JPS62172127A - 清浄保管装置 - Google Patents
清浄保管装置Info
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- JPS62172127A JPS62172127A JP61014473A JP1447386A JPS62172127A JP S62172127 A JPS62172127 A JP S62172127A JP 61014473 A JP61014473 A JP 61014473A JP 1447386 A JP1447386 A JP 1447386A JP S62172127 A JPS62172127 A JP S62172127A
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- Japan
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- air
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- Pending
Links
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 abstract description 12
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
この発明は、半導体ウェーハなどの保管物を清浄に保管
する清浄保管装置に係り、特に、清浄空気の通流機構の
改良に関する。
する清浄保管装置に係り、特に、清浄空気の通流機構の
改良に関する。
従来、半導体ウェーハを清浄に保管する手段としてキャ
リア・ストッカーと称する保管装置が知られている。
リア・ストッカーと称する保管装置が知られている。
この保管装置は、清浄空気を供給する機構と、半導体ウ
ェーハなどの保管物を載置する棚とを容器の中に設置し
たものである。
ェーハなどの保管物を載置する棚とを容器の中に設置し
たものである。
この保管装置は、外気と通じるオープン形式であるため
、Ｎ２ボックス化が困難であるとともに、通流空気を清
浄化するフィルタと、保管物との間に可動機構が設置さ
れているため、その可動部分によって生じる塵埃が清浄
度を低下させ、また、保管物を搬入する搬入口と、保管
物を取り出す殿出口とが共通化されるため、保管物の搬
出入を同時に行うことが難しく、稼動率が低いなどの欠
点を持っている。
、Ｎ２ボックス化が困難であるとともに、通流空気を清
浄化するフィルタと、保管物との間に可動機構が設置さ
れているため、その可動部分によって生じる塵埃が清浄
度を低下させ、また、保管物を搬入する搬入口と、保管
物を取り出す殿出口とが共通化されるため、保管物の搬
出入を同時に行うことが難しく、稼動率が低いなどの欠
点を持っている。
そこで、この発明は、清浄度を高めた清浄保管装置の提
供を目的とする。
供を目的とする。
この発明の清浄保管装置は、第１図に示すように、強制
的に空気を放出する支柱４を中心にしてその周囲に空気
を清浄化するフィルタ３４を設置するとともに保管物（
半導体ウェーハ１２）を載置する棚２４を取り付け、棚
に載置した保管物をフィルタを介して得られる清浄空気
中に保管するようにしたものである。
的に空気を放出する支柱４を中心にしてその周囲に空気
を清浄化するフィルタ３４を設置するとともに保管物（
半導体ウェーハ１２）を載置する棚２４を取り付け、棚
に載置した保管物をフィルタを介して得られる清浄空気
中に保管するようにしたものである。
この発明の清浄保管装置では、中心に設置した支柱から
空気を放出させ、この放出空気をフィルタを通過させ、
フィルタの通過によって得られた清浄空気を棚の内部側
から保管物を通して外部に放出させることにより、保管
物を清浄状態で保管する。
空気を放出させ、この放出空気をフィルタを通過させ、
フィルタの通過によって得られた清浄空気を棚の内部側
から保管物を通して外部に放出させることにより、保管
物を清浄状態で保管する。
そして、この発明の清浄保管装置において、棚は、たと
えば、支柱に回転可能に支持させ、前記保管物の搬入お
よび搬出に応じて回転させれば、任意の位置に搬入口お
よび搬出口を設置して、棚の任意の位置に保管物を搬入
し、棚の任意の位置に保管物を搬出でき、保管物の搬出
入を効率的に行うことができる。
えば、支柱に回転可能に支持させ、前記保管物の搬入お
よび搬出に応じて回転させれば、任意の位置に搬入口お
よび搬出口を設置して、棚の任意の位置に保管物を搬入
し、棚の任意の位置に保管物を搬出でき、保管物の搬出
入を効率的に行うことができる。
以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図および第２図は、この発明の清浄保管装置の実施
例を示す。
例を示す。
第１図および第２図において、外装容器２の内部中央に
は、空気を放出可能な通気パイプからなる支柱４が設置
されており、この支柱４の下端部には空気を圧送する空
気圧送手段としてのブロア装置６が設置されている。
は、空気を放出可能な通気パイプからなる支柱４が設置
されており、この支柱４の下端部には空気を圧送する空
気圧送手段としてのブロア装置６が設置されている。
ブロア装置６は、たとえば、支柱４の下端部に設置され
た支持枠８の内部に設置されている。このブロア装置６
が設置されている機構部１０と、保管物としてたとえば
、半導体ウェーハ１２を収容するキャリア１４を保管す
る保管部１６とは仕切板１８によって区画分離されてい
る。
た支持枠８の内部に設置されている。このブロア装置６
が設置されている機構部１０と、保管物としてたとえば
、半導体ウェーハ１２を収容するキャリア１４を保管す
る保管部１６とは仕切板１８によって区画分離されてい
る。
そして、ブロア装置６から空気２０は、矢印方向に支柱
４の内部を上方に圧送され、支柱４の周囲部に形成され
た複数の通気孔２２から周囲部に放出される。
４の内部を上方に圧送され、支柱４の周囲部に形成され
た複数の通気孔２２から周囲部に放出される。
支柱４には、一定の間隔をおいて円板状の複数の棚２４
および天井板２６が密閉型ポールベヤリングなどによっ
て空気２０の通過を遮断した回動支持部２８を介して回
動可能に支持されている。
および天井板２６が密閉型ポールベヤリングなどによっ
て空気２０の通過を遮断した回動支持部２８を介して回
動可能に支持されている。
この場合、各欄２４の周囲には、個別に棚２４を回転さ
せるための回転駆動手段としてのローラ３０および回転
駆動モータ３２が設置されている。
せるための回転駆動手段としてのローラ３０および回転
駆動モータ３２が設置されている。
したがって、モータ３２を回転させることによって、そ
の回転力がローラ３０から棚２４に伝達され、各欄２４
を個別に回動させることができる。
の回転力がローラ３０から棚２４に伝達され、各欄２４
を個別に回動させることができる。
そして、各欄２・１と天井板２６との間には、支柱４と
同心円上に各欄２４ごとにフィルタ３４が設置されてい
る。したがって、支柱４から放出される空気２０は、フ
ィルタ３４の通過によって清浄化され、清浄空気として
棚２４と天井板２６との間を矢印Ａで示すように放射状
に通過し、キャリア１４の間から外装容器２の外部に放
出される。
同心円上に各欄２４ごとにフィルタ３４が設置されてい
る。したがって、支柱４から放出される空気２０は、フ
ィルタ３４の通過によって清浄化され、清浄空気として
棚２４と天井板２６との間を矢印Ａで示すように放射状
に通過し、キャリア１４の間から外装容器２の外部に放
出される。
この場合、通過空気の放出は、たとえば、外装容器２の
内壁部の数箇所に排気パイプを設置して置き、この排気
パイプから一括して外部に放出させることができる。
内壁部の数箇所に排気パイプを設置して置き、この排気
パイプから一括して外部に放出させることができる。
したがって、このような清浄保管装置では、各欄２４ご
とに清浄空気を通過させ、各欄２４に載置されているキ
中リア１４内の半導体ウェーハ１２を清浄に保管するこ
とができる。特に、可動部分は、回動支持部２８による
回転運動によるものであり、回動支持部２８は、車に支
柱４に対して棚２４を回動可能に支持しているのみで、
その回転駆動部分は、清浄空気の排気側（下流側）であ
る棚２４の周辺部に位置させており、回動支持部２８で
の塵埃の発生が少なく、多くの塵埃はキャリア１４の外
側で生じることになるので、チェーンなどの直線運動に
よる摺動運動を伴うものに比較して塵埃の発生が）砥め
て少なく、清浄度を高めることができ、しかも、可動部
分を通過した空気２０は、フィルタ３４によって清浄化
され、清浄度を極めて高く維持することができる。
とに清浄空気を通過させ、各欄２４に載置されているキ
中リア１４内の半導体ウェーハ１２を清浄に保管するこ
とができる。特に、可動部分は、回動支持部２８による
回転運動によるものであり、回動支持部２８は、車に支
柱４に対して棚２４を回動可能に支持しているのみで、
その回転駆動部分は、清浄空気の排気側（下流側）であ
る棚２４の周辺部に位置させており、回動支持部２８で
の塵埃の発生が少なく、多くの塵埃はキャリア１４の外
側で生じることになるので、チェーンなどの直線運動に
よる摺動運動を伴うものに比較して塵埃の発生が）砥め
て少なく、清浄度を高めることができ、しかも、可動部
分を通過した空気２０は、フィルタ３４によって清浄化
され、清浄度を極めて高く維持することができる。
そして、各欄２４は回動可能に設置されているので、第
２図に示すように、外装容器２に対して、たとえば、矢
印Ｂ側に保管物の搬入口を設け、がっ、矢印Ｃ側に搬出
口を設置し、各搬出入口は開閉可能に扉を設け、その扉
の開閉に応じて各搬出入口から保管物の搬出入を効率的
に行うことができる。この場合、多段に設置された各欄
２４ごとに独立して、また、異なる棚２４に対して保管
物の搬入、搬出を同時に行うことができる。
２図に示すように、外装容器２に対して、たとえば、矢
印Ｂ側に保管物の搬入口を設け、がっ、矢印Ｃ側に搬出
口を設置し、各搬出入口は開閉可能に扉を設け、その扉
の開閉に応じて各搬出入口から保管物の搬出入を効率的
に行うことができる。この場合、多段に設置された各欄
２４ごとに独立して、また、異なる棚２４に対して保管
物の搬入、搬出を同時に行うことができる。
また、実施例のように、外装容器２の底面部に移動用車
輪３６を設ければ、外装容器２を処理装置に対して隣接
する位置など、所望の位置に設置して半導体ウェーハ１
２などを処理前後に自在に保管することができる。
輪３６を設ければ、外装容器２を処理装置に対して隣接
する位置など、所望の位置に設置して半導体ウェーハ１
２などを処理前後に自在に保管することができる。
なお、実施例では保管物として半導体ウェーハを例に取
ったが、この発明の清浄保管装置は、半導体ウェーハ以
外の清浄に保管すべき食物や医薬品などの各種の清浄保
管物の保管に適用することができる。
ったが、この発明の清浄保管装置は、半導体ウェーハ以
外の清浄に保管すべき食物や医薬品などの各種の清浄保
管物の保管に適用することができる。
以上説明したように、この発明によれば、次のような効
果が得られる。
果が得られる。
（ａ） 中心に設置した支柱から空気を放出させ、こ
の放出空気をフィルタをｉｊ！１遇させ、フィルタの通
過によって得られた清浄空気を棚の内部側から保管物を
通して外部に放出させることにより、半導体ウェーハな
どの保管物を・清浄状態で保管することができ、清浄度
を高めることができる。
の放出空気をフィルタをｉｊ！１遇させ、フィルタの通
過によって得られた清浄空気を棚の内部側から保管物を
通して外部に放出させることにより、半導体ウェーハな
どの保管物を・清浄状態で保管することができ、清浄度
を高めることができる。
（ｂｌ 保管物の搬入口および搬出口を任意の位置に
設置でき、保管物の搬出入を効率的に行うことができ、
稼動率を向上させることができる。
設置でき、保管物の搬出入を効率的に行うことができ、
稼動率を向上させることができる。
（Ｃ） 搬出入口は開閉可能にすることによって密閉
形式化でき、Ｎ２ボックス化が可能であり、清浄化を高
度にすることができる。
形式化でき、Ｎ２ボックス化が可能であり、清浄化を高
度にすることができる。
（ｄｉ 棚をユニット化して容易に多段構成とするこ
とができ、保管物の収容容積を大きく取ることができる
。
とができ、保管物の収容容積を大きく取ることができる
。
第１図はこの発明の清浄保管装置の実施例を示す断面図
、第２図はこの発明の清浄保管装置の実施例を示す破断
斜視図である。 ４・・・支柱、Ｉ２・・・保管物としての半導体ウェー
ハ、２４・・・棚、３４・・・フィルタ。 第１図
、第２図はこの発明の清浄保管装置の実施例を示す破断
斜視図である。 ４・・・支柱、Ｉ２・・・保管物としての半導体ウェー
ハ、２４・・・棚、３４・・・フィルタ。 第１図
Claims (2)
- （１）強制的に空気を放出する支柱を中心にしてその周
囲に放出空気を清浄化するフィルタを設置するとともに
保管物を載置する棚を取り付け、棚に載置した保管物を
フィルタを介して得られる清浄空気中に保管することを
特徴とする清浄保管装置。 - （２）前記棚は、支柱に回転可能に支持させ、前記保管
物の搬入および搬出に応じて回転させることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項に記載の清浄保管装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61014473A JPS62172127A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 清浄保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61014473A JPS62172127A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 清浄保管装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62172127A true JPS62172127A (ja) | 1987-07-29 |
Family
ID=11862028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61014473A Pending JPS62172127A (ja) | 1986-01-25 | 1986-01-25 | 清浄保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62172127A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0670242U (ja) * | 1992-05-22 | 1994-09-30 | 三機工業株式会社 | クリーンストッカ |
| US6930583B2 (en) | 1997-02-14 | 2005-08-16 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| US7071804B2 (en) | 1997-02-14 | 2006-07-04 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| JP2009545141A (ja) * | 2006-07-26 | 2009-12-17 | テック・セム アーゲー | 電子部品製造分野由来の対象物を保存するための装置 |
| US7731470B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-06-08 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Clean stocker and method of storing articles |
-
1986
- 1986-01-25 JP JP61014473A patent/JPS62172127A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0670242U (ja) * | 1992-05-22 | 1994-09-30 | 三機工業株式会社 | クリーンストッカ |
| US6930583B2 (en) | 1997-02-14 | 2005-08-16 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| US6977574B1 (en) | 1997-02-14 | 2005-12-20 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| US6995644B2 (en) | 1997-02-14 | 2006-02-07 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| US7068135B1 (en) | 1997-02-14 | 2006-06-27 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| US7071804B2 (en) | 1997-02-14 | 2006-07-04 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
| JP2009545141A (ja) * | 2006-07-26 | 2009-12-17 | テック・セム アーゲー | 電子部品製造分野由来の対象物を保存するための装置 |
| US7731470B2 (en) | 2006-07-31 | 2010-06-08 | Murata Kikai Kabushiki Kaisha | Clean stocker and method of storing articles |
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