JPS6217172A - 蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は不純物じゃへい板を用いる蒸着装置に関するも
のである。

従来の技術 従来、抵抗加熱蒸着装置によシ膜を形成する場合、抵抗
加熱体として金属線をらせん状、又はバスケット状に巻
いたもの、あるいは金属板をボート形状にしたものを用
いて、蒸着物質をこれらに入れ、電流を通じて加熱蒸発
させている。またアルミナ、ペリリヤ、マグネシャなど
のるつぼを用い、そのまわシを抵抗加熱体でとりまいて
間接的に蒸着物質を加熱蒸発させている。

発明が解決しようとする問題点 しかし、このような従来の装置では、蒸着物質は、必ず
抵抗加熱体と、るつぼに接触しているため、反応しあい
、蒸着膜中にこれらの不純物が混入するという問題があ
った。

特に純度の高い蒸着膜を得ようとする場合、これらの不
純物の膜への混入が大きな問題となる。

この問題を解決するために、電子線を利用して蒸着物質
の一部分を瞬間的に溶融蒸発させる電子線加熱蒸着装置
もあるが、この場合、装置が複雑で非常に高価なものと
なシ、また残留ガス分子などがイオン化され蒸着膜中に
混入するという欠点がある。

問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決するため、本発明による蒸着装置は
、抵抗加熱体、又はるつぼと被蒸着基板との間に、開口
部を形成した不純物しやへい板を用いて蒸着する装置で
ある０ 作　　用 この装置によれば、たとえ蒸着物質が抵抗加熱体に接触
しておシ、反応しあっても、これら不純物は、抵抗加熱
体、又はるつぼと被蒸着基板との間に設けられたしゃへ
い板によシ阻止され、安価で簡単に純度の高い蒸着膜を
作成することができる。

実施例 以下に、本発明の蒸着装置の一実施例について説明する
。図はこの実施例を示すもので、抵抗加熱体又はるつぼ
２中の蒸着物質１と下地３との間に、開口部を形成した
不純物じゃへい板４を備えている。

抵抗加熱体、又はるつぼ２を加熱し、蒸着物質１を蒸着
する場合、たとえ蒸着物質１と抵抗加熱体またはるつぼ
２の接触面で反応が起っても、反応物は、しゃへい板４
で阻止され、被蒸着基板３上に形成される膜は、しゃへ
い板４の開口部を通る蒸着物質１のみの膜となる。

したがって、不純物混入のない純度の高い蒸着膜を得る
ことができる。

発明の効果 以上のように本発明の蒸着装置によれば、開口部を形成
した不純物じゃへい板を設けるだけで、抵抗加熱装置に
おいても、安価で簡単に純度の高い蒸着膜を作成するこ
とができる。

しかも、しゃへい板に熱伝導の悪い材料を用いれば、蒸
着源からの熱輻射を防ぐことができ、被蒸着基板の温度
を一定に保つことができる０

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例による蒸着装置の模式的断面図で
ある。 １・・・・・・蒸着物質、２・・・・・・抵抗加熱体、
又はるつぼ、３・・・・・・被蒸着基板、４・・・・・
・開口部を形成した不純物じゃへい板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 蒸着物質を内蔵する抵抗加熱体又はるつぼと被蒸着基板
   との間に、開口部を形成した不純物しゃへい板を設けた
   蒸着装置。