JPS62174384A - 無電解金めつき液 - Google Patents
無電解金めつき液Info
- Publication number
- JPS62174384A JPS62174384A JP1381686A JP1381686A JPS62174384A JP S62174384 A JPS62174384 A JP S62174384A JP 1381686 A JP1381686 A JP 1381686A JP 1381686 A JP1381686 A JP 1381686A JP S62174384 A JPS62174384 A JP S62174384A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating solution
- gold
- gold plating
- salt
- electroless gold
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/42—Coating with noble metals
- C23C18/44—Coating with noble metals using reducing agents
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は無電解金めつき液、詳しくは高品質の金めつき
膜を短時間に厚付は可能で、しかも毒性の低い無電解金
めつき液に関する。
膜を短時間に厚付は可能で、しかも毒性の低い無電解金
めつき液に関する。
従来の無電解金めつき液としては、シアン化金(I)カ
リウムを金源、シアン化カリウムを錯化剤、そして水素
化ホウ素す) IJウムを還元剤とするものが、よく知
られている(ブレーティング(Plating )第5
7巻、1970年、頁914〜920)。
リウムを金源、シアン化カリウムを錯化剤、そして水素
化ホウ素す) IJウムを還元剤とするものが、よく知
られている(ブレーティング(Plating )第5
7巻、1970年、頁914〜920)。
このめっき液は1.5μm/時のめつき速度で厚付は可
能であるが、シアンイオンを多葉に含むので液の毒性が
高く、実用上問題があった。
能であるが、シアンイオンを多葉に含むので液の毒性が
高く、実用上問題があった。
本発明の目的は、上記の従来の無電解金めつき液と同等
の速度で厚付は可能で、しかもそれより毒性の低い無電
解金めつき液を提供することにある。
の速度で厚付は可能で、しかもそれより毒性の低い無電
解金めつき液を提供することにある。
上記目的は、水浴性金塩および錯化剤としてジチオ硫酸
金アルカリ塩およびチオシアン酸を用いることによって
達成される。
金アルカリ塩およびチオシアン酸を用いることによって
達成される。
発明者は、金イオンと錯化剤とがつくる分子について量
子化学計算を行い、従来のシアンイオンにかわり得る錯
化剤としてチオシアンイオンが有望であることを見出し
た。またチオシアンイオンが無電解金めつき液の錯化剤
として有効であることが、釉々の実験からも確認できた
。
子化学計算を行い、従来のシアンイオンにかわり得る錯
化剤としてチオシアンイオンが有望であることを見出し
た。またチオシアンイオンが無電解金めつき液の錯化剤
として有効であることが、釉々の実験からも確認できた
。
次に本発明の無電解金めつき液の組成およびめっき条件
を示す。
を示す。
組成ニジチオ硫酸金(I)アルカリ塩(例えばナトリウ
ム塩、カリウム塩)1〜20 p/1千オジオシアン酸
イオンす化合物(例 えばナトリウム塩、カリウム塩 8=20g/A’ チオ尿素 1〜75jl/1塩化アン
モニウム 5〜50 g71条件:50〜90°
Cの液温で攪拌 1)H3〜10 上記の無電解金めつき液によると1〜2μm/時のめつ
き速度が得られる。生じる全皮膜は緻密で、ワイヤボン
ディング性、ダイボンディング性、はんだ付は性などの
接続特性についてすぐれている。
ム塩、カリウム塩)1〜20 p/1千オジオシアン酸
イオンす化合物(例 えばナトリウム塩、カリウム塩 8=20g/A’ チオ尿素 1〜75jl/1塩化アン
モニウム 5〜50 g71条件:50〜90°
Cの液温で攪拌 1)H3〜10 上記の無電解金めつき液によると1〜2μm/時のめつ
き速度が得られる。生じる全皮膜は緻密で、ワイヤボン
ディング性、ダイボンディング性、はんだ付は性などの
接続特性についてすぐれている。
以下本発明の実施例を第1図により説明する。
実施例1゜
図に示すように試験用のアルミナセラミック基板1のタ
ングステンメタライズパターン2を前処理して用いた。
ングステンメタライズパターン2を前処理して用いた。
前処理は、脱脂→水洗→パラジウムによる活性化→水洗
→無電解ニッケルめつき→水洗の順に行った。無電解ニ
ッケルめっき膜は2〜3μmの厚さであった。この基板
を次に示す組成のめつき液に、1時間浸した。
→無電解ニッケルめつき→水洗の順に行った。無電解ニ
ッケルめっき膜は2〜3μmの厚さであった。この基板
を次に示す組成のめつき液に、1時間浸した。
ジチオ硫酸金(I)ナトリウム 5 /l/1チオ
シアン酸ナトリウム 10i/1チオ尿素
30.F / 1塩化アンモニウム
109/1液温は80℃に保ち、pH%5
.0とし液を攪拌した。めっき液から取り出し水洗後乾
燥した。この結果光沢のある金めつき膜が得られた。膜
厚は14μmであり、従来のシアンイオンを錯化剤とす
る無電解金めつき液と同等の速度であった。
シアン酸ナトリウム 10i/1チオ尿素
30.F / 1塩化アンモニウム
109/1液温は80℃に保ち、pH%5
.0とし液を攪拌した。めっき液から取り出し水洗後乾
燥した。この結果光沢のある金めつき膜が得られた。膜
厚は14μmであり、従来のシアンイオンを錯化剤とす
る無電解金めつき液と同等の速度であった。
次に実施例1で得られた金めつき膜の評価を以下の方法
で行った。
で行った。
(1) ワイヤボンディング性
直径25μmのAlワイヤを約150°Ctこ加熱した
モデル基板の金めつき膜上に圧接した。冷却後6gの荷
重をワイヤに加えて引張り、ワイヤがモデル基板から剥
れなかったものを良品とした。
モデル基板の金めつき膜上に圧接した。冷却後6gの荷
重をワイヤに加えて引張り、ワイヤがモデル基板から剥
れなかったものを良品とした。
(2) ダイボンディング性
450°Cで窒素雰囲気中シリコンペレットをスクラブ
しながら行い、Xil透視で金−シIJ 。
しながら行い、Xil透視で金−シIJ 。
コン共晶で90%以上濡れているものを良品とした。
(3)はんだ付は性
460°Cで空気中15分間モデル基板を加熱後、金め
つき膜に、すんだディップを行い、膜表面が95%以上
はんだで濡れているものを良品とした。
つき膜に、すんだディップを行い、膜表面が95%以上
はんだで濡れているものを良品とした。
(4)異常析出
金めつきしたモデル基板の表面を光学顕微鏡で観察し、
メタライズ層表面以外での金の析出のないものを良品と
した。
メタライズ層表面以外での金の析出のないものを良品と
した。
以上の方法を用いて、実施例1によるサンプル20個を
評価したところ、すべて良品と判定された。
評価したところ、すべて良品と判定された。
本発明によれば、接続特性のすぐれた金めつき皮膜を、
短時間にしかも安全性の高い方法で形成できるので、金
めつきプロセスの効率化およびめっき設備の簡略化に大
きな効果がある。
短時間にしかも安全性の高い方法で形成できるので、金
めつきプロセスの効率化およびめっき設備の簡略化に大
きな効果がある。
図は本発明の実施例に用いた試験用モデルセラミック基
板の正面図である。
板の正面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、水溶性金塩、錯化剤、pH調整剤、還元剤および水
からなる無電解金めつき液において、水溶性金塩がジチ
オ硫酸金( I )アルカリ塩であり、錯化剤がチオシア
ン酸イオンであり、pH調整剤が塩化アンモニウムであ
り、還元剤がチオ尿素であることを特徴とする無電解金
めつき液。 2、水溶性金塩、錯化剤、PH調整剤、還元剤および水
からなる無電解金めつき液において、水溶性金塩がジチ
オ硫酸金( I )アルカル塩であり、錯化剤がチオシア
ン酸イオンであり、pH調整剤が無電解金めつき液のP
Hが3.0〜10.0となるだけの量の塩化アンモニウ
ムとその他のpH調整剤の混合物であり、還元剤がチオ
尿素であることを特徴とする無電解金めつき液。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1381686A JPS62174384A (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | 無電解金めつき液 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1381686A JPS62174384A (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | 無電解金めつき液 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62174384A true JPS62174384A (ja) | 1987-07-31 |
Family
ID=11843800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1381686A Pending JPS62174384A (ja) | 1986-01-27 | 1986-01-27 | 無電解金めつき液 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62174384A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5302256A (en) * | 1991-06-25 | 1994-04-12 | Learonal Japan Inc. | Immersion tin/lead alloy plating bath |
| JP2009030721A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | モータの取付構造 |
| WO2014072969A1 (en) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Ben Gurion University Of The Negev Research And Development Authority | Gold nanostructures and processes for their preparation |
-
1986
- 1986-01-27 JP JP1381686A patent/JPS62174384A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5302256A (en) * | 1991-06-25 | 1994-04-12 | Learonal Japan Inc. | Immersion tin/lead alloy plating bath |
| JP2009030721A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Panasonic Electric Works Co Ltd | モータの取付構造 |
| WO2014072969A1 (en) * | 2012-11-09 | 2014-05-15 | Ben Gurion University Of The Negev Research And Development Authority | Gold nanostructures and processes for their preparation |
| US10895013B2 (en) | 2012-11-09 | 2021-01-19 | Ben Gurion University Of The Negev Research And Development Authority | Gold nanostructures and processes for their preparation |
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