、単位面積
当りの濾紙面積を多くし、濾紙を通過する空気の抵抗を
少なくしている。
Ｃには、天井１から例えば３００ｍｍ〜５００ｍｍの長
さの垂れ壁７が設けられている。この境界域Ｃに対応し
て天井１に装着される高性能フィルタ２ｃは、単位面積
当りの濾紙面積を多くし、濾紙を通過する空気の抵抗を
少なくしている。
【００１４】プロセスエリアＡと作業・通路域Ｂの境界
域Ｃの天井１の吹出口１ａにこのようなフィルタ２ｃを
配したことにより、吹出し風速は例えば０．４ｍ／ｓに
設定され、プロセスエリアＡの風速より若干速い鉛直下
向きの清浄空気（ダウンフロー気流）を境界域Ｃ内に層
流状に吹き出すことができる。
域Ｃの天井１の吹出口１ａにこのようなフィルタ２ｃを
配したことにより、吹出し風速は例えば０．４ｍ／ｓに
設定され、プロセスエリアＡの風速より若干速い鉛直下
向きの清浄空気（ダウンフロー気流）を境界域Ｃ内に層
流状に吹き出すことができる。
【００１５】ここで、プロセスエリアＡの吹出し風速は
例えば０．３ｍ／ｓに設定され、作業・通路域Ｂの吹出
し風速はフィルタ２ｂが５０％装着されていることで、
０．１５ｍ／ｓに設定されている。
例えば０．３ｍ／ｓに設定され、作業・通路域Ｂの吹出
し風速はフィルタ２ｂが５０％装着されていることで、
０．１５ｍ／ｓに設定されている。
【００１６】なお、プロセスエリアＡ、作業・通路域
Ｂ、境界域Ｃの３つの領域の吹出し風速を設定するため
のフィルタを設ける方法としては、１つのフィルタ枠内
に圧力損失の異なる濾材を組み込むことにより実現で
き、各領域の天井に所定の風速で吹き出される吹出口を
形成できる。
Ｂ、境界域Ｃの３つの領域の吹出し風速を設定するため
のフィルタを設ける方法としては、１つのフィルタ枠内
に圧力損失の異なる濾材を組み込むことにより実現で
き、各領域の天井に所定の風速で吹き出される吹出口を
形成できる。
【００１７】このように本発明のクリーンルームでは、
プロセスエリアＡと作業・通路域Ｂの境界域Ｃの天井１
に垂れ壁７を設けるとともに、プロセスエリアＡ側の吹
出し気流よりも若干速い鉛直下向きの清浄空気を境界域
Ｃに天井の吹出口１ａか吹き出すようにしたので、図３
および図４に示す気流のシミュレーション図のように、
作業・通路域Ｂでロボット６や作業者５が作業をして
も、作業・通路域Ｂでの気流の乱れは高清浄域のプロセ
スエリアＡに達する前に境界域Ｃでの強いダウンフロー
気流（エアカーテン）で遮ぎられてしまうため、作業・
通路域Ｂで発生した塵埃が、プロセスエリアＡに回り込
むのを防止することができる。なお、境界域Ｃに対し
て、境界流に接して作業台を設置することにより最良の
性能を発揮することが可能となる。
プロセスエリアＡと作業・通路域Ｂの境界域Ｃの天井１
に垂れ壁７を設けるとともに、プロセスエリアＡ側の吹
出し気流よりも若干速い鉛直下向きの清浄空気を境界域
Ｃに天井の吹出口１ａか吹き出すようにしたので、図３
および図４に示す気流のシミュレーション図のように、
作業・通路域Ｂでロボット６や作業者５が作業をして
も、作業・通路域Ｂでの気流の乱れは高清浄域のプロセ
スエリアＡに達する前に境界域Ｃでの強いダウンフロー
気流（エアカーテン）で遮ぎられてしまうため、作業・
通路域Ｂで発生した塵埃が、プロセスエリアＡに回り込
むのを防止することができる。なお、境界域Ｃに対し
て、境界流に接して作業台を設置することにより最良の
性能を発揮することが可能となる。
【００１８】図５および図６は、境界域Ｃの天井に垂れ
壁がなく、天井からダウンフロー気流（エアカーテン）
が吹き出されていない場合の気流のシミュレーション図
であり、図３および図４に比べて気流の乱れが現われて
いるとともに、作業・通路域Ｂからの塵埃がプロセスエ
リアＡに流入する状態が分かる。
壁がなく、天井からダウンフロー気流（エアカーテン）
が吹き出されていない場合の気流のシミュレーション図
であり、図３および図４に比べて気流の乱れが現われて
いるとともに、作業・通路域Ｂからの塵埃がプロセスエ
リアＡに流入する状態が分かる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば高
清浄域のプロセスエリアと低清浄域の作業域・通路域と
の境界域の天井にプロセスエリア側よりも速い鉛直下向
きの清浄空気を層流状に吹き出すようにしたので、作業
域・通路域で発生した塵埃がプロセスエリア側に侵入す
るのを防止できる。
清浄域のプロセスエリアと低清浄域の作業域・通路域と
の境界域の天井にプロセスエリア側よりも速い鉛直下向
きの清浄空気を層流状に吹き出すようにしたので、作業
域・通路域で発生した塵埃がプロセスエリア側に侵入す
るのを防止できる。
【００２０】また、通路域の天井全面から鉛直下向きの
清浄空気を層流状に吹き出す場合に比べて、運転費が安
価となるとともに、通路域からの塵埃の回り込みを防止
できるという利点がある。
清浄空気を層流状に吹き出す場合に比べて、運転費が安
価となるとともに、通路域からの塵埃の回り込みを防止
できるという利点がある。
【００２１】また、従来のように高清浄域を壁で間仕切
ったり、クリーンブースを設置するのとは異なり、設備
費を安価にできるとともに、製造装置のライン変更への
対応が容易という利点がある。
ったり、クリーンブースを設置するのとは異なり、設備
費を安価にできるとともに、製造装置のライン変更への
対応が容易という利点がある。
【図１】本発明によるクリーンルームの一実施例を示す
構成図。
構成図。
【図２】図１のクリーンルームの平面図。
【図３】上記クリーンルームにロボットを配置したとき
気流の流れを示すシミュレーション図。
気流の流れを示すシミュレーション図。
【図４】上記クリーンルームで作業員が作業中のときの
気流の流れを示すシミュレーション図。
気流の流れを示すシミュレーション図。
【図５】従来のクリーンルームにロボットを配置したと
き気流の流れを示すシミュレーション図。
き気流の流れを示すシミュレーション図。
【図６】従来のクリーンルームで作業員が作業中のとき
の気流の流れを示すシミュレーション図。
の気流の流れを示すシミュレーション図。
１ 天井 １ａ 吹出口 ２ａ、２ｂ 高性能フィルタ ２ｃ 低抵抗の高性能フィルタ ２ｄ 盲パネル ３ 床 ３ａ 風路 ４ 製造装置 ５ 作業員 ６ ロボット ７ 垂れ壁 Ａ プロセスエリア Ｂ 作業域・通路域 Ｃ 境界域
Claims (1)
- 【請求項１】室内に空気ゾーンにより高清浄域と低清浄
域を形成すべくこれらの各域に対応する清浄空気吹出口
をそれぞれ天井に備え、また床には床下の排気風路へ空
気を吸い込む吸入孔を形成し、かつ前記高清浄域と低清
浄域との境界部の天井に、境界用空気吹出口を設け、こ
の境界用空気吹出口からは、高清浄域への吹出し空気流
よりも速度の速い空気流で清浄空気が吹き出されるよう
にしたクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12822194A JPH07310941A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12822194A JPH07310941A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07310941A true JPH07310941A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14979497
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12822194A Pending JPH07310941A (ja) | 1994-05-18 | 1994-05-18 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07310941A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275731A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Shibuya Machinery Co Ltd | 容器搬送装置 |
| JP2006317048A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| JP2010286165A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Shimizu Corp | 管理対象区画保全方法 |
| JP2015083896A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 住友理工株式会社 | 吹出ノズル |
| JP2020056261A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 株式会社トルネックス | 清浄空気供給装置 |
-
1994
- 1994-05-18 JP JP12822194A patent/JPH07310941A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006275731A (ja) * | 2005-03-29 | 2006-10-12 | Shibuya Machinery Co Ltd | 容器搬送装置 |
| JP2006317048A (ja) * | 2005-05-11 | 2006-11-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム |
| JP2010286165A (ja) * | 2009-06-11 | 2010-12-24 | Shimizu Corp | 管理対象区画保全方法 |
| JP2015083896A (ja) * | 2013-10-25 | 2015-04-30 | 住友理工株式会社 | 吹出ノズル |
| JP2020056261A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 株式会社トルネックス | 清浄空気供給装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |