JPH0379755A - 蒸着ボート等の構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は保持した蒸着物質を加熱蒸発させるためのポー
ト等の改良に関し、特にポート等を構成する金属材料が
蒸発時に蒸着物質中に混入することに起因して発生する
蒸着物質の純度の低下な防医できる蒸着ポート等の構造
に関する。

（従来の技術） 水晶振動子等の被蒸着対象物に配線パターン或は電極等
を形成するための蒸着装置は、真空炉中に配した熱容量
の大きな金Ｉｇ！！ｌの容器（ポート）内に蒸着材料と
しての金属を充填し、この容器を電熱加熱することによ
って溶融蒸発させて被蒸着対象物に蒸着する構成を有す
るのが一般的である。

ところで、従来の蒸着ポートは、タングステン、ニクロ
ム等から成る容器（ポート本体）と、該容器内に埋設し
た電熱線とから成り、該電熱線を通電加熱することによ
って、容器内に保持された蒸着物質１例えば金、銀、ア
ルミニウム、クロム、セレン等のベレットを蒸発させて
、被蒸着対象たる水晶振動子等に所定の蒸着パターンを
マスク形成するものである。

また、最近では容器状のポートの代りにリボン或はワイ
ヤ状の線状基材に蒸着物質を添着したものを用い、格別
の発熱体を用いてこの線状基材を加熱することによって
添着された蒸着物質を蒸発させるものが開発されている
。この場合も線状基材としてはタングステン、ニクロム
等の金属を使用している。

しかしながら、従来の蒸着用ポート及びリボン（以下、
ポート等という）は１本体部分がタングステン、ニクロ
ム等の金属から構成されていたため、加熱に際してポー
ト等を構成する金属材料が同時に蒸発して蒸着物質に混
入し、蒸着物質の純度が損なわれるという欠点があった
。

例えば、水晶振動子に銀電極を蒸着する場合、ポート等
を構成する金属材料が蒸着物質中に混入することによっ
て共振尖鋭度（Ｑ）の経時的劣化が発生することが確認
されている。

（発明の目的） 本発明は上記に鑑みてなされたものであり、ポート等を
構成する金属材料が加熱時に蒸着物質中に混入すること
によって、蒸着物質の純度が低下することを防止した蒸
着ポート等の構造を提供することを目的としている。

（発明の概要） 上記目的を達成するため本発明は、保持した蒸着金属を
加熱して蒸発させる蒸着ポート等において、前記蒸着ポ
ート等は、セラミックから成るポート本体と、該ポート
本体の肉厚内部に設けた発熱体とから成ることを特徴と
している。

（実施例） 以下、本発明を添付図面に示した実施例に基づいて詳細
に説明する。

第１図は本発明の蒸着ポート等の一実施例の断面図であ
り、容器の形状を有したポート本体１は窒化ケイ素系セ
ラミック材から構成されるとともにその内部にはニクロ
ム等から成る板状の面発熱体３を埋設しである。発熱体
３の両端部には絶縁用の碍子５を配置しである。

この実施例の蒸着ポートは、面発熱体３を型に入れてセ
ラミック粉末材料とともに焼き固めることによって製造
する。

以上の構成において、電源７から発熱体３に電流を流し
ポート本体蓋が蒸着物質の溶融温度を超える所定の高温
に達すると、ポート本体ｌ内に保持された蒸着物質９は
真空雰囲気中において蒸発し上方に位置する水晶振動子
等の被蒸着対象物に付着する。

ポート本体ｌはセラミック材から成るため５発熱体３に
よる加熱によって構成物質が蒸発し、蒸着物質９中に混
入する虞れはない。このため、被蒸着対象物に蒸着され
た金属の純度を高く維持できる。

第２図は本発明を線状基材（蒸着リボン）に適用した実
施例の断面図であり、ｍ状基材ＩＯは窒化ケイ素系セラ
ミック材から構成されるとともにその内部にはニクロム
等から成るコイル状の発熱体【２が埋設されている。

この実施例の蒸着リボンは、発熱体ｊ２を型に入れてセ
ラミック粉末材料とともに焼き固めることによって製造
する。

以上の構成において、電源７から発熱体１２に電流を流
し線状基材１０が蒸着物質９の溶融温度を超える所定の
高温に達すると、線状基材１２内に保持された蒸着物質
９は真空雰囲気中において蒸発し上方に位置する水晶振
動子等の被蒸着対象物に付着する。

このように本発明の蒸着ポート等の構造においては１発
熱体がセラミックにより完全に包囲されているので、通
電時に蒸発する虞れがなく、蒸着物質の純度を維持する
ことができる。

第３図は発振周波数が１０　Ｍ　Ｈｚで、素板径がφ８
のＡＴカットの銀電極水晶振動子を用いて行った実験結
果を示しており、本発明方法によって製造された高い純
度の銀電極を有した水晶振動子は、第３図に示すように
振動子の共振尖鋭度（Ｑ）の経時的劣化を大幅に減少さ
せることができた。

（発明の効果） 以上のように本発明によれば、ポート等を構成する金属
材料が加熱時に蒸着物質中に混入することによって、蒸
着物質の純度が低下することを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の断面による説明図、第
２図は本発明の第２の実施例の断面による説明図、第３
図は本発明のポート等を用いて製造された水晶振動子を
用いた実験結果を示す図である。 ｌ・・ ７・・ １０・ ・ポート本体 ・電源　９・・ ・・線状基材 ３・・・面発熱体 ・蒸着物質 ■２・・・発熱体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）保持した蒸着金属を加熱して蒸発させる蒸着ポー
   ト等において、 前記蒸着ポート等は、セラミックから成るポート本体と
   、該ポート本体の肉厚内部に設けた発熱体とから成るこ
   とを特徴とする蒸着ポート等の構造。