JPS621735U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS621735U JPS621735U JP9044985U JP9044985U JPS621735U JP S621735 U JPS621735 U JP S621735U JP 9044985 U JP9044985 U JP 9044985U JP 9044985 U JP9044985 U JP 9044985U JP S621735 U JPS621735 U JP S621735U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- valve
- mass flow
- flow controller
- bypass line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案のガス供給装置を含むグロー
放電成長装置のブロツク図、第２図は従来のグロ
ー放電成長装置のブロツク図である。 ４１……ガス供給装置、２５，２７，２９……
マスフローコントローラ、３１，３３，３５……
第一バルブ、４３，４５……バイパスライン、４
７，４９……第二バルブ、５１……真空排気装置
、６１……成長槽。
放電成長装置のブロツク図、第２図は従来のグロ
ー放電成長装置のブロツク図である。 ４１……ガス供給装置、２５，２７，２９……
マスフローコントローラ、３１，３３，３５……
第一バルブ、４３，４５……バイパスライン、４
７，４９……第二バルブ、５１……真空排気装置
、６１……成長槽。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マスフローコントローラを経て供給された原料
ガスを、第一バルブを具えるガス供給ラインを介
して減圧槽に供給するように構成したガス供給装
置において、 マスフローコントローラ及び第一バルブの間の
ガス供給ラインから分岐して設けられかつ真空排
気装置に連結されるバイパスラインと、 該バイパスラインに設けた第二バルブと を具えることを特徴とするガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9044985U JPS621735U (ja) | 1985-06-15 | 1985-06-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9044985U JPS621735U (ja) | 1985-06-15 | 1985-06-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621735U true JPS621735U (ja) | 1987-01-08 |
Family
ID=30645450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9044985U Pending JPS621735U (ja) | 1985-06-15 | 1985-06-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS621735U (ja) |
-
1985
- 1985-06-15 JP JP9044985U patent/JPS621735U/ja active Pending