JPH02102728U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02102728U JPH02102728U JP1161389U JP1161389U JPH02102728U JP H02102728 U JPH02102728 U JP H02102728U JP 1161389 U JP1161389 U JP 1161389U JP 1161389 U JP1161389 U JP 1161389U JP H02102728 U JPH02102728 U JP H02102728U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase growth
- vapor phase
- vapor
- raw material
- growth chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Description
第１図及び第２図は本考案の実施例を示すもの
で、第１図は本考案を適用した横型気相成長装置
の概略断面図、第２図は同じく縦型気相成長装置
の概略断面図、第３図は従来の横型気相成長装置
の概略断面図である。 ３……キヤリアガス供給管、５……原料ガス供
給管、６……基板、７……保持台、１１……横型
気相成長装置、１２，３２……気相成長室、１３
，３３……原料管、１４，３４……仕切り壁、１
５，３７……開閉弁、１６，３１……供給部、１
７，３６……駆動部、１９……キヤリアガス排気
管、３０……縦型気相成長装置。
で、第１図は本考案を適用した横型気相成長装置
の概略断面図、第２図は同じく縦型気相成長装置
の概略断面図、第３図は従来の横型気相成長装置
の概略断面図である。 ３……キヤリアガス供給管、５……原料ガス供
給管、６……基板、７……保持台、１１……横型
気相成長装置、１２，３２……気相成長室、１３
，３３……原料管、１４，３４……仕切り壁、１
５，３７……開閉弁、１６，３１……供給部、１
７，３６……駆動部、１９……キヤリアガス排気
管、３０……縦型気相成長装置。
Claims (1)
- 水銀等の低蒸気圧原料を用いて気相成長室内の
基板に気相成長を行う気相成長装置において、前
記気相成長室に、前記低蒸気圧原料の供給部を連
設するとともに、該供給部と気相成長室との間に
仕切り壁を設け、該仕切り壁に低蒸気圧原料の蒸
気の気相成長室内への供給を制御する開閉弁を設
けたことを特徴とする気相成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161389U JPH02102728U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1161389U JPH02102728U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102728U true JPH02102728U (ja) | 1990-08-15 |
Family
ID=31220322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1161389U Pending JPH02102728U (ja) | 1989-02-02 | 1989-02-02 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02102728U (ja) |
-
1989
- 1989-02-02 JP JP1161389U patent/JPH02102728U/ja active Pending